JP2012187716A - インクジェットヘッドおよびインクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】導電層を複数の電極に確実に分断することができ、電極の短絡を防止できるインクジェットヘッドを得ることにある。
【解決手段】インクジェットヘッドは、アクチュエータと、実装面を有する基板とを含む。アクチュエータは、表面、裏面および傾斜された側面を有する本体と、本体の長手方向に間隔を存して配列された複数の溝とを備えている。本体は、接着剤層を介して基板の実装面に接着されている。基板は、実装面に開口された複数の接着剤流入部を有している。接着剤流入部は、本体の側面の位置に対応するように基板に設けられている。本体の側面、溝の内面、本体の側面と基板の実装面との間から露出された接着剤層の端部および基板の実装面を連続して覆った導電層に、複数の絶縁パターンが設けられている。絶縁パターンは、溝の間から接着剤層の端部を横切って基板の実装面に延びている。導電層は、絶縁パターンにより溝に対応する複数の電極に分断されている。
【選択図】図１１

Description

本発明の実施形態は、基板の上にインクを加圧するアクチュエータを接着したインクジェットヘッドおよびインクジェットヘッドを製造する方法に関する。

例えばアルミナ製の基板の上に、エポキシ系接着剤を用いてＰＺＴ製のアクチュエータを接着したインクジェットヘッドが知られている。

この種のインクジェットヘッドによると、アクチュエータは、インクが充填される複数の溝を有している。溝は、アクチュエータの長手方向に間隔を存して配列されているとともに、アクチュエータの表面および表面の両端に連なる側面に連続して開口されている。アクチュエータの側面は、アクチュエータの表面から基板の方向に進むに従いアクチュエータの側方に張り出すように傾斜している。

さらに、接着剤は、基板とアクチュエータとの間に充填されて接着剤層を構成している。接着剤層は、アクチュエータの側面と基板との間から露出された端部を有している。

アクチュエータの溝の内面に夫々電極が設けられている。電極は、アクチュエータの溝の内面、アクチュエータの側面および基板をめっき層で連続して被覆した後、このめっき層にアクチュエータの上方からレーザ光を照射することにより形成される。

めっき層のうちレーザ光が照射された部分は、めっき層を複数の電極に分断する複数の絶縁パターンを形成している。絶縁パターンは、隣り合う溝の間から接着剤層の端部を横切って基板に達している。

特開２００４−１６０８７４号公報

従来のインクジェットヘッドによると、基板とアクチュエータとを接着剤で接着する際に、接着剤の中に空気が取り込まれることがある。取り込まれた空気は、接着剤層の中に気泡として残る。この気泡が接着剤層の端部に位置されると、接着剤層の端部に凹部が生じる。さらに、凹部は、電極を形成する際に、アクチュエータの側面や基板と共にめっき層により被覆される。

凹部は、アクチュエータの側面よりも窪んでいるため、凹部に被着されためっき層をレーザ光で除去しようとしても、レーザ光がアクチュエータの側面によって遮られてしまう。

このため、レーザ光が凹部に届かなくなるので、凹部内のめっき層がレーザ光で除去されずに残ってしまい、絶縁パターンが接着剤層の凹部の位置で途切れてしまう。したがって、接着剤層に生じた凹部は、隣り合う電極間を短絡させる要因となる。

実施形態によれば、インクジェットヘッドは、アクチュエータと、実装面を有する基板と、を含んでいる。アクチュエータは、表面、裏面および傾斜された側面を有する本体と、本体の長手方向に間隔を存して配列された複数の溝とを備えている。

本体は、接着剤層を介して基板の実装面に接着されている。基板は、実装面に開口された複数の接着剤流入部を有している。接着剤流入部は、本体の側面の位置に対応するように基板に設けられている。

本体の側面、溝の内面、本体の側面と基板の実装面との間から露出された接着剤層の端部および基板の実装面を連続して覆った導電層に、複数の絶縁パターンが設けられている。絶縁パターンは、隣り合う溝の間で導電層を電気的に切り離すように、溝の間から接着剤層の端部を横切って基板の実装面に延びている。導電層は、絶縁パターンにより溝に対応する複数の電極に分断されている。

