JP2012173007A - 熱電対、熱電対具備部材及びそれを用いたオゾン濃度計 - Google Patents

Abstract

【課題】応答速度が速く、構成部品数が少なく簡単な構成からなり、オゾン濃度を継続的かつ良好に測定することが可能なオゾン濃度計に用いることができる熱電対を提供する。
【解決手段】第１の素線１５ａと、第１の素線１５ａとは異なる材質からなる第２の素線１５ｂとを互いに溶接して形成された溶接部分であり、オゾンを含む試料ガスの温度を感知する第１感知部６と、第１の素線１５ａと同じ材質からなる第３の素線１５ｃと、第２の素線１５ｂとを互いに溶接して形成された溶接部分であって、複数の貫通孔が形成されたシート状のものからなり表面に触媒が担持され、オゾン濃度に比例して昇温される金属製の基材５が熱伝導可能に固定され、基材５の温度を感知する第２感知部８と、を有し、第１感知部６と第２感知部８とが同一の先端部に形成されており、第１感知部６で発生した起電力と第２感知部８で発生した起電力との差を、第１の素線１５ａと第３の素線１５ｃとの電位差として測定する熱電対１Ａ。
【選択図】図１

Description

本発明は、熱電対、熱電対具備部材及びそれを用いたオゾン濃度計に関し、更に詳しくは、応答速度が速く、構成部品数が少なく簡単な構成からなり、オゾン濃度を継続的かつ良好に測定することが可能なオゾン濃度計に用いることができる熱電対、熱電対具備部材及びそれを用いたオゾン濃度計に関する。

従来、水処理施設などでは、オゾン（オゾンガス）を利用して殺菌・脱色・脱臭が行われている。このようにオゾンは、広い分野で使用されている。そして、オゾンは、空気または酸素を含む原料ガスの無声放電によって発生させることができる。

そして、オゾンを生成する装置（オゾン発生装置）は、例えば、円筒状のステンレス鋼（ＳＵＳ）製の金属管、この金属管の内周部に接合される円筒状のガラス管（誘電体）を備える接地電極管と、この接地電極管の外方に位置する円筒状のステンレス鋼（ＳＵＳ）製の金属管である高電圧電極管とを備えているものなどを挙げることができる。

そして、このようなオゾン発生装置から発生したオゾンの濃度を測定するための方法として、例えば、滴定法や吸光度法などの化学分析法、電極膜や半導体を用いた機器分析法などが知られている。

また、オゾンと触媒とを接触させることによって生じるオゾンの分解反応に起因する反応熱を温度センサにより感知してオゾン濃度を測定する方法や測定装置が知られている。具体的には、オゾン処理剤の充填層と、この充填層に試料ガスを通気する手段と、充填層の温度を測定する手段とを備える測定装置が報告されている（例えば、特許文献１参照）。

特開２００９−１３９１４１号公報

しかし、特許文献１に記載の測定装置は、構造が複雑であるため高価であった。そのため、簡単な構成からなるものであって、良好にオゾン濃度を測定可能な測定装置（オゾン濃度計）の開発が切望されていた。

本発明は、このような従来技術の有する問題点に鑑みてなされたものであり、その課題とするところは、応答速度が速く、構成部品数が少なく簡単な構成からなり、オゾン濃度を継続的かつ良好に測定することが可能なオゾン濃度計に用いることができる熱電対、熱電対具備部材及びそれを用いたオゾン濃度計を提供する。

本発明によれば、以下に示す、熱電対、熱電対具備部材及びそれを用いたオゾン濃度計が提供される。

［１］ 第１の素線と、前記第１の素線とは異なる材質からなる第２の素線とを互いに溶接して形成された溶接部分であり、オゾンを含む試料ガスの温度を感知する第１感知部と、前記第１の素線と同じ材質からなる第３の素線と、前記第２の素線とを互いに溶接して形成された溶接部分であって、複数の貫通孔が形成されたシート状のものからなり表面に触媒が担持され、オゾン濃度に比例して昇温される金属製の基材が熱伝導可能に固定され、前記基材の温度を感知する第２感知部と、を有し、前記第１感知部と前記第２感知部とが同一の先端部に形成されており、前記第１感知部で発生した起電力と前記第２感知部で発生した起電力との差を、前記第１の素線と前記第３の素線との電位差として測定する熱電対。

