JP2012191113A - プラズマ光源及びプラズマ光源の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】各同軸状電極11は、単一の軸線上に延びる棒状の中心電極12と、中心電極12を一定の間隔で隔てて囲む管状のガイド電極14と、中心電極12とガイド電極14の間に位置しその間を絶縁するリング状の絶縁体16とからなり、絶縁体16は、ホットプレス18によって加圧されており、中心電極12及びガイド電極14を密着するように成形されるようになっている。
【選択図】図2
Description
P.C.E=(Pinband×τ)/E・・・(1)
ここで、Pinbandは有効波長領域のEUV放射光出力、τは放射持続時間、Eはプラズマに投入されたエネルギーである。
さらに、かかる場合において、この隙間は周方向に均一に発生するとは限らず、焼結部品個々のばらつきが発生することがあるという問題点があった。
該同軸状電極内にプラズマ媒体を供給し、かつプラズマの発生に適した温度及び圧力に保持する放電環境保持装置と、
各同軸状電極に極性を反転させた放電電圧を印加する電圧印加装置と、を備えるプラズマ光源であって、
各同軸状電極は、単一の軸線上に延びる棒状の中心電極と、該中心電極を一定の間隔で隔てて囲む管状のガイド電極と、中心電極とガイド電極の間に位置しその間を絶縁するリング状の絶縁体とからなり、
前記絶縁体は、ホットプレスによって加圧されており、前記中心電極及び前記ガイド電極を密着して成形されるようになっている、ことを特徴とするプラズマ光源が提供される。
前記各同軸電極対にプラズマ媒体を供給し、かつプラズマ発生に適した温度及び圧力に各同軸電極対内を保持し、
各同軸状電極に極性を反転させた放電電圧を印加し、
1対の同軸状電極間に管状放電を形成してプラズマを軸方向に封じ込める、ことを特徴とするプラズマ光源の製造方法であって、
各同軸状電極は、単一の軸線上に延びる棒状の中心電極と、該中心電極を一定の間隔で隔てて囲む管状のガイド電極と、中心電極とガイド電極の間に位置しその間を絶縁するリング状の絶縁体とからなり、
前記絶縁体を、ホットプレスによって加圧され、前記中心電極及び前記ガイド電極を密着するように成形する、ことを特徴とするプラズマ光源の製造方法が提供される。
この図において、本発明のプラズマ光源10は、1対の同軸状電極11、放電環境保持装置20、及び電圧印加装置30を備える。
各同軸状電極11は、棒状の中心電極12、管状のガイド電極14及びリング状の絶縁体16からなる。
この例において、中心電極12の対称面1に対向する端面に凹穴12aが設けられ、後述する面状放電電流2と管状放電4を安定化させるようになっている。なお、この構成は必須ではなく、中心電極12の対称面1に対向する端面は、円弧状でも平面でもよい。
なお、絶縁体16の形状はこの例に限定されず、中心電極12とガイド電極14の間を電気的に絶縁する限りで、その他の形状であってもよい。
放電環境保持装置20は、例えば、真空チャンバー、温度調節器、真空装置、及びプラズマ媒体供給装置により構成することができる。なおこの構成は必須ではなく、その他の構成であってもよい。
電圧印加装置30は、この例では、正電圧源32、負電圧源34及びトリガスイッチ36からなる。
正電圧源32は、一方(この例では左側)の同軸状電極11の中心電極12にそのガイド電極14より高い正の放電電圧を印加する。
負電圧源34は、他方(この例では右側)の同軸状電極11の中心電極12にそのガイド電極14より低い負の放電電圧を印加する。
トリガスイッチ36は、正電圧源32と負電圧源34を同時に作動させて、それぞれの同軸状電極11に同時に正負の放電電圧を印加する。
この構成により、本発明のプラズマ光源は、1対の同軸状電極11間に管状放電(後述する)を形成してプラズマを軸方向に封じ込めるようになっている。
この図において、17はホットプレス用ケース、18はホットプレス用圧力付与体である。
かかる方法によって、絶縁体16の粉体を焼結させることで、絶縁体16と中心電極12又はガイド電極14との間に隙間を発生させない形で粉体の絶縁体16を固体に成形させることができる。
なお、タングステン又はグラファイト以外にもタンタル等を使用することも可能である。
また、中心電極12及び絶縁体16については、例えば、図2におけるD1を約10mm程度、D2を約5mm程度、W1を約10mm程度として設計するとよい。
以下、この図を参照して、本発明のプラズマ光源の製造方法を説明する。
なお、両方のガイド電極14を接地させて0Vに保持し、一方の中心電極12を正電圧(+)に印加し、他方の中心電極12を負電圧(−)に印加してもよい。
この管状放電4が形成されると、図に符号5で示すプラズマ封込み磁場(磁気ビン)が形成され、プラズマ3を半径方向及び軸方向に封じ込むことができる。
この状態において、プラズマ3の発光エネルギーに相当するエネルギーを電圧印加装置30から供給し続ければ、高いエネルギー変換効率で、プラズマ光8(EUV)を長時間安定して発生させることができる。
4 管状放電、5 プラズマ封込み磁場、
6 プラズマ媒体、8 プラズマ光(EUV光)、
10 プラズマ光源、11 同軸状電極、
12 中心電極、12a 凹穴、
14 ガイド電極、16 絶縁体(絶縁化合物)、
17 ホットプレス用ケース、18 ホットプレス用圧力付与体、
20 放電環境保持装置、30 電圧印加装置、
32 正電圧源、34 負電圧源、36 トリガスイッチ
Claims (3)
- 対向配置された1対の同軸状電極と、
該同軸状電極内にプラズマ媒体を供給し、かつプラズマの発生に適した温度及び圧力に保持する放電環境保持装置と、
各同軸状電極に極性を反転させた放電電圧を印加する電圧印加装置と、を備えるプラズマ光源であって、
各同軸状電極は、単一の軸線上に延びる棒状の中心電極と、該中心電極を一定の間隔で隔てて囲む管状のガイド電極と、中心電極とガイド電極の間に位置しその間を絶縁するリング状の絶縁体とからなり、
前記絶縁体は、ホットプレスによって加圧されており、前記中心電極及び前記ガイド電極を密着して成形されるようになっている、ことを特徴とするプラズマ光源。 - 前記中心電極及び前記ガイド電極は、タングステン又はグラファイトからなる、ことを特徴とする請求項1に記載のプラズマ光源。
- 対向配置された1対の同軸状電極を準備し、
前記各同軸電極対にプラズマ媒体を供給し、かつプラズマ発生に適した温度及び圧力に各同軸電極対内を保持し、
各同軸状電極に極性を反転させた放電電圧を印加し、
1対の同軸状電極間に管状放電を形成してプラズマを軸方向に封じ込める、ことを特徴とするプラズマ光源の製造方法であって、
各同軸状電極は、単一の軸線上に延びる棒状の中心電極と、該中心電極を一定の間隔で隔てて囲む管状のガイド電極と、中心電極とガイド電極の間に位置しその間を絶縁するリング状の絶縁体とからなり、
前記絶縁体を、ホットプレスによって加圧され、前記中心電極及び前記ガイド電極を密着するように成形する、ことを特徴とするプラズマ光源の製造方法。
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