JP2005293826A - 光ディスクの紫外線照射装置及び光ディスクへの紫外線照射方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 発明は、電力の有効活用を図ることができ、且つ寿命の長い光ディスクの紫外線照射装置及び光ディスクへの紫外線照射方法を提供する。
【解決手段】 紫外線照射部１４３からディスク基板Ｄに塗布された紫外線硬化樹脂Ａに紫外線を照射し該紫外線硬化樹脂Ａを硬化させるための光ディスクの紫外線照射装置１４であって、紫外線照射部１４３の紫外線の光源として、紫外線発光ダイオードＲを使用する光ディスクの紫外線照射装置。
【効果】本発明によれば、紫外線の光源として紫外線発光ダイオードＲを使用するので、従来のキセノンランプのように可視域や赤外域の光を発光せずに済み、すなわち紫外線硬化樹脂を硬化させるのに必要な紫外線のみを照射することができるので、光源の発光に要する消費電力の低減を図ることができる。また、紫外線発光ダイオードＲの寿命が長く、交換も少なくて済む稼働率も向上する。
【選択図】 図３

Description

本発明は、ディスク基板に塗布された紫外線硬化樹脂に紫外線を照射して硬化させるための装置やその方法に関する。
更に詳しくは、紫外線照射部からディスク基板に塗布された紫外線硬化樹脂に紫外線を照射し該紫外線硬化樹脂を硬化させるための光ディスクの紫外線照射装置及び光ディスクの紫外線照射方法に関するものである。

従来、ディスク基板に塗布された紫外線硬化樹脂（すなわち接着剤）に紫外線を照射しディスク基板同士を接合する方法として、キセノンランプを発光させる方法が知られている。
図１４は、その従来用いられている紫外線照射装置の一例を概略的に示している（特許文献１参照）。
この紫外線照射装置１００は、キセノンランプ１０１を有しており、このキセノンランプ１０１から紫外線を含む光線Ｌが照射される。

キセノンランプ１０１から放射された光線Ｌは四方に拡散するが、光線Ｌを有効に光ディスク１０２に照射できるようにするため通常キセノンランプ１０１の上方には反射ミラー１０３が設けられている。
光線Ｌは光ディスク１０２に照射される前に、有用な紫外線のみを透過させる紫外線透過フィルター１０４を通過する。

この紫外線透過フィルター１０４により、紫外線硬化樹脂が硬化するのに寄与する波長の光のみが光ディスク１０２に照射されることになり、不必要に光ディスク１０２を輻射熱により加熱してしまうのを防ぐことができる。

一方、キセノンランプ１０１を覆うランプハウス１０５には、冷却空気の給気ライン１０６が設けられており、冷却空気の給気ライン１０６から取り入れられた空気は、ランプハウス１０５の中を通り、冷却空気排気ライン１０７から外部に排出される。
特開平１１−２５４５４０号公報

しかしながら、上述したような従来の光ディスク１０２の紫外線照射装置１００では、光源であるキセノンランプ１０１から放射される光の分光分布特性が紫外域から赤外域まで幅広い分布を示し、紫外線硬化樹脂の硬化に寄与しない可視域や赤外域の光が無駄になるという大きな問題があった。
換言すれば、キセノンランプ１０１の発光に使用される電力が必ずしも有効に活用できていないのである。

また、使用状況によっても異なるが、キセノンランプ自体の寿命が一般に３か月〜５か月と比較的短く、他の設備に比べてより頻繁な交換を必要としていた。
更にまた、キセノンランプの熱によるディスク基板への影響を極力少なくするため、上述した空調機構が必要となっていた。

本発明は、かかる背景技術をもとに開発されたもので、上記の各問題点を克服することができるものである。
すなわち、本発明は、電力の有効活用を図ることができ、且つ寿命の長い光ディスクの紫外線照射装置及び光ディスクの紫外線照射方法を提供することを目的とする。

かくして、本発明者は、このような課題背景に対して鋭意研究を重ねた結果、紫外線のみを放射する光源を用いることにより、上記の問題点を解決することができることを見出し、この知見に基づいて本発明を完成させたものである。

すなわち、本発明は、（１）、紫外線照射部からディスク基板に塗布された紫外線硬化樹脂に紫外線を照射し該紫外線硬化樹脂を硬化させるための光ディスクの紫外線照射装置であって、紫外線照射部の紫外線の光源として、紫外線発光ダイオードを使用する光ディスクの紫外線照射装置に存する。

