JP2007309677A - 追尾式レーザ干渉計の絶対距離推定方法及び追尾式レーザ干渉計 - Google Patents
追尾式レーザ干渉計の絶対距離推定方法及び追尾式レーザ干渉計 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007309677A JP2007309677A JP2006136487A JP2006136487A JP2007309677A JP 2007309677 A JP2007309677 A JP 2007309677A JP 2006136487 A JP2006136487 A JP 2006136487A JP 2006136487 A JP2006136487 A JP 2006136487A JP 2007309677 A JP2007309677 A JP 2007309677A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- absolute distance
- laser interferometer
- light
- measurement
- distance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S17/00—Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
- G01S17/74—Systems using reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. IFF, i.e. identification of friend or foe
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S17/00—Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
- G01S17/02—Systems using the reflection of electromagnetic waves other than radio waves
- G01S17/06—Systems determining position data of a target
- G01S17/42—Simultaneous measurement of distance and other co-ordinates
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S17/00—Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
- G01S17/66—Tracking systems using electromagnetic waves other than radio waves
Abstract
【解決手段】入射された測定光Aを入射方向に反射して戻すための再帰的反射体70と、測定光Aと戻り光Bの光軸が平行となるように測定光Aの出射方向を回動する2軸回転機構40を有し、装置と再帰的反射体70の距離の増減に応じて測定値を出力する追尾式レーザ干渉計と、再帰的反射体70との間の絶対距離Lを推定する際に、再帰的反射体70からの戻り光Bの所定位置からのずれ量dを所定値d2とした時の2軸回転機構40の角度位置変化量θ2により、装置と再帰的反射体70の絶対距離Lを演算により推定する。
【選択図】図7
Description
20…レーザ干渉測長機
30…レーザ追尾光学系
32…半透過鏡
34…光スポット位置検出素子
40…2軸回転機構
50…コントローラ
60…測定対象
70…再帰的反射体
A…測定光
B…戻り光
d…偏差出力信号
Claims (4)
- 入射された測定光を入射方向に反射して戻すための再帰的反射体と、測定光と戻り光の光軸が平行となるように測定光の出射方向を回動する2軸回転機構を有し、装置と再帰的反射体の距離の増減に応じて測定値を出力する追尾式レーザ干渉計と、再帰的反射体との間の絶対距離を推定する際に、
再帰的反射体からの戻り光の所定位置からのずれ量を所定値とした時の2軸回転機構の角度位置変化量により、装置と再帰的反射体の絶対距離を演算により推定することを特徴とする追尾式レーザ干渉計の絶対距離推定方法。 - 入射された測定光を入射方向に反射して戻すための再帰的反射体と、測定光と戻り光の光軸が平行となるように測定光の出射方向を回動する2軸回転機構を有し、装置と再帰的反射体の距離の増減に応じて測定値を出力する追尾式レーザ干渉計において、
再帰的反射体からの戻り光の所定位置からのずれ量に応じた偏差信号を出力する位置検出手段と、
2軸回転機構の角度位置変化量を出力する角度位置検出手段と、
再帰的反射体からの戻り光の所定位置からのずれ量を所定値とした時の角度位置変化量により、装置と再帰的反射体の絶対距離を演算により推定する手段を備え、
推定された絶対距離を測定値に代入するようにされていることを特徴とする追尾式レーザ干渉計。 - 前記絶対距離の推定、及び、測定値への代入が、自動的に実施されることを特徴とする請求項2に記載の追尾式レーザ干渉計。
- 前記測定光の間欠的な遮断による絶対距離の不連続を検出して、絶対距離の設定が自動的に実施されることを特徴とする請求項2に記載の追尾式レーザ干渉計。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006136487A JP2007309677A (ja) | 2006-05-16 | 2006-05-16 | 追尾式レーザ干渉計の絶対距離推定方法及び追尾式レーザ干渉計 |
US11/745,749 US7538888B2 (en) | 2006-05-16 | 2007-05-08 | Method for estimating absolute distance of tracking laser interferometer and tracking laser interferometer |
