JP2012222157A5 - - Google Patents

Claims (5)

1. 金属積層膜が形成された複数の基板を収納する処理室と、
   前記処理室を内部に構成する反応管と、
   前記処理室にセレン元素含有ガス又は硫黄元素含有ガスを導入するガス供給管と、
   前記処理室内の雰囲気を排気する排気管と、
   前記反応管を囲うように設けられた加熱部と、を具備し、
   前記反応管の基材は、金属材料で形成される基板処理装置。
2. 請求項１において、
   前記反応管の前記処理室側の表面のうち、少なくとも前記セレン元素含有ガス又は硫黄元素含有ガスに曝される表面は、前記金属材料よりも前記セレン元素含ガスに対する腐食耐性、又は、前記硫黄元素含有ガスに対する腐食耐性が高い材料により形成されるコーティング膜を有する基板処理装置。
3. 請求項２において、
   前記コーティング膜は、セラミックスを主成分とするコーティング膜、或いは、炭素を主成分とするコーティング膜である基板処理装置。
4. 請求項２において、
   前記コーティング膜は、ポーラス状の膜である基板処理装置。
5. 金属積層膜が形成された複数の基板を金属材料でその基材が構成された反応管の内部に構成される処理室に収納する搬入工程と、
   前記処理室を加熱すると共に前記処理室にセレン元素含有ガス又は硫黄元素含有ガスを導入し、前記複数の基板をセレン化、又は、硫化する処理工程と、
   前記処理室内のセレン元素含有ガス又は硫黄元素含有ガスを排気した後、前記複数の基板を搬出する搬出工程と、を有する太陽電池の製造方法。