JPH04104971A - セラミックス・金属接合体の製造方法 - Google Patents
セラミックス・金属接合体の製造方法Info
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- JPH04104971A JPH04104971A JP21805190A JP21805190A JPH04104971A JP H04104971 A JPH04104971 A JP H04104971A JP 21805190 A JP21805190 A JP 21805190A JP 21805190 A JP21805190 A JP 21805190A JP H04104971 A JPH04104971 A JP H04104971A
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- 239000007769 metal material Substances 0.000 title claims abstract description 34
- 239000002131 composite material Substances 0.000 title claims abstract description 19
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 6
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 claims abstract description 34
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 22
- 229910052575 non-oxide ceramic Inorganic materials 0.000 claims abstract description 17
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 11
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 24
- 239000011225 non-oxide ceramic Substances 0.000 claims description 11
- 239000012778 molding material Substances 0.000 claims description 10
- 239000002905 metal composite material Substances 0.000 claims description 9
- 230000008602 contraction Effects 0.000 claims description 7
- 238000003754 machining Methods 0.000 abstract description 6
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 67
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 67
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 11
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 6
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 6
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 6
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 5
- 208000037584 hereditary sensory and autonomic neuropathy Diseases 0.000 description 4
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 4
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 4
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 3
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 229910052574 oxide ceramic Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011224 oxide ceramic Substances 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 238000001354 calcination Methods 0.000 description 1
- 239000004568 cement Substances 0.000 description 1
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 1
- -1 sialon Chemical compound 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- 238000007751 thermal spraying Methods 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 239000001993 wax Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Pressure Welding/Diffusion-Bonding (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、セラミックス・金属複合体及びその製造方法
に関するものである。
に関するものである。
（従来の技術及びその問題点）
従来、セラミックス材と金属材とを結合する方法として
は、ろう付け、圧入、焼嵌め等の方法が一般的であった
。
は、ろう付け、圧入、焼嵌め等の方法が一般的であった
。
例えば、セラミックスターボチャージャーローター、ガ
スタービン等に用いられる高温ファンの場合には、第１
０図に示すように、窒化珪素等の非酸化物系セラミック
スからなり、翼部４１ａを有する翼車４１を成形、焼成
によって作製し、この翼車４１の嵌合部４１ｂに、公差
±１μｍの高精度加工を施す。また、金属軸４３の端部
に凹部４３ａを設け、この凹部４３ａにも同様に高精度
加工を施し、嵌合部４１ｂと凹部４３ａとを焼嵌め又は
圧入によって接合している。
スタービン等に用いられる高温ファンの場合には、第１
０図に示すように、窒化珪素等の非酸化物系セラミック
スからなり、翼部４１ａを有する翼車４１を成形、焼成
によって作製し、この翼車４１の嵌合部４１ｂに、公差
±１μｍの高精度加工を施す。また、金属軸４３の端部
に凹部４３ａを設け、この凹部４３ａにも同様に高精度
加工を施し、嵌合部４１ｂと凹部４３ａとを焼嵌め又は
圧入によって接合している。
しかし、こうした従来の接合方法では、嵌合部４１ｂ、
凹部４３ａに極めて高精度の加工を施すことが必要であ
り、加工コストが高い。また、圧入時に軸の角度が狂っ
たり、凹部４３ａと嵌合部４１ｂとの加工面に寸法不良
、表面粗れがあったりした場合には、圧入が完全に行な
えずに接合不良となり、歩留が低下する。また、高精度
加工面の間に異物が挟み込まれたままの状態で接合する
と、この異物の周囲で応力集中するため、接合部の信頼
性が低下するという問題もある。
凹部４３ａに極めて高精度の加工を施すことが必要であ
り、加工コストが高い。また、圧入時に軸の角度が狂っ
たり、凹部４３ａと嵌合部４１ｂとの加工面に寸法不良
、表面粗れがあったりした場合には、圧入が完全に行な
えずに接合不良となり、歩留が低下する。また、高精度
加工面の間に異物が挟み込まれたままの状態で接合する
と、この異物の周囲で応力集中するため、接合部の信頼
性が低下するという問題もある。
また、第１１図に示す従来の高温ファンにおいては、金
属ボス５２に凹部５２ａを設け、セラミックス製の羽根
５１の基部５１ａを凹部５２ａ内に嵌入する。
属ボス５２に凹部５２ａを設け、セラミックス製の羽根
５１の基部５１ａを凹部５２ａ内に嵌入する。
このとき、基部５１ａと凹部５２ａとの間隙には、限ろ
う、セラミックス、セメント等からなる嵌合部５３を設
ける。
う、セラミックス、セメント等からなる嵌合部５３を設
ける。
しかし、この場合にも羽根５１を嵌入する際に、嵌合部
５３、基部５１ａを高精度加工する必要があり、上記と
同様の問題が生ずる。
５３、基部５１ａを高精度加工する必要があり、上記と
同様の問題が生ずる。
（発明が解決しようとする課題）
本発明の課題は、従来の焼嵌め、圧入等の場合における
ような高精度加工が不用であり、異物の混入や接合面の
粗れ等による接合不良も生じない、セラミックス・金属
複合体及びその製造方法に関するものである。
ような高精度加工が不用であり、異物の混入や接合面の
粗れ等による接合不良も生じない、セラミックス・金属
複合体及びその製造方法に関するものである。