EP07009632.6A EP1857772B1 (en) | 2006-05-16 | 2007-05-14 | Method for estimating absolute distance of tracking laser interferometer and tracking laser interferometer |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006136487A JP2007309677A (ja) | 2006-05-16 | 2006-05-16 | 追尾式レーザ干渉計の絶対距離推定方法及び追尾式レーザ干渉計 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007309677A true JP2007309677A (ja) | 2007-11-29 |
JP2007309677A5 JP2007309677A5 (ja) | 2008-05-08 |
Family
ID=38529688
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006136487A Pending JP2007309677A (ja) | 2006-05-16 | 2006-05-16 | 追尾式レーザ干渉計の絶対距離推定方法及び追尾式レーザ干渉計 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7538888B2 (ja) |
EP (1) | EP1857772B1 (ja) |
JP (1) | JP2007309677A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2103898A1 (en) | 2008-03-19 | 2009-09-23 | Mitutoyo Corporation | Method for estimating distance between tracking type laser interferometer and target, and tracking type laser interferometer |
JP2012013427A (ja) * | 2010-06-29 | 2012-01-19 | Mitsutoyo Corp | 追尾式レーザ干渉計および追尾式レーザ干渉計の制御方法 |
JP2012145362A (ja) * | 2011-01-07 | 2012-08-02 | Mitsutoyo Corp | レーザ干渉測長装置の絶対距離測定方法、及びレーザ干渉測長装置 |
CN106970390A (zh) * | 2017-04-17 | 2017-07-21 | 三峡大学 | 一种测定地下可伸缩中空机构伸缩位移的方法及装置 |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1703300A1 (de) * | 2005-03-17 | 2006-09-20 | Leica Geosystems AG | Verfahren und System zur Bestimmung von Position und Orientierung eines Objekts |
JP5193490B2 (ja) | 2007-04-20 | 2013-05-08 | 株式会社ミツトヨ | 追尾式レーザ干渉計による測定方法 |
JP5702524B2 (ja) * | 2009-02-17 | 2015-04-15 | 株式会社ミツトヨ | 追尾式レーザ干渉計 |
JP5438988B2 (ja) | 2009-02-17 | 2014-03-12 | 株式会社ミツトヨ | 測定システムおよび干渉計 |
JP6539485B2 (ja) * | 2015-04-21 | 2019-07-03 | 株式会社ミツトヨ | 追尾式レーザ干渉計を用いた測定システム、及びその復帰方法 |
JP2017019072A (ja) * | 2015-07-14 | 2017-01-26 | トヨタ自動車株式会社 | 位置計測システム |
CN106443697A (zh) * | 2015-08-06 | 2017-02-22 | 信泰光学(深圳)有限公司 | 自走式装置及其环境测距装置 |
TWI595252B (zh) | 2016-05-10 | 2017-08-11 | 財團法人工業技術研究院 | 測距裝置及其測距方法 |
US10099774B2 (en) * | 2016-10-12 | 2018-10-16 | The Boeing Company | System and method for correcting wing twist of an aircraft |
CN108801161B (zh) * | 2017-04-28 | 2021-06-29 | 北京小米移动软件有限公司 | 测量系统、方法及装置、可读存储介质 |
CN109029393B (zh) * | 2018-07-13 | 2023-12-12 | 中国能源建设集团安徽省电力设计院有限公司 | 用于山区密林中辅助定线的光电仪 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63231286A (ja) * | 1987-03-19 | 1988-09-27 | Hitachi Kiden Kogyo Ltd | レ−ザビ−ムを用いた移動体の追尾距離測定装置 |
JPH05302813A (ja) * | 1991-08-12 | 1993-11-16 | Yokogawa Hewlett Packard Ltd | レーザ測長器 |
JPH07128009A (ja) * | 1993-11-04 | 1995-05-19 | Mitsutoyo Corp | 光学式位置測定装置 |
JPH08159710A (ja) * | 1994-12-06 | 1996-06-21 | Okuma Mach Works Ltd | 光干渉式位置計測装置 |
JPH10170217A (ja) * | 1996-12-12 | 1998-06-26 | Mitsubishi Electric Corp | 測長装置 |
JPH10512965A (ja) * | 1995-11-15 | 1998-12-08 | ライカ アクチエンゲゼルシャフト | 絶対距離のための電気光学的な測定装置 |
