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Die vorliegende Erfindung betrifft eine optische Längenmesseinrichtung zur Messung der Relativlage zweier Objekte, die mindestens entlang einer Messrichtung relativ beweglich zueinander angeordnet sind.
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Es sind optische Positionsmesseinrichtungen bekannt, die auf einem sog. Zentralprojektions-Abtastprinzip basieren. Hierzu sei etwa auf die
DE 10 2006 021 017 A1 verwiesen. Sind derartige Positionsmesseinrichtungen als im Auflicht betriebene Längenmesseinrichtungen ausgebildet, so umfassen diese eine Maßverkörperung, die mit einem der beiden Objekte verbunden ist und eine sich in Messrichtung erstreckende reflektierende Messteilung aufweist. Ferner ist eine mit dem anderen Objekt verbundene Abtasteinheit zur optischen Abtastung der Messteilung vorgesehen. Die Abtasteinheit umfasst eine punktförmige, optisch wirksame Lichtquelle sowie mindestens eine in einer Detektionsebene angeordnete, optisch wirksame Detektoranordnung, so dass von der Lichtquelle divergent emittierte Strahlenbündel in Richtung der Messteilung propagieren, dort eine Rückreflexion in Richtung der Abtasteinheit erfahren und dann die Detektoranordnung beaufschlagen. Auf der Detektoranordnung resultiert ein verschiebungsabhängig moduliertes Muster, das über die Detektoranordnung in ein oder mehrere positionsabhängige Abtastsignale umwandelbar ist.
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In der Abtasteinheit einer solchen Positionsmesseinrichtung kann hierbei eine reale Lichtquelle bzw. Primärlichtquelle vorgesehen sein, wobei zwischen der realen Lichtquelle und der Messteilung optisch wirksame Elemente angeordnet sind, die sicherstellen, dass die optisch wirksamen Entfernungen zwischen einer resultierenden virtuellen, optisch wirksamen Lichtquelle und der Messteilung einerseits und der Detektoranordnung und der Messteilung andererseits identisch sind. Analog können auch geeignete optisch wirksame Elemente im Abtaststrahlengang zwischen der Messteilung und der realen Detektoranordnung vorgesehen werden, um die gewünschte Abstandsgleichheit sicherzustellen. Hierzu sei ausdrücklich auf die aus der
DE 10 2006 021 017 A1 bekannten Maßnahmen hingewiesen. Außer derartigen optisch wirksamen Elementen sind keine weiteren optischen Elemente in den Abtaststrahlengängen angeordnet.
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Optische Längenmesseinrichtungen dieses Typs weisen bestimmte Vorteile wegen ihres einfachen und kompakten Aufbaus auf. Als Nachteil derselbigen ist jedoch anzuführen, dass diese Längenmesseinrichtungen relativ empfindlich gegenüber eventuellen Nickkippungen der Abtasteinheit sind; in diesem Fall resultieren verfälschte Abtastsignale. Unter Nickkippung sei hierbei eine Verkippung der Abtasteinheit um eine Nickachse verstanden, die in der Messteilungsebene oder in einer hierzu parallelen Ebene senkrecht zur Messrichtung orientiert ist.
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Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine optische Längenmesseinrichtung zu schaffen, die auf einem Zentralprojektions-Abtastprinzip basiert und möglichst unempfindlich gegenüber Nickkippungen der Abtasteinheit ist.
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Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine optische Längenmesseinrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst.
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Vorteilhafte Ausführungen der erfindungsgemäßen optischen Längenmesseinrichtung ergeben sich aus den Maßnahmen, die in den abhängigen Ansprüchen aufgeführt sind.
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Bei der erfindungsgemäßen optischen Längenmesseinrichtung ist nunmehr vorgesehen, die Abtasteinheit in Messrichtung längsgeführt anzuordnen und über einen Ankopplungspunkt mit einem Mitnehmer gelenkig zu koppeln, welcher mit dem anderen Objekt verbunden ist. Die Lage des Ankopplungspunkts ist hierbei derart gewählt, dass im Fall einer Nickkippung der Abtasteinheit um den Ankopplungspunkt keine fehlerhaften Abtastsignale resultieren.
