JPH09123466A - インクジェットプリンタヘッドの製造方法 - Google Patents
インクジェットプリンタヘッドの製造方法Info
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- JPH09123466A JPH09123466A JP28834495A JP28834495A JPH09123466A JP H09123466 A JPH09123466 A JP H09123466A JP 28834495 A JP28834495 A JP 28834495A JP 28834495 A JP28834495 A JP 28834495A JP H09123466 A JPH09123466 A JP H09123466A
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- substrate
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 少なくとも一方が圧電部材からなる部材を接
着剤で接着してインクジェットプリンタヘッドの基板を
製造する場合、接着剤の中に気泡が残留しないようにす
る。 【解決手段】 予熱して粘度を低くした接着剤を、積層
させて接着する部材の接着面に塗布することにより、塗
布した接着剤の厚みを薄くして接着剤中に残留する気泡
を少なくする。接着剤を挾んで部材を接合させた後、そ
の部材を接合方向へ加圧するとともに接着剤の粘度が最
も低くなる温度へ昇温し、接着剤の厚みをより一層薄く
して接着剤中に気泡が残留しないようにする。
着剤で接着してインクジェットプリンタヘッドの基板を
製造する場合、接着剤の中に気泡が残留しないようにす
る。 【解決手段】 予熱して粘度を低くした接着剤を、積層
させて接着する部材の接着面に塗布することにより、塗
布した接着剤の厚みを薄くして接着剤中に残留する気泡
を少なくする。接着剤を挾んで部材を接合させた後、そ
の部材を接合方向へ加圧するとともに接着剤の粘度が最
も低くなる温度へ昇温し、接着剤の厚みをより一層薄く
して接着剤中に気泡が残留しないようにする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、オンデマンド方式
のインクジェットプリンタヘッドの製造方法に関する。
のインクジェットプリンタヘッドの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、インク供給部に接続して並設した
多数の圧力室の先端にインク吐出口を有するノズル板を
固定し、印字指令に応じて圧力室内のインク圧を選択的
に高めてインク吐出口からインク滴として吐出させるよ
うにしたオンデマンド方式のインクジェットプリンタヘ
ッドが知られている。
多数の圧力室の先端にインク吐出口を有するノズル板を
固定し、印字指令に応じて圧力室内のインク圧を選択的
に高めてインク吐出口からインク滴として吐出させるよ
うにしたオンデマンド方式のインクジェットプリンタヘ
ッドが知られている。
【０００３】このようなインクジェットプリンタヘッド
における圧力室内のインク圧を高めてインク滴を吐出さ
せる方法としては、圧力室の両側に配列した側壁の少な
くとも一部を圧電部材により形成し、その側壁の側面に
電極を設け、この電極に電圧を印加して側壁をシェアモ
ード変形させる方法が特開昭６３−２４７０５１号公報
に開示されている。
における圧力室内のインク圧を高めてインク滴を吐出さ
せる方法としては、圧力室の両側に配列した側壁の少な
くとも一部を圧電部材により形成し、その側壁の側面に
電極を設け、この電極に電圧を印加して側壁をシェアモ
ード変形させる方法が特開昭６３−２４７０５１号公報
に開示されている。
【０００４】ここで、インクジェットプリンタヘッドの
製造工程で一対の圧電部材同士を接着し、又は、セラミ
ックス基板やガラス基板等の部材と圧電部材とを接着し
て基板を形成する際に、その接着面間に気泡が入る場合
がある。気泡が入ると、その気泡によって隣合う圧力室
内のインクがリークし、各圧力室内のインク圧を印字指
令に応じて正確に高めることができなくなる。従って、
圧電部材同士又は圧電部材と他の部材とを接着する際に