また、本発明は、（２）、紫外線照射部には複数の紫外線発光ダイオードが配置されている上記（１）に記載の光ディスクの紫外線照射装置に存する。

また、本発明は、（３）、紫外線照射部には複数種類の紫外線発光ダイオードが配置されている上記（１）に記載の光ディスクの紫外線照射装置に存する。

また、本発明は、（４）、複数の紫外線発光ダイオードが密度を変えて配置されている上記（１）に記載の光ディスクの紫外線照射装置に存する。

また、本発明は、（５）、紫外線照射部には、全体に複数の紫外線発光ダイオードが円盤状に配置されている上記（１）に記載の光ディスクの紫外線照射装置に存する。

また、本発明は、（６）、紫外線照射部には、全体に複数の紫外線発光ダイオードが矩形状に配置されている上記（１）に記載の光ディスクの紫外線照射装置に存する。

また、本発明は、（７）、紫外線照射部は、ディスク基板に対して、照射位置と退避位置とに選択的に配置可能となっている上記（１）に記載の光ディスクの紫外線照射装置。

また、本発明は、（８）、紫外線照射部が、ディスク基板に対して、接近自在となっている上記（１）に記載の光ディスクの紫外線照射装置に存する。

また、本発明は、（９）、紫外線発光ダイオードの紫外線強度を均一化するために光拡散部材をディスク基板との間に設けた上記（１）に記載の光ディスクの紫外線照射装置に存する。

また、本発明は、（１０）、全部の紫外線発光ダイオードの照度を測定するための全面照度測定部が設けられている上記（１）に記載の光ディスクの紫外線照射装置に存する。

また、本発明は、（１１）、個別の紫外線発光ダイオードの照度を測定するための部分照度測定部が設けられている上記（１）に記載の光ディスクの紫外線照射装置に存する。

また、本発明は、（１２）、ディスク基板に塗布された紫外線硬化樹脂に紫外線を照射しディスク基板同士を接合するための光ディスクへの紫外線照射方法であって、複数の紫外線発光ダイオードが配置された紫外線照射部をディスク基板の上方に配置し、ディスク基板全面に渡り紫外線を照射することを特徴とする光ディスクへの紫外線照射方法に存する。

また、本発明は、（１３）、ディスク基板を回転させる上記（１２）記載の光ディスクへの紫外線照射方法に存する。

また、本発明は、（１４）、ディスク基板間に塗布された紫外線硬化樹脂に紫外線を照射しディスク基板同士を接合するための光ディスクへの紫外線照射方法であって、複数の紫外線発光ダイオードが配置された棒状の紫外線照射部をディスク基板の上方にその直径方向に沿って配置し、ディスク基板を回転させることによりディスク基板全面に渡り紫外線を照射する光ディスクへの紫外線照射方法に存する。

また、本発明は、（１５）、紫外線発光ダイオードにパルス状に電圧を印加することで該紫外線発光ダイオードを断続的に発光させる上記（１２）又は（１４）に記載の光ディスクへの紫外線照射方法に存する。

なお、本発明の目的に添ったものであれば、上記（１）から（１５）を適宜組み合わせた構成も採用可能である。

本発明によれば、紫外線の光源として紫外線発光ダイオードを使用するので、従来のキセノンランプのように可視域や赤外域の光を発光せずに済み、すなわち紫外線硬化樹脂を硬化させるのに必要な紫外線のみを照射することができるので、光源の発光に要する消費電力の低減を図ることができる。
また、紫外線発光ダイオードの寿命が長く、交換も少なくて済み稼働率も向上する。
従来と異なって熱の発生が比較的少ないので光ディスクに悪影響を与えない。
なお、波長分布の異なる複数の紫外線発光ダイオードを配置すれば、硬化波長の異なる紫外線硬化樹脂に対しても適用でき、結果的に広範囲な種類の紫外線硬化樹脂に対応でき汎用性が得られることとなる。

以下、本発明を実施するための最良の形態を図面に基づいて説明する。
先ず、本発明の紫外線照射装置の位置付けの意味から、この紫外線照射装置を備えた光ディスクの製造ラインの一例について概略説明する。

（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態に係る光ディスクの紫外線照射装置を含む光ディスクの製造ラインを示す図である。