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Die erfindungsgemäße optische Längenmesseinrichtung zur Messung der Relativlage zweier Objekte, die mindestens entlang einer Messrichtung beweglich zueinander angeordnet sind, besteht aus
- – einer Maßverkörperung, die mit einem der beiden Objekte verbunden ist und eine sich in Messrichtung erstreckende reflektierende Messteilung umfasst und
- – einer mit dem anderen Objekt verbundenen Abtasteinheit zur optischen Abtastung der Messteilung, wobei die Abtasteinheit eine punktförmige, optisch wirksame Lichtquelle sowie mindestens eine optisch wirksame Detektoranordnung umfasst, so dass von der optisch wirksamen Lichtquelle divergent emittierte Strahlenbündel in Richtung der Messteilung propagieren, dort eine Rückreflexion in Richtung der Abtasteinheit erfahren und dann die mindestens eine optisch wirksame Detektoranordnung beaufschlagen, so dass auf der Detektoranordnung ein verschiebungsabhängig moduliertes Muster resultiert, das über die optisch wirksame Detektoranordnung in ein oder mehrere positionsabhängige Abtastsignale umwandelbar ist.
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Die Abtasteinheit ist in Messrichtung längsgeführt und über einen Ankopplungspunkt mit einem Mitnehmer gelenkig gekoppelt, welcher mit dem anderen Objekt verbunden ist. Die Lage des Ankopplungspunkts ist derart gewählt, dass im Fall einer Nickkippung der Abtasteinheit um den Ankopplungspunkt keine fehlerhaften Abtastsignale resultieren.
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Mit Vorteil ist der Ankopplungspunkt im Abstand d oberhalb der Ebene mit der optisch wirksamen Detektoranordnung auf einer Geraden gewählt, die senkrecht auf der Messteilung steht, wobei sich der Abstand d gemäß d = l·a/(a + 2) ergibt, mit
- d
- := Abstand des Ankopplungspunktes oberhalb der Ebene der optisch wirksamen Detektoranordnung,
- l
- := Abstand der Ebene der optisch wirksamen Detektoranordnung von der Messteilung,
- a
- := Verhältnis zwischen dem Abstand der optisch wirksamen Lichtquelle von der Ebene mit der optisch wirksamen Detektoranordnung und dem Abstand der Ebene mit der optisch wirksamen Detektoranordnung von der Messteilung.
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Hierbei kann a = 0 gewählt werden und der Ankopplungspunkt in der Ebene der optisch wirksamen Detektoranordnung liegen.
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Es kann auch a ≠ 0 gewählt werden und der Ankopplungspunkt oberhalb der Ebene der optisch wirksamen Detektoranordnung liegen.
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Es ist möglich, dass die Abtasteinheit in einem Abtastwagen angeordnet ist, der über Führungselemente an der Maßverkörperung und/oder an einem Gehäuse der Maßverkörperung in Messrichtung längsgeführt ist.
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Ferner kann der Abtastwagen über eine Kupplung am Ankopplungspunkt gelenkig mit dem Mitnehmer gekoppelt sein.
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Desweiteren kann vorgesehen sein, dass in der Abtasteinheit im Strahlengang der Strahlenbündel lediglich optisch wirksame Elemente angeordnet sind,
- – welche die optisch wirksamen Abstände zwischen der realen Lichtquelle und der Messteilung gezielt einstellen, und/oder
- – welche die optisch wirksamen Abstände zwischen der realen Detektoranordnung und der Messteilung gezielt einstellen.
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Als besonders vorteilhaft ist bezüglich der erfindungsgemäßen Lösung zu erwähnen, dass nunmehr bei eventuellen Nickkippungen der Abtasteinheit um den Ankopplungspunkt keine fehlerhaften Abtastsignale mehr resultieren.
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Weitere Einzelheiten und Vorteile der vorliegenden Erfindung seien anhand der nachfolgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen der erfindungsgemäßen optischen Längenmesseinrichtung in Verbindung mit den Figuren erläutert.
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Es zeigt
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1 eine stark schematisierte Darstellung eines Ausführungsbeispiels der erfindungsgemäßen optischen Längenmesseinrichtung;
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2 eine erste Darstellung zur Erläuterung relevanter Geometriegrößen in der erfindungsgemäßen optischen Längenmesseinrichtung;
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3 eine zweite Darstellung zur Erläuterung relevanter Geometriegrößen in der erfindungsgemäßen optischen Längenmesseinrichtung;
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4 eine dritte Darstellung zur Erläuterung relevanter Geometriegrößen in der erfindungsgemäßen optischen Längenmesseinrichtung;
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5a, 5b je eine stark schematisierte Darstellung eines weiteren Ausführungsbeispiels der erfindungsgemäßen optischen Längenmesseinrichtung;
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6a, 6b je eine stark schematisierte Darstellung eines weiteren Ausführungsbeispiels der erfindungsgemäßen optischen Längenmesseinrichtung.
