JPS6386857A - 金属部材のプラズマ表面処理方法 - Google Patents
金属部材のプラズマ表面処理方法Info
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Landscapes
- Solid-Phase Diffusion Into Metallic Material Surfaces (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の目的]
(産業上の利用分野)
本発明は、金属部材特に鉄系金一部材のプラズマ表面処
理方法に関する。
理方法に関する。
(従来の技術)
摺動部を有する装置、例えばコンプレッサー、エンノン
、レーザースキャナー、プリンター等において、摺動部
の摩耗は、装置の性能および寿命に大きな影譬を及ぼす
。従って、このような慴動部材は、硬く摩耗しにくい材
料で作らnる必要がある。そのような材料として高速度
鋼や超硬合金があるが、こnらは高価であり、かつ加工
も困難であることから、通常、鋳鉄等の安価で加工し易
い材料を用い、その表面を処理して硬化させたり潤滑性
gL股を形成することが行なわnている。
、レーザースキャナー、プリンター等において、摺動部
の摩耗は、装置の性能および寿命に大きな影譬を及ぼす
。従って、このような慴動部材は、硬く摩耗しにくい材
料で作らnる必要がある。そのような材料として高速度
鋼や超硬合金があるが、こnらは高価であり、かつ加工
も困難であることから、通常、鋳鉄等の安価で加工し易
い材料を用い、その表面を処理して硬化させたり潤滑性
gL股を形成することが行なわnている。
上記目的のための金属部材の表面処理方法として、焼き
いn1タフトライド、パーコ処理、二硫化モリブデン焼
きつけ、イオン窒化、浸炭等がある。しかし、焼きいn
、り7トライド、二硫化モリブデン焼きつけ、イオン窒
化は高温処理を伴なうため、部材の寸法変化が生ずると
いう欠点がある。また、・や−コ処理け、初期なじみを
よくするという効果はおるが、使用により徐々に潤滑機
能が低下するという欠点がある。また、浸炭は、シアン
を使用するため、処理液や排水の処理および管理がやっ
かいであるという難点がある。
いn1タフトライド、パーコ処理、二硫化モリブデン焼
きつけ、イオン窒化、浸炭等がある。しかし、焼きいn
、り7トライド、二硫化モリブデン焼きつけ、イオン窒
化は高温処理を伴なうため、部材の寸法変化が生ずると
いう欠点がある。また、・や−コ処理け、初期なじみを
よくするという効果はおるが、使用により徐々に潤滑機
能が低下するという欠点がある。また、浸炭は、シアン
を使用するため、処理液や排水の処理および管理がやっ
かいであるという難点がある。
一方、摺動部材に限らず、他の金蝙部材についても、防
i3のための表面処理として、タフトライド、イオン窒
化、メッキ等が行なわnでいるが、タフトライド、イオ
ン窒化は上述の欠点があり、またメッキは、犬がかりな
排水処理施設が必要であるという難点がある。
i3のための表面処理として、タフトライド、イオン窒
化、メッキ等が行なわnでいるが、タフトライド、イオ
ン窒化は上述の欠点があり、またメッキは、犬がかりな
排水処理施設が必要であるという難点がある。
(発明が解決しようとする問題点)
以上のように、従来の金属部材の表面処理方法は、いず
nも寸法変化を生じたり、排水処理がやっかいであった
りという欠点があり、こ扛らに代わる金属部材の表面処
理方法の開発が望まnていた。
nも寸法変化を生じたり、排水処理がやっかいであった
りという欠点があり、こ扛らに代わる金属部材の表面処
理方法の開発が望まnていた。
本発明は、以上のような事情の下になさnたものであり
、部材の寸法変化を伴なわず、かつ排水処qを必要とし
ない、金属部材に優nた耐摩耗性および耐食性を付与し
得る金属部材の表面処理方法を提供することを目的とす
る。
、部材の寸法変化を伴なわず、かつ排水処qを必要とし
ない、金属部材に優nた耐摩耗性および耐食性を付与し
得る金属部材の表面処理方法を提供することを目的とす
る。
[発明の構成コ
(問題点を解決するための手段)
本発明の金属部材のプラズマ表面処理方法は、金属部材
を、減圧下において、屋素原子または炭素原子のうちの
