JP5452391B2 - 追尾式レーザ干渉計および追尾式レーザ干渉計の制御方法 - Google Patents
追尾式レーザ干渉計および追尾式レーザ干渉計の制御方法 Download PDFInfo
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Description
干渉計100を組み立てたときに、ハーフミラー112が、規定の配置位置A0から所定距離dだけオフセットした位置A1に配置されている場合には、まず、レーザ光源111から出射されたレーザ光L1はハーフミラー112で測定光L2と参照光L3とに分割される。そして、測定光L2は、ハーフミラー121を通ってレトロリフレクタRの位置P1に入射され、中心P0に対して位置P1と点対称な位置P2で反射される。配置位置A0は、本体101の回転中心OとレトロリフレクタRの中心P0とを結ぶ直線O−P0と、レーザ光L1の光軸との交点である。
参照光L3は、参照ミラー113に向かって進み、参照ミラー113で反射されてハーフミラー112に入射し、ハーフミラー112で検出器114に向かって反射される。
ハーフミラー112では、入射してくる測定光L22と入射してくる参照光L3とが合成されて光の干渉が起こり、干渉光が生成されて検出器114に送られる。
図1に示す追尾式レーザ干渉計1(以下、干渉計1とする。)は、本体2と、図示しない姿勢変更機構を制御して本体2の姿勢を制御する制御手段3とを備え、図示しない三次元測定機などの産業機械に設けられた移動体に取り付けられた再帰反射体としてのレトロリフレクタRを追尾し、本体2の回転中心OからレトロリフレクタRまでの距離Xを測定するものである。移動体としては、例えば測定対象物を測定するためのプローブが取りつけられた三次元測定機のスライダが挙げられる。
測長部21は、レーザ光源211と、ハーフミラー212と、参照ミラー213と、検出器214とを備えている。追尾用光学部22はハーフミラー221と検出器222とを備えている。
距離算出部31は、検出器214での干渉光の受光量に応じた受光信号を検出器214から受け取り、この受光信号を用いて、測長部21の固定面215からレトロリフレクタRまでの距離X1を算出する。そして、算出された距離X1に、干渉計1の組み立て時に決まる回転中心Oから測長部21の固定面215までの距離X0を加えることにより距離Xが求められる。
姿勢変更部33は、検出器222での測定光L21の受光信号を検出器222から受け取り、レトロリフレクタRで反射され且つハーフミラー221で反射された測定光L21が常に目標位置Q2に入射するように、検出器222での測定光L21の受光信号に基づいて図示しない姿勢変更機構を制御して本体2の姿勢を制御する。
S1の目標位置設定工程で、まず、例えば図示しない三次元測定機を稼動させることなどによって移動体を移動させ、レトロリフレクタRを本体2から、距離dに対して十分遠く離れた位置に移動させる。このとき、レトロリフレクタRが本体2から、距離dに対して十分遠く離れた位置にあるため、位置A1で分割された測定光L2の光軸は直線O−P0と略一致する。その後、制御手段3の目標位置設定部32によって本体2のレトロリフレクタRへの追尾が止められ、レトロリフレクタRが無限遠方から図1に示す位置に戻される。そうすると、図1に示すように、位置A1で分割された測定光L2はレトロリフレクタRに位置P1で入射し、位置P2で反射されて目標位置Q2に入射する。このとき、目標位置設定部32が目標位置Q2を記憶して設定する。
このとき、位置A1で分割された測定光L2は、レトロリフレクタRの中心P0とは距離dだけオフセットした位置P1に常に入射して位置P2で常に反射され、位置P2で反射された測定光L2は位置P1に入射してきた測定光L2と常に平行となる。よって、位置P1に入射してきた測定光L2および位置P2で反射された測定光L2が、直線O−P0と常に平行となる。