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In 1 ist ein Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen optischen Längenmesseinrichtung in stark schematisierter Form dargestellt. Die Längenmesseinrichtung dient dazu, die Relativlage zweier zueinander beweglich angeordneter Objekte zu erfassen. Die beiden – nicht in der Figur dargestellten – Objekte sind hierbei zumindest entlang der angegebenen Messrichtung x gegeneinander verschiebbar angeordnet. Es kann sich bei diesen Objekten beispielsweise um gegeneinander bewegliche Maschinenteile handeln. Über die erfindungsgemäße optische Längenmesseinrichtung werden einer übergeordneten Maschinensteuerung Informationen zur Relativposition dieser Maschinenteile zur Verfügung gestellt.
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Zur dargestellten optischen Längenmesseinrichtung gehört einerseits eine mit einem der beiden Objekte verbundene Maßverkörperung 10, bestehend aus einem Trägerkörper 11, auf dem eine sich in Messrichtung x erstreckende reflektierende Messteilung 12 angeordnet ist. Die Messteilung 12 besteht in bekannter Art und Weise aus in Messrichtung x angeordneten Teilungsbereichen mit unterschiedlicher Reflektivität.
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Andererseits umfasst die erfindungsgemäße optische Längenmesseinrichtung eine Abtasteinheit 20 mit einer punktförmigen Lichtquelle 21 und mindestens einer Detektoranordnung 22. Im vorliegenden Ausführungsbeispiel sind die Lichtquelle 21 und die Detektoranordnung in einer Ebene angeordnet. Über die Abtasteinheit 20 wird die Messteilung 12 optisch abgetastet, wobei die Abtastung auf dem eingangs erläuterten Zentralprojektionsprinzip basiert. Hierzu ist vorgesehen, dass von der Lichtquelle 21 divergent emittierte Strahlenbündel in Richtung der Messteilung 12 propagieren. Dort erfahren diese Strahlenbündel eine Rückreflexion in Richtung der Abtasteinheit 20 und beaufschlagen dann in der Abtasteinheit die Detektoranordnung 22. Auf der Detektoranordnung 22 resultiert ein verschiebungsabhängig moduliertes Muster, das über die Detektoranordnung 22 in ein oder mehrere positionsabhängige Abtastsignale umwandelbar ist.
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Im dargestellten Ausführungsbeispiel sind im Strahlengang von der punktförmigen Lichtquelle zur Messteilung bzw. im Strahlengang von der Messteilung zur Detektoranordnung keine weiteren optischen Elemente angeordnet. Es ist jedoch möglich, dass die Lichtquelle oder aber die Detektoranordnung aus konstruktionsbedingten Gründen nicht in einer gemeinsamen Ebene platzierbar sind oder bewusst nicht in einer gemeinsamen Ebene angeordnet werden sollen. In diesen Fällen können in den Strahlengängen optisch wirksame Elemente angeordnet werden, die jeweils eine bestimmte optische Wirkung auf den Abtaststrahlengang ausüben. Diese optische Wirkung kann darin bestehen, dass der Abstand zwischen der optisch wirksamen Lichtquelle und der Messteilung einerseits und der Abstand zwischen der Messteilung und der Detektionsebene andererseits als identisch eingestellt wird; ferner kann die optische Wirkung derartiger Elemente dergestalt sein, dass der Abstand zwischen der Lichtquelle und der Messteilung einerseits und der Abstand zwischen der Messteilung und der Detektoranordnung andererseits gezielt unterschiedlich eingestellt wird. Im Hinblick auf diese weitere Ausführungsmöglichkeit der Abtasteinheit der erfindungsgemäßen optischen Längenmesseinrichtung sei deshalb im folgenden stets die Rede von einer optisch wirksamen Lichtquelle bzw. von einer optisch wirksamen Detektoranordnung. Unter diesen Begriffen seien die verschiedenen Möglichkeiten für eine Zentralprojektion-Abtastung subsumiert, d. h. das Anordnen einer realen punktförmigen Lichtquelle in einer Ebene mit der Detektoranordnung, ohne dass weitere optisch wirksame Elemente benötigt würden als auch das Anordnen der realen punktförmigen Lichtquelle bzw. einer punktförmigen Primärlichtquelle an einem anderen Ort und das Vorsehen geeigneter optisch wirksamer Elemente im Strahlengang; analoges gilt auch für die verschiedenen Möglichkeiten zur Platzierung der realen Detektoranordnung. Im Hinblick auf die letztgenannten Ausführungsmöglichkeiten und die geeignete Anordnung zusätzlicher optisch wirksamer Elemente in den Strahlengängen sei im übrigen ausdrücklich auf die
DE 10 2006 021 017 A1 verwiesen.
