JP2012243740A - 有機elディスプレイ用の反射アノード電極を含む配線構造 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板1上に、有機ELディスプレイ用の反射アノード電極を構成するAl合金膜6、および発光層8を含む有機層を有する配線構造であって、Al合金膜6は、希土類元素を0.05〜5原子%含有し、且つ、硬度は2〜3.5GPaであり、Al合金組織に存在する粒界三重点の密度は2×108個/mm2以上であり、Al合金膜6の上に発光層8を含む有機層が直接接続しているものである。
【選択図】図1
Description
無アルカリ硝子板(板厚0.7mm、直径4インチ)を基板とし、その表面に、DCマグネトロンスパッタリング法で、下記表1に示すように希土類元素の種類および含有量(単位は原子%であり、残部:Alおよび不可避的不純物)が異なるAl合金膜(膜厚はいずれも約500nm)を形成した。成膜は、成膜前にチャンバー内の雰囲気を一旦、到達真空度:1×10-6Torrにしてから、各Al合金膜と同一の成分組成の直径4インチの円盤型ターゲットを用い、下記に示す条件で行った。次に、成膜後のAl合金について、窒素雰囲気中、表1に記載の種々のアニール温度にて15分間熱処理を行なった。表1中、「−」とは加熱なし(すなわち室温)を意味する。尚、形成されたAl合金膜の組成は、誘導結合プラズマ(Inductively Coupled Plasma:ICP)質量分析法で確認した。
(スパッタリング条件)
・Arガス圧:1mTorr
・Arガス流量:20sccm
・スパッタパワー:130W
・成膜温度:100℃
2 TFT
3 パシベーション膜
4 平坦化層
5 コンタクトホール
6 Al合金膜(反射膜)
8 有機発光層
9 カソード電極
Claims (5)
- 基板上に、有機ELディスプレイ用の反射アノード電極を構成するAl合金膜、および発光層を含む有機層を有する配線構造であって、
前記Al合金膜は、希土類元素を0.05〜5原子%含有し、且つ、硬度は2〜3.5GPaであり、Al合金組織に存在する粒界三重点の密度は2×108個/mm2以上であり、
前記Al合金膜の上に前記有機層が直接接続していることを特徴とする配線構造。 - 前記希土類元素は、Nd、Gd、La、Y、Ce、PrおよびDyよりなる群から選択される1種以上の元素である請求項1に記載の配線構造。
- 前記Al合金膜が、前記基板上に形成された薄膜トランジスタのソース・ドレイン電極に電気的に接続されている請求項1または2に記載の配線構造。
- 請求項1〜3のいずれかに記載の配線構造を備えた薄膜トランジスタ基板。
- 請求項4に記載の薄膜トランジスタ基板を備えた有機ELディスプレイ。
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Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003051386A (ja) * | 2001-08-06 | 2003-02-21 | Toppan Printing Co Ltd | 有機エレクトロルミネッセンス素子 |
JP2004240091A (ja) * | 2003-02-05 | 2004-08-26 | Idemitsu Kosan Co Ltd | 半透過半反射型電極基板の製造方法 |
JP2004303522A (ja) * | 2003-03-31 | 2004-10-28 | Fujitsu Display Technologies Corp | 表示装置及びその製造方法 |
JP2005056848A (ja) * | 2003-08-05 | 2005-03-03 | Lg Electron Inc | 有機el素子 |
JP2008041262A (ja) * | 2006-08-01 | 2008-02-21 | Mitsubishi Electric Corp | 有機el表示装置 |
JP2010135300A (ja) * | 2008-11-10 | 2010-06-17 | Kobe Steel Ltd | 有機elディスプレイ用の反射アノード電極およびその製造方法 |
JP2010192413A (ja) * | 2009-01-22 | 2010-09-02 | Sony Corp | 有機電界発光素子および表示装置 |
WO2011059098A1 (ja) * | 2009-11-16 | 2011-05-19 | 株式会社神戸製鋼所 | 有機elディスプレイ用の反射アノード電極 |
-
2011
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003051386A (ja) * | 2001-08-06 | 2003-02-21 | Toppan Printing Co Ltd | 有機エレクトロルミネッセンス素子 |
JP2004240091A (ja) * | 2003-02-05 | 2004-08-26 | Idemitsu Kosan Co Ltd | 半透過半反射型電極基板の製造方法 |
JP2004303522A (ja) * | 2003-03-31 | 2004-10-28 | Fujitsu Display Technologies Corp | 表示装置及びその製造方法 |
JP2005056848A (ja) * | 2003-08-05 | 2005-03-03 | Lg Electron Inc | 有機el素子 |
JP2008041262A (ja) * | 2006-08-01 | 2008-02-21 | Mitsubishi Electric Corp | 有機el表示装置 |
JP2010135300A (ja) * | 2008-11-10 | 2010-06-17 | Kobe Steel Ltd | 有機elディスプレイ用の反射アノード電極およびその製造方法 |
JP2010192413A (ja) * | 2009-01-22 | 2010-09-02 | Sony Corp | 有機電界発光素子および表示装置 |
WO2011059098A1 (ja) * | 2009-11-16 | 2011-05-19 | 株式会社神戸製鋼所 | 有機elディスプレイ用の反射アノード電極 |
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