（課題を解決するための手段）
本発明は、非酸化物系セラミックス材と、少なくとも一
部がこのセラミックス材の外部に露出した金属材とから
なるセラミックス・金属複合体であって、 焼成後の前記セラミックス材の冷却時における前記金属
材の熱収縮により、前記金属材に前記セラミックス材に
対する圧縮応力を生じさせ、この圧縮応力によって前記
金属材を前記セラミックス材に接合したセラミックス・
金属複合体に係るものである。
部がこのセラミックス材の外部に露出した金属材とから
なるセラミックス・金属複合体であって、 焼成後の前記セラミックス材の冷却時における前記金属
材の熱収縮により、前記金属材に前記セラミックス材に
対する圧縮応力を生じさせ、この圧縮応力によって前記
金属材を前記セラミックス材に接合したセラミックス・
金属複合体に係るものである。
また、本発明は、非酸化物系セラミックス成形材料から
なり、金属材が一体化された複合成形体を作製する工程
： この複合成形体を焼成し、非酸化物系セラミックス材を
作製する焼成工程；及び 焼成後の前記セラミックス材の冷却時における前記金属
材の熱収縮により、前記金属材に前記セラミックス材に
対して圧縮応力を生じさせ、この圧縮応力によって前記
金属材料を前記セラミックス材に接合させる冷却工程 を有する、セラミックス・金属複合体の製造方法に係る
ものである。
なり、金属材が一体化された複合成形体を作製する工程
： この複合成形体を焼成し、非酸化物系セラミックス材を
作製する焼成工程；及び 焼成後の前記セラミックス材の冷却時における前記金属
材の熱収縮により、前記金属材に前記セラミックス材に
対して圧縮応力を生じさせ、この圧縮応力によって前記
金属材料を前記セラミックス材に接合させる冷却工程 を有する、セラミックス・金属複合体の製造方法に係る
ものである。
「冷却」は、放冷を含む。
（実施例）
まず、本発明を高温ファンに適用した例について述べる
。
。
まず、第２図に示すように、下型４に凹状金属片２を固
定し、次いで下型４、羽根型６、上型５を組み立てて成
形用の型を作る。そして、非酸化物系セラミックス成形
材料７を射出成形によって型内へと注入し、高温ファン
の成形体８と凹状金属片２とからなる複合成形体１０を
作製する。
定し、次いで下型４、羽根型６、上型５を組み立てて成
形用の型を作る。そして、非酸化物系セラミックス成形
材料７を射出成形によって型内へと注入し、高温ファン
の成形体８と凹状金属片２とからなる複合成形体１０を
作製する。
次いで、この型を分解し、凹状金属片２と一体となった
成形体８を取り出し、この成形体８を仮焼してバインダ
ーを飛散させ、仮焼後の成形体８をコールドアイソスタ
ティックプレス（ＣＩＰ）で処理して成形体の密度を高
め、成形体８と金属片２との密着性を上げておく。
成形体８を取り出し、この成形体８を仮焼してバインダ
ーを飛散させ、仮焼後の成形体８をコールドアイソスタ
ティックプレス（ＣＩＰ）で処理して成形体の密度を高
め、成形体８と金属片２との密着性を上げておく。
そして、この複合成形体１０（成形体８と凹状金属片２
とからなる）をホットアイソスタティックプレス（ＨＩ
Ｐ）焼成し、第１図に示すような、翼部１ａと軸部１ｂ
とを有する翼車１を得る。この軸部１ｂには金属片２が
固着しており、金属片２の端面を平滑とし、金属片２と
金属軸３とを溶接、摩擦圧接、拡散接合、ネジ切り法等
の種々の方法で結合する。
とからなる）をホットアイソスタティックプレス（ＨＩ
Ｐ）焼成し、第１図に示すような、翼部１ａと軸部１ｂ
とを有する翼車１を得る。この軸部１ｂには金属片２が
固着しており、金属片２の端面を平滑とし、金属片２と
金属軸３とを溶接、摩擦圧接、拡散接合、ネジ切り法等
の種々の方法で結合する。
本実施例では、金属片２を軸部１ｂに対して、いわば焼
成嵌めによって固定した点が重要である。
成嵌めによって固定した点が重要である。
即ち、成形体に予め金属片２を密着させておき、この成
形体を旧Ｐ焼成すると、焼成後の冷却段階において、金
属片２の熱収縮の方がセラミックス材の軸部１ｂの熱収
縮よりも大きいことから軸部１ｂの外周を囲む金属片２
から、軸部１ｂに対して矢印Ａで示す圧縮応力が働く。
形体を旧Ｐ焼成すると、焼成後の冷却段階において、金
属片２の熱収縮の方がセラミックス材の軸部１ｂの熱収
縮よりも大きいことから軸部１ｂの外周を囲む金属片２
から、軸部１ｂに対して矢印Ａで示す圧縮応力が働く。
これにより、金属片２は軸部１ｂに対して固着され、軸
部１ｂから脱落、揺動することはない。
部１ｂから脱落、揺動することはない。
そして、成形体を作製する段階で成形体８へと予め金属
片２を密着させておくので、焼成後に軸部１ｂと金属片
２とを接合する場合とは異なり、高精度加工の必要はな