少なくともいず几か一方を含むガスのプラズマにさらす
ことにょジ、前記金属部材の表面近傍に窒素または炭素
のうちの少なくともいす牡か一方を高濃度に含有せしめ
ることを特徴とする。
を、減圧下において、屋素原子または炭素原子のうちの
少なくともいず几か一方を含むガスのプラズマにさらす
ことにょジ、前記金属部材の表面近傍に窒素または炭素
のうちの少なくともいす牡か一方を高濃度に含有せしめ
ることを特徴とする。
本発明の方法によりfラズマ表面処理さnる金属部材と
しては、鉄金主成分とする材料例えば戻索鋼、鋳鉄、ス
テンレス鋼からなるものが好ましい。金属部材tU成す
る材料は、不純物として、炭X、g素、二、ケル、クロ
ム、アルミニウム、モリブデン、パナノウム、タングス
テンの少なくともいずれか−ねを含■するものであるこ
とが好ましい。こnら不純物の存在により、プラズマ表
面処理の促進を図ることができる。
しては、鉄金主成分とする材料例えば戻索鋼、鋳鉄、ス
テンレス鋼からなるものが好ましい。金属部材tU成す
る材料は、不純物として、炭X、g素、二、ケル、クロ
ム、アルミニウム、モリブデン、パナノウム、タングス
テンの少なくともいずれか−ねを含■するものであるこ
とが好ましい。こnら不純物の存在により、プラズマ表
面処理の促進を図ることができる。
窒素原子を含むガスとしては、N2、NH3、N20、
NH5,またはこnらの混合物が挙げら才L、炭素原子
を含むガスとしてはCH4、C2H2、CF4またはこ
nらの混合物を挙げることができる。窒素原子と炭素原
子とを含有するガスとしては、上述の窒素原子を含むが
スと炭素原子を含むがスとの混合ガスの外に、N(CH
s)sがある。
NH5,またはこnらの混合物が挙げら才L、炭素原子
を含むガスとしてはCH4、C2H2、CF4またはこ
nらの混合物を挙げることができる。窒素原子と炭素原
子とを含有するガスとしては、上述の窒素原子を含むが
スと炭素原子を含むがスとの混合ガスの外に、N(CH
s)sがある。
プラズマ処理時の圧力は20 Torr以下が好ましく
、より好ましくは0.1〜10 Torrでろる。
、より好ましくは0.1〜10 Torrでろる。
プラズマは、高周波放電、マイクロ波放電および電子サ
イクロトロン共鳴により形成することが可能である。特
に、電子サイクロン共鳴を用いると、効率良い表面処理
が可能となる。
イクロトロン共鳴により形成することが可能である。特
に、電子サイクロン共鳴を用いると、効率良い表面処理
が可能となる。
(作用)
処理室内に所定の窒素および/または炭素を含むガス7
ft:4人した後、減圧下で高周波等の所定のエネルギ
ーを印加することにより、低温のf;Fズマが形成さ扛
る。所定の金属部材をこのプラズマにさらすことにより
、低温下で寸法変化を伴なうことなく表面処理を行なう
ことができる。
ft:4人した後、減圧下で高周波等の所定のエネルギ
ーを印加することにより、低温のf;Fズマが形成さ扛
る。所定の金属部材をこのプラズマにさらすことにより
、低温下で寸法変化を伴なうことなく表面処理を行なう
ことができる。
(実施例)
以下、本発明の種々の実施例を示し、本発明をより具体
的に説明する。
的に説明する。
実施例1
第1図に示す装置を用いて、被処理物のプラズマ表面処
理を行なった。この装置は、プラズマCVDに用いらn
る装置である。
理を行なった。この装置は、プラズマCVDに用いらn
る装置である。
まず、被処理物lを反応呈z内に設置した後、図示しな
いメカニカルプースメーポングおよび油回転ポンダによ
り、反応室内かlQ Torr程度となるように排気
した。次に、ガス導入口3からNHsとArの混合ガス
を導入した。導入さnfcガスは、拡散板4により均一
に混合さnた。
いメカニカルプースメーポングおよび油回転ポンダによ
り、反応室内かlQ Torr程度となるように排気
した。次に、ガス導入口3からNHsとArの混合ガス
を導入した。導入さnfcガスは、拡散板4により均一
に混合さnた。
この状態で高周波電源5から筒周g電力を反応室2に印
加すると、反応室2に電気的に接続さ扛た電極6と被処
理物1との間で高周波放電が生じ、プラズマが形成さn
−’tnによって被処理物1の表面が処理さnた。なお