第１の実施形態に係るインクジェットヘッドの斜視図。 第１の実施形態に係るインクジェットヘッドの平面図。 図２のＦ３−Ｆ３線に沿う断面図。 第１の実施形態において、アクチュエータの溝と電極との位置関係を示す断面図。 第１の実施形態に用いる基板の平面図。 第１の実施形態において、アクチュエータの本体を構成する圧電体、接着剤層および基板を互いに分離させた状態を示す断面図。 第１の実施形態において、アクチュエータの本体を構成する圧電体を基板の実装面の上に接着剤層で接着した状態を示す断面図。 第１の実施形態において、基板の通孔とアクチュエータの側面との位置関係を示す断面図。 第１の実施形態において、アクチュエータの側面、接着剤層の端部および基板の実装面がめっき層で被覆された状態を示す断面図。 第１の実施形態において、アクチュエータの溝の内面、接着剤層の端部および基板の実装面がめっき層で被覆された状態を示す断面図。 第１の実施形態において、めっき層にレーザ光を照射して絶縁パターンを形成した状態を示す断面図。 図１１のＦ１２−Ｆ１２線に沿う断面図。 接着剤層の端部に気泡を原因とする凹部が形成されて、絶縁パターンが凹部の位置で途切れた状態を示す断面図。 図１３のＦ１４−Ｆ１４線に沿う断面図。 第２の実施形態において、アクチュエータと基板の通孔との位置関係を示す断面図。

［第１の実施形態］
以下、第１の実施形態について、図１〜図１４を参照して説明する。

図１ないし図３は、例えばプリンタのキャリッジに搭載して使用するオンディマンド型のインクジェットヘッド１を開示している。インクジェットヘッド１は、インク槽２、基板３、スペーサ４およびノズルプレート５を備えている。

インク槽２は、インク供給管６およびインク戻し管７を介してインクカートリッジに接続されている。

基板３は、インク槽２の開口端を塞ぐようにインク槽２の上に重ねられている。基板３は、例えばアルミナ製であり、細長い実装面３ａを有している。複数のインク供給口９および複数のインク排出口１０が基板３に設けられている。インク供給口９およびインク排出口１０は、実装面３ａに開口されている。

図３および図５に示すように、インク供給口９は、基板３の幅方向に沿う一端部および他端部において、基板３の長手方向に間隔を存して一列に並んでいる。インク排出口１０は、基板３の幅方向に沿う中央部において、基板３の長手方向に間隔を存して一列に並んでいる。

スペーサ４は、四角い枠状である。スペーサ４は、基板３の実装面３ａの上に接着されて、インク供給口９およびインク排出口１０を取り囲んでいる。

ノズルプレート５は、例えばポリイミドのような樹脂フィルムあるいはシリコン基板により構成されている。ノズルプレート５は、スペーサ４の上に接着されて、基板３と向かい合っている。

図３に示すように、基板３、スペーサ４およびノズルプレート５は、互いに協働してインク流通室１１を構成している。インク流通室１１は、インク供給口９およびインク排出口１０を介してインク槽２に通じている。インク供給口９は、インクをインク槽２からインク供給室１１に供給する。インク流通室１１に供給された余剰のインクは、インク排出口１０からインク槽２に戻される。

図１および図２に示すように、ノズルプレート５は、一対のノズル列１２ａ，１２ｂを備えている。ノズル列１２ａ，１２ｂは、ノズルプレート５の長手方向に延びるように、ノズルプレート５の幅方向に間隔を存して互いに平行に配置されている。ノズル列１２ａ，１２ｂは、夫々複数のノズル１３を有している。ノズル１３は、インク流通室１１に開口するとともに、記録紙のような記録媒体と向かい合っている。

インク流通室１１に一対のアクチュエータ１５ａ，１５ｂが収容されている。アクチュエータ１５ａ，１５ｂは、ノズル列１２ａ，１２ｂに対応するように基板３の実装面３ａに実装されている。アクチュエータ１５ａ，１５ｂは、夫々インク供給口９とインク排出口１０との間に位置されている。

アクチュエータ１５ａ，１５ｂは、互いに共通の構成を有している。そのため、第１の実施形態では、一方のアクチュエータ１５ａを代表して説明し、他方のアクチュエータ１５ｂについては同一の参照符号を付して、その説明を省略する。

図４に示すように、アクチュエータ１５ａは、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）製の本体１６を備えている。本体１６は、二枚の圧電体１７ａ，１７ｂを互いに積層することで構成されている。圧電体１７ａ，１７ｂは、その分極方向が圧電体１７ａ，１７ｂの厚さ方向に互いに逆向きとなっている。

アクチュエータ１５ａの本体１６は、インク流通室１１の長手方向に延びる細長い板状であり、表面１８、裏面１９および一対の側面２０ａ，２０ｂを有している。表面１８は、ノズルプレート５に面している。裏面１９は、表面１８の反対側に位置されて、基板３の実装面３ａに面している。