は、その接着面間に気泡が入らないようにしなければな
らない。
製造工程で一対の圧電部材同士を接着し、又は、セラミ
ックス基板やガラス基板等の部材と圧電部材とを接着し
て基板を形成する際に、その接着面間に気泡が入る場合
がある。気泡が入ると、その気泡によって隣合う圧力室
内のインクがリークし、各圧力室内のインク圧を印字指
令に応じて正確に高めることができなくなる。従って、
圧電部材同士又は圧電部材と他の部材とを接着する際に
は、その接着面間に気泡が入らないようにしなければな
らない。
【０００５】接着面間に気泡が入らないように接着を行
なう方法としては、特開昭６１−２９２２４４号公報や
特開平４−１４６３６号公報において、接着面に接着剤
を塗布した部材を真空雰囲気中に置くことにより接着剤
中から気泡を脱泡する方法が開示されている。
なう方法としては、特開昭６１−２９２２４４号公報や
特開平４−１４６３６号公報において、接着面に接着剤
を塗布した部材を真空雰囲気中に置くことにより接着剤
中から気泡を脱泡する方法が開示されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述した特開
昭６１−２９２２４４号公報や特開平４−１４６３６号
公報において開示された接着方法では、接着剤の厚みを
充分に薄くすることができず、接着剤の内部に気泡が残
留する。圧電部材を接着して基板を形成したときに接着
剤の中に気泡が残留している基板を用いてインクジェッ
トプリンタヘッドを製造すると、この気泡によって隣合
う圧力室内のインクがリークし、印字指令に応じたイン
ク滴の吐出性能が低下する。
昭６１−２９２２４４号公報や特開平４−１４６３６号
公報において開示された接着方法では、接着剤の厚みを
充分に薄くすることができず、接着剤の内部に気泡が残
留する。圧電部材を接着して基板を形成したときに接着
剤の中に気泡が残留している基板を用いてインクジェッ
トプリンタヘッドを製造すると、この気泡によって隣合
う圧力室内のインクがリークし、印字指令に応じたイン
ク滴の吐出性能が低下する。
【０００７】そこで、請求項１及び２記載の発明は、隣
合う圧力室内のインクがリークすることを防止できるイ
ンクジェットプリンタヘッドの製造方法を提供する。
合う圧力室内のインクがリークすることを防止できるイ
ンクジェットプリンタヘッドの製造方法を提供する。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
少なくとも一方が板厚方向に分極させた圧電部材を積層
させて接着した基板と、この基板に交互に形成した少な
くとも一部が前記圧電部材からなる多数の側壁と溝と、
前記側壁に設けた電極と、前記溝の上部を覆う天板と前
記溝の正面部を覆うノズル板とを前記基板に取付けて形
成した多数の圧力室とを有するインクジェットプリンタ
ヘッドの製造方法において、積層させて接着する前記部
材と接着剤とを予熱し、前記部材の接着面に前記接着剤
を塗布し、前記部材を真空雰囲気中に入れて接合し、接
合した前記部材を大気圧中に戻して接合方向に加圧し、
この加圧状態で前記接着剤の粘度が最も低くなる温度に
昇温し、この昇温状態で所定時間放置した後に前記接着
剤の硬化温度まで昇温するようにしたので、予熱して粘
度を低くした接着剤を接着面に塗布することによりその
塗布状態が薄くなり、しかも、接着剤を塗布した部材を
所定の圧力で接合方向へ加圧するとともに接着剤の粘度
が最も低くなる温度に昇温するため、接着剤の厚みは非
常に薄くなり、この接着剤の中に気泡が残留しなくな
る。
少なくとも一方が板厚方向に分極させた圧電部材を積層
させて接着した基板と、この基板に交互に形成した少な
くとも一部が前記圧電部材からなる多数の側壁と溝と、
前記側壁に設けた電極と、前記溝の上部を覆う天板と前
記溝の正面部を覆うノズル板とを前記基板に取付けて形
成した多数の圧力室とを有するインクジェットプリンタ
ヘッドの製造方法において、積層させて接着する前記部
材と接着剤とを予熱し、前記部材の接着面に前記接着剤
を塗布し、前記部材を真空雰囲気中に入れて接合し、接
合した前記部材を大気圧中に戻して接合方向に加圧し、
この加圧状態で前記接着剤の粘度が最も低くなる温度に
昇温し、この昇温状態で所定時間放置した後に前記接着
