JP6207414B2 - 光起電力素子およびその製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明にかかる光起電力素子の実施の形態を示す断面図、図2(a)および(b)はそれぞれ受光面、裏面からみた平面図である。ただし、図2(a)および(b)では構造をわかりやすくするため、図1にある電極およびパッシベーション膜は省略している。図3は、この光起電力素子を裏面側から見た図(接続電極付き)である。本実施の形態1の光起電力素子は、受光面となる第1主面1A、裏面となる第2主面1Bをもつ高抵抗の第1導電型半導体基板において、第2主面1B上に基板と異なる導電型を有する第2導電型半導体領域(エミッタ領域)としてのp型ドープ領域2(2a〜2c)、基板と同じ導電型を有する第1導電型半導体領域(コレクタ層)としてのn型ドープ領域3(3a〜3c)を複数備える、裏面コンタクト型太陽電池である。上記第2導電型半導体領域・第1導電型半導体領域(エミッタ・コレクタ層)を一単位セル構造として、その単位セル領域Ra間にノンドープ領域(ノンドープの半導体領域)4を備える。そしてさらにこのノンドープ領域4の直上の第1主面1Aに基板と異なる導電型を有する第2導電型高濃度領域としてのp+型ドープ領域5を備え、その直上には光を遮断する遮光層7を備える。この遮光層7を備えることで、光照射による半導体基板中での導電率の増加によるリーク電流の増加を抑制し、分離された太陽電池素子同士で、開放電圧を各々高く維持することが可能となる。第1主面1A上のその他の領域には基板と同じ導電型を有する第1導電型低濃度領域としてを備える。この構造により、太陽電池素子で生成されたキャリアが容易に移動しやすくなり、直列抵抗の増加を抑制することが可能である。
W0>W2>W1 (式)
W0 遮光層の幅
W1 ノンドープ領域の幅
W2 p+型ドープ領域の幅
ここではパッシベーション膜8としてSiO2/SiN積層膜を用いているが、これは他のパッシベーション膜、例えばSiNやSiO2単体、Al2O3、非晶質シリコン、微結晶シリコンなどの材料でもよい。
図8(a)および(b)は、実施の形態2のそれぞれ受光面および裏面側からみた光起電力素子の平面図である。本実施の形態では、平面構造において、p型ドープ領域2a〜2c、n型ドープ領域3a〜3cがくし形に配置されている。他は、実施の形態1と同様であるため、ここでは説明を省略する。同一部位には同一符号を付した。
図9(a)および(b)は、実施の形態3のそれぞれ受光面および裏面側からみた光起電力素子の平面図である。本実施の形態では、平面構造において、2次元の周期構造を有し、隣接する素子間のドープ領域は互いに逆導電型で構成し、n/pと必ず異なるように配置されている。2a〜2cは、p型ドープ領域2a〜2c、3a〜3cはn型ドープ領域3a〜3cである。他は、実施の形態1と同様であるため、ここでは説明を省略する。同一部位には同一符号を付した。
Claims (11)
- 受光面となる第1主面と、裏面となる第2主面とを備えた第1導電型を有する結晶系の半導体基板の、前記第2主面上に第2導電型半導体領域と第1導電型半導体領域が互いに隣接して形成され、前記第2主面における前記半導体基板と前記第2導電型半導体領域との間のpn接合でホール電子対を生成する素子構造を有する裏面コンタクト型太陽電池において、
前記第2主面上に形成された互いに隣接した複数の前記第2導電型半導体領域と前記第1導電型半導体領域を単位構造として、前記単位構造同士の間にノンドープ領域を有し、前記第1主面上において、前記ノンドープ領域の直上全体を覆い遮光する遮光層を備え、
前記遮光層の幅が前記ノンドープ領域の幅よりも広いことを特徴とする光起電力素子。 - 受光面となる第1主面と、裏面となる第2主面とを備えた第1導電型を有する結晶系の半導体基板の、前記第2主面上に第2導電型半導体領域と第1導電型半導体領域が互いに隣接して形成され、前記第2主面における前記半導体基板と前記第2導電型半導体領域との間のpn接合でホール電子対を生成する素子構造を有する裏面コンタクト型太陽電池において、
前記第2主面上に形成された互いに隣接した複数の前記第2導電型半導体領域と前記第1導電型半導体領域を単位構造として、前記単位構造同士の間にノンドープ領域を有し、前記第1主面上において、前記ノンドープ領域の直上に前記結晶系の半導体基板と異なる導電型の第2導電型の高濃度半導体領域を備え、前記第2導電型の高濃度半導体領域以外の第1主面上に前記結晶系の半導体基板と同じ導電型である第1導電型の低濃度半導体領域を備え、さらに前記第2導電型の高濃度半導体領域上であって、前記ノンドープ領域の直上全体を覆い遮光する遮光層を有することを特徴とする光起電力素子。 - 前記遮光層の幅が前記ノンドープ領域の幅よりも広いことを特徴とする請求項2に記載の光起電力素子。
- 前記第1主面上において遮光層の直下に形成された第2導電型の高濃度半導体領域が、第1主面上に形成された第1導電型領域の不純物濃度よりも高く、かつ深さはより深くまで不純物が拡散されていることを特徴とする請求項2または3に記載の光起電力素子。
- 前記単位構造同士においてノンドープ領域を挟んで互いに異なる導電型を有するように配置されたことを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の光起電力素子。
- 前記遮光層は、第1主面上に形成された遮光層直下に位置するノンドープ領域に対して光を遮蔽し、かつ光を散乱させて、前記ノンドープ領域で囲まれた他の領域に光を入射する機能を有することを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の光起電力素子。
- 受光面となる第1主面と裏面となる第2主面とを備えた第1導電型を有する結晶系の半導体基板の第2の面にノンドープ領域を残し、前記ノンドープ領域で囲まれた領域内に、前記第2主面側から第2導電型半導体領域と第1導電型半導体領域が互いに隣接して形成され、前記第2主面における前記半導体基板と前記第2導電型半導体領域との間のpn接合でホール電子対を生成する素子領域を形成する工程と、