、反応室2およびそnと電気的に接続さnた拡散板4お
よび電極6は絶縁物7により電気的に浮いた状態にある
。
加すると、反応室2に電気的に接続さ扛た電極6と被処
理物1との間で高周波放電が生じ、プラズマが形成さn
−’tnによって被処理物1の表面が処理さnた。なお
、反応室2およびそnと電気的に接続さnた拡散板4お
よび電極6は絶縁物7により電気的に浮いた状態にある
。
処理時の反応室内圧力は0.1〜10 Torr程度と
し、高周波電力300Wで30分間処理を行なり元。処
理に際しては被処理物1を予め加熱しておいても良いが
、寸法変形を起こさないためには加熱温度は300℃以
下が良い。
し、高周波電力300Wで30分間処理を行なり元。処
理に際しては被処理物1を予め加熱しておいても良いが
、寸法変形を起こさないためには加熱温度は300℃以
下が良い。
以上のような高周波放電によるプラズマ処理により、被
処理物1の!を摩耗性および耐食性は名しく向上した。
処理物1の!を摩耗性および耐食性は名しく向上した。
また、処理の結果、寸法変化が生ずることはなかった。
実施例2
第2図に示す装置を用いて、被処理物の2′シズマ表面
処理を行なった。この装置では、プラズマはマイクロ波
エネルギーにより形成さnる、実施例1で用いた茅1図
に示すプラズマCVD g置では、被処理物を一方の゛
電極として用いろため、装置の形状を被処理物の形状に
台せる必要がある。
処理を行なった。この装置では、プラズマはマイクロ波
エネルギーにより形成さnる、実施例1で用いた茅1図
に示すプラズマCVD g置では、被処理物を一方の゛
電極として用いろため、装置の形状を被処理物の形状に
台せる必要がある。
しかし、第2図に示す装置のようにマイクロ波を用いる
場合には電極を用いないため、装置の形状を自由に選択
できる。この場合には、ガスの流nと反応室の形状とに
応じてプラズマが延びるq)で、プラズマが延びた位置
に被処理物を1dけばよい。
場合には電極を用いないため、装置の形状を自由に選択
できる。この場合には、ガスの流nと反応室の形状とに
応じてプラズマが延びるq)で、プラズマが延びた位置
に被処理物を1dけばよい。
第2図に示す装置では、プラズマ形成室1ノに隣接して
反応室12が設けらn、反応室12内に被処理物13が
設置さ扛る。プラズマ形成室11には石英板14全介し
てマイクロ波導波管I5が接続さn、この導波管15全
通ってマイクロ波IM。
反応室12が設けらn、反応室12内に被処理物13が
設置さ扛る。プラズマ形成室11には石英板14全介し
てマイクロ波導波管I5が接続さn、この導波管15全
通ってマイクロ波IM。
力がプラズマ形成室11に印加さn1マイクロ波数亀が
生じ、プラズマが形成さnる。なお、fラズマ形成室1
ノにはガス導入口が、反応室12にはポンダ(図示せず
)に接続さnたガス排出口17がそnぞn設けら扛てい
る。
生じ、プラズマが形成さnる。なお、fラズマ形成室1
ノにはガス導入口が、反応室12にはポンダ(図示せず
)に接続さnたガス排出口17がそnぞn設けら扛てい
る。
以上説明した装置を用い、下記の条件で被処理物のプラ
ズマ表面処4を行なったところ、その耐皐耗性および耐
食性は看しく向上し、また寸法変化はなかった。
ズマ表面処4を行なったところ、その耐皐耗性および耐
食性は看しく向上し、また寸法変化はなかった。
マイクロ波周彼奴 2.45 GHz出 力
500 W使用ガス
N2 11005CC反応圧力
0,2 Torr実施別3 マイクロ波数也によるプラズマ形成方法と類似の方法と
して、電子サイクロトロン共鳴を利用する方法がある。
500 W使用ガス
N2 11005CC反応圧力
0,2 Torr実施別3 マイクロ波数也によるプラズマ形成方法と類似の方法と
して、電子サイクロトロン共鳴を利用する方法がある。
この方法も電極が不要なため、被処理物の形状に装置が
影響さnないという利点がある。更に、この方法による
と、′−子のものエネルギーが非常に高く、そのためイ
オンのエネルギーも高いため、非常に効率良〈処理を行
なうことができる。この場合被処理物の予熱は不必要で
ある。
影響さnないという利点がある。更に、この方法による
と、′−子のものエネルギーが非常に高く、そのためイ
オンのエネルギーも高いため、非常に効率良〈処理を行