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Wie aus 1 ersichtlich, ist die Abtasteinheit 20 im dargestellten Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen optischen Längenmesseinrichtung in einem Abtastwagen 30 angeordnet. Der Abtastwagen 30 und damit auch die dann angeordnete Abtasteinheit 20 ist über Führungselemente 31a, 31b an der Maßverkörperung 10 in Messrichtung x längsgeführt. Die Führungselemente 31a, 31b können hierzu beispielsweise als Gleitelemente in Form kugelgelagerter Walzen oder Rollen ausgebildet sein. Alternativ bzw. ergänzend zur Längsführung an der Maßverkörperung 10 kann auch vorgesehen werden, dass der Abtastwagen 30 über weitere Führungselemente an einem – nicht dargestellten – Gehäuse der Maßverkörperung 10 längsgeführt wird.
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Die Abtasteinheit 20 ist über einen Ankopplungspunkt 50 mit einem Mitnehmer 41 mittels einer Kupplung gelenkig gekoppelt. Der Mitnehmer 41 wiederum ist mit einem Montagefuß 40 verbunden, der am anderen der beiden zueinander beweglichen Objekte angeordnet ist. Über eine derartige gelenkige Ankopplung des Abtastwagens 30 bzw. der Abtasteinheit 20 im Ankopplungspunkt 50 wird im dargestellten Ausführungsbeispiel eine erzwungene Drehachse, respektive Nickachse ausgebildet. Um diese Nickachse resultiert z. B. eine Verdrehung der Abtasteinheit 20 gegenüber der Maßverkörperung 10, wenn etwa bei einem an der Maßverkörperung 10 längsgeführten Abtastwagen 30 der Trägerkörper 11 nicht völlig eben ist. Der Abtastwagen 30 vollzieht auf diese Art und Weise somit eventuelle Unebenheiten auf der Seiten der Maßverkörperung 10 nach.
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Maßgeblich für die erfindungsgemäße optische Längenmesseinrichtung ist die Lage des Ankopplungspunktes 50 bzw. die daraus resultierende Lage der Nickachse der Abtasteinheit 20. Diese Lage ist für das genutzte Zentralprojektions-Abtastprinzip geeignet zu wählen, damit im Fall einer Nickkippung der Abtasteinheit 30 um den Ankopplungspunkt 50 bzw. um die durch diesen Punkt verlaufende Nickachse keine fehlerbehafteten Abtastsignale resultieren. Nachfolgend sei erläutert, wie beim genutzten Zentralprojektions-Abtastprinzip die Lage des Ankopplungspunktes erfindungsgemäß gewählt wird.
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Hierzu sei zunächst auf 2 verwiesen, die maßgebliche geometrische Größen beim verwendeten Zentralprojektions-Abtastprinzip veranschaulicht. Über die divergent abstrahlende punktförmige, optisch wirksame Lichtquelle 21 wird die im Abstand u angeordnete periodische Messteilung 12 beleuchtet. Die Messteilung 12 besitzt im vorliegenden Beispiel die Periodizität T1. Auf diese Art und Weise resultiert in der Detektionsebene der optisch wirksamen Detektoranordnung 22, die im Abstand v von der Messteilung 12 beabstandet angeordnet ist, somit ein periodisches Muster mit der vergrößerten Periodizität T2. Über den bekannten Strahlensatz ergibt sich, dass für die Periodizität T2 gelten muss: T2 = T1 (u + v)/u (Gl. 1)
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Die optisch wirksame Detektoranordnung 22 muss demzufolge auf die vergrößerte Periodizität T2 hin ausgelegt werden. Dies kann z. B. im Fall der Verwendung eines sog. strukturierten Fotodetektors dadurch erfolgen, dass innerhalb einer Periode T2 des damit abgetasteten Musters dann vier Detektorelemente eines – nicht dargestellten – periodischen Detektorarrays angeordnet werden. Auf diese Art und Weise resultieren vier um jeweils 90° phasenversetzte Abtastsignale.