JP2004527751A (ja) * | 2001-04-10 | 2004-09-09 | ファロ テクノロジーズ インコーポレーテッド | チョッパ安定化絶対距離計 |
WO2006039682A1 (en) * | 2004-09-30 | 2006-04-13 | Faro Technologies, Inc. | Absolute distance meter that measures a moving retroreflector |
WO2006039820A1 (de) * | 2004-10-13 | 2006-04-20 | Leica Geosystems Ag | Verfahren und messgerät zur messung eines absolutdistanzwertes |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4621926A (en) * | 1985-04-30 | 1986-11-11 | Lasercon Corporation | Interferometer system for controlling non-rectilinear movement of an object |
US4714339B2 (en) * | 1986-02-28 | 2000-05-23 | Us Commerce | Three and five axis laser tracking systems |
US4790651A (en) * | 1987-09-30 | 1988-12-13 | Chesapeake Laser Systems, Inc. | Tracking laser interferometer |
JP2001165616A (ja) * | 1999-12-10 | 2001-06-22 | Nec Corp | レーザ測長装置及びレーザ測長方法 |
US6563569B2 (en) * | 2000-09-25 | 2003-05-13 | Agency Of Industrial Science & Technology, Ministry Of International Trade & Industry | Laser tracking interferometric length measuring instrument and method of measuring length and coordinates using the same |
WO2003019231A1 (en) * | 2001-08-22 | 2003-03-06 | Automated Precision Inc. | Six dimensional laser tracking system and method |
EP1750085B1 (en) * | 2005-07-26 | 2013-07-31 | Mitutoyo Corporation | Laser tracking interferometer |
-
2006
- 2006-05-16 JP JP2006136487A patent/JP2007309677A/ja active Pending
-
2007
- 2007-05-08 US US11/745,749 patent/US7538888B2/en active Active
- 2007-05-14 EP EP07009632.6A patent/EP1857772B1/en active Active
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63231286A (ja) * | 1987-03-19 | 1988-09-27 | Hitachi Kiden Kogyo Ltd | レ−ザビ−ムを用いた移動体の追尾距離測定装置 |
JPH05302813A (ja) * | 1991-08-12 | 1993-11-16 | Yokogawa Hewlett Packard Ltd | レーザ測長器 |
JPH07128009A (ja) * | 1993-11-04 | 1995-05-19 | Mitsutoyo Corp | 光学式位置測定装置 |
JPH08159710A (ja) * | 1994-12-06 | 1996-06-21 | Okuma Mach Works Ltd | 光干渉式位置計測装置 |
JPH10512965A (ja) * | 1995-11-15 | 1998-12-08 | ライカ アクチエンゲゼルシャフト | 絶対距離のための電気光学的な測定装置 |
JPH10170217A (ja) * | 1996-12-12 | 1998-06-26 | Mitsubishi Electric Corp | 測長装置 |
JP2004527751A (ja) * | 2001-04-10 | 2004-09-09 | ファロ テクノロジーズ インコーポレーテッド | チョッパ安定化絶対距離計 |
WO2006039682A1 (en) * | 2004-09-30 | 2006-04-13 | Faro Technologies, Inc. | Absolute distance meter that measures a moving retroreflector |
WO2006039820A1 (de) * | 2004-10-13 | 2006-04-20 | Leica Geosystems Ag | Verfahren und messgerät zur messung eines absolutdistanzwertes |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2103898A1 (en) | 2008-03-19 | 2009-09-23 | Mitutoyo Corporation | Method for estimating distance between tracking type laser interferometer and target, and tracking type laser interferometer |