［２］ 前記基材における複数の前記貫通孔が、細線によって区画形成されており、前記細線の太さが２０〜４００μｍである前記［１］に記載の熱電対。

［３］ 前記基材における目開きは、２０〜６００μｍである前記［２］に記載の熱電対。

［４］ 前記基材は、シートが折り曲げられてなるものである前記［１］〜［３］のいずれかに記載の熱電対。

［５］ 前記基材を複数有し、複数の前記基材は、一の基材に平行になるように他の基材が配列された状態で、隣接する基材が、相互に連結されている前記［１］〜［４］のいずれかに記載の熱電対。

［６］ 前記基材が、ステンレス鋼からなる前記［１］〜［５］のいずれかに記載の熱電対。

［７］ オゾンを含む試料ガスが流れる貫通路、及び、前記貫通路に連通する熱電対配設路を有する外装部材と、前記熱電対配設路に、前記第１感知部と前記第２感知部とが前記貫通路内に位置するように配設された、前記［１］〜［６］のいずれかに記載の熱電対と、を備える熱電対具備部材。

［８］ 前記［７］に記載の熱電対具備部材と、前記熱電対の前記第１の素線と前記第３の素線との電位差からオゾン濃度を算出するオゾン濃度計測部と、を備えるオゾン濃度計。

本発明の熱電対は、「前記第１感知部と前記第２感知部とが同一の先端部に形成」されているため、第１感知部と第２感知部とが近接して配置されていることになる。そのため、試料ガスを、ほぼ同時に第１感知部と第２感知部とに接触させることができる。従って、応答速度が速いという効果を奏する。また、「第１の素線と、前記第１の素線とは異なる材質からなる第２の素線とを互いに溶接して形成された溶接部分であり、オゾンを含む試料ガスの温度を感知する第１感知部と、前記第１の素線と同じ材質からなる第３の素線と、前記第２の素線とを互いに溶接して形成された溶接部分であって、複数の貫通孔が形成されたシート状のものからなり表面に触媒が担持され、オゾン濃度に比例して昇温される金属製の基材が熱伝導可能に固定され、前記基材の温度を感知する第２感知部と」を有するものであればよいため、構成部品数が少なく簡単な構成からなる。更に、試料ガス中のオゾンにより基材が昇温されると、第１感知部と第２感知部との間に温度差が生じる。そして、このように温度差が生じると、第１感知部と第２感知部とに起電力が発生するため、これらの起電力の差（電位差）を計測すれば、オゾン濃度を継続的かつ良好に測定することが可能である。

本発明の熱電対具備部材は、「オゾンを含む試料ガスが流れる貫通路、及び、前記貫通路に連通する熱電対配設路を有する外装部材と、前記熱電対配設路に、前記第１感知部と前記第２感知部とが前記貫通路内に位置するように配設された本発明の熱電対と、を備える」ため、応答速度が速く、構成部品数が少なく簡単な構成からなり、オゾン濃度を継続的かつ良好に測定することが可能なオゾン濃度計を得ることができる。

本発明のオゾン濃度計は、「本発明の熱電対具備部材と、前記熱電対の前記第１の素線と前記第３の素線との電位差からオゾン濃度を算出するオゾン濃度計測部と、を備える」ため、応答速度が速く、構成部品数が少なく簡単な構成からなり、オゾン濃度を継続的かつ良好に測定することが可能なものである。

本発明の熱電対の一の実施形態を模式的に示す平面図である。 図１における、Ａ−Ａ’断面を示す模式図である。 図１に示す熱電対の基材を長手方向に引き伸ばした状態を模式的に示す平面図である。 本発明の熱電対の他の実施形態における基材を模式的に示す平面図である。 本発明の熱電対の更に他の実施形態における図２に対応する模式図である。 本発明の熱電対の更に他の実施形態における図２に対応する模式図である。 本発明の熱電対の更に他の実施形態における図２に対応する模式図である。 本発明の熱電対の更に他の実施形態における図２に対応する模式図である。 本発明の熱電対具備部材（オゾン濃度計）の一の実施形態を模式的に示す一部断面図である。 本発明の熱電対具備部材の他の実施形態を模式的に示す一部断面図である。 本発明の熱電対具備部材の更に他の実施形態を模式的に示す一部断面図である。 実施例１のオゾン濃度計の動作確認のための評価を説明するための模式図である。 実施例１のオゾン濃度計を用いたときのオゾン濃度と温度差との関係を示すグラフである。 試料ガス中のオゾン濃度の経時変化と実施例１のオゾン濃度計で測定される温度差の経時変化を示すグラフである。 比較例１の熱電対具備部材（オゾン濃度計）を模式的に示す一部断面図である。 試料ガス中のオゾン濃度の経時変化と比較例１のオゾン濃度計で測定される温度差の経時変化を示すグラフである。 実施例２のオゾン濃度計を用いたときのオゾン濃度と温度差との関係を示すグラフである。