一方の側面２０ａは、表面１８の幅方向に沿う一端と裏面１９の幅方向に沿う一端との間に跨っている。他方の側面２０ｂは、表面１８の幅方向に沿う他端と裏面１９の幅方向に沿う他端との間に跨っている。

さらに、側面２０ａ，２０ｂは、表面１８から裏面１９の方向に進むに従い互いに遠ざかる方向に傾斜している。図９に示すように、裏面１９に対する側面２０ａ，２０ｂの傾斜角度αは、４５°となっている。

本体１６は、例えばエポキシ系接着剤Ａを用いて基板３の実装面３ａに接着されている。接着剤Ａは、基板３の実装面３ａと本体１６の裏面１９との間に充填されて、基板３と本体１６との間に接着剤層２１を形成している。

接着剤層２１は、本体１６の幅方向に沿う両端に位置された一対の端部２１ａ，２１ｂを有している。接着剤層２１の端部２１ａ，２１ｂは、本体１６の長手方向に連続するとともに、本体１６の側面２０ａ，２０ｂと基板３の実装面３ａとの間から露出されている。

接着剤層２１の端部２１ａ，２１ｂは、夫々本体１６の側面２０ａ，２０ｂに沿うように傾斜された外面２１ｃを有している。外面２１ｃは、本体１６の側面２０ａ，２０ｂと基板３の実装面３ａとの間を結んでいるとともに、側面２０ａ，２０ｂと同一の平面上に位置されている。

複数の溝２２が本体１６に形成されている。溝２２は、本体１６の長手方向に間隔を存して配列されているとともに、本体１６の表面１８および側面２０ａ，２０ｂに連続して開口されている。隣り合う溝２２は、仕切り壁２３によって区画されている。

溝２２が開口された本体１６の表面１８は、ノズルプレート５に接している。各溝２２とノズルプレート５とで規定された空間は、圧力室２４を構成している。圧力室２４は、インク流通室１１に通じているとともに、ノズルプレート５の各ノズル１３に対応している。そのため、インク流通室１１を流れるインクは、個々の圧力室２４に充填される。

溝２２の内面に電極２５が形成されている。図１１および図１２に示すように、隣り合う溝２２の電極２５は、絶縁パターン２６で電気的に切り離されている。絶縁パターン２６は、本体１６の側面２０ａ，２０ｂから接着剤層２１の外面２１ｃの上を横切って基板３の実装面３ａに向けて延びている。

さらに、電極２５は、基板３の実装面３ａの上に形成された複数の導体パターン２７に電気的に接続されている。図２に示すように、導体パターン２７の先端は、スペーサ４の外に導かれているとともに、複数のテープキャリアパッケージ２８に接続されている。テープキャリアパッケージ２８は、インクジェットヘッド１を駆動する駆動回路２９を搭載している。

駆動回路２９は、インクジェットヘッド１の電極２５に駆動電圧を印加する。これにより、圧力室２４を間に挟んで隣り合う電極２５の間に電位差が生じ、電極２５に対応する仕切り壁２３がシェアモード変形により圧力室２４の容積を大きくする方向へ撓むように変形する。

この後、電極２５に対する駆動電圧の印加を遮断すると、仕切り壁２３が初期位置に復帰する。仕切り壁２３が初期位置に復帰することで、圧力室２４に充填されたインクが加圧される。加圧されたインクの一部は、複数のインク滴となってノズル１３から記録媒体に吐出される。

図５に示すように、基板３は、前記アクチュエータ１５ａ，１５ｂの本体１６が接着される二つの領域Ｒ１およびＲ２を有している。複数の通孔３１が基板３の領域Ｒ１およびＲ２に設けられている。通孔３１は、接着剤流入部の一例であって、本体１６の側面２０ａ，２０ｂの位置に対応するように、本体１６の長手方向に間隔を存して並んでいる。第１の実施形態では、各通孔３１は、隣り合う溝２２の間を隔てる仕切り壁２３の真下に位置されている。

通孔３１は、本体１６の側面２０ａ，２０ｂに対応した位置で基板３の実装面３ａに開口されている。そのため、通孔３１の開口端は、接着剤層２１で覆われているととともに、接着剤Ａの一部３２が通孔３１に流れ込んでいる。