なうことができる。この場合被処理物の予熱は不必要で
ある。
このような電子サイクロトロン共鳴を利用してプラズマ
表面処理を行なう装置を第3因に示す。
表面処理を行なう装置を第3因に示す。
第3図に示す装置は、第2図に示す装置と類似の構、@
を有するが、プラズマ形成室の周とには磁界印加手段2
1が設けらnている。また、プラズマ形1fc室11
オヨU反応蚕12には’f: n−1:′n ’s’y
1のガス尋人管22および第2のガス尋人管23がそ
n−tjn設けらnている。この場合、第1のガス導入
#22からのみ2素および/または炭またをよむガスを
導入するか、又は第1のがス尋入a・22からAr 、
H2、He等ft尋人し、第2のガス尋人管23から
音素および/または炭素を含むガスに、6人することが
できる。
を有するが、プラズマ形成室の周とには磁界印加手段2
1が設けらnている。また、プラズマ形1fc室11
オヨU反応蚕12には’f: n−1:′n ’s’y
1のガス尋人管22および第2のガス尋人管23がそ
n−tjn設けらnている。この場合、第1のガス導入
#22からのみ2素および/または炭またをよむガスを
導入するか、又は第1のがス尋入a・22からAr 、
H2、He等ft尋人し、第2のガス尋人管23から
音素および/または炭素を含むガスに、6人することが
できる。
マイクロ波と磁界の印加による電子サイクロトロン共鳴
によって、プラズマ形成室1ノ内にはプラズマが形成さ
nる。プラズマ中に形成さ几たイオンは、イオンビーム
として反応室12に青火さn、反応室12内の被処椎i
フ13の表面ゲ処・崖する。
によって、プラズマ形成室1ノ内にはプラズマが形成さ
nる。プラズマ中に形成さ几たイオンは、イオンビーム
として反応室12に青火さn、反応室12内の被処椎i
フ13の表面ゲ処・崖する。
このような装置音用いて、以下の条件(1)および(2
)でプラズマ表面処理を行なったところ、耐摩耗性およ
び耐食性ともに良好で寸法変化のない製品が得らnた。
)でプラズマ表面処理を行なったところ、耐摩耗性およ
び耐食性ともに良好で寸法変化のない製品が得らnた。
+11 導入ガス N220 SCCM (第1
のガス導入管22から) 反応圧力 3xlOTorr マイクロITj、電力 1 kW (2)導入f、x、 Ar20SCCM (第1
のガス導入管22から〕 尋人がス NN220SCC(第2のガス導入・a2
3から) 反応圧力 3xlOTorr マイクロ波電力 1 kW 実施例4 大型空調用に用いらnているレシプロコングレッサーの
クランクピンは、耐摩耗性付与のため、ガス窒化および
浸炭処理がさnるが、従来の方法によるこnらの処理は
高温を伴なう次め、熱変形による寸法変化が著しかった
。
のガス導入管22から) 反応圧力 3xlOTorr マイクロITj、電力 1 kW (2)導入f、x、 Ar20SCCM (第1
のガス導入管22から〕 尋人がス NN220SCC(第2のガス導入・a2
3から) 反応圧力 3xlOTorr マイクロ波電力 1 kW 実施例4 大型空調用に用いらnているレシプロコングレッサーの
クランクピンは、耐摩耗性付与のため、ガス窒化および
浸炭処理がさnるが、従来の方法によるこnらの処理は
高温を伴なう次め、熱変形による寸法変化が著しかった
。
こnに対し、実施例1〜3で示す手順によりクランクビ
ンを窒化又は浸炭処理したところ、処理温度は關々30
0℃であるため、寸法変化を生じない表面処理を行なう
ことができた。
ンを窒化又は浸炭処理したところ、処理温度は關々30
0℃であるため、寸法変化を生じない表面処理を行なう
ことができた。
実施例5
近年、エアコンディジ璽ナーに用いるロータリーコンプ
レッサーには、インバーターを用いることによる高速化
、ヒートボング化による負荷栄件の拡大、および除霜時
のサイクル反転による潤滑油の希釈といっ′fca々の
問題が生じている。しかし、このような状況下において
も、従来、ロータリーコンプレッサーに組込まnるクラ
ンクシャフトには、単に表面にリン酸塩被膜が施さnる
だけであった。そのため、シャフトとベアリングとの焼
付や異常4耗等の問題が生じ、りン赦塩tJ1.膜形成
に代わる表面処理が求めらnていた。その1つとして、