く、従って高精度加工のコストや手間を省くことができ
る。
片２を密着させておくので、焼成後に軸部１ｂと金属片
２とを接合する場合とは異なり、高精度加工の必要はな
く、従って高精度加工のコストや手間を省くことができ
る。
しかも、成形体８と金属片２とを密着させるので、既に
高硬度となった焼成体と金属片とを圧入等により接合す
る従来法と異なり、仮に成形体８と金属片との間に異物
が混入しても、この異物は成形材料中になじみ、埋没す
るので、応力集中の原因とはならず、従って異物混入に
よる接合不良、これによる歩留の低下は生じない。この
点で、金属片２と軸部１ｂとの密着性を更に上げるため
、ＣＩＰ 、 ＨＩＰを採用することが好ましいが、常
圧焼成を行う場合にも、この接合不良防止の効果を奏し
うる。
高硬度となった焼成体と金属片とを圧入等により接合す
る従来法と異なり、仮に成形体８と金属片との間に異物
が混入しても、この異物は成形材料中になじみ、埋没す
るので、応力集中の原因とはならず、従って異物混入に
よる接合不良、これによる歩留の低下は生じない。この
点で、金属片２と軸部１ｂとの密着性を更に上げるため
、ＣＩＰ 、 ＨＩＰを採用することが好ましいが、常
圧焼成を行う場合にも、この接合不良防止の効果を奏し
うる。
第２図の例では、金属片２を射出成形時に成形体８に密
着させているが、成形体８の仮焼、ＣＩＰ処理後に金属
片２を密着させて、複合成形体を作製してもよい。仮に
成形体８と金属片２との間に若干の隙間があったとして
も、ＨＩＰ工程において両者を圧着させることができる
。
着させているが、成形体８の仮焼、ＣＩＰ処理後に金属
片２を密着させて、複合成形体を作製してもよい。仮に
成形体８と金属片２との間に若干の隙間があったとして
も、ＨＩＰ工程において両者を圧着させることができる
。
また、第３図（ａ） 、 （ｂ）に示すように、翼車成
形体１８の軸部１８ａに複数個、例えば８個の小型の凹
状金属片１２を埋設一体化することができる（第３図（
ａ）は、同図（ｂ）をＢ線で切って見た断面図である。
形体１８の軸部１８ａに複数個、例えば８個の小型の凹
状金属片１２を埋設一体化することができる（第３図（
ａ）は、同図（ｂ）をＢ線で切って見た断面図である。
）。そして、この成形体１８を前述のように仮焼、ＣＩ
Ｐ成形、旧Ｐ焼成処理に供し、第４図に示すような翼車
１１を得る。この軸部１１ａには、計８個の小型の金属
片１２が焼成嵌めされている。
Ｐ成形、旧Ｐ焼成処理に供し、第４図に示すような翼車
１１を得る。この軸部１１ａには、計８個の小型の金属
片１２が焼成嵌めされている。
次いで、各金属片１２の露出端面を加工し、これに小型
の金属軸１３を溶接、摩擦圧接、拡散接合等の方法で接
合し、各金属軸１３の他方の端面を金属回転軸３へと上
記のような方法で接合する。
の金属軸１３を溶接、摩擦圧接、拡散接合等の方法で接
合し、各金属軸１３の他方の端面を金属回転軸３へと上
記のような方法で接合する。
本実施例によれば、上記の作用効果を奏しうる他、各凹
状金属片１２を小型化したので仮に金属片１２とセラミ
ックス成形材料との熱収縮率差がかなり大きいと参でも
両者の熱収縮差による応力が過大になり過ぎないように
調整することができる。
状金属片１２を小型化したので仮に金属片１２とセラミ
ックス成形材料との熱収縮率差がかなり大きいと参でも
両者の熱収縮差による応力が過大になり過ぎないように
調整することができる。
また、凹状金属片と金属軸３との接合箇所を増すことが
できるので、翼車１１と金属軸３との間の接合強度を大
きくすることができる。
できるので、翼車１１と金属軸３との間の接合強度を大
きくすることができる。
第５図は高温ファンに本発明を適用した例を示す部分正
面図、第６図は第５図のＶｌ−Ｖｌ線矢視断面図である
。
面図、第６図は第５図のＶｌ−Ｖｌ線矢視断面図である
。
本実施例においては、非酸化物系セラミックス成形材料
からなる羽根２１用の成形体の基部を、予め金属ボス２
２の凹部２２ａに密着させて一体化した状態とし、次い
でこの複合成形体の仮焼、焼成を行う。これにより、非
酸化物系セラミックスからなり、基部２１ａが凹部２２
ａにより固定された羽根２１を作製できる。むろん第１
図におけると同様に、基部２１ａの両側には矢印Ａで示
す圧縮応力が働き、羽根２１は凹部２２ａへと焼成嵌め
されている。なお、第６図中、２３は金属回転軸である
。
からなる羽根２１用の成形体の基部を、予め金属ボス２
２の凹部２２ａに密着させて一体化した状態とし、次い
でこの複合成形体の仮焼、焼成を行う。これにより、非
酸化物系セラミックスからなり、基部２１ａが凹部２２
ａにより固定された羽根２１を作製できる。むろん第１
図におけると同様に、基部２１ａの両側には矢印Ａで示