測定光L2は、ハーフミラー221を通ってレトロリフレクタRの位置P1に入射されて、位置P2で反射される。位置P2で反射された測定光L2は、ハーフミラー221に再び入射し、一部の測定光L21がハーフミラー221で反射され、検出器222の目標位置Q2に入射されて検出器222で受光される。位置P2で反射された測定光L2のうち測定光L22は、ハーフミラー221を透過してハーフミラー212に入射する。
ハーフミラー212では、入射してくる測定光L22と入射してくる参照光L3とが合成される。この合成によって光の干渉が起こり、干渉光が生成されて検出器214に送られる。
制御手段3の距離算出部31は、検出器214での干渉光の受光量に応じた受光信号を用いて距離X1を算出する。この算出された距離X1に距離X0を加えることにより距離Xが求められる。
また、レトロリフレクタRの位置P1に入射して位置P2で反射される測定光L2の光路長と、中心P0に入射して中心P0で反射される測定光L2の光路長とが同じであるため、距離X1を確実に測定できる。
本実施形態では、レトロリフレクタRで反射され且つハーフミラー221で反射された測定光L21を常に目標位置Q2に入射させる。このようにすると、測定光L2は、レトロリフレクタRの中心P0とは距離dだけオフセットした位置P1に入射して位置P2で反射され、位置P2で反射された測定光L2は位置P1に入射してきた測定光L2と常に平行となる。よって、距離dが0でない場合でも、従来のように、レトロリフレクタRで反射される測定光L2の光軸が傾くことがなくなり、レトロリフレクタRで反射された測定光L2を用いて測定される距離X1の測定誤差を容易に低減できる。また、干渉計1を組み立てるときに、直線O−P0と、レトロリフレクタRに出射する測定光L2の光軸とを一致させることが不要となる。
前記実施形態では、再帰反射体としてレトロリフレクタRについて説明したが、入射してくる測定光L2をその光軸と平行に反射するものであれば、屈折率2の球面レンズなどであってもよい。
また、前記実施形態では、ハーフミラー212が、直線O−P0と交わる規定の配置位置A0から図1中上側に距離dだけオフセットした位置に配置されたときについて説明したが、配置位置A0から図1中下側に所定距離だけオフセットした位置に配置されたときや、配置位置A0から、図1中紙面と直交する方向に所定距離だけオフセットした位置に配置されたときにも、本発明の制御方法は適用可能である。
2…本体、
3…制御手段、
22…追尾用光学部、
32…目標位置設定部、
33…姿勢変更部、
222…検出器、
L2,L21,L22…測定光、
Q2…目標位置、
R…レトロリフレクタ(再帰反射体)、
S1…目標位置設定工程、
S2…姿勢変更工程
Claims (2)
- 移動体に取り付けられた再帰反射体で反射された測定光を受光する検出器を備える追尾用光学部を有する本体と、前記追尾用光学部からの受光信号に基づいて前記本体の姿勢を制御し、前記本体に前記再帰反射体を追尾させる制御手段とを備える追尾式レーザ干渉計であって、
前記制御手段は、前記再帰反射体に入射する測定光と前記再帰反射体で反射される測定光とを平行とするように前記検出器で受光される前記測定光の目標位置を設定する目標位置設定部と、前記本体の姿勢を制御し、前記再帰反射体で反射された測定光を前記目標位置に入射させる姿勢変更部とを備えることを特徴とする追尾式レーザ干渉計。 - 移動体に取り付けられた再帰反射体で反射された測定光を受光する検出器を備える追尾用光学部を有する本体と、前記追尾用光学部からの受光信号に基づいて前記本体の姿勢を制御し、前記本体に前記再帰反射体を追尾させる制御手段とを備える追尾式レーザ干渉計の制御方法であって、
前記再帰反射体に入射する測定光と前記再帰反射体で反射される測定光とを平行とするように前記検出器で受光される前記測定光の目標位置を設定する目標位置設定工程と、
前記本体の姿勢を制御し、前記再帰反射体で反射された測定光を前記目標位置に入射させる姿勢変更工程とを備えることを特徴とする追尾式レーザ干渉計の制御方法。
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