〔ディスク基板供給工程〕
ここでは、先ず、ディスク基板Ｄの集積しておくストッカー１からターンテーブル３の上にディスク基板Ｄが載置される。

載置された各ディスク基板Ｄは、クリーナー５等によって塵又は静電気等が除去される。
そして、上側のディスク基板Ｄのみリバーサ６によって裏返され、下側のディスク基板Ｄとの貼合わせ面が下側に位置するように逆転される。

〔接着剤延展工程〕
ここでは、前工程であるディスク基板供給工程におけるターンテーブル３からディスク基板Ｄが回転台７上に搬送されて載置される。
そしてディスク基板Ｄの上に、レジンディスペンサー９により接着剤が塗布される。

次に、接着剤が塗布されたディスク基板Ｄの上に、別のディスク基板Ｄが載置され、回転台７の高速回転により両ディスク基板間の接着剤は延展される。

〔接着剤硬化工程〕
延展工程を終了した２枚のディスク基板Ｄは、回転台７からターンテーブル１０の受け台（紫外線透過台１１）の上に載置される。

受け台にディスク基板Ｄが載置された後、ターンテーブル１０は定角度回転し割り出され、図示しないセンターウエイトが、紫外線透過台１１のディスク基板Ｄの上に載置される（すなわちディスク内周のクランピングエリアに載置される）。

ディスク基板Ｄの上に例えば透明なセンターウエイトが載置されることで、この板の重量によりディスク基板Ｄは反返りが生じない安定した状態となる。

〔紫外線照射工程〕
次に、ターンテーブル１０が定角度回転し割り出され紫外線照射位置にくる。
この位置では、上下方向からディスク基板Ｄに対して紫外線照射装置１４により紫外線が照射される。
この場合、ディスク基板Ｄは、上下を紫外線の通過が可能な紫外線透過板１３及び紫外線透過台１１により挟持されているので、何ら支障なく上下両側から紫外線を照射させることができる。

紫外線照射は例えば２秒〜３秒間行われるが、このことにより２枚のディスク基板Ｄの間に介在する接着剤（紫外線硬化樹脂）は、速やかに硬化される。

〔ディスク基板移送工程〕〔検査工程〕
一体化した両ディスク基板Ｄは、ターンテーブル１０から取り出され、他の位置にて検査項目（例えばチルト度合い等）がチェックされ合否が判定される。
以上で、光ディスクが完成する。

ここで、図２及び図３に示す概略説明図を用いて紫外線照射工程における紫外線照射装置１４について更に詳しく説明する。
紫外線照射装置１４には、ベース部４１に回動軸１４２を介して紫外線照射部１４３を回動自在に設ける。
ディスク基板Ｄに紫外線を照射するときには、紫外線照射部１４３をターンテーブル１０上に位置決めして行う。
照射しない場合には、ターンテーブル１０から外して退避位置（二点鎖線で示す）に移動させる。

紫外線照射部１４３には、そのディスク基板Ｄと対向する面に複数の紫外線発光ダイオードＲが設置されている。
紫外線照射部１４３の大きさは、被照射体（照射対象物）であるディスク基板Ｄを十分にカバーできる大きさとなっている。
また回動軸１４２は上下移動可能となっているために、被照射体であるディスク基板Ｄに対して接近度合いを適宜に調整できる。

図３は紫外線照射部１４３における紫外線発光ダイオードＲの配置状態を示す概略説明図である。
紫外線発光ダイオードＲは、紫外線照射部１４３の全体に渡って円盤状に配置されている。

紫外線発光ダイオードＲを配置するにあたっては、ディスク基板面に照射される光の強度が均一になるように一定の密度で規則正しく配置することが好ましい〔図３（Ａ）参照〕。
しかし、ディスク基板外周端付近の接着剤の硬化をより確実にするために、紫外線発光ダイオードＲの密度を変えて配置することも可能である。
例えば、紫外線照射部１４３の外周の位置に密度を高くなるように紫外線発光ダイオードＲを配置することでディスク基板Ｄの端部の硬化しにくい領域が効率良く硬化される〔図３（Ｂ）参照〕。
すなわち、紫外線照射部１４３の配置状態によりディスク基板Ｄに対して部分的な紫外線照射の強弱を与えることができる。

なお、紫外線硬化樹脂としては、例えば、（メタ）アクリレート類に光硬化開始剤を添加したもの、エポキシ化合物に光硬化開始剤を添加したもの、アリル系化合物に光硬化開始剤を添加したもの、ポリエンとポリチオールを主成分としてこれに光硬化開始剤を添加したもの、又は、これらの混合よりなるもの等が採用される。