す圧縮応力が働き、羽根２１は凹部２２ａへと焼成嵌め
されている。なお、第６図中、２３は金属回転軸である
。
第７図〜第９図は、平盤状セラミックス材に本発明を適
用した例を示す概略断面図である。
用した例を示す概略断面図である。
即ち、型３５に非酸化物系セラミックス成形材料を入れ
、下バンチ３４と上パンチ３３とを矢印りのように押圧
してＣＩＰプレス成形し、複合成形体３８を作製する。
、下バンチ３４と上パンチ３３とを矢印りのように押圧
してＣＩＰプレス成形し、複合成形体３８を作製する。
この複合成形体３８の内部には、予め凹状の金属片３２
を埋設しておく。
を埋設しておく。
次いで、第８図に示すように、成形体３８を旧Ｐ焼成し
て平板状のセラミックス材を製造する。このとき成形体
３８の外表面には、矢印Ｃで示すように等方に圧力が加
わる。
て平板状のセラミックス材を製造する。このとき成形体
３８の外表面には、矢印Ｃで示すように等方に圧力が加
わる。
次いで、このセラミックス材を研削加工して研削面３１
ａを有するセラミックス材３１を作製し、この研削面３
１ａ側に金属片３２の端面３２ａを露出させる。この後
は、この金属片３２と外部の金属部材との間に各種の結
合、接合を形成することができる。
ａを有するセラミックス材３１を作製し、この研削面３
１ａ側に金属片３２の端面３２ａを露出させる。この後
は、この金属片３２と外部の金属部材との間に各種の結
合、接合を形成することができる。
具体的には、次に示すような、高融点接合層を介した接
合と、機械的結合法とを例示できる。
合と、機械的結合法とを例示できる。
高融点接合層を介した接合には、次のものかある。
（１）金属片３２と金属部材との間に、Ｍｏ、−等の高
融点金属の粉末を介在させ、拡散接合すること。
融点金属の粉末を介在させ、拡散接合すること。
（２）ろう材で接合すること。
（３）箔を介在させて拡散接合すること。
（４）金属片３２の端面３２ａ又は金属部材の端面に、
めっき、ＣＶＤ 、溶射等によって被覆層を形成し、次
いで拡散接合又は摩擦圧接すること。
めっき、ＣＶＤ 、溶射等によって被覆層を形成し、次
いで拡散接合又は摩擦圧接すること。
（５）溶接すること。
機械的結合法としては、圧入法、ネジ切り法、か、１，
７め、埋め込み、差し込み、スプリング、弾性ボードに
よる機械的圧接がある。
７め、埋め込み、差し込み、スプリング、弾性ボードに
よる機械的圧接がある。
これらの高融点接合層を介した接合や機械的結合法によ
れば、耐熱性、耐腐食性の接合または結合を形成できる
という利点がある。
れば、耐熱性、耐腐食性の接合または結合を形成できる
という利点がある。
しかも、本実施例では、金属片３２のセラミックス材３
１に対する矢印Ａ方向の圧縮応力により金属片３２を固
定しであるので、金属片３２が揺動することはなく、上
記結合又は接合部の信転性が一層高まる。
１に対する矢印Ａ方向の圧縮応力により金属片３２を固
定しであるので、金属片３２が揺動することはなく、上
記結合又は接合部の信転性が一層高まる。
上記各側において、非酸化物系セラミックスとしては、
例えば窒化珪素、酸化珪素、サイアロン、炭化珪素、窒
化アルミニウム等を例示できる。また、酸化物セラミッ
クスに本発明を適用しないのは、酸化物セラミックスの
焼成時に、酸化雰囲気と金属片とが反応するからである
。
例えば窒化珪素、酸化珪素、サイアロン、炭化珪素、窒
化アルミニウム等を例示できる。また、酸化物セラミッ
クスに本発明を適用しないのは、酸化物セラミックスの
焼成時に、酸化雰囲気と金属片とが反応するからである
。
金属片２．１２．３２等は、セラミックス成形体の焼成
時にこれと同時に加熱されるので、この焼成温度よりも
高い融点を有していなければならない。
時にこれと同時に加熱されるので、この焼成温度よりも
高い融点を有していなければならない。
即ち、例えばセラミックスとして窒化珪素を採用した場
合には、焼成温度が例えば１６００°Ｃ以上となるので
、金属片はモリブデン、タングステン、白金等の高融点
金属を採用しなければならない。
合には、焼成温度が例えば１６００°Ｃ以上となるので
、金属片はモリブデン、タングステン、白金等の高融点
金属を採用しなければならない。
（発明の効果）
本発明に係るセラミックス・金属複合体及びその製造方
法によれば、焼成後のセラミックス材の冷却時における
金属材の熱収縮により、金属材にセラミックス材に対し
て圧縮応力を生じさせ、この圧縮応力によって金属材を
セラミックス材に接合しているので、焼成後のセラミッ
クス材と金属材とを圧入、焼嵌め等により接合する場合
とは異なり、高精度加工の必要はなく、従って高精度加
工のコストや手間を省くことができる。
法によれば、焼成後のセラミックス材の冷却時における