このような構成のインクジェットヘッド１を製造する手順について説明する。

まず、図６に示すように、基板３の実装面３ａの上にアクチュエータ１５ａの基礎となる圧電体１７ａ，１７ｂを接着剤Ａで接着する。接着剤Ａは、圧電体１７ａ，１７ｂと基板３の実装面３ａとの間に充填されて、接着剤層２１を形成する。

この時、余分な接着剤Ａは、図７に示すように、圧電体１７ａ，１７ｂと基板３の実装面３ａとの間から食み出して、圧電体１７ａ，１７ｂの側面と基板３の実装面３ａとで規定される角部にフィレット状に盛り上がった余剰部分３３を形成する。さらに、接着剤Ａの一部３２は、基板３の通孔３１に流れ込む。

したがって、基板３の実装面３ａに圧電体１７ａ，１７ｂを接着する時、接着剤Ａに取り込まれた空気によって接着剤Ａの中に気泡が生じた場合、この気泡は、接着剤Ａの流れに乗じて通孔３１に導かれる。この結果、基板３の実装面３ａと圧電体１７ａ，１７ｂとの間に充填された接着剤層２１の中から気泡が排除される。

特に、通孔３１は、圧電体１７ａ，１７ｂの幅方向に沿う両端部の真下に位置されるので、基板３の実装面３ａと圧電体１７ａ，１７ｂの前記両端部との間には、気泡を含まない接着剤Ａが密に充填される。

この後、基板３に接着された圧電体１７ａ，１７ｂに切削加工を施すことで、図７に二点鎖線で示すように、圧電体１７ａ，１７ｂの幅方向に沿う両端部を斜めにカットする。これにより、傾斜された側面２０ａ，２０ｂを有するアクチェータ１５ａの本体１６が形成される。

圧電体１７ａ，１７ｂの両端部をカットする時に、圧電体１７ａ，１７ｂの外に食み出た接着剤Ａの余剰部分３３が同時に除去される。この結果、図８に示すように、本体１６の側面２０ａ，２０ｂと基板３の実装面３ａとの間から接着剤層２１の端部２１ａ，２１ｂが露出される。それとともに、接着剤層２１の端部２１ａ，２１ｂに，夫々本体１６の側面２０ａ，２０ｂに沿うように傾斜された外面２１ｃが形成される。

この後、本体１６に複数の溝２２を形成する。引き続いて、基板３および本体１６にめっき処理を施す。これにより、図９および図１０に示すように、例えば基板３の実装面３ａ、本体１６の表面１８、側面２０ａ，２０ｂ、溝２２の内面および接着剤層２１の外面２１ｃが、導電層の一例であるめっき層３４により連続して覆われる。

この後、例えばレーザ光を用いた光リソグラフィにより、めっき層３４に複数の絶縁パターン２６を形成する。具体的には、図１１に矢印で示すように、めっき層３４に基板３の上方からレーザ光を照射する。

レーザ光は、溝２２を隔てる複数の仕切り壁２３に対応する位置でめっき層３４の上に照射される。めっき層３４のうちレーザ光が照射された箇所は、めっき層３４が除去された照射跡として残り、この照射跡が絶縁パターン２６を構成する。絶縁パターン２６は、本体１６の側面２０ａ，２０ｂから接着剤層２１の外面２１ｃの上を通過して基板３の実装面３ａの上に達している。

この結果、めっき層３４は、絶縁パターン２６により溝２２に対応する複数の領域に分断されるとともに、めっき層３４の各領域が各溝２２に対応する電極２５を構成している。

第１の実施形態によると、圧電体１７ａ，１７ｂを基板３の実装面３ａに接着する接着剤Ａの中に気泡が生じたとしても、気泡は、基板３の通孔３１から接着剤Ａの流れに乗じて基板３の外に押し出される。

特に、通孔３１は、斜めにカットされる圧電体１７ａ，１７ｂの両端部の下方に位置されているので、圧電体１７ａ，１７ｂの両端部と基板３の実装面３ａとの間には、気泡を含まない接着剤Ａが密に充填される。

この結果、圧電体１７ａ，１７ｂの両端部と一緒に接着剤層２１の余剰部分３３を斜めにカットした時に、接着剤層２１の外面２１ｃに気泡を要因とする窪みが形成されることはない。

言い換えると、接着剤層２１の外面２１ｃは、本体１６の側面２０ａ，２０ｂに連続するフラットな面となる。そのため、基板３および本体１６にめっき処理を施した時点では、図９に示すように、めっき層３４のうち接着剤層２１の外面２１ｃを覆う部分は、めっき層３４のうち本体１６の側面２０ａ，２０ｂを覆う部分と同一の平面上に位置される。