浸炭や窒化が試みらnたが、こnらの処理は高温を伴な
うため、熱変形が大きく、留置1〜2μmが要求さnる
ロータリーコンプレッサーのクランクシャフトには適用
できなかった。
レッサーには、インバーターを用いることによる高速化
、ヒートボング化による負荷栄件の拡大、および除霜時
のサイクル反転による潤滑油の希釈といっ′fca々の
問題が生じている。しかし、このような状況下において
も、従来、ロータリーコンプレッサーに組込まnるクラ
ンクシャフトには、単に表面にリン酸塩被膜が施さnる
だけであった。そのため、シャフトとベアリングとの焼
付や異常4耗等の問題が生じ、りン赦塩tJ1.膜形成
に代わる表面処理が求めらnていた。その1つとして、
浸炭や窒化が試みらnたが、こnらの処理は高温を伴な
うため、熱変形が大きく、留置1〜2μmが要求さnる
ロータリーコンプレッサーのクランクシャフトには適用
できなかった。
そこで、実施例1に示す手順により、プラズマ表面処理
による窒化全行なったところ、処理による寸法変化は2
μm以下と少なかった。また、このように処理さnたク
ランクシャフト金ロータリーコングレッサーに組込み、
こnt−インバーターエアコンディジツナ−にセットし
、低温(−20℃)下で希釈さn fcIIQI滑油中
で高速耐久テストを行なったところ、ベアリングとの焼
付や異常PJ枕は発生せず、良好な結果が得らnた。
による窒化全行なったところ、処理による寸法変化は2
μm以下と少なかった。また、このように処理さnたク
ランクシャフト金ロータリーコングレッサーに組込み、
こnt−インバーターエアコンディジツナ−にセットし
、低温(−20℃)下で希釈さn fcIIQI滑油中
で高速耐久テストを行なったところ、ベアリングとの焼
付や異常PJ枕は発生せず、良好な結果が得らnた。
なお、コンプレッサ一部品としてベーン、ローラベアリ
ング(内径および摺動平面)、およびシリンダ(内面)
に同様のプラズマ表面処理を施したところ、良好な結果
を得た。
ング(内径および摺動平面)、およびシリンダ(内面)
に同様のプラズマ表面処理を施したところ、良好な結果
を得た。
[発明の効果コ
本発明のプラズマ表面処理方法によると、処坤1m−、
1度は高々300℃と低いため、寸法変化を生ずること
金属部材に凌nた耐摩耗性および耐久性全付与すること
が可能である。
1度は高々300℃と低いため、寸法変化を生ずること
金属部材に凌nた耐摩耗性および耐久性全付与すること
が可能である。
第1図〜第3図はいすnも不発明t′実施するためのプ
ラズマ処理装置の断面図であり、第1図は高周波放電を
利用した装置、第2図はマイクロ波放電を利用した装置
、第3図は電子サイクロトロン共鳴を利用した装置5t
t−示す。 1.13・・・被処理物、2.12・・・反応室、3゜
16.22.23・・・ガス尋人口、4・・・拡散板、
5・・・高周波’に源、6・・・′電極、7・・・絶縁
物。
ラズマ処理装置の断面図であり、第1図は高周波放電を
利用した装置、第2図はマイクロ波放電を利用した装置
、第3図は電子サイクロトロン共鳴を利用した装置5t
t−示す。 1.13・・・被処理物、2.12・・・反応室、3゜
16.22.23・・・ガス尋人口、4・・・拡散板、
5・・・高周波’に源、6・・・′電極、7・・・絶縁
物。
Claims (6)
- (1)金属部材を、減圧下において、窒素原子または炭
素原子のうちの少なくともいずれか一方を含むガスのプ
ラズマにさらすことにより、前記金属部材の表面近傍に
窒素または炭素のうちの少なくともいずれか一方を高濃
度に含有せしめることを特徴とする金属部材のプラズマ
表面処理方法。 - (2)前記金属部材は、鉄を主成分とする金属材料から
なることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の金属
部材のプラズマ表面処理方法。 - (3)前記金属部材は、不純物として炭素、窒素、ニッ
ケル、クロム、アルミニウム、モリブデン、バナジウム
およびタングステンからなる群から選ばれた少なくとも
1種を含有する金属材料からなることを特徴とする特許
請求の範囲第1または2項記載のプラズマ表面処理方法
。 - (4)前記減圧は20Torr以下であることを特徴と
する特許請求の範囲第1項ないし第3項のいずれか1項
