JP2012222052A - 液浸露光装置の管の洗浄方法及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 液浸領域に液浸液を安定して供給できる状態を迅速に確立する。
【解決手段】 液浸露光装置の液浸液の供給管を洗浄する方法は、前記供給管を通して洗浄液の流量を増加させる増加工程と前記流量を減少させる減少工程とを含むサイクルを含み、前記液浸露光装置を設置若しくはメンテナンスした後、又は、少なくとも1枚の基板の露光を終えた後であって、前記液浸露光装置を用いて新たな基板の第1ショット領域を露光する前に、前記サイクルを複数回実行する。
【選択図】 図5
Description
図1は、ステップ・アンド・スキャン方式のArF液浸露光装置の概略構成を示したものである。液浸露光装置は、照明系1と、レチクルステージ(原版ステージ)22と、投影光学系31と、ウエハステージ(基板ステージ)53と、液浸領域100に液浸液を供給する供給管42と、液浸領域100から液浸液を回収する回収管43とを有する。パターンが形成されたレチクル(原版)21を照明する照明系1は、光源部と照明光学系とを有する。光源部は、光源11とビーム整形光学系12を含む。光源11は、本実施形態では、波長約193nmのArFエキシマレーザーである。レチクル21は、レチクルステージ22に支持され、駆動される。レチクル21とウエハ51とは光学的に共役の関係に配置される。
第2実施形態を図4、図5及び図6の6Cを用いて説明する。図4に示したように、供給部101から矢印311の向きに液浸液が流れ、液浸液が供給管42、供給口111を通してステージ61に供給される。また、供給部101から矢印312の向きに液浸液が流れ、液浸液が回収管43、回収口112を通してステージ61に供給される。それぞれの流量は、流量FC1である。ステージ61に供給された液浸液は、回収口62から矢印313の向きに流れ、回収部131に回収される。その後、時刻TC1になると、図5に示したように、制御部201によってバルブ121が開き、矢印314の向きに液浸液が流れ、液浸液はすべて回収部102に回収される。このとき、供給管42に供給される液浸液の流量はゼロになる。同時に、制御部202によってバルブ122が開き、矢印315、316の向きに液浸液が流れ、液浸液はすべて回収部102に回収される。このとき、回収管43に供給される液浸液の流量はゼロになる。
第3実施形態を図6の6Dと図7、図8を用いて説明する。図7に示したように、液浸液が供給部101から矢印311の向きに流れ、供給管42に供給される。また、供給部101から矢印312の向きに液浸液が流れて、液浸液が回収管43に供給される。このとき、回収管43に流れる液浸液の流量は、流量FD1である。これらの液浸液は、供給管42および供給口111を介して、また回収管43および回収口112を介して、ステージ61に流れる。ステージ61上の液は、回収口62から矢印313の向きに流れ回収部131に回収される。
本発明の一実施形態のデバイス(半導体デバイス、液晶表示デバイス等)の製造方法について説明する。半導体デバイスは、ウエハ(基板)に集積回路を作る前工程と、前工程で作られたウエハ上の集積回路チップを製品として完成させる後工程を経ることにより製造される。前工程は、前述の液浸露光装置を使用して感光剤が塗布されたウエハを露光する工程と、前記工程で露光されたウエハを現像する工程を含む。後工程は、アッセンブリ工程(ダイシング、ボンディング)と、パッケージング工程(封入)を含む。液晶表示デバイスは、透明電極を形成する工程を経ることにより製造される。透明電極を形成する工程は、透明導電膜が蒸着されたガラス基板に感光剤を塗布する工程と、前述の露光装置を使用して感光剤が塗布されたガラス基板を露光する工程と、ガラス基板を現像する工程を含む。本実施形態のデバイス製造方法によれば、従来よりも高品位のデバイスを製造することができる。
Claims (9)