剤の硬化温度まで昇温するようにしたので、予熱して粘
度を低くした接着剤を接着面に塗布することによりその
塗布状態が薄くなり、しかも、接着剤を塗布した部材を
所定の圧力で接合方向へ加圧するとともに接着剤の粘度
が最も低くなる温度に昇温するため、接着剤の厚みは非
常に薄くなり、この接着剤の中に気泡が残留しなくな
る。
【０００９】請求項２記載の発明は、少なくとも一方が
板厚方向に分極させた圧電部材を積層させて接着した基
板と、この基板に交互に形成した少なくとも一部が前記
圧電部材からなる多数の側壁と溝と、前記側壁に設けた
電極と、前記溝の上部を覆う天板と前記溝の正面部を覆
うノズル板とを前記基板に取付けて形成した多数の圧力
室とを有するインクジェットプリンタヘッドの製造方法
において、積層させて接着する前記部材と接着剤とを予
熱し、前記部材の接着面に前記接着剤を塗布し、前記部
材を真空雰囲気中に入れて接合し、接合した前記部材を
大気圧中に戻して前記接着剤の粘度が最も低くなる温度
に昇温し、この昇温状態で前記部材を接合方向に加圧
し、この加圧状態で所定時間放置した後に前記接着剤の
硬化温度まで昇温するようにしたので、予熱して粘度を
低くした接着剤を接着面に塗布することによりその塗布
状態が薄くなり、しかも、接着剤を塗布した部材を接着
剤の粘度が最も低くなる温度に昇温して所定の圧力で接
合方向へ加圧するため、接着剤の厚みは非常に薄くな
り、この接着剤の中に気泡が残留しなくなる。
板厚方向に分極させた圧電部材を積層させて接着した基
板と、この基板に交互に形成した少なくとも一部が前記
圧電部材からなる多数の側壁と溝と、前記側壁に設けた
電極と、前記溝の上部を覆う天板と前記溝の正面部を覆
うノズル板とを前記基板に取付けて形成した多数の圧力
室とを有するインクジェットプリンタヘッドの製造方法
において、積層させて接着する前記部材と接着剤とを予
熱し、前記部材の接着面に前記接着剤を塗布し、前記部
材を真空雰囲気中に入れて接合し、接合した前記部材を
大気圧中に戻して前記接着剤の粘度が最も低くなる温度
に昇温し、この昇温状態で前記部材を接合方向に加圧
し、この加圧状態で所定時間放置した後に前記接着剤の
硬化温度まで昇温するようにしたので、予熱して粘度を
低くした接着剤を接着面に塗布することによりその塗布
状態が薄くなり、しかも、接着剤を塗布した部材を接着
剤の粘度が最も低くなる温度に昇温して所定の圧力で接
合方向へ加圧するため、接着剤の厚みは非常に薄くな
り、この接着剤の中に気泡が残留しなくなる。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明の一実施の形態を図１ない
し図５に基づいて説明する。インクジェットプリンタヘ
ッド１は図１に示すように、基板２に対して天板３とノ
ズル板４とを接着することにより形成している。
し図５に基づいて説明する。インクジェットプリンタヘ
ッド１は図１に示すように、基板２に対して天板３とノ
ズル板４とを接着することにより形成している。
【００１１】前記基板２は、底板５の上に二層の圧電部
材６，７を接着することにより三層構造に形成する。前
記底板５は、剛性が高く熱変形の少ないセラミックスや
ガラスを材料として形成し、その板厚寸法を０．５〜５
ｍｍ程度としている。前記圧電部材６，７は、板厚方向
に分極したものをその分極方向が逆向きとなるように接
着する。
材６，７を接着することにより三層構造に形成する。前
記底板５は、剛性が高く熱変形の少ないセラミックスや
ガラスを材料として形成し、その板厚寸法を０．５〜５
ｍｍ程度としている。前記圧電部材６，７は、板厚方向
に分極したものをその分極方向が逆向きとなるように接
着する。
【００１２】また、前記基板２に対して溝加工を施すこ
とにより、圧電部材７の上面から圧電部材６の内部に達
するとともに互いに平行な多数の溝８とこれらの溝８を
隔てる多数の側壁９とを交互に形成する。この溝加工
は、ＩＣウエハの切断等に用いるダイシングソーのダイ
ヤモンドホイール等を用いて行ない、これらの溝８を、
基板２の前面側において開口し、奥側を閉塞した形状に
形成する。溝８の寸法はインクジェットプリンタヘッド
の仕様により決定するが、例えば、深さ寸法を０．２〜