に記載の金属部材の表面処理方法。 - (5)前記プラズマは、マイクロ波を印加することによ
り形成されたものであることを特徴とする特許請求の範
囲第1項ないし第4項のいずれか1項に記載の金属部材
のプラズマ表面処理方法。 - (6)前記プラズマは、電子サイクロトロン共鳴により
形成されたものであることを特徴とする特許請求の範囲
第1項ないし第5項のいずれか1項に記載の金属部材の
プラズマ表面処理方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23178986A JPS6386857A (ja) | 1986-09-30 | 1986-09-30 | 金属部材のプラズマ表面処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23178986A JPS6386857A (ja) | 1986-09-30 | 1986-09-30 | 金属部材のプラズマ表面処理方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6386857A true JPS6386857A (ja) | 1988-04-18 |
Family
ID=16929046
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP23178986A Pending JPS6386857A (ja) | 1986-09-30 | 1986-09-30 | 金属部材のプラズマ表面処理方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6386857A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05506066A (ja) * | 1990-04-20 | 1993-09-02 | マーチン・マリエッタ・エナジー・システムズ・インク | 耐熱性金属物品の窒化方法 |
JP2010196129A (ja) * | 2009-02-26 | 2010-09-09 | Toyota Motor Corp | 鋼材の製造方法 |
JP2011052313A (ja) * | 2009-09-04 | 2011-03-17 | Meijo Univ | 窒化処理装置及び窒化処理方法 |
JP2012197479A (ja) * | 2011-03-22 | 2012-10-18 | Air Water Inc | 鉄系材料の表面硬化装置および方法 |
WO2012153767A1 (ja) * | 2011-05-09 | 2012-11-15 | 学校法人トヨタ学園 | 窒化処理方法及び窒化処理装置 |
-
1986
- 1986-09-30 JP JP23178986A patent/JPS6386857A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05506066A (ja) * | 1990-04-20 | 1993-09-02 | マーチン・マリエッタ・エナジー・システムズ・インク | 耐熱性金属物品の窒化方法 |
JP2010196129A (ja) * | 2009-02-26 | 2010-09-09 | Toyota Motor Corp | 鋼材の製造方法 |
JP2011052313A (ja) * | 2009-09-04 | 2011-03-17 | Meijo Univ | 窒化処理装置及び窒化処理方法 |
JP2012197479A (ja) * | 2011-03-22 | 2012-10-18 | Air Water Inc | 鉄系材料の表面硬化装置および方法 |
WO2012153767A1 (ja) * | 2011-05-09 | 2012-11-15 | 学校法人トヨタ学園 | 窒化処理方法及び窒化処理装置 |
JPWO2012153767A1 (ja) * | 2011-05-09 | 2014-07-31 | 学校法人トヨタ学園 | 窒化処理方法及び窒化処理装置 |
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