JPH09109401A - インクジェットプリンタヘッドの製造方法 - Google Patents
インクジェットプリンタヘッドの製造方法Info
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- JPH09109401A JPH09109401A JP26824195A JP26824195A JPH09109401A JP H09109401 A JPH09109401 A JP H09109401A JP 26824195 A JP26824195 A JP 26824195A JP 26824195 A JP26824195 A JP 26824195A JP H09109401 A JPH09109401 A JP H09109401A
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- plate
- grooves
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 圧電部材と板状部材とを積層させて接着した
基板に溝加工してインクジェットプリンタヘッドを形成
する際に、接着面間に気泡が残留することを防止し、そ
の気泡によって隣合う圧力室がリークすることを防止す
る。 【解決手段】 積層させて接着する圧電部材６と板状部
材７との一方の接着面に逃げ溝１５を形成し、圧電部材
６と板状部材７とを接着した際に接着面間の気泡を逃げ
溝１５を通して逃がし、接着面間に気泡が残留しないよ
うにする。逃げ溝１５の寸法を溝８の寸法より小さく
し、及び、逃げ溝１５のピッチを溝８と同じピッチ又は
その整数倍のピッチとすることにより、溝加工を終了し
たときには逃げ溝１５が残らないようにし、逃げ溝１５
が残ることによる圧力室の容積のバラツキを防止する。
基板に溝加工してインクジェットプリンタヘッドを形成
する際に、接着面間に気泡が残留することを防止し、そ
の気泡によって隣合う圧力室がリークすることを防止す
る。 【解決手段】 積層させて接着する圧電部材６と板状部
材７との一方の接着面に逃げ溝１５を形成し、圧電部材
６と板状部材７とを接着した際に接着面間の気泡を逃げ
溝１５を通して逃がし、接着面間に気泡が残留しないよ
うにする。逃げ溝１５の寸法を溝８の寸法より小さく
し、及び、逃げ溝１５のピッチを溝８と同じピッチ又は
その整数倍のピッチとすることにより、溝加工を終了し
たときには逃げ溝１５が残らないようにし、逃げ溝１５
が残ることによる圧力室の容積のバラツキを防止する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、オンデマンド方式
のインクジェットプリンタヘッドの製造方法に関する。
のインクジェットプリンタヘッドの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、インク供給部に接続して並設した
多数の圧力室の先端にインク吐出口を有するノズル板を
固定し、印字指令に応じて圧力室内のインク圧を選択的
に高めてインク吐出口からインク滴として吐出させるよ
うにしたオンデマンド方式のインクジェットプリンタヘ
ッドが知られている。
多数の圧力室の先端にインク吐出口を有するノズル板を
固定し、印字指令に応じて圧力室内のインク圧を選択的
に高めてインク吐出口からインク滴として吐出させるよ
うにしたオンデマンド方式のインクジェットプリンタヘ
ッドが知られている。
【０００３】このようなインクジェットプリンタヘッド
における圧力室内のインク圧を高めてインク滴を吐出さ
せる方法としては、圧力室の両側に配列した側壁の少な
くとも一部を圧電部材により形成し、その側壁に電極を
設け、この電極に電圧を印加して側壁をシェアモード変
形させる方法が特開昭６３−２４７０５１号公報に開示
されている。
における圧力室内のインク圧を高めてインク滴を吐出さ
せる方法としては、圧力室の両側に配列した側壁の少な
くとも一部を圧電部材により形成し、その側壁に電極を
設け、この電極に電圧を印加して側壁をシェアモード変
形させる方法が特開昭６３−２４７０５１号公報に開示
されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、特開昭６３−