１ｍｍ、幅寸法を２０〜２００μｍ、長さ寸法を５〜５
００ｍｍに形成する。
とにより、圧電部材７の上面から圧電部材６の内部に達
するとともに互いに平行な多数の溝８とこれらの溝８を
隔てる多数の側壁９とを交互に形成する。この溝加工
は、ＩＣウエハの切断等に用いるダイシングソーのダイ
ヤモンドホイール等を用いて行ない、これらの溝８を、
基板２の前面側において開口し、奥側を閉塞した形状に
形成する。溝８の寸法はインクジェットプリンタヘッド
の仕様により決定するが、例えば、深さ寸法を０．２〜
１ｍｍ、幅寸法を２０〜２００μｍ、長さ寸法を５〜５
００ｍｍに形成する。
【００１３】ついで、溝８と側壁９とを形成した前記基
板２に対して無電解メッキ処理を施すことにより、前記
側壁９の側面に電極１０を形成し、及び、前記圧電部材
７の上面にこれらの電極１０と連続する配線パターン１
１を形成する。さらに、この基板２を用いて前記インク
ジェットプリンタヘッド１を完成させたときに、前記電
極１０がインクと接触することを防止するために、電極
１０の上に絶縁膜１２を被覆する。
板２に対して無電解メッキ処理を施すことにより、前記
側壁９の側面に電極１０を形成し、及び、前記圧電部材
７の上面にこれらの電極１０と連続する配線パターン１
１を形成する。さらに、この基板２を用いて前記インク
ジェットプリンタヘッド１を完成させたときに、前記電
極１０がインクと接触することを防止するために、電極
１０の上に絶縁膜１２を被覆する。
【００１４】このようにして溝８や側壁９、及び、電極
１０や絶縁膜１２を形成した基板２に対し、溝８の上部
を覆うように前記天板３を接着し、及び、溝８の正面部
を覆うように前記ノズル板４を接着し、各溝８をこれら
の天板３とノズル板４とで囲むことにより多数の圧力室
１３を形成する。前記ノズル板４には、各圧力室１３に
連通する多数のインク吐出口１４を形成し、前記天板３
の下面には、各圧力室１３に連通するとともにこれらの
圧力室１３にインクを供給するためのインク供給管（図
示せず）を接続するインク供給路１５を形成する。
１０や絶縁膜１２を形成した基板２に対し、溝８の上部
を覆うように前記天板３を接着し、及び、溝８の正面部
を覆うように前記ノズル板４を接着し、各溝８をこれら
の天板３とノズル板４とで囲むことにより多数の圧力室
１３を形成する。前記ノズル板４には、各圧力室１３に
連通する多数のインク吐出口１４を形成し、前記天板３
の下面には、各圧力室１３に連通するとともにこれらの
圧力室１３にインクを供給するためのインク供給管（図
示せず）を接続するインク供給路１５を形成する。
【００１５】ここで、前記圧電部材６，７同士を接着工
程を図４及び図５に基づいて説明する。まず、前記圧電
部材６，７とこれらの圧電部材６，７を接着する接着剤
１６とを予熱する。この予熱温度は、接着剤１６のポッ
トライフを接着作業時間より長くする必要があるために
３０〜５０℃とし、予熱した接着剤１６を、図４に示す
ようにスクリーン印刷版１７を用いて一方の圧電部材６
の接着面にスクリーン印刷する。この接着剤１６は、イ
ンクに対する耐性を有してスクリーン印刷が可能なも
の、例えば、田岡化学（株）の型番ＡＷ３０４１である
一液性のエポキシ系接着剤が好適であり、この接着剤１
６を予熱して粘度を低くした状態でスクリーン印刷する
ことにより５〜１０数μｍの非常に薄い厚みに塗布する
ことができる。
程を図４及び図５に基づいて説明する。まず、前記圧電
部材６，７とこれらの圧電部材６，７を接着する接着剤
１６とを予熱する。この予熱温度は、接着剤１６のポッ
トライフを接着作業時間より長くする必要があるために
３０〜５０℃とし、予熱した接着剤１６を、図４に示す
ようにスクリーン印刷版１７を用いて一方の圧電部材６
の接着面にスクリーン印刷する。この接着剤１６は、イ
ンクに対する耐性を有してスクリーン印刷が可能なも
の、例えば、田岡化学（株）の型番ＡＷ３０４１である
一液性のエポキシ系接着剤が好適であり、この接着剤１
６を予熱して粘度を低くした状態でスクリーン印刷する
ことにより５〜１０数μｍの非常に薄い厚みに塗布する
ことができる。
【００１６】ついで、接着剤１６を塗布した圧電部材６
と他方の圧電部材７とを図示しない真空装置内に入れ、
塗布した接着剤１６の中から気泡１８を脱泡させ、その