- 原版のパターンを基板に投影する投影光学系と、液体を前記投影光学系の最終面と前記基板との間隙に供給する供給管とを有し、前記間隙に前記液体を満たした状態で前記基板を露光する液浸露光装置の前記供給管を洗浄する方法であって、
前記供給管を通して洗浄液の流量を増加させる増加工程と前記流量を減少させる減少工程とを含むサイクルを含み、
前記液浸露光装置を設置若しくはメンテナンスした後、又は、少なくとも1枚の基板の露光を終えた後であって、前記液浸露光装置を用いて新たな基板の第1ショット領域を露光する前に、前記サイクルを複数回実行する、ことを特徴とする方法。 - 前記液体を前記間隙から回収する回収管をさらに有し、
前記回収管を通して洗浄液の流量を増加させる増加工程と前記流量を減少させる減少工程とを含む第2サイクルをさらに含み、
前記液浸露光装置を設置若しくはメンテナンスした後、又は、少なくとも1枚の基板の露光を終えた後であって、前記液浸露光装置を用いて新たな基板の第1ショット領域を露光する前に、前記第2サイクルを複数回実行する、ことを特徴とする請求項1に記載の方法。 - 前記サイクルおよび前記第2サイクルは、前記流量を前記増加工程で増加された流量に維持する工程と前記流量を前記減少工程で減少された流量に維持する工程とをさらに含む、ことを特徴とする請求項2に記載の方法。
- 前記サイクルおよび前記第2サイクルの前記増加工程では、第1流量から前記第1流量より大きな第2流量に前記流量を増加させ、前記減少工程では、前記第2流量から前記第1流量に前記流量を減少させる、ことを特徴とする請求項2又は請求項3記載の方法。
- 前記サイクルおよび前記第2サイクルの前記増加工程では、ゼロから第2流量に前記流量を増加させ、前記減少工程では、前記第2流量からゼロに前記流量を減少させる、ことを特徴とする請求項2又は請求項3記載の方法。
- 原版のパターンを基板に投影する投影光学系と、液体を前記投影光学系の最終面と前記基板との間隙に供給する供給管とを有し、前記間隙に前記液体を満たした状態で前記基板を露光する液浸露光装置の前記供給管を洗浄する方法であって、
前記供給管を通して第1方向に流す洗浄液の流量を増加させる第1増加工程と、前記第1方向に流す流量を減少させる第1減少工程と、前記洗浄液を流す方向を前記第1方向から該第1方向と反対方向の第2方向に切り替えて前記第2方向に流す流量を増加させる第2増加工程と、前記第2方向に流す流量を減少させる第2減少工程と、を含むサイクルを含み、
前記液浸露光装置を設置若しくはメンテナンスした後、又は、少なくとも1枚の基板の露光を終えた後であって、前記液浸露光装置を用いて新たな基板の第1ショット領域を露光する前に、前記サイクルを複数回実行する、ことを特徴とする方法。 - 前記液体を前記間隙から回収する回収管をさらに有し、
前記回収管の第1方向に流す洗浄液の流量を増加させる第1増加工程と、前記第1方向に流す流量を減少させる第1減少工程と、前記洗浄液を流す方向を前記第1方向から該第1方向と反対方向の第2方向に切り替えて前記第2方向に流す流量を増加させる第2増加工程と、前記第2方向に流す流量を減少させる第2減少工程と、を含む第2サイクルをさらに含み、
前記液浸露光装置を設置若しくはメンテナンスした後、又は、少なくとも1枚の基板の露光を終えた後であって、前記液浸露光装置を用いて新たな基板の第1ショット領域を露光する前に、前記第2サイクルを複数回実行する、ことを特徴とする請求項6に記載の方法。 - 前記サイクルおよび前記第2サイクルは、前記流量を前記第1増加工程で増加された流量に維持する工程と前記流量を前記第2増加工程で増加された流量に維持する工程とをさらに含む、ことを特徴とする請求項7に記載の方法。
- デバイスを製造する方法であって、
請求項1乃至請求項8のいずれか1項に記載の方法によって前記供給管が洗浄された液浸露光装置を用いて基板を露光する工程と、
前記工程で露光された基板を現像する工程と、
を含む方法。
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