２４７０５１号公報には、インクジェットプリンタヘッ
ドの製造方法についての具体的な記載はなく、圧電部材
の接着方法に関する具体的な記載もない。
２４７０５１号公報には、インクジェットプリンタヘッ
ドの製造方法についての具体的な記載はなく、圧電部材
の接着方法に関する具体的な記載もない。
【０００５】インクジェットプリンタヘッドの製造工程
で、圧電部材同士を接着し、及び、セラミックス基板や
ガラス基板等の板状部材と圧電部材とを接着して基板を
形成する際に、その接着面間に気泡が残留する場合があ
り、その気泡によって隣合う圧力室がリークし、各圧力
室内のインク圧を印字指令に応じて正確に高めることが
できなくなる。
で、圧電部材同士を接着し、及び、セラミックス基板や
ガラス基板等の板状部材と圧電部材とを接着して基板を
形成する際に、その接着面間に気泡が残留する場合があ
り、その気泡によって隣合う圧力室がリークし、各圧力
室内のインク圧を印字指令に応じて正確に高めることが
できなくなる。
【０００６】そこで、請求項１記載の発明は、圧電部材
と板状部材とを積層させて接着する際に、その接着面間
に気泡が残留しないようにし、その気泡によって隣合う
圧力室がリークすることを防止できるインクジェットプ
リンタヘッドの製造方法を提供する。
と板状部材とを積層させて接着する際に、その接着面間
に気泡が残留しないようにし、その気泡によって隣合う
圧力室がリークすることを防止できるインクジェットプ
リンタヘッドの製造方法を提供する。
【０００７】また、請求項２記載の発明は、圧電部材と
板状部材とを接着した後に溝加工する際、逃げ溝が確実
に残らないように溝加工できるインクジェットプリンタ
ヘッドの製造方法を提供する。
板状部材とを接着した後に溝加工する際、逃げ溝が確実
に残らないように溝加工できるインクジェットプリンタ
ヘッドの製造方法を提供する。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明で
は、板厚方向に分極させた少なくとも１枚以上の圧電部
材と板状部材とを積層して形成した基板と、この基板に
交互に形成した少なくとも一部が前記圧電部材からなる
多数の側壁と溝と、前記側壁に設けた電極と、前記溝の
上部を覆う天板と前記溝の正面部を覆うノズル板とを前
記基板に取付けて形成した多数の圧力室とを有するイン
クジェットプリンタヘッドの製造方法において、前記溝
よりも狭い幅寸法と前記溝よりも短い長さ寸法とを有す
る逃げ溝を前記圧電部材又は前記板状部材の片面に前記
溝のピッチ又はその整数倍のピッチで形成し、前記逃げ
溝を形成した面を接着剤を介して前記板状部材又は前記
圧電部材に接着し、前記基板に前記逃げ溝と重なり合う
ように溝加工して前記逃げ溝が残らないように前記溝を
形成するので、圧電部材と板状部材とを接着する際にそ
の接着面間に位置する空気が逃げ溝を通って逃げるた
め、接着面間に気泡が残留せず、残留した気泡によって
隣合う圧力室がリークするということが起こらない。
は、板厚方向に分極させた少なくとも１枚以上の圧電部
材と板状部材とを積層して形成した基板と、この基板に
交互に形成した少なくとも一部が前記圧電部材からなる
多数の側壁と溝と、前記側壁に設けた電極と、前記溝の
上部を覆う天板と前記溝の正面部を覆うノズル板とを前
記基板に取付けて形成した多数の圧力室とを有するイン
クジェットプリンタヘッドの製造方法において、前記溝
よりも狭い幅寸法と前記溝よりも短い長さ寸法とを有す
る逃げ溝を前記圧電部材又は前記板状部材の片面に前記
溝のピッチ又はその整数倍のピッチで形成し、前記逃げ
溝を形成した面を接着剤を介して前記板状部材又は前記
圧電部材に接着し、前記基板に前記逃げ溝と重なり合う
ように溝加工して前記逃げ溝が残らないように前記溝を
形成するので、圧電部材と板状部材とを接着する際にそ
の接着面間に位置する空気が逃げ溝を通って逃げるた
め、接着面間に気泡が残留せず、残留した気泡によって
隣合う圧力室がリークするということが起こらない。
【０００９】請求項２記載の発明では、請求項１記載の
発明において、圧電部材と板状部材とを接着する際に逃
げ溝の長さ方向にずらして接着し、前記逃げ溝の長さ方
