JP2012237645A - 半導体検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数のステージ21が設けられ、複数のステージ21を移動させるインデックステーブル2と、ステージ21上に搭載され、半導体チップとしてのLED素子チップ5が内部に収容されて通電可能とされるソケット6と、半導体ウエハ4を個片化した後の複数のLED素子チップ5のうち、これよりも数が少ない一または複数のLED素子チップ5を、インデックステーブル2の複数のステージのうち、これよりも数が少ない一または複数のステージ21上の各ソケット6に移送するピッカー71と、一または複数のステージ21に一または複数のLED素子チップ5を搭載して一または複数のLED素子チップ5を検査する検査手段を有している。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の実施形態1における半導体検査装置を用いた半導体検査方法を説明するための模式図である。
上記実施形態1では、円形のインデックステーブル2の各ステージ21上のソケット6にLED素子チップ5を一または複数個(例えば2個)づつ移動させて順次または同時に検査する場合について説明したが、本実施形態2では、長円形のインデックステーブル2Aの各ステージ21A上の複数のソケット6に各LED素子チップ5を更に多くの所定数を一括して同時に移動させて順次または同時に検査する場合について説明する。本実施形態2では、量産により対応することができる。
2,2A インデックステーブル
21,21A ステージ
3 粘着シート
4 半導体ウエハ
5 LED素子チップ
6,6A,6B ソケット
61 蓋
61a ヒンジ
61b フック
64 ケース
62,62A 窓部
63a,63b プローブまたは各端子
65 ケースの凹部
66 ピン
67 吸着部
68 L字状部材
69 台部材
71〜74 ピッカー
74a 吸着ノズル
81 良品シート
82 不良品シート
91,92 積分球
10A ソケット蓋開け機構
11 回転軸
12 アーム
13 先端部
10B ソケット蓋押さえ機構
15 回転軸
16 アーム
17 先端部
18 角部
Claims (16)
- 複数のステージが設けられ該複数のステージを移動させるインデックステーブル手段と、該複数のステージに複数の半導体チップを搭載して該複数の半導体チップを検査する検査手段とを有する半導体検査装置。
- 前記ステージ上に搭載され、前記半導体チップが内部に収容されて通電可能とされるソケット手段を更に有する請求項1に記載の半導体検査装置。
- 前記ソケット手段は、前記半導体チップの上面または下面の各端子に対して電気的に接続可能に構成されている請求項2に記載の半導体検査装置。
- 半導体ウエハを個片化した後の複数の半導体チップのうち、これよりも少ない複数の半導体チップを、前記インデックステーブルの複数のステージのうち、これよりも少ない複数のステージに移送する第1移送手段を更に有する請求項1に記載の半導体検査装置。
- 前記半導体チップが発光素子チップであって、前記検査手段は該発光素子チップの光学検査およびDC特性検査を行う請求項1に記載の半導体検査装置。
- 前記ソケット手段は、前記半導体チップの搭載面に反射板が設けられている請求項2または3に記載の半導体検査装置。
- 前記ソケット手段は、前記半導体チップの周辺部を開放しているかまたは該周辺部に光透過材が設けられている請求項2、3および6のいずれかに記載の半導体検査装置。
- 検査後のソケット手段内の半導体チップを別シートに検査結果に応じて移送する第2移送手段を更に有する請求項1または4に記載の半導体検査装置。
- 前記第1移送手段および第2移送手段は、複数の半導体チップを一括して移送する場合に、移送先と移送元の該複数の半導体チップのピックアップピッチが異なっている請求項4または8に記載の半導体検査装置。
- 前記ソケット手段は、前記半導体チップを内部で位置決めする位置決め機構を有する請求項2または3に記載の半導体検査装置。
- 前記検査手段は、前記インデックステーブル手段の各ステージに所定の各測定機能を有する請求項1に記載の半導体検査装置。
- 前記インデックステーブル手段の各ステージに設けられた検査手段の全てを同時に駆動させて同時に検査する請求項11に記載の半導体検査装置。
- 前記ソケット手段は、ソケット蓋開閉機構により開閉が行われる請求項2または3に記載の半導体検査装置。
- 前記インデックステーブル手段は、外形が平面視円形状、楕円形状、長円形状の他、角部分が丸くなった三角形状、四角形状、多角形状および半円形状、さらに一または複数の直線状のうちのいずれかである請求項1に記載の半導体検査装置。
- 前記インデックステーブル手段はそのステージが複数連続して直線状に並ぶ部分を有する請求項14に記載の半導体検査装置。
- 前記インデックステーブル手段は、個片化した半導体ウエハの検査対象の複数の半導体チップの配置位置の周囲近傍に、一または複数配置されている請求項1に記載の半導体検査装置。
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