JP2012194188A - プローブ支持板の製造方法、コンピュータ記憶媒体及びプローブ支持板 - Google Patents
プローブ支持板の製造方法、コンピュータ記憶媒体及びプローブ支持板 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012194188A JP2012194188A JP2012148164A JP2012148164A JP2012194188A JP 2012194188 A JP2012194188 A JP 2012194188A JP 2012148164 A JP2012148164 A JP 2012148164A JP 2012148164 A JP2012148164 A JP 2012148164A JP 2012194188 A JP2012194188 A JP 2012194188A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal
- plate
- holes
- metal thin
- probe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture or maintenance of measuring instruments, e.g. of probe tips
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/06711—Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
- G01R1/06733—Geometry aspects
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/073—Multiple probes
- G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T156/00—Adhesive bonding and miscellaneous chemical manufacture
- Y10T156/10—Methods of surface bonding and/or assembly therefor
Abstract
【解決手段】プローブ支持板11の製造方法であって、複数の金属薄板20をそれぞれエッチングして、各金属薄板20にプローブ10を挿入させるための複数の貫通孔21を形成するエッチング工程と、その後、複数の金属薄板20の各貫通孔21が金属薄板20の厚み方向にそれぞれ連結されるように、複数の金属薄板20を積層し、当該複数の金属薄板20を接合する接合工程と、その後、各貫通孔の内側面21に絶縁膜22を形成する膜形成工程と、を有する。前記エッチング工程において、最上層と最下層との間に積層される中間層の金属薄板20cの貫通孔21cを、最上層と最下層の金属薄板20a、20bの貫通孔の径21a、21bより大きい径で形成する。
【選択図】図6
Description
11 プローブ支持板
20 金属薄板
21 貫通孔
22 絶縁膜
30 パターン
31 ガイド
40 穴
W ウェハ
Claims (7)
- 被検査体の電気的特性を検査するための複数のプローブを支持するプローブ支持板の製造方法であって、
金属板をエッチングして、当該金属板にプローブを挿入させるための複数の貫通孔を形成するエッチング工程であって、前記金属板は複数の金属薄板を有し、前記複数の金属薄板をそれぞれエッチングして、各金属薄板にプローブを挿入させるための複数の貫通孔を形成するエッチング工程と、
前記複数の金属薄板の各貫通孔が金属薄板の厚み方向にそれぞれ連結されるように、前記複数の金属薄板を積層し、当該複数の金属薄板を接合する接合工程と、
前記各貫通孔の内側面に絶縁膜を形成する膜形成工程と、を有し、
前記エッチング工程において、最上層と最下層との間に積層される中間層の前記金属薄板の前記貫通孔を、最上層と最下層の前記金属薄板の前記貫通孔の径より大きい径で形成する。 - 請求項1に記載のプローブ支持板の製造方法において、
前記エッチング工程において、前記各貫通孔をプローブの径より大きい径で形成し、
前記膜形成工程において、前記絶縁膜の厚みを調整し、当該絶縁膜が形成された貫通孔の内径を調整する。 - 請求項1に記載のプローブ支持板の製造方法において、
前記エッチング工程において、前記金属薄板に前記貫通孔以外の穴を形成する。 - 請求項1に記載のプローブ支持板の製造方法において、
前記接合工程において、前記複数の金属薄板の接合は、拡散接合によって行われる。 - プローブ支持板の製造方法を製造装置によって実行させるために、当該製造装置を制御する制御部のコンピュータ上で動作するプログラムを格納した読み取り可能なコンピュータ記憶媒体であって、
前記プローブ支持板の製造方法は、
金属板をエッチングして、当該金属板にプローブを挿入させるための複数の貫通孔を形成するエッチング工程であって、前記金属板は複数の金属薄板を有し、前記複数の金属薄板をそれぞれエッチングして、各金属薄板にプローブを挿入させるための複数の貫通孔を形成するエッチング工程と、
前記複数の金属薄板の各貫通孔が金属薄板の厚み方向にそれぞれ連結されるように、前記複数の金属薄板を積層し、当該複数の金属薄板を接合する接合工程と、
前記各貫通孔の内側面に絶縁膜を形成する膜形成工程と、を有し、
前記エッチング工程において、最上層と最下層との間に積層される中間層の前記金属薄板の前記貫通孔を、最上層と最下層の前記金属薄板の前記貫通孔の径より大きい径で形成する。 - 被検査体の電気的特性を検査するための複数のプローブを支持するプローブ支持板であって、
プローブを挿入させるための複数の貫通孔が形成された金属板を有し、
前記各貫通孔の内側面には、絶縁膜が形成されており、
前記金属板は、複数の金属薄板が積層され接合されたものであり、
前記各金属薄板には複数の貫通孔が形成され、
前記各金属薄板の複数の貫通孔は、金属薄板の厚み方向にそれぞれ連結されおり、
最上層と最下層との間に積層された中間層の前記金属薄板に形成された前記貫通孔の径は、最上層と最下層の前記金属薄板に形成された前記貫通孔の径よりも大きい。 - 請求項6に記載のプローブ支持板において、
前記金属薄板には、前記貫通孔以外の穴が形成されている。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012148164A JP2012194188A (ja) | 2008-02-21 | 2012-07-02 | プローブ支持板の製造方法、コンピュータ記憶媒体及びプローブ支持板 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008039963 | 2008-02-21 | ||
JP2008039963 | 2008-02-21 | ||