向の端部が前記圧電部材と前記板状部材との積層方向か
ら見えるようにするので、逃げ溝と溝とが正しく重なり
合うように位置合わせして溝加工することができ、逃げ
溝が完全に残らないように溝加工を行なえ、逃げ溝が残
ったために圧力室の容積がバラツキを生ずる等の不都合
が起こらない。
発明において、圧電部材と板状部材とを接着する際に逃
げ溝の長さ方向にずらして接着し、前記逃げ溝の長さ方
向の端部が前記圧電部材と前記板状部材との積層方向か
ら見えるようにするので、逃げ溝と溝とが正しく重なり
合うように位置合わせして溝加工することができ、逃げ
溝が完全に残らないように溝加工を行なえ、逃げ溝が残
ったために圧力室の容積がバラツキを生ずる等の不都合
が起こらない。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明の一実施の形態を図面に基
づいて説明する。図１はインクジェットプリンタヘッド
１の全体構造を示すもので、基板２に対して天板３とノ
ズル板４とを接着している。
づいて説明する。図１はインクジェットプリンタヘッド
１の全体構造を示すもので、基板２に対して天板３とノ
ズル板４とを接着している。
【００１１】前記基板２は、底板５の上に圧電部材６と
板状部材である圧電部材７とを接着することにより三層
構造に形成する。前記底板５は、剛性が高く熱変形の少
ないセラミックスやガラスを材料として形成し、その板
厚寸法を０．５〜５ｍｍとする。前記圧電部材６，７
は、板厚方向に分極したものをその分極方向が逆向きと
なるように接着する。
板状部材である圧電部材７とを接着することにより三層
構造に形成する。前記底板５は、剛性が高く熱変形の少
ないセラミックスやガラスを材料として形成し、その板
厚寸法を０．５〜５ｍｍとする。前記圧電部材６，７
は、板厚方向に分極したものをその分極方向が逆向きと
なるように接着する。
【００１２】前記基板２に対して溝加工を施し、圧電部
材７の上面から圧電部材６の内部に達するとともに互い
に平行な多数の溝８とこれらの溝８を隔てる多数の側壁
９とを交互に形成する。この溝加工は、ＩＣウエハの切
断等に用いるダイシングソーのダイヤモンドホイール等
を用いて行ない、溝８を、基板２の正面側と上部側とに
おいて開口し、奥側を閉塞した形状に形成する。溝８の
寸法はインクジェットプリンタヘッド１の仕様により決
定するが、例えば、深さ寸法を０．２〜１ｍｍ、幅寸法
を２０〜２００μｍ、長さ寸法を５〜５００ｍｍに形成
する。
材７の上面から圧電部材６の内部に達するとともに互い
に平行な多数の溝８とこれらの溝８を隔てる多数の側壁
９とを交互に形成する。この溝加工は、ＩＣウエハの切
断等に用いるダイシングソーのダイヤモンドホイール等
を用いて行ない、溝８を、基板２の正面側と上部側とに
おいて開口し、奥側を閉塞した形状に形成する。溝８の
寸法はインクジェットプリンタヘッド１の仕様により決
定するが、例えば、深さ寸法を０．２〜１ｍｍ、幅寸法
を２０〜２００μｍ、長さ寸法を５〜５００ｍｍに形成
する。
【００１３】前記溝８と前記側壁９とを形成した前記基
板２に対して無電解メッキ処理を施し、前記側壁９の側
面に電極１０を形成し、及び、前記圧電部材７の上面に
配線パターン１１を形成する。
板２に対して無電解メッキ処理を施し、前記側壁９の側
面に電極１０を形成し、及び、前記圧電部材７の上面に
配線パターン１１を形成する。
【００１４】このようにして溝８や側壁９、及び、電極
１０や配線パターン１１を形成した基板２に対し、溝８
の上部を覆うように前記天板３を接着し、及び、溝８の
正面部を覆うように前記ノズル板４を接着し、各溝８を
これらの天板３とノズル板４とで囲むことにより多数の
圧力室１２を形成する。前記ノズル板４には、各圧力室
１２毎に連通する多数のインク吐出口１３を形成し、前
記天板３の下面には、各圧力室１２に連通するとともに
これらの圧力室１２にインクを供給するための図示しな
いインク供給管を接続するインク供給路１４を形成す
る。
１０や配線パターン１１を形成した基板２に対し、溝８
の上部を覆うように前記天板３を接着し、及び、溝８の
正面部を覆うように前記ノズル板４を接着し、各溝８を
これらの天板３とノズル板４とで囲むことにより多数の