したがって、めっき層３４に絶縁パターン２６を形成する際に、レーザ光がめっき層３４のうち接着剤層２１の外面２１ｃを覆う部分に確実に照射されることになり、接着剤層２１の外面２１ｃに対応する位置で絶縁パターン２６が途切れるのを防止できる。

一方、図１３および図１４は、接着剤層２１の端部２１ａに、接着剤Ａの中に紛れ込んだ気泡を要因とする凹部４１が形成された比較例を示している。凹部４１は、図７に示す接着剤Ａの余剰部分３３を取り除いた時に、接着剤層２１の端部２１ａに発生するとともに、本体１６の側面２０ａと基板３の実装面３ａとの間から露出されている。

そのため、接着剤層２１の端部２１ａは、本体１６の側面２０ａと同一の平面上に位置されておらず、むしろ本体１６の裏面１９と基板３の実装面３ａとの間に入り込むように窪んだ形状となっている。

さらに、基板３および本体１６にめっき処理を施した際に、めっき層３４は凹部４１の内面にも連続して形成される。めっき層３４は、基板３の上方からレーザ光を照射することで得られる複数の絶縁パターン２６により複数の電極２５に分断される。

しかしながら、凹部４１は、本体１６の側面２０ａよりも窪んでいるため、凹部４１に向かうレーザ光が本体１６の側面２０ａによって遮られてしまう。このため、凹部４１に被着されためっき層３４がレーザ光で除去されずに残ってしまい、めっき層３４を複数の電極２５に分断する絶縁パターン２６が凹部４１の位置で途切れてしまう。

したがって、凹部４１に残っためっき層３４の存在により、隣り合う電極２５が短絡されてしまう。

これに対し、第１の実施形態によれば、絶縁パターン２６は、接着剤層２１の外面２１ｃに対応する位置で途切れることなく基板３の実装面３ａの上まで導かれている。そのため、めっき層３４を複数の電極２５に確実に分断することができ、隣り合う電極２５の短絡を防止することができる。

［第２の実施形態］
図１５は、第２の実施形態を開示している。

第２の実施形態では、接着剤Ａが流れ込む通孔３１が本体１６の幅方向に沿う中央部に対応した位置に設けられている。これ以外のインクジェットヘッド１の構成は、第１の実施形態と同様である。

このような構成によると、接着剤Ａの中に気泡が生じたとしても、気泡は、圧電体１７ａ，１７ｂを基板３の実装面３ａに接着する際の接着剤Ａの流れに乗じて移動し、通孔３１に流れ込む。

そのため、気泡が接着剤層２１の端部２１ａ，２１ｂに移動する確率が低くなり、接着剤層２１の端部２１ａ，２１ｂに絶縁パターン２６の途切れを招く凹部が生じ難くなる。

よって、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。

めっき層に絶縁パターンを形成する手段は、レーザ光を使用した光リソグラフィに限らず、例えばＸ線、電子ビームあるいはイオンビームを用いたリソグラフィを採用してもよい。

さらに、基板の接着剤流入部は、基板を貫通する通孔に特定されるものではなく、例えば、底を有する凹所でも実施可能である。

本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

３…基板、３ａ…実装面、１５ａ，１５ｂ…アクチュエータ、１６…本体、１７ａ，１７ｂ…圧電体、１８…表面、１９…裏面、２０ａ，２０ｂ…側面、２１…接着剤層、２１ａ，２１ｂ…端部、２２…溝、２５…電極、２６…絶縁パターン、３１…接着剤流入部（通孔）、３４…導電層（めっき層）、Ａ…接着剤。

Claims (11)