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Gleichung (1) ist im übrigen nicht auf die Abbildung streng periodischer Strukturen beschränkt. So kann T1 auch die (Bit-)Breite einer Codierung auf der Maßverkörperung bezeichnen, wenn die Messteilung als aperiodische Codestruktur ausgebildet ist. Im Abstand v von der Messteilung weist diese Codierung dann die Breite T2 auf und muss mit einer gewissen Anzahl von Detektorelementen adäquater Breite auf Seiten der optisch wirksamen Detektoranordnung abgetastet werden.
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In 3 sind nunmehr zwei Zustände einer Zentralprojektions-Abtastanordnung dargestellt. Mit durchgezogenen Linien ist der ordnungsgemäße Zustand veranschaulicht, bei dem die Detektoranordnung 22 nicht um eine Nickachse N verkippt ist; mit gestrichelten Linien ist derjenige Zustand dargestellt, bei dem die Detektoranordnung 22 um den Nickwinkel Φ um eine Nickachse N verkippt ist. Die Nickachse N verläuft in 3 durch die punktförmige, optisch wirksame Lichtquelle 21 und steht senkrecht auf der Zeichenebene.
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Mit l wird in 3 ferner der Abstand zwischen der optisch wirksamen Detektoranordnung 22 und der Messteilung 12 bezeichnet; a·l gibt den Abstand der optisch wirksamen Lichtquelle 21 von der optisch wirksamen Detektoranordnung 22 an.
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Für die in den 2 und 3 dargestellten Verhältnisse gelten demzufolge die nachfolgenden Beziehungen: u = a·l + l = l·(a + 1) (Gl. 2.1) v = l (Gl. 2.2) (u + v)/u = (a + 2)/(a + 1) (G. 2.3)
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Mit Gl. 1 folgt somit T2 = T1·(a + 2)/(a + 1) (Gl. 2.4)
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Im verkippten Zustand trifft der von der optisch wirksamen Lichtquelle 21 emittierte Strahl (strichliniert) die Messteilung 12 wie in 3 veranschaulicht gegenüber dem Auftreffpunkt im unverkippten Zustand um die Versatzdistanz ΔM = ϕ·(a·l + l) = ϕ·l·(a + 1) (Gl. 3.1) versetzt.
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In der Ebene der optisch wirksamen Detektoranordnung 22 beträgt die Versatzdistanz ΔD im verkippten Zustand ΔD = ϕ·l·2 (Gl. 3.2).
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Die Beziehungen 3.1 und 3.2 gelten näherungsweise für kleine Nickwinkel ϕ.
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Betrachtet man auf dieser Grundlage die Phasenbeziehungen bzw. die Phasendifferenzen zwischen unverkipptem und verkipptem Zustand an der Messteilung 12 und in der Ebene der optisch wirksamen Detektoranordnung 22, so ergibt sich dafür. ΔPhase_Maßstab = ϕ·l·(a + 1)/T1 (Gl. 4.1) ΔPhase_Detektor = ϕ·2·l/T2 =
= ϕ·2·l·(a + 1)/((a + 2)·T1) (Gl. 4.2)
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Die Gleichungen (4.1) und (4.2) resultieren hierbei aus der Umrechnung der Versatzdistanzen ΔM und ΔD gemäß den Gleichungen (3.1), (3.2) in Phasenwerte.
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Soll zwischen dem verkippten und dem unverkippten Zustand kein fehlerhaftes Abtastsignal resultieren, so muss die Phasendifferenz zwischen den ΔPhase_Maßstab und ΔPhase_Detektor gleich Null sein. Dies gilt, wenn die Bedingung 2/(a + 2) = 1 (Gl. 5) erfüllt ist, d. h. für a = 0.
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Anschaulich bedeutet dies, dass die Nickachse N und damit der Ankopplungspunkt möglichst in der Ebene der optisch wirksamen Detektoranordnung 22 zum Liegen kommen sollte. Dies ist dann der Fall, wenn die optisch wirksame Lichtquelle in der Ebene der optisch wirksamen Detektoranordnung 22 platziert wird. Dann wirken sich bei einer derartigen Abtastung eventuelle Nickkippungen um den Ankopplungspunkt nicht fehlerhaft auf die Abtastsignale aus.