以下、本発明の実施の形態について説明するが、本発明は以下の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、当業者の通常の知識に基づいて、以下の実施の形態に対し適宜変更、改良等が加えられたものも本発明の範囲に入ることが理解されるべきである。

［１］熱電対：
本発明の熱電対の一の実施形態は、図１，図２に示す熱電対１Ａのように、第１の素線１５ａと、第１の素線１５ａとは異なる材質からなる第２の素線１５ｂとを互いに溶接して形成された溶接部分であり、オゾンを含む試料ガスの温度を感知する第１感知部６と、第１の素線１５ａと同じ材質からなる第３の素線１５ｃと、第２の素線１５ｂとを互いに溶接して形成された溶接部分であって、複数の貫通孔が形成されたシート状のものからなり表面に触媒が担持され、オゾン濃度に比例して昇温される金属製の基材５が熱伝導可能に固定され、基材５の温度を感知する第２感知部８と、を有し、第１感知部６と第２感知部８とが同一の先端部に形成されており、第１感知部６で発生した起電力と第２感知部８で発生した起電力との差を、第１の素線１５ａと第３の素線１５ｃとの電位差として測定するものである。

このような熱電対１Ａは、「第１感知部６と第２感知部８とが同一の先端部に形成」されているため、第１感知部６と第２感知部８とが近接して配置されている。そのため、試料ガスを、ほぼ同時に第１感知部６と第２感知部８とに接触させることができる。従って、熱電対１Ａをオゾン濃度計に用いた場合、応答速度が速いオゾン濃度計を作製することができるという効果を奏する。具体的には、第１感知部６と第２感知部８とが離れて配設されている熱電対においては、第１感知部６で感知される試料ガスの温度と、上記試料ガス中のオゾン濃度に起因して第２感知部８で感知される温度（基材の温度）とに感知される時間に大きな差が生じるため、正確なオゾン濃度の測定が困難になることがあった。しかし、第１感知部６と第２感知部８とを近接させて配置することにより、上記時間の差を小さくすることができる。なお、本明細書において「熱電対」とは、先端に温接点を有する一対の異種素線を備え、上記温接点で起電力が発生されるセンサのことである。また、「同一の先端部」とは、１つの熱電対における温度測定部分（先端部）のことであり、試料ガスに触れるセンサ部のことである。

また、「第１の素線１５ａと、第１の素線１５ａとは異なる材質からなる第２の素線１５ｂとを互いに溶接して形成された溶接部分であり、オゾンを含む試料ガスの温度を感知する第１感知部６と、第１の素線１５ａと同じ材質からなる第３の素線１５ｃと、第２の素線１５ｂとを互いに溶接して形成された溶接部分であって、複数の貫通孔が形成されたシート状のものからなり表面に触媒が担持され、オゾン濃度に比例して昇温される金属製の基材５が熱伝導可能に固定され、基材５の温度を感知する第２感知部８と」を有するものであればよいため、構成部品数が少なく簡単な構成からなる。更に、試料ガス中のオゾンにより基材５が昇温されると、第１感知部６と第２感知部８との間に温度差が生じる。そして、このように温度差が生じると、第１感知部６と第２感知部８とに起電力が発生するため、これらの起電力の差（電位差）を計測すれば、オゾン濃度を継続的かつ良好に測定することが可能である。なお、予め第１感知部６と第２感知部８との起電力の差（温度差）とオゾン濃度との関係を確認しておくことは必要である。

図１に示す熱電対１Ａは、第１の素線１５ａと第３の素線１５ｃを支持する支持部１７を更に備えており、熱電対１Ａの先端部、即ち、図１における支持部１７の上方に第１の素線１５ａと第３の素線１５ｃとが延出しており、これらの先端に第１感知部６と第２感知部８とがそれぞれ形成されている。一方、図１における支持部１７から下方に延出した第１の素線１５ａと第３の素線１５ｃの先端部には、それぞれ、起電力をオゾン濃度や温度として算出可能な計測部に接続可能な接続端子１６が配設されている。２つの溶接部分（第１感知部６及び第２感知部８）間の（離れ）長さＬが、１〜２０ｍｍのもの（好ましくは、２〜１０ｍｍ）である。上記長さＬが上記範囲であると、第１感知部６と第２感知部８とが近接して配置されることになり、オゾン濃度計に用いた場合、応答速度が速いオゾン濃度計を作製することができる。