金属材の熱収縮により、金属材にセラミックス材に対し
て圧縮応力を生じさせ、この圧縮応力によって金属材を
セラミックス材に接合しているので、焼成後のセラミッ
クス材と金属材とを圧入、焼嵌め等により接合する場合
とは異なり、高精度加工の必要はなく、従って高精度加
工のコストや手間を省くことができる。
しかも、成形体と金属材とを予め一体化して複合成形体
を製作し、この複合成形体を焼成し、焼成後の冷却段階
で金属材を焼成体へと上記のように接合させるので、高
硬度の焼成体と金属材とを圧入、焼嵌め等により接合す
る場合と異なり、仮にセラミックス成形体と金属材との
間に異物が混入していても、この異物は成形材料中にな
じみ、埋没していく。従って、この異物は過大な応力集
中の原因とはならないので、異物混入等による接合不良
、これによる歩留、信顛性の低下は生じない。
を製作し、この複合成形体を焼成し、焼成後の冷却段階
で金属材を焼成体へと上記のように接合させるので、高
硬度の焼成体と金属材とを圧入、焼嵌め等により接合す
る場合と異なり、仮にセラミックス成形体と金属材との
間に異物が混入していても、この異物は成形材料中にな
じみ、埋没していく。従って、この異物は過大な応力集
中の原因とはならないので、異物混入等による接合不良
、これによる歩留、信顛性の低下は生じない。
第１図はセラミックス製翼車に金属軸を取り付けた状態
を示す断面図、 第２図は予め金属片を収容した型内で射出成形を行なっ
ている状態を示す断面図、 第３図（ａ）は翼車用成形体の軸部に複数の金属片を焼
成嵌めした状態を示す断面図、同図（ｂ）は同じく正面
図、 第４図は第３図の成形体を焼成して得た翼車の軸部に金
属回転軸を取付けた状態を示す断面図、第５図は他の高
温用ファンの金属ボスにセラミックス類の羽根を焼成嵌
めした状態を示す部分正面図、 第６図は第５図のＶｌ−Ｖｌ線矢視断面図、第７図は成
形材料をａｒｐプレス成形している状態を示す概略断面
図、 第８図は成形体を旧Ｐ焼成している状態をしめず概略断
面図、 第９図は平盤状のセラミックス材を示す概略断面図、 第１０図は従来法によりセラミックス製翼車と金属軸と
を接合する直前の状態を示す断面図、第１１図はセラミ
ックス類の羽根を従来法によって金属ボスに接合した状
態を示す部分正面図である。 １、 ＩＬ ４１・・・非酸化物系セラミックスからな
る翼ｌａ、 ４１ａ・・・翼部 ｌｂ、 ｌｌａ、 ４１ｂ−・・軸部 ２．１２・・・金属片 ３、２３．４３・・・金属（回転）軸 ７・・・非酸化物系セラミックス成形材料８・・・成形
体 １０．１８．３８・・・複合成形体１３・
・・金属軸 ２１・・・非酸化物系セラミックスからなる羽根２２・
・・金属ボス ３１・・・平盤状セラミックス材 ３２・・・凹状の金属片 ３２ａ・・・端面 Ａ・・・圧縮応力の働く方向 第１図 第２図 五− 第７図 第１０図 第８図 第１１図 第９図 手 続 補 正 書 １、明細書第５頁第１３行〜第１４行間に下記を加入す
平成 年 月 日 る。 「 ここで述べる熱収縮とは、 可逆的な意味での
を示す断面図、 第２図は予め金属片を収容した型内で射出成形を行なっ
ている状態を示す断面図、 第３図（ａ）は翼車用成形体の軸部に複数の金属片を焼
成嵌めした状態を示す断面図、同図（ｂ）は同じく正面
図、 第４図は第３図の成形体を焼成して得た翼車の軸部に金
属回転軸を取付けた状態を示す断面図、第５図は他の高
温用ファンの金属ボスにセラミックス類の羽根を焼成嵌
めした状態を示す部分正面図、 第６図は第５図のＶｌ−Ｖｌ線矢視断面図、第７図は成
形材料をａｒｐプレス成形している状態を示す概略断面
図、 第８図は成形体を旧Ｐ焼成している状態をしめず概略断
面図、 第９図は平盤状のセラミックス材を示す概略断面図、 第１０図は従来法によりセラミックス製翼車と金属軸と
を接合する直前の状態を示す断面図、第１１図はセラミ
ックス類の羽根を従来法によって金属ボスに接合した状
態を示す部分正面図である。 １、 ＩＬ ４１・・・非酸化物系セラミックスからな
る翼ｌａ、 ４１ａ・・・翼部 ｌｂ、 ｌｌａ、 ４１ｂ−・・軸部 ２．１２・・・金属片 ３、２３．４３・・・金属（回転）軸 ７・・・非酸化物系セラミックス成形材料８・・・成形
体 １０．１８．３８・・・複合成形体１３・
・・金属軸 ２１・・・非酸化物系セラミックスからなる羽根２２・
・・金属ボス ３１・・・平盤状セラミックス材 ３２・・・凹状の金属片 ３２ａ・・・端面 Ａ・・・圧縮応力の働く方向 第１図 第２図 五− 第７図 第１０図 第８図 第１１図 第９図 手 続 補 正 書 １、明細書第５頁第１３行〜第１４行間に下記を加入す
平成 年 月 日 る。 「 ここで述べる熱収縮とは、 可逆的な意味での