後、この真空装置内で圧電部材６，７を接合させ、接合
した圧電部材６，７を大気圧中に戻す。
と他方の圧電部材７とを図示しない真空装置内に入れ、
塗布した接着剤１６の中から気泡１８を脱泡させ、その
後、この真空装置内で圧電部材６，７を接合させ、接合
した圧電部材６，７を大気圧中に戻す。
【００１７】接合した圧電部材６，７を大気圧中に戻し
た後、図５に示すように接着加圧ジグ１９で１〜３ｋｇ
／ｃｍ2 の圧力で加圧し、この加圧状態のまま高温槽２
０に入れて接着剤１６の粘度が最も低くなる温度に昇温
し、その温度で３０分〜１時間放置する。接着剤１６の
粘度が最も低くなる温度は図３のグラフで示すＴ1 であ
り、この温度は接着剤の種類により異なるが、４０〜６
０℃の範囲である。
た後、図５に示すように接着加圧ジグ１９で１〜３ｋｇ
／ｃｍ2 の圧力で加圧し、この加圧状態のまま高温槽２
０に入れて接着剤１６の粘度が最も低くなる温度に昇温
し、その温度で３０分〜１時間放置する。接着剤１６の
粘度が最も低くなる温度は図３のグラフで示すＴ1 であ
り、この温度は接着剤の種類により異なるが、４０〜６
０℃の範囲である。
【００１８】その後、接着剤１６の硬化温度（図３に示
すＴ2 ）まで昇温させ、接着剤１６を硬化させる。接着
剤の硬化温度は接着剤の種類により異なるが、圧電部材
６，７の分極の劣化を防止するために２００℃を上限と
する。
すＴ2 ）まで昇温させ、接着剤１６を硬化させる。接着
剤の硬化温度は接着剤の種類により異なるが、圧電部材
６，７の分極の劣化を防止するために２００℃を上限と
する。
【００１９】このような構成において、このインクジェ
ットプリンタヘッド１では、圧力室１３内にインクを供
給した状態で配線パターン１１を介して電極１０へ電圧
を印加すると、圧電部材６，７で形成した側壁９が圧力
室１３の容積を大きくする方向へシェアモード変形し、
やがて、側壁９が急激に初期位置に復帰する。そして、
側壁９が急激に初期位置に復帰した際に、圧力室１３内
のインクを加圧することによりそのインクの一部がイン
ク吐出口１４からインク滴として吐出する。このインク
滴の吐出時には、クロストークを防止するため、偶数番
目の圧力室１３と奇数番目の圧力室１３とを交互に加圧
する。インク吐出口１４は先端側に向かうにつれて次第
に縮径するテーパ状に形成してあるため、インク滴をイ
ンク吐出口１４から効率良く吐出させることができる。
ットプリンタヘッド１では、圧力室１３内にインクを供
給した状態で配線パターン１１を介して電極１０へ電圧
を印加すると、圧電部材６，７で形成した側壁９が圧力
室１３の容積を大きくする方向へシェアモード変形し、
やがて、側壁９が急激に初期位置に復帰する。そして、
側壁９が急激に初期位置に復帰した際に、圧力室１３内
のインクを加圧することによりそのインクの一部がイン
ク吐出口１４からインク滴として吐出する。このインク
滴の吐出時には、クロストークを防止するため、偶数番
目の圧力室１３と奇数番目の圧力室１３とを交互に加圧
する。インク吐出口１４は先端側に向かうにつれて次第
に縮径するテーパ状に形成してあるため、インク滴をイ
ンク吐出口１４から効率良く吐出させることができる。
【００２０】本実施の形態で使用した接着剤１６は一液
性のエポキシ系接着剤であり、この接着剤１６は図２に
示すように、硬化温度に達するまでは温度が上昇するに
つれて粘度が低くなる性質がある。そこで、二枚の圧電
部材６，７の接着工程において、接着剤１６を圧電部材
６，７とともに３０〜５０℃に予熱して粘度を低くした
後にスクリーン印刷することにより、スクリーン印刷し
た接着剤１６の厚みを非常に薄くすることができ、この
接着剤１６の中に残留する気泡１８を減少させることが
できる。
性のエポキシ系接着剤であり、この接着剤１６は図２に
示すように、硬化温度に達するまでは温度が上昇するに
つれて粘度が低くなる性質がある。そこで、二枚の圧電
部材６，７の接着工程において、接着剤１６を圧電部材
６，７とともに３０〜５０℃に予熱して粘度を低くした
後にスクリーン印刷することにより、スクリーン印刷し
た接着剤１６の厚みを非常に薄くすることができ、この
接着剤１６の中に残留する気泡１８を減少させることが
できる。
【００２１】さらに、図３に示すように、接着剤１６を