なお、支持部１７は、合成樹脂、セラミックなどからなる耐オゾン性を有する絶縁体である。支持部１７から延出した第１の素線１５ａと第３の素線１５ｃは、合成樹脂製の保護材により保護されている。支持部１７と接続端子１６の間の配線は、第１の素線１５ａ、第３の素線１５ｃに限らず、補償導線を用いることができる。計測部としては、Ｋ熱電対に対応するもの、Ｒ熱電対に対応するものを用いることが好ましく、具体的には、富士電機社製の「ＰＸＲ４（型番）」などの温度調節機などを用いることができる。図１は、本発明の熱電対の一の実施形態を模式的に示す平面図であり、図２は、図１における、Ａ−Ａ’断面を示す模式図である。

［１−１］第１感知部：
第１感知部６は、上述したように、第１の素線１５ａと第２の素線１５ｂとを互いに溶接して形成された溶接部分である。そして、第１感知部６では、試料ガスの温度に起因する起電力が発生する。

第１の素線１５ａと第２の素線１５ｂとを互いに溶接する方法としては、具体的には、スポット溶接、アーク溶接、トーチ溶接などの方法を挙げることができる。

［１−２］第２感知部：
第２感知部８は、上述したように、第３の素線１５ｃと第２の素線１５ｂとを互いに溶接して形成された溶接部分である。この第２感知部８では、後述する基材５が熱伝導可能に固定されているため、基材５の温度に起因する起電力が発生する。

溶接する方法としては、第１感知部と同様の方法を採用することができる。なお、伝熱性が良好になるという観点から、基材と素線とを接触させた状態で溶接して溶接部分を形成することが好ましい。

［１−３］素線：
本発明の熱電対においては、第１の素線と第３の素線とは互いに同じ材質であり、第２の素線と第１の素線及び第３の素線とは互いに異なる材質であることが必要である。このような条件を満たす限り素線の形状やその寸法（幅や長さ）は特に制限はなく、後述する外装部材の内径との関係により適宜選択することができる。このように素線の幅や長さは適宜選択することができるが、太すぎたり厚すぎたりすると、感知性能の低下（感知時間の遅れ）や加工性が悪くなると推察する。なお、具体的には、線材であれば、径が０．０５〜１ｍｍのものを用いることができ、板材であれば厚さが０．０５〜０．５ｍｍのものを用いることができる。より具体的には、本発明の熱電対においては、Ｋ、Ｊ、Ｔ、Ｅ、Ｎ、Ｒ、Ｓ、Ｂなどの公知の熱電対とすることができる。なお、Ｋ熱電対であれば、第１の素線及び第３の素線としてクロメル材を用い、第２の素線としてアルメル材を用いることができる。また、第１の素線及び第３の素線としてアルメル材を用い、第２の素線としてクロメル材を用いることもできる。

［１−４］基材：
基材は、上述したように、複数の貫通孔が形成されたシート状である金属製の部材である。このような簡単な構造の部材（基材）を用いるものであるため、本発明の熱電対を用いてオゾン濃度計を作製した場合、従来のオゾン濃度計に比べて製造にかかる費用が低廉になる。

また、本発明の熱電対においては、試料ガスが基材に当てられた際に試料ガス中のオゾンと触媒とが良好に触媒反応を起こし、この反応により生じた熱によって基材が良好に昇温される。具体的には、基材には複数の貫通孔が形成されているため、試料ガスが基材の貫通孔を通過することになる。そのため、貫通孔の表面（貫通孔を形成する細線の側面）などでも触媒反応が生じ、貫通孔が形成されていない基材に比べて良好に昇温されることになる。そして、基材は、金属製のシートであるため、更に良好に昇温されることになる。このように、基材は、オゾンにより良好に昇温されるとともに、オゾン濃度が高い場合には触媒反応が活発に起こるためより高い温度まで昇温し、オゾン濃度が低い場合には触媒反応が起こり難く昇温し難いものであるため、オゾン濃度に比例した温度となる。