JP2012148164A JP2012194188A (ja) | 2008-02-21 | 2012-07-02 | プローブ支持板の製造方法、コンピュータ記憶媒体及びプローブ支持板 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009554319A Division JPWO2009104589A1 (ja) | 2008-02-21 | 2009-02-17 | プローブ支持板の製造方法、コンピュータ記憶媒体及びプローブ支持板 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012194188A true JP2012194188A (ja) | 2012-10-11 |
Family
ID=40985469
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009554319A Pending JPWO2009104589A1 (ja) | 2008-02-21 | 2009-02-17 | プローブ支持板の製造方法、コンピュータ記憶媒体及びプローブ支持板 |
JP2012148164A Pending JP2012194188A (ja) | 2008-02-21 | 2012-07-02 | プローブ支持板の製造方法、コンピュータ記憶媒体及びプローブ支持板 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009554319A Pending JPWO2009104589A1 (ja) | 2008-02-21 | 2009-02-17 | プローブ支持板の製造方法、コンピュータ記憶媒体及びプローブ支持板 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20110006799A1 (ja) |
JP (2) | JPWO2009104589A1 (ja) |
KR (1) | KR101123126B1 (ja) |
CN (1) | CN101910847B (ja) |
TW (1) | TWI384228B (ja) |
WO (1) | WO2009104589A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20140112396A (ko) * | 2013-03-13 | 2014-09-23 | 신꼬오덴기 고교 가부시키가이샤 | 프로브 가이드판 및 그 제조 방법 |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011043377A (ja) * | 2009-08-20 | 2011-03-03 | Tokyo Electron Ltd | 検査用接触構造体 |
WO2011043224A1 (ja) * | 2009-10-09 | 2011-04-14 | 東京エレクトロン株式会社 | 圧力センサ素子およびシート状圧力センサ |
JP6092509B2 (ja) * | 2011-10-17 | 2017-03-08 | 東京エレクトロン株式会社 | 接触端子の支持体及びプローブカード |
JP2013168400A (ja) * | 2012-02-14 | 2013-08-29 | Tokyo Electron Ltd | 半導体デバイス検査装置用配線基板及びその製造方法 |
US9182425B2 (en) | 2012-05-21 | 2015-11-10 | Lenovo Enterprise Solutions (Singapore) Pte. Ltd. | Probe supporting and aligning apparatus |
JP5847663B2 (ja) * | 2012-08-01 | 2016-01-27 | 日本電子材料株式会社 | プローブカード用ガイド板の製造方法 |
TWI490499B (zh) * | 2014-01-08 | 2015-07-01 | Hon Hai Prec Ind Co Ltd | 探棒固定裝置 |
TWI560454B (en) * | 2014-11-07 | 2016-12-01 | Primax Electronics Ltd | Testing base |
WO2016177850A1 (en) * | 2015-05-07 | 2016-11-10 | Technoprobe S.P.A. | Testing head having vertical probes, in particular for reduced pitch applications |
JP6418070B2 (ja) * | 2015-06-05 | 2018-11-07 | 三菱電機株式会社 | 測定装置、半導体装置の測定方法 |
CN106338621A (zh) * | 2016-08-30 | 2017-01-18 | 广德宝达精密电路有限公司 | 一种pcb薄板垂直飞针测试支撑架 |
KR102324248B1 (ko) * | 2020-06-19 | 2021-11-12 | 리노정밀(주) | 검사 장치용 블록 조립체 |
CN111766415B (zh) * | 2020-08-14 | 2020-12-25 | 强一半导体(苏州)有限公司 | 一种导引板mems探针结构模板烧刻方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1999004274A1 (en) * | 1997-07-14 | 1999-01-28 | Nhk Spring Co., Ltd. | Conductive contact |
JP2001326257A (ja) * | 2000-05-16 | 2001-11-22 | Yamaichi Electronics Co Ltd | Icウエハの検査装置 |
JP2003215160A (ja) * | 2002-01-23 | 2003-07-30 | Nhk Spring Co Ltd | 導電性接触子 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4124520B2 (ja) * | 1998-07-30 | 2008-07-23 | 日本発条株式会社 | 導電性接触子のホルダ及びその製造方法 |
JP4769538B2 (ja) * | 2005-02-22 | 2011-09-07 | 富士通セミコンダクター株式会社 | 電子部品用コンタクタ及びコンタクト方法 |
-
2009