圧力室１２を形成する。前記ノズル板４には、各圧力室
１２毎に連通する多数のインク吐出口１３を形成し、前
記天板３の下面には、各圧力室１２に連通するとともに
これらの圧力室１２にインクを供給するための図示しな
いインク供給管を接続するインク供給路１４を形成す
る。
【００１５】つぎに、前記圧電部材６，７同士を接着す
る工程及び前記基板２を形成する工程を図２ないし図５
に基づいて説明する。まず、図２に示すように、一方の
圧電部材６の片面に、多数の逃げ溝１５を形成する。こ
れらの逃げ溝１５は、前記溝８のピッチと等しいピッチ
で形成し、幅寸法を溝８の幅寸法の約２／３に形成し、
長さ寸法を溝８の長さ寸法より僅かに短く形成し、深さ
寸法を圧電部材６に形成する溝８の深さ寸法より浅く形
成する。
る工程及び前記基板２を形成する工程を図２ないし図５
に基づいて説明する。まず、図２に示すように、一方の
圧電部材６の片面に、多数の逃げ溝１５を形成する。こ
れらの逃げ溝１５は、前記溝８のピッチと等しいピッチ
で形成し、幅寸法を溝８の幅寸法の約２／３に形成し、
長さ寸法を溝８の長さ寸法より僅かに短く形成し、深さ
寸法を圧電部材６に形成する溝８の深さ寸法より浅く形
成する。
【００１６】他方の圧電部材７の片面には、図３に示す
ように、スクリーン印刷版１６を用いて接着剤１７を均
一な厚さに薄くスクリーン印刷する。このスクリーン印
刷において、メッシュの細かいスクリーン印刷版１６を
用いれば、接着剤１７の厚さを５〜１０数μｍにするこ
とができる。使用する接着剤１７は、インクに対する耐
性があれば有機接着剤でも無機接着剤でもどちらでもよ
いが、スクリーン印刷が可能なものに限られる。例え
ば、田岡化学（株）の型番ＡＷ３０４１である一液性の
エポキシ系接着剤を使用する。
ように、スクリーン印刷版１６を用いて接着剤１７を均
一な厚さに薄くスクリーン印刷する。このスクリーン印
刷において、メッシュの細かいスクリーン印刷版１６を
用いれば、接着剤１７の厚さを５〜１０数μｍにするこ
とができる。使用する接着剤１７は、インクに対する耐
性があれば有機接着剤でも無機接着剤でもどちらでもよ
いが、スクリーン印刷が可能なものに限られる。例え
ば、田岡化学（株）の型番ＡＷ３０４１である一液性の
エポキシ系接着剤を使用する。
【００１７】つぎに、図４に示すように、圧電部材６に
おける逃げ溝１５を形成した面と、圧電部材７における
接着剤１７をスクリーン印刷した面とを接着する。この
接着時に、圧電部材６，７同士を逃げ溝１５の長さ方向
に０．１〜１ｍｍずらし、逃げ溝１５の長さ方向の端部
が圧電部材６，７の積層方向から見えるようにする。こ
のようにして圧電部材６，７を接着した後、図５に示す
ように、接着した圧電部材６，７をシリコン等の弾性部
材１８を介して接着ジグ１９に固定し、高温槽２０に入
れて加熱加圧する。この加熱加圧に関しては、加圧力を
１〜３ｋｇ／ｃｍ2 とし、加熱温度を使用する接着剤１
７に応じて４０〜２００℃の間から選択する。
おける逃げ溝１５を形成した面と、圧電部材７における
接着剤１７をスクリーン印刷した面とを接着する。この
接着時に、圧電部材６，７同士を逃げ溝１５の長さ方向
に０．１〜１ｍｍずらし、逃げ溝１５の長さ方向の端部
が圧電部材６，７の積層方向から見えるようにする。こ
のようにして圧電部材６，７を接着した後、図５に示す
ように、接着した圧電部材６，７をシリコン等の弾性部
材１８を介して接着ジグ１９に固定し、高温槽２０に入
れて加熱加圧する。この加熱加圧に関しては、加圧力を
１〜３ｋｇ／ｃｍ2 とし、加熱温度を使用する接着剤１
７に応じて４０〜２００℃の間から選択する。
【００１８】圧電部材６，７の接着が終了した後、この
圧電部材６，７を底板５に接着し、圧電部材６，７の積
層方向から見えている逃げ溝１５の一側を基準として溝
８が逃げ溝１５と重なり合うように溝加工を行なう。こ
こで、逃げ溝１５のピッチと溝８のピッチとが等しく、
逃げ溝１５の幅寸法や長さ寸法が溝８の幅寸法や長さ寸
法より短く、逃げ溝１５の深さ寸法が圧電部材６に形成
する溝８の深さ寸法より浅いため、溝８を形成すること
により逃げ溝１５が残らなくなる。
圧電部材６，７を底板５に接着し、圧電部材６，７の積
層方向から見えている逃げ溝１５の一側を基準として溝
