JP2012197479A - 鉄系材料の表面硬化装置および方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】アンモニアを含むガスを導入し、このアンモニアを含むガスをプラズマで分解して窒素系ラジカルおよび/または窒素系イオンを含むガスを発生させる大気圧プラズマ分解装置1と、
大気圧下の加熱空間24内に鉄系材料3を存在させ、上記窒素系ラジカルおよび/または窒素系イオンを含むガスを導入し、上記鉄系材料3に作用させてその表面に窒化硬化層を形成させる加熱処理炉2とを備えた。
これにより、高出力のグロー放電によってアンモニア分解率を向上させ、短時間で厚い窒化硬化層を得ることが可能になり、従来に比べて処理時間の短縮を図ることができるうえ、アンモニアガスの使用量を削減し、炉壁の損傷も大幅に軽減できる。
【選択図】図1
Description
大気圧下の加熱空間内に鉄系材料を存在させ、上記窒素系ラジカルおよび/または窒素系イオンを含むガスを導入し、上記鉄系材料に作用させてその表面に窒化硬化層を形成させる加熱処理炉とを備えたことを要旨とする。
大気圧下の加熱空間内に鉄系材料を存在させ、上記窒素系ラジカルおよび/または窒素系イオンを含むガスを導入し、上記鉄系材料に作用させてその表面に窒化硬化層を形成させる加熱処理工程とを備えたことを要旨とする。
このように、高出力のプラズマ放電でアンモニア分解率を向上させ、生成した大量の窒素系ラジカルを利用することによって、短時間で厚い窒化硬化層を得ることが可能になり、従来に比べて処理時間の短縮を図ることができるうえ、低温での窒化硬化層の形成が可能となる。
また、鉄系材料が直接放電にさらされることなく、イオン窒化処理のようにスパッタリングで表面が荒らされることがないので、面粗度をほとんど変化させず、綺麗な表面状態を保った処理が可能となる。
また、鉄系材料が直接放電にさらされないので、イオン窒化のような放電ムラによる窒化硬化層の不均一化という問題が起こらない。よって、鉄系材料が複雑な形状であっても、大気圧雰囲気で加熱処理炉内へ供給した窒素系ラジカルおよび/または窒素系イオンがその隅々まで作用し、満遍なく均一な窒化硬化層を形成することができる。
また、大気圧雰囲気での加熱処理炉による温度制御が可能なので、従来のイオン窒化やポストプラズマ窒化のように、放電による温度の上昇や真空下で行うことによるワーク温度のバラつきが無く、炉内を均一な温度で処理して均一な窒化層を形成することが可能である。
また、プラズマ処理によるアンモニアガスの分解率を向上させ、アンモニアの消費量を削減することができる。
また、アンモニアガス分解の大部分をプラズマでまかない、炉壁を触媒とした分解が少なくなるため、炉壁の損傷を大幅に軽減し、メンテナンス周期を大幅に延長して、生産性向上に大きく貢献することとなる。
本発明の方法において、上記加熱処理工程は、加熱空間内に露呈する炉内構造物による触媒効果により、プラズマ分解工程において未分解のアンモニアガスを分解させる場合には、
プラズマによっても分解しきれなかったアンモニアガスを炉壁の触媒効果で分解させることにより、アンモニアガスの利用効率をさらに向上させ、雰囲気ガスの消費量を削減できる。
フッ化層を形成させて鉄系材料表面の酸化膜をフッ化膜に置き換えることにより、窒素系ラジカルによる窒化効率を促進し、低温での窒化硬化層の形成が可能になった。
また、フッ化層を形成させて鉄系材料表面の酸化膜をフッ化膜に置き換えることにより、窒化硬化層を形成させる時の効率を促進でき、かつ通常の窒化処理が困難な鋼種に窒化硬化層を形成することができ、窒化硬化層による表面硬化を適用できる鋼種が広くなる。
鉄系材料3が加熱された大気圧の加熱空間内に上記窒素系ラジカルおよび/または窒素系イオンを含むガスを導入し、上記鉄系材料3に作用させてその表面に窒化硬化層を形成させる加熱処理炉2とを備えている。
(鉄系材料)
オーステナイト系ステンレス SUH35 φ7mm丸棒
(フッ化処理)
処理ガス NF3 1L/min
処理温度 280℃
処理時間 1.5時間
(プラズマ分解処理)
処理ガス:窒素6L/min+アンモニア0.6L/min
プラズマ条件:10kHz−10kV−1.3kW
電流密度:17mA/cm2
(加熱処理)
処理温度:500℃
処理時間:1時間
(鉄系材料)
実施例と同様のオーステナイト系エンジンバルブを用いた。
(フッ化処理)
実施例と同様の条件でフッ化処理を行った。
