JP2012202799A5 - - Google Patents

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DE102014202053A1 (de) * 2014-02-05 2015-08-06 Robert Bosch Gmbh Sensorvorrichtung und Verfahren zum Betreiben einer Sensorvorrichtung mit mindestens einer seismischen Masse
JP6819216B2 (ja) 2016-10-26 2021-01-27 セイコーエプソン株式会社 ジャイロセンサー、ジャイロセンサーの製造方法、電子機器および移動体
CN106525017B (zh) * 2016-11-09 2020-07-03 沈丹 抗环境振动影响的微机械陀螺仪

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006242730A (ja) * 2005-03-03 2006-09-14 Toyota Motor Corp センサ及び物理量検出装置
JP2007071677A (ja) * 2005-09-07 2007-03-22 Hitachi Ltd コンバインドセンサとその製造方法
JP5105968B2 (ja) * 2007-06-22 2012-12-26 株式会社日立製作所 角速度検出装置
JP4609558B2 (ja) * 2008-09-02 2011-01-12 株式会社デンソー 角速度センサ
JP4968298B2 (ja) * 2009-09-04 2012-07-04 株式会社デンソー 振動型角速度センサ

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