８が逃げ溝１５と重なり合うように溝加工を行なう。こ
こで、逃げ溝１５のピッチと溝８のピッチとが等しく、
逃げ溝１５の幅寸法や長さ寸法が溝８の幅寸法や長さ寸
法より短く、逃げ溝１５の深さ寸法が圧電部材６に形成
する溝８の深さ寸法より浅いため、溝８を形成すること
により逃げ溝１５が残らなくなる。
【００１９】このようにして溝８や側壁９を形成した
後、圧電部材６，７における重なりあっていない前後両
端部を、底板５とともに図６に示す一点鎖線Ａ，Ａ′の
位置から切断し、基板２を形成する。
後、圧電部材６，７における重なりあっていない前後両
端部を、底板５とともに図６に示す一点鎖線Ａ，Ａ′の
位置から切断し、基板２を形成する。
【００２０】このような構成において、このインクジェ
ットプリンタヘッド１では、圧力室１２内にインクを供
給した状態で配線パターン１１を介して電極１０へ電圧
を印加すると、圧電部材６，７で形成した側壁９が圧力
室１２の容積を大きくする方向へシェアモード変形し、
やがて、側壁９が急激に初期位置に復帰する。そして、
側壁９が急激に初期位置に復帰した際に、圧力室１２内
のインクを加圧してそのインクの一部をインク吐出口１
３からインク滴として吐出させる。このインク滴の吐出
時には、クロストークを防止するため、偶数番目の圧力
室１２と奇数番目の圧力室１２とを交互に加圧する。ま
た、インク吐出口１３を、先端側に向けて次第に縮径す
るテーパー状に形成しているので、圧力室１２で加圧し
たインクを効率良く吐出させることができる。
ットプリンタヘッド１では、圧力室１２内にインクを供
給した状態で配線パターン１１を介して電極１０へ電圧
を印加すると、圧電部材６，７で形成した側壁９が圧力
室１２の容積を大きくする方向へシェアモード変形し、
やがて、側壁９が急激に初期位置に復帰する。そして、
側壁９が急激に初期位置に復帰した際に、圧力室１２内
のインクを加圧してそのインクの一部をインク吐出口１
３からインク滴として吐出させる。このインク滴の吐出
時には、クロストークを防止するため、偶数番目の圧力
室１２と奇数番目の圧力室１２とを交互に加圧する。ま
た、インク吐出口１３を、先端側に向けて次第に縮径す
るテーパー状に形成しているので、圧力室１２で加圧し
たインクを効率良く吐出させることができる。
【００２１】圧電部材６，７の接着時において、接着剤
１７の中に最初から含まれていた気泡２１や接着時に接
着面間に入り込んだ気泡を、逃げ溝１５を通して接着面
間から逃がすことができ、最終的に接着面間に残留する
気泡が大幅に減少する。従って、基板２における圧電部
材６，７の部分に溝８を形成した後に天板３やノズル板
４を取付けて圧力室１２を形成したときに、接着面間に
残留していた気泡による隣合う圧力室１２のリークが発
生せず、インク滴の吐出性能が優れたインクジェットプ
リンタヘッド１を得ることができる。
１７の中に最初から含まれていた気泡２１や接着時に接
着面間に入り込んだ気泡を、逃げ溝１５を通して接着面
間から逃がすことができ、最終的に接着面間に残留する
気泡が大幅に減少する。従って、基板２における圧電部
材６，７の部分に溝８を形成した後に天板３やノズル板
４を取付けて圧力室１２を形成したときに、接着面間に
残留していた気泡による隣合う圧力室１２のリークが発
生せず、インク滴の吐出性能が優れたインクジェットプ
リンタヘッド１を得ることができる。
【００２２】また、溝８と逃げ溝１５とのピッチが等し
く、逃げ溝１５の幅寸法や長さ寸法が溝８の幅寸法や長
さ寸法より短く、逃げ溝１５の深さ寸法が圧電部材６に
形成する溝８の深さ寸法より浅いため、溝８と逃げ溝１
５とが重なり合うように溝加工を行なうことにより、こ
の溝加工によって逃げ溝１５が削り取られ、溝加工の終
了時には逃げ溝１５が残らない。従って、製造工程の途
中で圧電部材６に逃げ溝１５を形成しているが、この逃
げ溝１５の形成は溝８を形成することに対しては何ら影
響せず、必要なサイズの溝８を正確に形成することがで
き、逃げ溝１５が残ったために圧力室１２の容積がバラ
ツキを生ずる等の不都合が起こらない。
く、逃げ溝１５の幅寸法や長さ寸法が溝８の幅寸法や長
さ寸法より短く、逃げ溝１５の深さ寸法が圧電部材６に
形成する溝８の深さ寸法より浅いため、溝８と逃げ溝１