ところで紫外線硬化樹脂によっては、それを硬化するために必要な紫外線の波長や強度が少し異なる場合があることから、それに対応させた紫外線照射部１４３の設計がなされる。

一般に紫外線硬化樹脂の多くは、例えば波長３６５ｎｍの光や波長４００ｎｍの光に感光ピークを有しており、波長域が３００ｎｍ〜４３０ｎｍの光線であれば十分に硬化可能である。

そのため紫外線発光ダイオードＲとしては、例えば、３９５ｎｍ〜４２０ｎｍにピークを有する紫外線発光ダイオードが使用される（例えば、ＵＳ２００２／００７４５５９Ａ１参照）。
例えば、具体的には、ナイトライド・セミコンダクター株式会社製の紫外線発光ダイオード（型式ＮＳ３６５Ｃ、ＮＳ３７０Ｃ、ＮＳ３７５Ｃ）を使用することができる。

これらの製品についての発光波長と相対発光強度との関係を図４（ｙ軸の相対発光強度は、ピークの波長の光強度を１としたもの）に示す。
図中、実線は型式ＮＳ３６５Ｃの紫外線発光ダイオードの波長分布であり、そのピークは３６５ｎｍ付近にある。
同図からＮＳ３６５Ｃの紫外線発光ダイオードはほぼ３５０ｎｍ〜４００ｎｍの波長の光を放射していることが分かる。

同様に、図中、点線は型式ＮＳ３７０Ｃの紫外線発光ダイオードであり、そのピークは３７０ｎｍ付近にあり、放射する光の波長はほぼ３５５ｎｍ〜４０５ｎｍであることが分かる。
また同様に、図中、二点鎖線は型式ＮＳ３７５Ｃの紫外線発光ダイオードであり、そのピークは３８０ｎｍ付近にあり、放射する光の波長はほぼ３６０ｎｍ〜４１０ｎｍであることが分かる。

このように紫外線発光ダイオードＲから放射される光は、有効に紫外線硬化樹脂の硬化に使用されるため、光源の発光に要する消費電力をキセノンランプ等に比べて低くすることができ効率が良く、省エネ化を図ることができる。
また、紫外線発光ダイオードＲにパルス状に電圧を印加することで該紫外線発光ダイオードＲを断続的に発光させても良い。

上述したような紫外線照射装置１４では、従来のキセノンランプ等を使用する装置のような複雑な機構の装置を用いる必要がなく、省スペース化や低コスト化に大きく寄与する。
また紫外線発光ダイオードＲの寿命も数年程度であり、キセノンランプの数カ月と比べてかなり長いことから、交換の回数が少なくなりメリットが大きい。
なお紫外線発光ダイオードＲの発熱量はいわゆるキセノンランプに較べて発熱量が少ないものであるが、ディスク基板Ｄに、極力、熱の影響を与えないように、紫外線発光ダイオードＲの設置面(すなわち基体部)に図示しない冷却機構を設けておくことが好ましい。
これは以下に述べる各実施の形態においても同様なことがいえる。

図５は、冷却機構を備えた紫外線照射装置をより具体的に示した概略図である。
ターンテーブル１０上の回転台１０Ａに載置されているディスク基板Ｄに紫外線照射装置の紫外線照射部１４３が対向している。
紫外線発光ダイオードＲを取り付けた基体部１５０の裏側（図では上側）には接触面積を大きくするための空冷部１５１が形成されており、熱を発散させることができる。

また、空冷部１５１の上には回転ファン１５２が取り付けられており、回転ファン１５２を回転させることにより、周囲の空気が冷却部１５１を通過して矢印の如く流れて、上方から排気される。
温度検知器を基体部１５０の適宜位置に配設しておき、何らかの原因で温度が異常に上がった場合にはコントローラ部１４１によりアラム警報を発することができる。

（第２実施形態）
図６は、本発明の第２実施形態に係る光ディスクの紫外線照射装置を示している。
この例でも、紫外線照射装置１４は、コントローラ部１４１に設けられた回動軸１４２を介して紫外線照射部１４３が回動自在に取り付けられている。
当然、回動軸１４２の上下移動によりディスク基板Ｄに対する紫外線照射部１４３の接近度合いを調整できる。
この紫外線照射部１４３には複数の紫外線発光ダイオードＲが一定密度で規則正しく配置されている。