基材は、複数の貫通孔が形成されたシート状であればよく、例えば、図３に示すように、複数の貫通孔３が、細線４によって区画形成されることによって形成されたもの（以下、「網状の部材」と記す場合がある）を挙げることができる。また、基材としては、例えば、シート状の金属（金属板）を、複数の貫通孔３が形成されるように打ち抜くことによって形成されたもの（パンチングプレート１９（図４参照））などを挙げることができる。図３は、図１に示す熱電対１Ａの基材５を長手方向Ｘに引き伸ばした状態を模式的に示す平面図である。図４は、本発明の熱電対の他の実施形態における基材を模式的に示す平面図である。

なお、基材が網状の部材である場合、細線の太さ（線径）は、２０〜４００μｍであることが好ましく、７０〜３００μｍであることが更に好ましく、１００〜２００μｍであることが特に好ましい。上記細線の太さが２０μｍ未満であると、耐久性が劣るおそれがある。また、強度が弱く、外部からの振動などにより、担持された触媒が脱落するおそれがある。一方、４００μｍ超であると、オゾンと触媒との反応により生じた熱が第２感知部に伝わるまでの時間が長く、かつ熱容量が多くなるため、オゾン濃度計に使用した際に良好なオゾン濃度測定が困難になるおそれがある。また、線径が太すぎると加工性が悪くなるため、形状を維持することが難しくなるおそれがある。具体的には、細線が縦横に配置されて構成される網状の部材（網状の基材）（即ち、縦横の細線によって織られたもの）は、通常、縦横の細線の交点は結合されていない。そのため、線径が太すぎると、細線同士の絡み力が低下して解れが生じることがある。従って、細線が脱落して網目形状を維持することが難しくなるおそれがある。

また、基材が網状の部材である場合、基材の目開きは、１０００μｍ以下であることが好ましく、１００〜５００μｍであることが更に好ましい。上記目開きが１０００μｍ超であると、基材の表面での密着性が低下するため、触媒が脱落するおそれがある。

上記目開きが１００〜５００μｍであると、基材を通過するオゾンの量が適当になり、オゾン濃度計に使用した際にオゾン濃度を良好に測定することができる。上記目開きが１００μｍ未満であると、基材を通過するオゾンの量が少なくなるため、オゾン濃度を良好に測定することが困難になるおそれがある。また、細線と触媒との結合力が小さくなり、付着強度が低下するため、触媒が落下するおそれがある。一方、５００μｍ超であると、基材の表面での密着性が低下するため、触媒が脱落するおそれがある。具体的には、触媒は細線の表面を包み込むように一体化することにより細線に付着しているが、網目が大きくなる（目開きが大きくなる）と、触媒同士の結合割合に比べて細線との接触面が増加するため、触媒が細線に保持され難くなり脱落するおそれがある。

ここで、「目開き」とは、基材に形成された複数の貫通孔の平均的な大きさを表すものであり、本実施形態における「目開き」は、網状の部材の網目を形成する細線間の平均的な距離をいう。

基材は、シート状のものであり、その厚さＤ１（図２参照）、即ち、本実施形態における網状の部材（網状の基材）の厚さは、具体的には、５０〜８００μｍであることが好ましく、１００〜６５０μｍであることが更に好ましく、２００〜４００μｍであることが特に好ましい。上記厚さが５０μｍ未満であると、薄過ぎるため、耐久性が劣るおそれがある。また、強度が弱く、外部からの振動などにより、触媒が脱落するおそれがある。一方、８００μｍ超であると、オゾンと触媒との反応により生じた熱が第２感知部に伝わるまでの時間が長く、また熱容量が多くなるため、良好なオゾン濃度の測定が困難になるおそれがある。また、線径が太すぎると加工性が悪くなるため、形状を維持することが難しくなる。

基材の材料としては、金属であれば特に制限はないが、例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ）、鉄、ニッケルなどを挙げることができる。これらの中でも、オゾンや酸に対して耐久性があるため、ステンレス鋼が好ましい。ステンレス鋼としては、具体的には、ＳＵＳ３０４、ＳＵＳ３１６などを挙げることができる。

基材はシート状、即ち、厚さが上述した厚さ程度の板状であればよく、そのシートの外周形状は特に制限されず、図３に示すような長方形以外に、正方形、円形、楕円形、三角形、多角形などを挙げることができる。