５とが重なり合うように溝加工を行なうことにより、こ
の溝加工によって逃げ溝１５が削り取られ、溝加工の終
了時には逃げ溝１５が残らない。従って、製造工程の途
中で圧電部材６に逃げ溝１５を形成しているが、この逃
げ溝１５の形成は溝８を形成することに対しては何ら影
響せず、必要なサイズの溝８を正確に形成することがで
き、逃げ溝１５が残ったために圧力室１２の容積がバラ
ツキを生ずる等の不都合が起こらない。
【００２３】圧電部材６，７を接着する際には、これら
の圧電部材６，７を逃げ溝１５の長さ方向にずらし、逃
げ溝１５の長さ方向の端部が圧電部材６，７の積層方向
から見えるようにしているため、溝８と逃げ溝１５とが
正確に重なるように溝加工を行なうことができ、逃げ溝
１５を確実に残らないようにすることができる。
の圧電部材６，７を逃げ溝１５の長さ方向にずらし、逃
げ溝１５の長さ方向の端部が圧電部材６，７の積層方向
から見えるようにしているため、溝８と逃げ溝１５とが
正確に重なるように溝加工を行なうことができ、逃げ溝
１５を確実に残らないようにすることができる。
【００２４】なお、本実施の形態においては、板状部材
として圧電部材７を用いた場合を例に挙げて説明した
が、この板状部材としてはセラミックスやガラス等を用
いてもよい。
として圧電部材７を用いた場合を例に挙げて説明した
が、この板状部材としてはセラミックスやガラス等を用
いてもよい。
【００２５】また、本実施の形態においては、逃げ溝１
５のピッチと溝８のピットとを等しくした場合を例に挙
げて説明したが、逃げ溝１５のピッチを溝８のピッチの
整数倍のピッチ、例えば、３倍又は４倍のピッチで形成
してもよい。
５のピッチと溝８のピットとを等しくした場合を例に挙
げて説明したが、逃げ溝１５のピッチを溝８のピッチの
整数倍のピッチ、例えば、３倍又は４倍のピッチで形成
してもよい。
【００２６】
【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、圧電部材
と板状部材とを積層させて接着する際に、その接着面間
に気泡が残留しないようにし、その気泡によって隣合う
圧力室がリークすることを防止できる。
と板状部材とを積層させて接着する際に、その接着面間
に気泡が残留しないようにし、その気泡によって隣合う
圧力室がリークすることを防止できる。
【００２７】請求項２記載の発明によれば、圧電部材と
板状部材とを接着した後に溝加工する際、逃げ溝が確実
に残らないように溝加工することができる。
板状部材とを接着した後に溝加工する際、逃げ溝が確実
に残らないように溝加工することができる。
【図１】本発明の一実施の形態のインクジェットプリン
タヘッドを一部を破断して示す斜視図である。
タヘッドを一部を破断して示す斜視図である。
【図２】逃げ溝を形成した圧電部材と接着剤をスクリー
ン印刷した圧電部材とを示す接着前の斜視図である。
ン印刷した圧電部材とを示す接着前の斜視図である。
【図３】接着剤をスクリーン印刷する工程を示す斜視図
である。
である。
【図４】２枚の圧電部材を接着した状態を示す平面図で
ある。
ある。
【図５】接着した２枚の圧電部材を加熱加圧する工程を
示す正面図である。
示す正面図である。
【図６】接着した２枚の圧電部材を底板に接着し、さら
に、溝加工と前後両端部の切断とを行なって基板を形成
する工程を説明する側面図である。
に、溝加工と前後両端部の切断とを行なって基板を形成
する工程を説明する側面図である。
１ インクジェットプリンタヘッド ２ 基板 ３ 天板 ４ ノズル板 ６ 圧電部材 ７ 板状部材 ８ 溝 ９ 側壁 １０ 電極 １２ 圧力室 １５ 逃げ溝 １７ 接着剤
Claims (2)
- 【請求項１】 板厚方向に分極させた少なくとも１枚以
上の圧電部材と板状部材とを積層して形成した基板と、
この基板に交互に形成した少なくとも一部が前記圧電部
材からなる多数の側壁と溝と、前記側壁に設けた電極
と、前記溝の上部を覆う天板と前記溝の正面部を覆うノ
ズル板とを前記基板に取付けて形成した多数の圧力室と
を有するインクジェットプリンタヘッドの製造方法にお
いて、前記溝よりも狭い幅寸法と前記溝よりも短い長さ
寸法とを有する逃げ溝を前記圧電部材又は前記板状部材
の片面に前記溝のピッチ又はその整数倍のピッチで形成
