JP2012186399A - 光照射装置及び光照射方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被照射体を構成する接着シートSが貼付された半導体ウエハWを支持するテーブル11と、接着シートSに光を照射する発光手段12と、テーブル11と発光手段12と相対移動させる移動手段13とを備えて光照射装置10が構成されている。発光手段12は、接着シートSの被照射面S1と平行となる面に設けられた複数の発光ダイオード21と、これら発光ダイオード21から発せられる光を矩形の平行光に変換して被照射面S1上に照射する第1レンズ22と第2レンズ24と導光手段23とを備えている。各発光ダイオード21から発せられる光は、第2レンズ24により矩形形状に変換され、導光手段23により導かれた光を第1レンズ22にて平行光に屈折し、前記相対移動方向と交差する方向に延びる帯状光Bとし、被照射面S1上に照射可能となる。
【選択図】図1
Description
本発明の目的は、特に、ウエハ等に貼付された光反応型の接着剤層を有する接着シートに光を照射する場合、発光体から被照射面までの距離に関係なく接着剤層を十分に硬化反応させることができる光照射装置及び光照射方法を提供することにある。
前記発光手段は、発光源と、当該発光源から発光された光を平行光に変換し、前記相対移動方向と交差する方向に延びる帯状光を形成可能に設けられた平行光変換手段とを備える、という構成を採っている。更に、前記発光手段は、前記発光源から発光された光を前記平行光変換手段に導く導光手段を有することが好ましい。また、前記発光手段は、前記発光源から発光された光を矩形投光面に変換して前記平行光変換手段に導く矩形光変換手段を有することがなお好ましい。
前記発光源から照射された光を平行光に変換する工程と、
前記被照射体と発光源とを相対移動させて前記平行光を被照射体の被照射面に照射する工程とを備える、という方法を採っている。
また、導光手段を有する構成とすれば、発光源から発光された光を外部に漏らすことなく平行光変換手段に導くことができ、光の照射効率を高めることができる上、漏れた光が人の目に入ることを防止することができる。
更に、矩形光変換手段を有することで、発光源から発光された光が一部に照射されなかったり、一部で重なり合ったりすることなく平行光変換手段に導くことができ、当該平行光変換手段で変換された平行光が不均一な光となることを防止することができる。
なお、本明細書及び特許請求の範囲において、「光」は、紫外線を含む不可視光線の他、可視光線も含む概念として用いる。
また、本明細書において、特に明示しない限り、「上」、「下」、「左」、「右」は、図1を基準として用いる。
本実施形態の場合、帯状光LB1を被照射面S1に照射するので、図3の実線で示されるように、同図中P1、P2及びP3で示される何れの位置においてもその照度が変化することはない。そのため、P1、P2及びP3において同じ走査速度V1で照射しても、被照射面S1は所定の積算光量を得ることとなり、接着シートSをウエハWから剥離するときに、剥離不良を引き起こしてしまうような不都合は発生しなくなる。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
更に、被照射体は、接着シートSに限定されることなく、光を照射することで硬化する塗料や、光を照射することで軟化する樹脂等、何ら限定されるものではない。
また、照射する光は、紫外線以外に、可視光線や赤外線等の他の光を採用することができる。
更に、平行光変換手段、矩形光変換手段としては、第1、第2レンズ22、24以外に反射板やブラスファイバ等を採用してもよい。
更に、接着シートSが貼付される被着体はウエハWに限定されることなく、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他のものも対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハであってもよい。
更に、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
12 発光手段
13 移動手段
21 発光ダイオード(発光源)
22 第1レンズ(平行光変換手段)
23 導光手段
24 第2レンズ(矩形光変換手段)
B 帯状光
S 接着シート(被照射体)
S1 被照射面
Claims (4)
- 被照射体に相対配置されて前記被照射体の被照射面に光を照射する発光手段と、前記被照射体と発光手段とを相対移動させる移動手段とを含む光照射装置において、
前記発光手段は、発光源と、当該発光源から発光された光を平行光に変換し、前記相対移動方向と交差する方向に延びる帯状光を形成可能に設けられた平行光変換手段とを備えていることを特徴とする光照射装置。 - 前記発光手段は、前記発光源から発光された光を前記平行光変換手段に導く導光手段を有することを特徴とする請求項1記載の光照射装置。
- 前記発光手段は、前記発光源から発光された光を矩形投光面に変換して前記平行光変換手段に導く矩形光変換手段を有することを特徴とする請求項1又は2記載の光照射装置。
- 被照射体と発光源とを相対配置する工程と、
前記発光源から照射された光を平行光に変換する工程と、
前記被照射体と発光源とを相対移動させて前記平行光を被照射体の被照射面に照射する工程とを備えていることを特徴とする光照射方法。
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