JP2012225911A - 光学長さ測定機構 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】2つの物体の一方と接続され、測定方向に延びる反射測定区域を含む実量器と、他方の物体に接続された、測定区域を光学的に走査するための走査ユニットが、光学的実効点光源と、少なくとも1つの光学的実効検出器アレイとを含み、光学的実効光源から発散して放出された光束が、測定区域の方向に伝播し、測定区域で走査ユニットの方向に反射して戻され、少なくとも1つの光学的実効検出器アレイに当たり、変位に応じて変わるパターンが光学的実効検出器アレイに現れ、このパターンは、光学的実効検出器アレイによって、位置に応じた1つまたは複数の走査信号に変換可能である。走査ユニットは、測定方向で長手方向で案内され、結合点で連結棒と関節結合され、連結棒は他方の物体と接続される。結合点の位置は、結合点周りでの走査ユニットの前後傾が起こっても誤差のある走査信号が生じないように選択される。
【選択図】図1
Description
−2つの物体の一方と接続され、測定方向に延びる反射測定区域を含む実量器と、
−他方の物体に接続された、測定区域を光学的に走査するための走査ユニットとからなり、走査ユニットが、光学的実効点光源と、少なくとも1つの光学的実効検出器アレイとを含み、それにより、光学的実効光源から発散して放出された光束が、測定区域の方向に伝播し、測定区域で走査ユニットの方向に反射して戻され、次いで少なくとも1つの光学的実効検出器アレイに当たり、それにより、変位に応じて変わるパターンが検出器アレイに現れ、このパターンが、光学的実効検出器アレイによって、位置に応じた1つまたは複数の走査信号に変換可能である。
d=l・a/(a+2)
に従って得られ、ここで、
d:=光学的実効検出器アレイの平面から上方へ結合点までの距離
l:=測定区域から光学的実効検出器アレイの平面までの距離
a:=光学的実効検出器アレイを含む平面から光学的実効光源までの距離と、測定区域から光学的実効検出器アレイを含む平面までの距離との比
である。
−光学作用要素が、現実の光源と測定区域との間の光学的実効距離を所期通りに調整する、および/または
−光学作用要素が、現実の検出器アレイと測定区域との間の光学的実効距離を所期通りに調整する
ようになされることもある。
T2=T1(u+v)/u (式1)
u=a・l+l=l・(a+1) (式2.1)
v=l (式2.2)
(u+v)/u=(a+2)/(a+1) (式2.3)
T2=T1・(a+2)/(a+1) (式2.4)
ΔM=Φ・(a・l+l)=Φ・l・(a+1) (式3.1)
だけずれて測定区域12に当たる。
ΔD=Φ・l・2 (式3.2)
となる。
ΔPhase_Massstab=Φ・l・(a+1)/T1 (式4.1)
ΔPhase_Detektor=Φ・2・l/T2=
=Φ・2・l・(a+1)/((a+2)・T1) (式4.2)
となる。
2/(a+2)=1 (式5)
が満たされる場合、すなわちa=0の場合に当てはまる。
ΔM=Φ・(d+l) (式6.1)
だけずれて測定区域12に当たる。
ΔD=Φ・l・2 (式6.2)
となる。
ΔPhase_Massstab=Φ・(d+l)/T1 (式7.1)
ΔPhase_Detektor=Φ・2・l/T2=
=Φ・2・l・(a+1)/((a+2)・T1) (式7.1)
となる。
l=d・(a+2)/a (式8.1)
を満たしたとき、すなわち、
d=l・a/(a+2) (式8.2)
の場合に当てはまり、ここで、
d:=光学的実効検出器アレイの平面から上方へ結合点までの距離
l:=測定区域から光学的実効検出器アレイの平面までの距離
a:=光学的実効検出器アレイを含む平面から光学的実効光源までの距離と、測定区域から光学的実効検出器アレイを含む平面までの距離との比
である。
11 支持体
12 反射測定区域
20 走査ユニット
21 点光源
22 検出器アレイ
30 走査キャリッジ
31a、31b 案内要素
40 取付脚部
41 連結棒
50 結合点
x 測定方向
Claims (7)
- 少なくとも測定方向(x)に沿って相対移動可能に配置された2つの物体の相対位置を測定するための光学長さ測定機構であって、
前記2つの物体の一方と接続され、測定方向(x)に延びる反射測定区域(12)を含む実量器(10)と、
他方の物体に接続された、前記測定区域(12)を光学的に走査するための走査ユニット(20)とを備え、前記走査ユニット(20)が、光学的実効点光源(21)と、少なくとも1つの光学的実効検出器アレイ(22)とを含み、それにより、前記光学的実効光源(21)から発散して放出された光束が、前記測定区域(12)の方向に伝播し、前記測定区域(12)で前記走査ユニット(20)の方向に反射して戻され、次いで前記少なくとも1つの光学的実効検出器アレイ(22)に当たり、それにより、変位に応じて変わるパターンが前記検出器アレイ(22)に現れ、前記パターンが、前記光学的実効検出器アレイ(22)によって、位置に応じた1つまたは複数の走査信号に変換可能である光学長さ測定機構であって、
前記走査ユニット(20)が、測定方向(x)に長手方向で案内され、
前記走査ユニット(20)が、結合点(50)で連結棒(41)と関節結合され、前記連結棒(41)が前記他方の物体と接続され、前記結合点(50)の位置が、前記結合点(50)周りでの前記走査ユニット(20)の前後傾が起こっても誤差のある走査信号が生じないように選択される光学長さ測定機構。 - 前記結合点(50)が、前記測定区域(12)に対して垂直な直線上で、前記光学的実効検出器アレイ(22)を含む平面から上方へ距離dの位置にあり、前記距離dが、
d=l・a/(a+2)
に従って得られ、ここで、
d:=前記光学的実効検出器アレイの平面から上方へ前記結合点までの距離
l:=前記測定区域から前記光学的実効検出器アレイの平面までの距離
a:=前記光学的実効検出器アレイを含む平面から前記光学的実効光源までの距離と、前記測定区域から前記光学的実効検出器アレイを含む平面までの距離との比
である請求項1に記載の光学長さ測定機構。 - a=0が選択され、前記結合点(50)が、前記光学的実効検出器アレイ(22)の平面内にある請求項2に記載の光学長さ測定機構。
- a≠0が選択され、前記結合点(50)が、前記光学的実効検出器アレイ(22)の平面よりも上方にある請求項2に記載の光学長さ測定機構。
- 前記走査ユニット(20)が走査キャリッジ(30)内に配置され、前記走査キャリッジ(30)が、前記実量器(10)および/または前記実量器(10)の筐体にある案内要素(31a、31b)によって測定方向(x)に長手方向で案内される請求項1に記載の光学長さ測定機構。
- 前記走査キャリッジ(30)が、結合点(50)で結合機構によって前記連結棒(41)と関節結合される請求項1に記載の光学長さ測定機構。
- 前記走査ユニット(20)内で、前記光束の光路内に光学作用要素のみが配置され、
前記光学作用要素が、前記現実の光源と前記測定区域(12)との間の光学的実効距離を所期通りに調整する、および/または
前記光学作用要素が、前記現実の検出器アレイと前記測定区域(12)との間の光学的実効距離を所期通りに調整する
請求項1に記載の光学長さ測定機構。
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