挾んで接合させた圧電部材６，７を大気圧中でその接合
方向へ加圧するとともに接着剤１６の粘度が最も低くな
る温度（Ｔ1 ）に昇温させて所定時間放置することによ
り、接着剤１６の厚みがより一層薄くなるとともに接着
剤１６の中から気泡１８が押し出され、接着剤１６の中
に気泡１８が残留しなくなる。従って、このような方法
で接着した圧電部材６，７に対して溝加工して溝８と側
壁９とを形成した場合には、接着剤１６の中に残留して
いる気泡１８によって隣合う圧力室１３内のインクがリ
ークすることがなくなり、印字指令に応じたインク滴の
吐出性能を向上させることができる。
挾んで接合させた圧電部材６，７を大気圧中でその接合
方向へ加圧するとともに接着剤１６の粘度が最も低くな
る温度（Ｔ1 ）に昇温させて所定時間放置することによ
り、接着剤１６の厚みがより一層薄くなるとともに接着
剤１６の中から気泡１８が押し出され、接着剤１６の中
に気泡１８が残留しなくなる。従って、このような方法
で接着した圧電部材６，７に対して溝加工して溝８と側
壁９とを形成した場合には、接着剤１６の中に残留して
いる気泡１８によって隣合う圧力室１３内のインクがリ
ークすることがなくなり、印字指令に応じたインク滴の
吐出性能を向上させることができる。
【００２２】図６は、接着剤１６を挾んで接合した圧電
部材６，７を接着加圧ジグ１９で加圧する際に、数ｍｍ
の厚さ寸法を有するシリコンなどの弾性部材２１を介装
したものである。このような弾性部材２１を介装するこ
とにより、圧電部材も６，７の接着面に対して均一に圧
力が加わるようになり、接着剤１６の厚みの均一にな
り、接着剤１６の厚みが部分的に厚くなってその部分に
気泡１８が残留することを防止できる。
部材６，７を接着加圧ジグ１９で加圧する際に、数ｍｍ
の厚さ寸法を有するシリコンなどの弾性部材２１を介装
したものである。このような弾性部材２１を介装するこ
とにより、圧電部材も６，７の接着面に対して均一に圧
力が加わるようになり、接着剤１６の厚みの均一にな
り、接着剤１６の厚みが部分的に厚くなってその部分に
気泡１８が残留することを防止できる。
【００２３】なお、本実施の形態においては、接着剤１
６を挾んで圧電部材６，７を接合した後に加圧し、つい
で、接着剤１６の粘度が最も低くなる温度に昇温させる
場合を例に挙げて説明したが、接着剤１６を挾んで圧電
部材６，７を接合した後に接着剤１６の粘度が最も低く
なる温度に昇温させ、ついで、圧電部材６，７を接合方
向に加圧してもよい。このように、加圧するタイミング
を代えた場合でも、粘度が最も低くなる温度に昇温した
接着剤１６を加圧する点では同じであり、接着剤１６の
厚みが非常に薄くなり、接着剤１６の中に気泡が残留し
なくなる。
６を挾んで圧電部材６，７を接合した後に加圧し、つい
で、接着剤１６の粘度が最も低くなる温度に昇温させる
場合を例に挙げて説明したが、接着剤１６を挾んで圧電
部材６，７を接合した後に接着剤１６の粘度が最も低く
なる温度に昇温させ、ついで、圧電部材６，７を接合方
向に加圧してもよい。このように、加圧するタイミング
を代えた場合でも、粘度が最も低くなる温度に昇温した
接着剤１６を加圧する点では同じであり、接着剤１６の
厚みが非常に薄くなり、接着剤１６の中に気泡が残留し
なくなる。
【００２４】また、本実施の形態においては、２枚の圧
電部材６，７を接着して基板２を形成した場合を例に挙
げて説明したが、１枚の圧電部材６と圧電部材以外の部
材、例えば、セラミックス基板やガラス基板等を接着し
て基板を形成したものであってもよい。
電部材６，７を接着して基板２を形成した場合を例に挙
げて説明したが、１枚の圧電部材６と圧電部材以外の部
材、例えば、セラミックス基板やガラス基板等を接着し
て基板を形成したものであってもよい。
【００２５】
【発明の効果】請求項１及び２記載の発明によれば、隣
合う圧力室内のインクがリークすることを防止できる。
合う圧力室内のインクがリークすることを防止できる。
【図１】本発明の一実施の形態のインクジェットプリン
タヘッドを一部を破断して示す斜視図である。
タヘッドを一部を破断して示す斜視図である。
【図２】接着剤の温度と粘度との関係を示すグラフであ
る。
る。
【図３】圧電部材の接着工程の制御温度を示すグラフで