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、非酸化物系セラミックス材と、少なくとも一部分が
このセラミックス材の外部に露出した金属材とからなる
セラミックス・金属複合体であって、 焼成後の前記セラミックス材の冷却時における前記金属
材の熱収縮により、前記金属材に前記セラミックス材に
対する圧縮応力を生じさせ、この圧縮応力によって前記
金属材を前記セラミックス材に接合したセラミックス・
金属複合体。 ２、非酸化物系セラミックス成形材料からなり、金属材
が一体化した複合成形体を作製する工程； この複合成形体を焼成し、非酸化物系セラミックス材を
作製する焼成工程；及び 焼成後の前記セラミックス材の冷却時における前記金属
材の熱収縮により、前記金属材に前記セラミックス材に
対して圧縮応力を生じさせ、この圧縮応力によって前記
金属材を前記セラミックス材に接合させる冷却工程 を有する、セラミックス・金属複合体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2218051A JPH0733294B2 (ja) | 1990-08-21 | 1990-08-21 | セラミックス・金属接合体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2218051A JPH0733294B2 (ja) | 1990-08-21 | 1990-08-21 | セラミックス・金属接合体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04104971A true JPH04104971A (ja) | 1992-04-07 |
| JPH0733294B2 JPH0733294B2 (ja) | 1995-04-12 |
Family
ID=16713885
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2218051A Expired - Fee Related JPH0733294B2 (ja) | 1990-08-21 | 1990-08-21 | セラミックス・金属接合体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0733294B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012191113A (ja) * | 2011-03-14 | 2012-10-04 | Ihi Corp | プラズマ光源及びプラズマ光源の製造方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005121045A1 (ja) * | 2004-06-08 | 2005-12-22 | Ngk Insulators, Ltd. | 脆性材料－金属構造体 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6114114A (ja) * | 1984-06-30 | 1986-01-22 | Toshiba Corp | シリコン製造装置 |
| JPS6184304A (ja) * | 1984-09-29 | 1986-04-28 | Kyocera Corp | セラミツク部材と金属部材との接合方法 |
-
1990
- 1990-08-21 JP JP2218051A patent/JPH0733294B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6114114A (ja) * | 1984-06-30 | 1986-01-22 | Toshiba Corp | シリコン製造装置 |
| JPS6184304A (ja) * | 1984-09-29 | 1986-04-28 | Kyocera Corp | セラミツク部材と金属部材との接合方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012191113A (ja) * | 2011-03-14 | 2012-10-04 | Ihi Corp | プラズマ光源及びプラズマ光源の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0733294B2 (ja) | 1995-04-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090412 Year of fee payment: 14 |
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