JP2012216656A - 太陽電池の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】太陽電池の製造方法は、第1導電型の半導体基板1の主表面および側面に第1導電型とは異なる導電型の第2導電型の不純物を拡散して拡散層2を形成する第1工程と、前記半導体基板の前記主表面の周辺部に保護領域を設ける第2工程と、前記保護領域の内側の前記半導体基板の前記主表面をエッチングしてテクスチャ構造を形成する第3工程と、第1工程乃至第3工程を経た前記半導体基板を前記主表面が同一方向を向くように複数積み重ね、その側面をエッチングして前記拡散層を除去する第4工程とを備える。
【選択図】図1−2
Description
図1−1は本発明の実施の形態にかかる太陽電池セル構成を説明するための受光面側から見た平面図である。図1−2は実施の形態1にかかる太陽電池セルの図1−1における線分A−Aにおける要部断面図である。
実施の形態2では、スクリーン印刷法以外での突起部3の作製法について説明する。実施の形態2にかかる太陽電池の製造方法は、実施の形態1にかかる太陽電池の製造方法と突起部3の作製方法以外を除いては同様であるので、その部分に関しては実施の形態1の説明を参照することとして詳細な説明は省略する。
2 第2導電型層
3 突起部
4 絶縁層(パッシベーション層)
5 第1電極
6 裏面側電極
7 第2導電型層(低濃度ドープ層)
8 第2電極
10 保護膜
11 ブラストマスク
A 要部断面指示線
Claims (6)
- 第1導電型の半導体基板の主表面および側面に第1導電型とは異なる導電型の第2導電型の不純物を拡散して拡散層を形成する第1工程と、
前記半導体基板の前記主表面の周辺部に保護領域を設ける第2工程と、
前記保護領域の内側の前記半導体基板の前記主表面をエッチングしてテクスチャ構造を形成する第3工程と、
第1工程乃至第3工程を経た前記半導体基板を前記主表面が同一方向を向くように複数積み重ね、その側面をエッチングして前記拡散層を除去する第4工程と、
を備えることを特徴とする太陽電池の製造方法。 - 第3工程において、前記保護領域には、前記テクスチャ構造よりも前記同一方向の高さが高い突起部が形成される
ことを特徴とする請求項1に記載の太陽電池の製造方法。 - 第4工程において、1つの前記半導体基板の前記突起部が別の前記半導体基板の裏面に接するように積み重ねられた状態でエッチングする
ことを特徴とする請求項2に記載の太陽電池の製造方法。 - 第2工程の後、第3工程の前に、前記拡散層の上に形成されている保護膜にブラスト加工により穴をあける工程を
さらに含むことを特徴とする請求項1、2または3に記載の太陽電池の製造方法。 - 第2工程において、ブラストマスクで囲むことにより保護領域を設ける
ことを特徴とする請求項4に記載の太陽電池の製造方法。 - 第3工程のエッチングはアルカリ水溶液によるウェットエッチングである
ことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の太陽電池の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2011080458A JP5452535B2 (ja) | 2011-03-31 | 2011-03-31 | 太陽電池の製造方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN111095571A (zh) * | 2017-10-04 | 2020-05-01 | 株式会社钟化 | 太阳能电池的制造方法、太阳能电池以及太阳能电池模块 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS54141595A (en) * | 1978-04-24 | 1979-11-02 | Atlantic Richfield Co | Method of fabricating solar battery |
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JPS54141595A (en) * | 1978-04-24 | 1979-11-02 | Atlantic Richfield Co | Method of fabricating solar battery |
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CN111095571A (zh) * | 2017-10-04 | 2020-05-01 | 株式会社钟化 | 太阳能电池的制造方法、太阳能电池以及太阳能电池模块 |
CN111095571B (zh) * | 2017-10-04 | 2023-05-12 | 株式会社钟化 | 太阳能电池的制造方法、太阳能电池以及太阳能电池模块 |
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