第1主面上であって、前記ノンドープ領域の直上全体を覆い遮光する遮光層を形成する工程とを有し、
前記遮光層は、前記ノンドープ領域の幅よりも広いことを特徴とする光起電力素子の製造方法。 - 受光面となる第1主面と裏面となる第2主面とを備えた第1導電型を有する結晶系の半導体基板の第2の面にノンドープ領域を残し、前記ノンドープ領域で囲まれた領域内に、前記第2主面側から第2導電型半導体領域と第1導電型半導体領域が互いに隣接して形成され、前記第2主面における前記半導体基板と前記第2導電型半導体領域との間のpn接合でホール電子対を生成する素子領域を形成する工程と、
第1主面上であって、前記ノンドープ領域の直上全体を覆い遮光する遮光層を形成する工程と、前記遮光層を形成する工程に先立ち、前記結晶系の半導体基板と異なる導電型の第2導電型の高濃度半導体領域を形成する工程およびその他の第1主面上に前記結晶系の半導体基板と同じ導電型である第1導電型の低濃度半導体領域を形成する工程を有することを特徴とする光起電力素子の製造方法。 - 前記素子領域を形成する工程は、
前記第2主面に、第1導電型の不純物を含有する第1のペースト材料のパターンを塗布する工程と、
前記第2主面に、前記第1のペースト材料のパターンに隣接するように第2導電型の不純物を含有する第2のペースト材料のパターンを塗布する工程と、
前記第1および第2のペースト材料から、前記第1および第2導電型の不純物を拡散させ、前記第1および第2導電型半導体領域を形成する拡散工程を含むことを特徴とする請求項8に記載の光起電力素子の製造方法。 - 前記第2導電型の高濃度半導体領域を形成する工程は、
前記第1主面に、第2導電型の不純物を含有する第3のペースト材料のパターンを塗布する工程と、
前記第3のペースト材料から、前記第2導電型の不純物を拡散させ、前記第2導電型の高濃度半導体領域を形成する拡散工程を含むことを特徴とする請求項8または9に記載の光起電力素子の製造方法。 - 前記拡散工程は、
前記第1導電型の不純物を含有するガス雰囲気中で加熱する工程であり、
前記第3のペースト材料から、前記第2導電型の不純物を拡散させ、前記第2導電型の高濃度半導体領域を形成するとともに、前記第3のペースト材料の存在しない領域に前記第1導電型の不純物を拡散させ、第1導電型の低濃度半導体領域を形成する工程であることを特徴とする請求項10に記載の光起電力素子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014017658A JP6207414B2 (ja) | 2014-01-31 | 2014-01-31 | 光起電力素子およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014017658A JP6207414B2 (ja) | 2014-01-31 | 2014-01-31 | 光起電力素子およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015146335A JP2015146335A (ja) | 2015-08-13 |
JP6207414B2 true JP6207414B2 (ja) | 2017-10-04 |
Family
ID=53890462
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014017658A Expired - Fee Related JP6207414B2 (ja) | 2014-01-31 | 2014-01-31 | 光起電力素子およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6207414B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108767024B (zh) * | 2018-08-15 | 2024-01-26 | 浙江晶科能源有限公司 | 一种光伏组件 |
JP7346050B2 (ja) * | 2019-03-26 | 2023-09-19 | パナソニックホールディングス株式会社 | 太陽電池セルおよび太陽電池モジュール |
CN112490299B (zh) * | 2020-11-27 | 2023-11-03 | 浙江晶科能源有限公司 | 光伏电池及其制备方法 |
CN114464689B (zh) * | 2021-09-27 | 2024-02-27 | 浙江晶科能源有限公司 | 光伏电池及其制备方法、光伏组件 |
CN117153914A (zh) | 2022-06-30 | 2023-12-01 | 浙江晶科能源有限公司 | 光伏电池及其制造方法、光伏组件 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11312814A (ja) * | 1998-04-28 | 1999-11-09 | Toyota Motor Corp | 太陽電池素子 |
JP2006173381A (ja) * | 2004-12-16 | 2006-06-29 | Toyota Motor Corp | 光起電力素子 |
JP2008091697A (ja) * | 2006-10-03 | 2008-04-17 | Toyota Motor Corp | 光起電力素子 |
US20120255603A1 (en) * | 2011-04-08 | 2012-10-11 | Young-June Yu | Photovoltaic structures and methods of fabricating them |
-
2014
- 2014-01-31 JP JP2014017658A patent/JP6207414B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015146335A (ja) | 2015-08-13 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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