し、前記逃げ溝を形成した面を接着剤を介して前記板状
部材又は前記圧電部材に接着し、前記基板に前記逃げ溝
と重なり合うように溝加工して前記逃げ溝が残らないよ
うに前記溝を形成することを特徴とするインクジェット
プリンタヘッドの製造方法。 - 【請求項２】 圧電部材と板状部材とを接着する際に逃
げ溝の長さ方向にずらして接着し、前記逃げ溝の長さ方
向の端部が前記圧電部材と前記板状部材との積層方向か
ら見えるようにすることを特徴とする請求項１記載のイ
ンクジェットプリンタヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26824195A JPH09109401A (ja) | 1995-10-17 | 1995-10-17 | インクジェットプリンタヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26824195A JPH09109401A (ja) | 1995-10-17 | 1995-10-17 | インクジェットプリンタヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09109401A true JPH09109401A (ja) | 1997-04-28 |
Family
ID=17455866
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26824195A Pending JPH09109401A (ja) | 1995-10-17 | 1995-10-17 | インクジェットプリンタヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09109401A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2243343A2 (en) * | 2008-01-29 | 2010-10-27 | 3M Innovative Properties Company | Electromagnetic interference suppression sheet comprising pressure-sensitive adhesive layer with structured surface |
| US8459781B2 (en) | 2011-03-08 | 2013-06-11 | Toshiba Tec Kabushiki Kaisha | Inkjet head and method of manufacturing the same |
-
1995
- 1995-10-17 JP JP26824195A patent/JPH09109401A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2243343A2 (en) * | 2008-01-29 | 2010-10-27 | 3M Innovative Properties Company | Electromagnetic interference suppression sheet comprising pressure-sensitive adhesive layer with structured surface |
| EP2243343A4 (en) * | 2008-01-29 | 2011-02-09 | 3M Innovative Properties Co | ELECTROMAGNETIC INTERFERENCE SUPPRESSION SHEET COMPRISING A PRESSURE SENSITIVE ADHESIVE LAYER HAVING A STRUCTURED SURFACE |
| US8459781B2 (en) | 2011-03-08 | 2013-06-11 | Toshiba Tec Kabushiki Kaisha | Inkjet head and method of manufacturing the same |
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