紫外線発光ダイオードＲは、紫外線照射部１４３に矩形状に複数列（ここでは２列）配置されている。
そして、一方の列に並んだ紫外線発光ダイオードＲは、他方の列に並んだ紫外線発光ダイオードＲの間に位置するように変位して配置されている。
このようにすることで、紫外線が全体に均一になる利点があり、ディスク基板Ｄを回転させた状態でディスク基板全面に渡り紫外線を照射する場合に特に有効である。
紫外線照射する場合は、この棒状の紫外線照射部１４３を退避位置（二点鎖線）から回動させて照射位置に移動する。
すなわち、紫外線照射部１４３をディスク基板Ｄの上方にディスク基板Ｄの中心を横切るように、直径方向に配置して紫外線を照射する。

（第３実施形態）
図７は、本発明の第３実施形態に係る光ディスクの紫外線照射装置を示す概略説明図である。
この例では、紫外線照射装置の紫外線照射部１４３は、ディスク基板Ｄの上方から紫外線を照射する紫外線発光ダイオードＲを備えているだけではなく、ディスク基板Ｄの端側に対して照射する紫外線発光ダイオードＲをも備えている。
そのため、ディスク基板Ｄの周縁部の紫外線硬化樹脂（すなわち接着剤）Ａを効果的に硬化させることが可能である。
このディスク基板Ｄの端側に対して照射する紫外線発光ダイオードＲは、前述した第１実施形態における紫外線発光ダイオードＲが円盤状に配置された紫外線照射部１４３や第２実施形態に示された紫外線発光ダイオードＲが矩形状に配置された紫外線照射部１４３に対しても当然適用可能である。

（第４実施形態）
図８は、本発明の第４実施形態に係る光ディスクの紫外線照射装置の紫外線発光ダイオードの配置を示す概略説明図である。
この第４実施形態は、波長分布の異なる複数の紫外線発光ダイオードを使ったものである。
この第４実施形態の紫外線照射部１４３には、波長分布の異なる３種類の紫外線発光ダイオードＲ１，Ｒ２，Ｒ３が配置されている。
例えば、紫外線発光ダイオードＲ１，Ｒ２，Ｒ３から放射される光の波長ピークはそれぞれ３４０ｎｍ、３６５ｎｍ、３９０ｎｍである。

このように波長分布の異なる複数種類の紫外線発光ダイオードＲ１，Ｒ２，Ｒ３を用いると、図９の模式図で分かるように、波長分布の範囲が広くなる。
具体的には、相対発光強度の比較的高い部分（例えば０．７以上）の紫外線の分光分布の幅Ｔが一種類の場合に較べて格段に広がるのである。
従って、紫外線硬化樹脂の種類が異なっても汎用的に紫外線硬化樹脂を硬化することが可能である。

図１０は、図８の紫外線照射部１４３の一部を拡大し紫外線発光ダイオードの配置状態を説明する図である。
図に示すように、波長分布の異なる３種類の近接する紫外線発光ダイオードＲ１，Ｒ２，Ｒ３が各々三角形の頂点に位置するように配置されている。
このような配置を行うと、３種類の紫外線発光ダイオードＲ１，Ｒ２，Ｒ３が均等に配置されて、ディスク基板Ｄに照射される紫外線の強さも各種類とも均一となる。

（第５実施形態）
図１１は、本発明の第５実施形態に係る光ディスクの紫外線照射装置の概略説明図である。
これは光ディスクの紫外線照射装置に紫外線発光ダイオードによる照度を測定する装置が備わったものである。

前述した図２の二点鎖線で示す紫外線照射部１４３の退避位置において、全面照度測定部１６Ａ（多数の受光素子ＣＣＤを備える）を有する照度測定器１６によって紫外線照射部１４３の紫外線発光ダイオードＲから照射される光の照度が測定される。
そして、定期的に、一定時間、紫外線照射装置を使った後、その紫外線照射部１４３から放出される光の照度を測定し、照度が低下した場合には、紫外線発光ダイオードに流す電流を一定値大きくして照度を上げる補正を行う。
電流の増加によって一定の基準に照度が上がらなくなった場合には、紫外線発光ダイオードが劣化したものと見なされ、その全部を新しいものに交換する。
この場合、照度測定器１６を移動可能にして、紫外線照射部１４３の使用位置にて照度を測定することも、当然、可能である。