(ガス窒化処理)
雰囲気ガス:窒素6L/min+アンモニア0.6L/min
処理温度:500℃
処理時間:1時間
このように、高出力のプラズマ放電でアンモニア分解率を向上させ、生成した大量の窒素系ラジカルを利用することによって、短時間で厚い窒化硬化層を得ることが可能になり、従来に比べて処理時間の短縮を図ることができるうえ、低温での窒化硬化層の形成が可能となる。
また、鉄系材料3が直接放電にさらされることなく、イオン窒化処理のようにスパッタリングで表面が荒らされることがないので、面粗度をほとんど変化させず、綺麗な表面状態を保った処理が可能となる。
また、鉄系材料3が直接放電にさらされないので、イオン窒化のような放電ムラによる窒化硬化層の不均一化という問題が起こらない。よって、鉄系材料3が複雑な形状であっても、大気圧雰囲気で加熱処理炉2内へ供給した窒素系ラジカルおよび/または窒素系イオンがその隅々まで作用し、満遍なく均一な窒化硬化層を形成することができる。
また、大気圧雰囲気での加熱処理炉2による温度制御が可能なので、従来のイオン窒化やポストプラズマ窒化のように、放電による温度の上昇や真空下で行うことによるワーク温度のバラつきが無く、炉内を均一な温度で処理して均一な窒化層を形成することが可能である。
また、プラズマ処理によるアンモニアガスの分解率を向上させ、アンモニアの消費量を削減することができる。
また、アンモニアガス分解の大部分をプラズマでまかない、炉壁を触媒とした分解が少なくなるため、炉壁の損傷を大幅に軽減し、メンテナンス周期を大幅に延長して、生産性向上に大きく貢献することとなる。
円筒形のプラズマ空間9においてアンモニアガスを分解することにより、放電面積が大きくなってアンモニアガスの分解効率が高くなり、アンモニアガスの利用効率をさらに向上させ、雰囲気ガスの消費量を削減できる。
プラズマによっても分解しきれなかったアンモニアガスを炉壁の触媒効果で分解させることにより、アンモニアガスの利用効率をさらに向上させ、雰囲気ガスの消費量を削減できる。
フッ化層を形成させて鉄系材料3表面の酸化膜をフッ化膜に置き換えることにより、窒素系ラジカルによる窒化効率を促進し、低温での窒化硬化層の形成が可能になった。
また、フッ化層を形成させて鉄系材料3表面の酸化膜をフッ化膜に置き換えることにより、窒化硬化層を形成させる時の効率を促進でき、かつ通常の窒化処理が困難な鋼種に窒化硬化層を形成することができ、窒化硬化層による表面硬化を適用できる鋼種が広くなる。
2 加熱処理炉
3 鉄系材料
4 処理ガス導入路
5 雰囲気ガス排出路
6 誘電体層
7 中心電極
8 外殻電極
9 プラズマ空間
10 ガス導入孔
11 蓋板
12 ガス流路
13 流路板
14 ガス排出孔
15 蓋板
16 流路板
17 ガス流路
18 フランジ
19 雰囲気ガス導入路
20 排ガス排出路
21 攪拌ファン
22 治具
23 炉体
24 加熱空間
Claims (5)
- アンモニアを含むガスを導入し、このアンモニアを含むガスをプラズマで分解して窒素系ラジカルおよび/または窒素系イオンを含むガスを発生させる大気圧プラズマ分解装置と、
大気圧下の加熱空間内に鉄系材料を存在させ、上記窒素系ラジカルおよび/または窒素系イオンを含むガスを導入し、上記鉄系材料に作用させてその表面に窒化硬化層を形成させる加熱処理炉とを備えたことを特徴とする鉄系材料の表面硬化装置。 - 上記加熱処理炉は、加熱空間内に露呈する炉内構造物による触媒効果により、プラズマ分解工程において未分解のアンモニアガスを分解させる請求項1記載の表面硬化装置。
- アンモニアを含むガスを導入し、このアンモニアを含むガスをプラズマで分解して窒素系ラジカルおよび/または窒素系イオンを含むガスを発生させる大気圧プラズマ分解工程と、
大気圧下の加熱空間内に鉄系材料を存在させ、上記窒素系ラジカルおよび/または窒素系イオンを含むガスを導入し、上記鉄系材料に作用させてその表面に窒化硬化層を形成させる加熱処理工程とを備えたことを特徴とする鉄系材料の表面硬化方法。 - 上記加熱処理工程は、加熱空間内に露呈する炉内構造物による触媒効果により、プラズマ分解工程において未分解のアンモニアガスを分解させる請求項3記載の表面硬化方法。
- 上記鉄系材料は、あらかじめ表面にフッ化層を形成したものである請求項3または4記載の鉄系材料の表面硬化方法。
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