1. 表面と、前記表面の反対側に位置された裏面と、前記表面と前記裏面との間に跨るとともに前記表面から前記裏面の方向に進むに従い互いに遠ざかる方向に傾斜された一対の側面と、を有する本体と、前記本体の前記表面および前記側面に連続して開口するように構成され、前記本体の長手方向に間隔を存して配列された複数の溝と、を備えたアクチュエータと、
   前記アクチュエータの前記本体が実装される実装面と、前記アクチュエータの前記側面の位置に対応するように前記実装面に開口された複数の接着剤流入部と、を有する基板と、
   前記接着剤流入部の開口端を覆うように前記アクチュエータと前記基板の前記実装面との間に充填され、前記アクチュエータを前記基板に一体的に固定するとともに、前記アクチュエータの前記側面と前記基板の前記実装面との間から露出された端部を有する接着剤層と、
   前記アクチュエータの前記側面、前記溝の内面、前記接着剤層の前記端部および前記基板の前記実装面を連続して覆った導電層に設けられ、前記導電層を隣り合う前記溝の間で電気的に切り離すように前記溝の間から前記接着剤層の前記端部を横切って前記基板の前記実装面に延びることで、前記導電層を前記溝に対応する複数の電極に分断する複数の絶縁パターンと、を具備したインクジェットヘッド。
2. 請求項１の記載において、前記基板の前記接着剤流入部は、前記アクチュエータの前記溝が並ぶ方向に互いに間隔を存して配列されたインクジェットヘッド。
3. 請求項２の記載において、前記接着剤流入部は、前記実装面に開口された通孔であり、前記接着剤層の一部が前記通孔内に充填されたインクジェットヘッド。
4. 請求項３の記載において、前記接着剤層の前記端部が前記アクチュエータの側面と同一面上に位置されたインクジェットヘッド。
5. 表面と、前記表面の反対側に位置された裏面と、前記表面と前記裏面との間に跨るとともに前記表面から前記裏面の方向に進むに従い互いに遠ざかる方向に傾斜された一対の側面と、を有する本体と、前記本体の前記表面および前記側面に連続して開口するように構成され、前記本体の長手方向に間隔を存して配列された複数の溝と、を備えたアクチュエータと、
   前記アクチュエータの前記本体が実装される実装面と、前記実装面に開口された複数の接着剤流入部と、を有する基板と、
   前記接着剤流入部の開口端を覆うように前記アクチュエータと前記基板の前記実装面との間に充填され、前記アクチュエータを前記基板に一体的に固定するとともに、前記アクチュエータの前記側面と前記基板の前記実装面との間から露出された端部を有する接着剤層と、
   前記アクチュエータの前記側面、前記溝の内面、前記接着剤層の前記端部および前記基板の前記実装面を連続して覆った導電層に設けられ、前記導電層を隣り合う前記溝の間で電気的に切り離すように前記溝の間から前記接着剤層の前記端部を横切って前記基板の前記実装面に延びることで、前記導電層を前記溝に対応する複数の電極に分断する複数の絶縁パターンと、を具備したインクジェットヘッド。
6. 請求項５の記載において、前記接着剤流入部は、前記アクチュエータの側面の間に位置されたインクジェットヘッド。
7. 請求項６の記載において、前記接着剤流入部は、前記実装面に開口された通孔であり、前記接着剤層の一部が前記通孔内に充填されたインクジェットヘッド。
8. 請求項７の記載において、前記接着剤層の前記端部が前記アクチュエータの側面と同一面上に位置されたインクジェットヘッド。
9. 表面と、前記表面の反対側に位置された裏面と、前記表面と前記裏面との間に跨るとともに前記表面から前記裏面の方向に進むに従い互いに遠ざかる方向に傾斜された一対の側面と、を有する本体と、前記本体の前記表面および前記側面に連続して開口するように構成され、前記本体の長手方向に間隔を存して配列された複数の溝と、を備えたアクチュエータと、
   前記アクチュエータの前記本体が実装される実装面を有する本体と、を具備したインクジェットヘッドを製造する方法であって、
   前記基板に、前記アクチュエータの前記本体で覆われるとともに、前記実装面に開口された複数の接着剤流入部を形成し、
   前記接着剤流入部が開口された前記基板の前記実装面の上に、接着剤層を介して前記アクチュエータの前記本体を構成する圧電体を接着し、
   前記基板に接着された前記圧電体に切削加工を施すことで前記本体を形成し、
   前記本体の前記側面、前記溝の内面、前記基板の前記実装面と前記本体の前記側面との間から露出された前記接着剤層の端部および前記基板の前記実装面を導電層で連続して被覆し、
   前記導電層に、隣り合う前記溝の間から前記接着剤層の前記端部を横切って前記基板の前記実装面に延びる複数の絶縁パターンを設けることで、前記導電層を前記溝に対応する複数の電極に分断するようにしたインクジェットヘッドの製造方法。
10. 請求項９の記載において、前記圧電体と前記基板の前記実装面との間から食み出た前記接着剤層の余剰部分は、前記圧電体に切削加工を施す際に同時に除去されて前記接着剤層の前記端部が前記本体の前記側面と同一面上に位置されたインクジェットヘッドの製造方法。
11. 請求項１０の記載において、前記基板の上から前記導電層に光を照射することで、前記絶縁パターンが形成されたインクジェットヘッドの製造方法。

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