（第６実施形態）
図１２は、本発明の第６実施形態に係る光ディスクの紫外線照射装置の概略説明図である。
これは光ディスクの紫外線照射装置に紫外線発光ダイオードの個別の照度を測定する装置が備わったものである。
この場合、紫外線照射部１４３の一個の紫外線発光ダイオードの照度を測定するための小型の部分照度測定部１６Ｂを有する照度測定器１６を用いる。
一定時間、紫外線照射装置を使った後、その個々の紫外線照射部１４３から放出される光の照度を測定する。
一定の時間毎に測定位置を順次変えていって、紫外線照射部１４３の一個一個の紫外線発光ダイオードＲの照度を測定する。
個々の紫外線発光ダイオードＲの照度を測定できるために、一つの紫外線発光ダイオードの故障を検知できるものである。
小型の部分照度測定部１６Ｂであるために移動し易く、紫外線照射部１４３の使用位置にて測定することが容易である。

（第７実施形態）
図１３は、本発明の第７実施形態に係る光ディスクの紫外線照射装置の概略説明図である。
この装置は紫外線発光ダイオードＲと被照射体であるディスク基板Ｄとの間に光拡散部材Ｓを設けた点に特徴がある。
本発明においては、紫外線発光ダイオードＲは個々に独立したものであるため、一定の間隔をおいて配置され、必然的に、その間の領域の紫外線の強度が弱くなる。
そのために紫外線照射部全体として紫外線の強度が不均一となり、結果的に、ディスク基板Ｄが受ける照度も、当然、不均一となる。
これを防止するために光拡散部材Ｓを用いることにより、個々の紫外線発光ダイオードＲが発する紫外線の強さが平均化される。
この光拡散部材Ｓとしては、例えば、下面を粗面としたガラス板や通光性のプラスチック板を用いることができる。

以上、本発明を説明してきたが、本発明は上述した実施形態にのみ限定されるものではなく、その本質を逸脱しない範囲で、他の種々の変形が可能であることはいうまでもない。

例えば、ディスク基板同士を貼り合わせする場合についてのみ述べたが、ディスク基板Ｄにオーバコートする場合にも当然適用可能である。
また、ディスク基板Ｄがターンテーブル１０の上に載置されている状態で、紫外線を照射する場合を示したが、ターンテーブル１０以外の保持台に載置されているディスク基板Ｄに対して照射することも当然可能である。

また本発明の紫外線照射装置１４は、コントローラ部により時間、電圧、電流等が制御されるものである。
また、紫外線照射部１４３の基体部１５０の形状は種々の形状とすることが可能であり、紫外線発光ダイオードの配置も同様である。

本発明は、ディスク基板に付与された接着剤（オーバコーティング剤も含む）を紫外線照射により硬化させる場合の装置や方法に関するものであるか、接着剤等を紫外線の照射により硬化させるものである限り、他の分野、例えば部品の固着分野等にも適用可能であり、その応用分野は広い。

図１は、本発明の第１実施形態に係る光ディスクの紫外線照射装置を含む光ディスクの製造ラインを示す説明図である。 図２は、図１の紫外線照射装置を示す概略説明図である。 図３は、図２の紫外線照射装置の紫外線発光ダイオードの配置を示す概略説明図である。 （Ａ）は、紫外線発光ダイオードをディスク基板面に照射される光の強度が均一になるように一定の密度で規則正しく配置した状態を示している。 （Ｂ）は、紫外線発光ダイオードを紫外線照射部の外周側の位置に密度を高くなるように配置した状態を示している。 図４は、紫外線発光ダイオードの波長と相対発光強度との関係を示す説明図である。 図５は、冷却機構を備えた紫外線照射装置をより具体的に示した概略図である。 図６は、本発明の第２実施形態に係る光ディスクの紫外線照射装置を示している。 図７は、本発明の第３実施形態に係る光ディスクの紫外線照射装置を示す概略説明図である。 図８は、本発明の第４実施形態に係る光ディスクの紫外線照射装置の紫外線発光ダイオードの配置を示す概略説明図である。 図９は、紫外線発光ダイオードの波長と相対発光強度との関係を模式的に示す説明図である。 図１０は、図８の紫外線照射部１４３の一部を拡大し紫外線発光ダイオードの配置状態を説明する図である。 図１１は、本発明の第５実施形態に係る光ディスクの紫外線照射装置の概略説明図である。 図１２は、本発明の第６実施形態に係る光ディスクの紫外線照射装置の概略説明図である。 図１３は、本発明の第７実施形態に係る光ディスクの紫外線照射装置の概略説明図である。 図１４は、従来の紫外線照射装置の例を示す説明図である。