- 2009-02-17 CN CN200980101663.XA patent/CN101910847B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2009-02-17 KR KR1020107014385A patent/KR101123126B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2009-02-17 US US12/865,476 patent/US20110006799A1/en not_active Abandoned
- 2009-02-17 WO PCT/JP2009/052666 patent/WO2009104589A1/ja active Application Filing
- 2009-02-17 JP JP2009554319A patent/JPWO2009104589A1/ja active Pending
- 2009-02-20 TW TW098105550A patent/TWI384228B/zh not_active IP Right Cessation
-
2012
- 2012-07-02 JP JP2012148164A patent/JP2012194188A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1999004274A1 (en) * | 1997-07-14 | 1999-01-28 | Nhk Spring Co., Ltd. | Conductive contact |
JP2001326257A (ja) * | 2000-05-16 | 2001-11-22 | Yamaichi Electronics Co Ltd | Icウエハの検査装置 |
JP2003215160A (ja) * | 2002-01-23 | 2003-07-30 | Nhk Spring Co Ltd | 導電性接触子 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20140112396A (ko) * | 2013-03-13 | 2014-09-23 | 신꼬오덴기 고교 가부시키가이샤 | 프로브 가이드판 및 그 제조 방법 |
KR102090102B1 (ko) * | 2013-03-13 | 2020-03-17 | 재팬 일렉트로닉 메트리얼스 코오포레이숀 | 프로브 가이드판 및 그 제조 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI384228B (zh) | 2013-02-01 |
CN101910847B (zh) | 2014-02-12 |
CN101910847A (zh) | 2010-12-08 |
KR20100090299A (ko) | 2010-08-13 |
WO2009104589A1 (ja) | 2009-08-27 |
US20110006799A1 (en) | 2011-01-13 |
TW200951447A (en) | 2009-12-16 |
KR101123126B1 (ko) | 2012-03-20 |
JPWO2009104589A1 (ja) | 2011-06-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
WO2009104589A1 (ja) | プローブ支持板の製造方法、コンピュータ記憶媒体及びプローブ支持板 | |
JP5396112B2 (ja) | プローブカード | |
JP4991495B2 (ja) | 検査用保持部材及び検査用保持部材の製造方法 | |
JP4124520B2 (ja) | 導電性接触子のホルダ及びその製造方法 | |
US8310257B2 (en) | Contact structure for inspection | |
US20130206460A1 (en) | Circuit board for semiconductor device inspection apparatus and manufacturing method thereof | |
KR102413745B1 (ko) | 전기적 접속 장치, 검사 장치, 및 접촉 대상체와 접촉자의 전기적 접속 방법 | |
JP2011022001A (ja) | プローブカード | |
JP3735556B2 (ja) | 半導体装置の製造方法及び半導体装置 | |
JP2009257910A (ja) | 二重弾性機構プローブカードとその製造方法 | |
JP2007087709A (ja) | 異方導電性コネクターおよびその製造方法、アダプター装置並びに回路装置の電気的検査装置 | |
JP5058032B2 (ja) | コンタクトプローブの製造方法 | |
JP2009129609A (ja) | 複合導電性シート、異方導電性コネクター、アダプター装置および回路装置の電気的検査装置 | |
JP2002311106A (ja) | 電気特性検査プローブ | |
JP2013002931A (ja) | プローブ支持基板及びその製造方法 | |
JP2002134572A (ja) | 半導体素子検査装置 | |
JP2013002930A (ja) | プローブ支持基板の製造方法 | |
JP2009085681A (ja) | ウエハ検査用プローブ部材およびプローブカード | |
JP2007263635A (ja) | ウエハ検査用プローブカードおよびウエハ検査装置 | |
JP2009047566A (ja) | 電気抵抗測定用コネクター並びに回路基板の電気抵抗測定装置および測定方法 | |
JP2009058345A (ja) | 電気抵抗測定用コネクター並びに回路基板の電気抵抗測定装置および測定方法 | |
JP2008249425A (ja) | 異方導電性コネクター並びに回路基板の電気抵抗測定装置 | |
JP2013088174A (ja) | 検査用プローブ、プローブユニット及び検査用治具 | |
JP2009098066A (ja) | シート状プローブおよびその製造方法ならびにその応用 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120702 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131203 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140122 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20140701 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140924 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20141002 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20141219 |