ある。
ある。
【図４】スクリーン印刷版と接着剤をスクリーン印刷し
た圧電部材とを示す斜視図である。
た圧電部材とを示す斜視図である。
【図５】接着剤を挾んで接合させた圧電部材を加圧する
形態を示す正面図である。
形態を示す正面図である。
【図６】接着剤を挾んで接合させた圧電部材を加圧する
形態の変形例を示す正面図である。
形態の変形例を示す正面図である。
１ インクジェットプリンタヘッド ２ 基板 ３ 天板 ４ ノズル板 ６，７ 部材 ８ 溝 ９ 側壁 １０ 電極 １３ 圧力室 １６ 接着剤
Claims (2)
- 【請求項１】 少なくとも一方が板厚方向に分極させた
圧電部材を積層させて接着した基板と、この基板に交互
に形成した少なくとも一部が前記圧電部材からなる多数
の側壁と溝と、前記側壁に設けた電極と、前記溝の上部
を覆う天板と前記溝の正面部を覆うノズル板とを前記基
板に取付けて形成した多数の圧力室とを有するインクジ
ェットプリンタヘッドの製造方法において、積層させて
接着する前記部材と接着剤とを予熱し、前記部材の接着
面に前記接着剤を塗布し、前記部材を真空雰囲気中に入
れて接合し、接合した前記部材を大気圧中に戻して接合
方向に加圧し、この加圧状態で前記接着剤の粘度が最も
低くなる温度に昇温し、この昇温状態で所定時間放置し
た後に前記接着剤の硬化温度まで昇温することを特徴と
するインクジェットプリンタヘッドの製造方法。 - 【請求項２】 少なくとも一方が板厚方向に分極させた
圧電部材を積層させて接着した基板と、この基板に交互
に形成した少なくとも一部が前記圧電部材からなる多数
の側壁と溝と、前記側壁に設けた電極と、前記溝の上部
を覆う天板と前記溝の正面部を覆うノズル板とを前記基
板に取付けて形成した多数の圧力室とを有するインクジ
ェットプリンタヘッドの製造方法において、積層させて
接着する前記部材と接着剤とを予熱し、前記部材の接着
面に前記接着剤を塗布し、前記部材を真空雰囲気中に入
れて接合し、接合した前記部材を大気圧中に戻して前記
接着剤の粘度が最も低くなる温度に昇温し、この昇温状
態で前記部材を接合方向に加圧し、この加圧状態で所定
時間放置した後に前記接着剤の硬化温度まで昇温するこ
とを特徴とするインクジェットプリンタヘッドの製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28834495A JPH09123466A (ja) | 1995-11-07 | 1995-11-07 | インクジェットプリンタヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28834495A JPH09123466A (ja) | 1995-11-07 | 1995-11-07 | インクジェットプリンタヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09123466A true JPH09123466A (ja) | 1997-05-13 |
Family
ID=17728995
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28834495A Pending JPH09123466A (ja) | 1995-11-07 | 1995-11-07 | インクジェットプリンタヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09123466A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006036865A (ja) * | 2004-07-23 | 2006-02-09 | Konica Minolta Holdings Inc | 基材の接着方法及びインクジェットヘッドの製造方法 |
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-
1995
- 1995-11-07 JP JP28834495A patent/JPH09123466A/ja active Pending
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