符号の説明

１ ストッカー
３ ターンテーブル
５ クリーナー
６ リバーサ
７ 回転台
９ レジンディスペンサー
１０ ターンテーブル
１０Ａ 回転台
１１ 紫外線透過台
１３ 紫外線透過板
１４ 紫外線照射装置
１４１ コントローラ部
１４２ 回動軸
１４３ 紫外線照射部
１５０ 基体部
１５１ 空冷部
１５２ 回転ファン
１６ 照度測定器
１６Ａ 全面照度測定部
１６Ｂ 部分照度測定部
１００ 紫外線照射装置
１０１ キセノンランプ
１０２ 光ディスク
１０３ 反射ミラー
１０４ 紫外線透過フィルター
１０５ ランプハウス
１０６ 給気ライン
１０７ 冷却空気排気ライン
Ａ 紫外線硬化樹脂（接着剤）
Ｄ ディスク基板
Ｌ 光線
Ｒ 紫外線発光ダイオード
Ｓ 光拡散部材
Ｔ 幅

Claims (15)

1. 紫外線照射部からディスク基板に塗布された紫外線硬化樹脂に紫外線を照射し該紫外線硬化樹脂を硬化させるための光ディスクの紫外線照射装置であって、
   紫外線照射部の紫外線の光源として、紫外線発光ダイオードを使用することを特徴とする光ディスクの紫外線照射装置。
2. 紫外線照射部には複数の紫外線発光ダイオードが配置されていることを特徴とする請求項１に記載の光ディスクの紫外線照射装置。
3. 紫外線照射部には複数種類の紫外線発光ダイオードが配置されていることを特徴とする請求項１に記載の光ディスクの紫外線照射装置。
4. 複数の紫外線発光ダイオードが密度を変えて配置されていることを特徴とする請求項１に記載の光ディスクの紫外線照射装置。
5. 紫外線照射部には、全体に複数の紫外線発光ダイオードが円盤状に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の光ディスクの紫外線照射装置。
6. 紫外線照射部には、全体に複数の紫外線発光ダイオードが矩形状に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の光ディスクの紫外線照射装置。
7. 紫外線照射部は、ディスク基板に対して、照射位置と退避位置とに選択的に配置可能となっていることを特徴とする請求項１に記載の光ディスクの紫外線照射装置。
8. 紫外線照射部が、ディスク基板に対して、接近自在となっていることを特徴とする請求項１に記載の光ディスクの紫外線照射装置。
9. 紫外線発光ダイオードの紫外線強度を均一化するために光拡散部材をディスク基板との間に設けたことを特徴とする特徴とする請求項１５又は請求項１６に記載の光ディスクの紫外線照射装置。
10. 全部の紫外線発光ダイオードの照度を測定するための全面照度測定部が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の光ディスクの紫外線照射装置。
11. 個別の紫外線発光ダイオードの照度を測定するための部分照度測定部が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の光ディスクの紫外線照射装置。
12. ディスク基板に塗布された紫外線硬化樹脂に紫外線を照射しディスク基板同士を接合するための光ディスクへの紫外線照射方法であって、
    複数の紫外線発光ダイオードが配置された紫外線照射部をディスク基板の上方に配置し、ディスク基板全面に渡り紫外線を照射することを特徴とする光ディスクへの紫外線照射方法。
13. ディスク基板を回転させることを特徴とする請求項１２に記載の光ディスクへの紫外線照射方法。
14. ディスク基板間に塗布された紫外線硬化樹脂に紫外線を照射しディスク基板同士を接合するための光ディスクへの紫外線照射方法であって、
    複数の紫外線発光ダイオードが配置された棒状の紫外線照射部をディスク基板の上方にその直径方向に沿って配置し、ディスク基板を回転させることによりディスク基板全面に渡り紫外線を照射することを特徴とする光ディスクへの紫外線照射方法。
15. 紫外線発光ダイオードにパルス状に電圧を印加することで該紫外線発光ダイオードを断続的に発光させることを特徴とする請求項１２又は請求項１４に記載の光ディスクへの紫外線照射方法。

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