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Verläuft die Nickachse jedoch nicht durch die optisch wirksame Lichtquelle 21, sondern liegt in einem beliebigen Abstand d oberhalb der Ebene der optisch wirksamen Detektoranordnung 22 auf einer Senkrechten durch die Ebene der optisch wirksamen Detektoranordnung 22 und die Messteilungsebene, so resultieren veränderte Verhältnisse. Diese seien nachfolgend betrachtet und anhand der 4 erläutert. Die Figur zeigt für diesen Fall wiederum die Verhältnisse im unverkippten und im verkippten Zustand um die Nickachse N.
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Aufgrund der Verkippung um die Nickachse N trifft der von der optisch wirksamen Lichtquelle 21 emittierte Strahl (strichliniert) die Messteilung 12 wie in 4 dargestellt gegenüber dem Auftreffpunkt im unverkippten Zustand um die Versatzdistanz ΔM = ϕ·(d + l) (Gl. 6.1) versetzt.
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In der Ebene der optisch wirksamen Detektoranordnung 22 beträgt die Versatzdistanz im verkippten Zustand wiederum ΔD = ϕ·l·2 (Gl. 6.2).
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Die Beziehungen 6.1 und 6.2 gelten wieder näherungsweise für kleine Nickwinkel ϕ.
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Betrachtet man auf jetzt erneut die Phasenbeziehungen bzw. die Phasendifferenzen zwischen unverkipptem und verkipptem Zustand an der Messteilung 12 und in der Detektionsebene, so ergibt sich dafür: ΔPhase_Maßstab = ϕ·(d + l)/T1 (Gl. 7.1) ΔPhase_Detektor = ϕ·2·l/T2 =
= ϕ·2·l·(a + 1)/((a + 2)·T1) (Gl. 7.1)
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Wenn zwischen dem verkippten und dem unverkippten Zustand kein fehlerhaftes Abtastsignal resultieren soll, so muss die Phasendifferenz zwischen diesen Größen wiederum gleich Null sein. Dies gilt, wenn die Bedingung l = d·(a + 2)/a (Gl. 8.1) erfüllt ist, bzw. für d = l·a/(a + 2) (Gl. 8.2), mit
- d
- := Abstand des Ankopplungspunktes oberhalb der Ebene der optisch wirksamen Detektoranordnung,
- l
- := Abstand der Ebene der optisch wirksamen Detektoranordnung von der Messteilung,
- a
- := Verhältnis zwischen dem Abstand der optisch wirksamen Lichtquelle von der Ebene mit der optisch wirksamen Detektoranordnung und dem Abstand der Ebene mit der optisch wirksamen Detektoranordnung von der Messteilung.
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Die Gleichung 8.2 gibt demzufolge den Abstand d an, in dem die Nickachse N bzw. der gesuchte Ankopplungspunkt der Abtasteinheit bei der gewählten Zentralprojektions-Abtastung oberhalb der Ebene der optisch wirksamen Detektoranordnung 22 auf einer Senkrechten durch die Ebene der optisch wirksamen Detektoranordnung 22 und die Messteilungsebene gewählt werden muss.
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Hierbei besitzt die Gleichung 8.2 auch Gültigkeit für den bereits oben diskutierten Fall, d. h. wenn die optisch wirksame Lichtquelle 21 in der Ebene der optisch wirksamen Detektoranordnung 22 angeordnet wird und demzufolge a = 0 gilt. Für diese Variante gilt dann auch d = 0, d. h. die Nickachse verläuft in diesem Fall durch die optisch wirksame Lichtquelle 21. In den 5a und 5b ist eine derartige Ausführungsform der erfindungsgemäßen optischen Längenmesseinrichtung in verschiedenen Ansichten dargestellt.
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Der andere Fall, d. h. die optisch wirksame Lichtquelle 21 ist im Abstand d ≠ 0 oberhalb der Ebene der optisch wirksamen Detektoranordnung 22 auf einer Senkrechten durch die Ebene der optisch wirksamen Detektoranordnung 22 und die Messteilungsebene angeordnet, ist in einem weiteren Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Positionsmesseinrichtung in den 6a, 6b schematisiert dargestellt.
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Neben den erläuterten Ausführungsbeispielen gibt es im Rahmen der vorliegenden Erfindung selbstverständlich noch weitere Ausführungsmöglichkeiten.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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- DE 102006021017 A1 [0002, 0003, 0029]