JP2009229066A (ja) * | 2008-03-19 | 2009-10-08 | Mitsutoyo Corp | 追尾式レーザ干渉計と標的間距離の推定方法及び追尾式レーザ干渉計 |
US7920273B2 (en) | 2008-03-19 | 2011-04-05 | Mitutoyo Corporation | Method for estimating distance between tracking type laser interferometer and target, and tracking type laser interferometer |
JP2012013427A (ja) * | 2010-06-29 | 2012-01-19 | Mitsutoyo Corp | 追尾式レーザ干渉計および追尾式レーザ干渉計の制御方法 |
JP2012145362A (ja) * | 2011-01-07 | 2012-08-02 | Mitsutoyo Corp | レーザ干渉測長装置の絶対距離測定方法、及びレーザ干渉測長装置 |
CN106970390A (zh) * | 2017-04-17 | 2017-07-21 | 三峡大学 | 一种测定地下可伸缩中空机构伸缩位移的方法及装置 |
CN106970390B (zh) * | 2017-04-17 | 2020-10-02 | 三峡大学 | 一种测定地下可伸缩中空机构伸缩位移的方法及装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1857772A1 (en) | 2007-11-21 |
EP1857772B1 (en) | 2013-10-09 |
US20070268494A1 (en) | 2007-11-22 |
US7538888B2 (en) | 2009-05-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2007309677A (ja) | 追尾式レーザ干渉計の絶対距離推定方法及び追尾式レーザ干渉計 | |
CN111226090B (zh) | 具有改进的横滚角测量的激光跟踪器 | |
JP5438988B2 (ja) | 測定システムおよび干渉計 | |
US20110069322A1 (en) | Laser pointing mechanism | |
JP6539485B2 (ja) | 追尾式レーザ干渉計を用いた測定システム、及びその復帰方法 | |
JPH0455242B2 (ja) | ||
Wang et al. | Robot end-effector sensing with position sensitive detector and inertial sensors | |
JP2010190634A (ja) | 追尾式レーザ干渉計 | |
JP5193490B2 (ja) | 追尾式レーザ干渉計による測定方法 | |
JP2010054429A (ja) | レーザトラッカ | |
JP2011208992A (ja) | 空間座標測定システムおよび空間座標測定方法 | |
JP2009229066A (ja) | 追尾式レーザ干渉計と標的間距離の推定方法及び追尾式レーザ干渉計 | |
EP2299234B1 (en) | Tracking type laser gauge interferometer | |
JP6104708B2 (ja) | 追尾式レーザ干渉計 | |
Nguyen et al. | High precision laser tracker system for contactless position measurement | |
Nguyen et al. | Communication of the multi laser tracker system used as position feedback sensor | |
US8612174B2 (en) | Method and apparatus for dynamic 6DOF measurement | |
JP5452391B2 (ja) | 追尾式レーザ干渉計および追尾式レーザ干渉計の制御方法 | |
JP2012145550A (ja) | 追尾式レーザ干渉測定装置の標的間絶対距離計測方法および追尾式レーザ干渉測定装置 | |
KR102065870B1 (ko) | 레이저 측정용 재귀반사경의 시야확보 방법 및 그 방법을 수행하는 시스템 | |
JP7050342B2 (ja) | 光コム座標測定装置、自動追尾装置及び自動追尾光コム測位装置、並びに光コム座標測定装置の校正方法 | |
JP2014224790A (ja) | 追尾式レーザー装置 | |
JP2012103227A (ja) | レーザートラッカー | |
JP2012112919A (ja) | レーザートラッカー | |
JPH03223687A (ja) | 位置測定方法及びその装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080321 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090327 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110715 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110809 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111006 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120619 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120820 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130212 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130415 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20131217 |