基材の大きさは、例えば図３に示すような外周形状が長方形の場合、縦Ｈ１（図３参照）０．５〜２０ｍｍ、横Ｈ２（図３参照）０．５〜２０ｍｍとすることができる。

基材は、シートが折り曲げられてなるものであることが好ましい。折り曲げられることによって、平板状である場合（折り曲げられていない場合）に比べて、試料ガスの流れに起因する基材の温度変動が小さくなる。即ち、平板状であると、試料ガスの温度が基材よりも低い場合、試料ガスが基材を通過する際に基材の温度を下げてしまう。そのため、基材全体として温度が維持されるように、シート状の基材を折り畳むことが好ましい。このようにすると、オゾン濃度をより正確に（良好に）測定することができる。また、試料ガスと基材の接触部分をコンパクトにしながらも、オゾンとの接触範囲を十分に確保できる。即ち、シート状の基材を折りたたむことにより、試料ガスとの接触面積を損なうことなく、コンパクトにすることができる。そのため、基材が、第２感知部８以外の部分（例えば、第１感知部６など）に接触し難くなり（接触することを避けることができ）、熱電対の先端部に取り付けることが容易になる。

図２に示す熱電対１Ａは、長方形状の網状の部材の一方の端部側の部分を、上記網状の部材の一方の面側に折り曲げ、他方の端部側の部分を上記網状の部材の他方の面側に折り曲げて、平板状の部材を三つ折にされた（Ｚ字状に折られた）基材５を有する例である。

シート状のものが折り曲げてなる基材としては、図２に示すようなＺ字状に限定されず、例えば、Ｓ字状、Ｖ字状、平行層状などとすることができる。これらの中でも、形成が容易であり、オゾン濃度に正確に対応する温度となり、第２感知部８においてオゾン濃度に応じた起電力を発生させ得るという観点から、Ｚ字状であることが好ましい。図５は、本発明の熱電対の更に他の実施形態における図２に対応する模式図であり、図５に示す熱電対１Ｂは、Ｓ字状に折り曲げられた基材５を備えている例である。

本発明の熱電対は、基材を複数有し、複数の基材が、一の基材に平行になるように他の基材が配列された状態で、隣接する基材が、相互に連結されていることが好ましい。このようにすることで、一つの基材のみ有する場合に比べて、試料ガスの流れに起因する基材の温度変動が小さくなる。

例えば、図６は、２枚の基材５，５を有する熱電対１Ｃを示す例である。図６に示すように、熱電対１Ｃは、断面円弧状の２つの基材５，５を有し、これらの２つの基材５，５は、凸状の頂点部分で互いに溶接により固定されている。このような熱電対１Ｃの基材５，５は、作製が容易であり、Ｚ字状の基材５（図２参照）と同様に、オゾン濃度に正確に対応する温度となり、第２感知部８においてオゾン濃度に応じた起電力を発生させ得るため、オゾン濃度をより正確に（良好に）測定することができる。なお、図６に示す熱電対１Ｃは、断面円弧状の基材５を有しているが、基材５の形状は特に制限はなく、例えば、断面Ｖ字状、断面Ｕ字状、断面コ字状などであってもよい。

３つ以上の基材を有する場合、内側に位置する基材を素線に溶接することが好ましい（図７参照）。内側に位置する基材を素線に溶接することによって、外側に位置する基材に素線を溶接する場合に比べて、熱の発生源（即ち、オゾンと触媒との反応によって熱が生じる部分）が第２感知部の周りを囲むように存在し、かつ、試料ガスが第２感知部に直接的に当たらないため、試料ガスの流れに起因する基材の温度変動が小さくなる。そのため、オゾン濃度をより正確に（良好に）測定することができる。また、オゾンとの接触部分をコンパクトにしながらも、十分なオゾンとの接触範囲を確保できる。

図７に示す熱電対１Ｄは、相互に平行に配置された３つの基材５（５ａ，５ｂ，５ｃ）を備え、３つの基材５ａ，５ｂ，５ｃのうちの中央の基材５ｂが第２の素線１５ｂに溶接されている例である。３つの基材５ａ，５ｂ，５ｃは、隣接する基材５ａ，５ｂ，５ｃ同士が円柱状の２つの熱伝導性の連結部２１，２１によって相互に連結されている。図７に示す熱電対１Ｄは、外側に位置する基材５ａ，５ｃで生じた熱が連結部２１，２１によって中央に位置する基材５ｂに伝達され、その熱を第２感知部８が感知する。

複数の基材５ａ，５ｂ，５ｃを平行に配置する場合、各基材５ａ，５ｂ，５ｃの間の距離Ｋは、特に制限はないが、０．１〜１ｍｍであることが好ましい。上記距離Ｋが０．１ｍｍ未満であると、各基材５ａ，５ｂ，５ｃが近接しすぎるため、複数の基材５ａ，５ｂ，５ｃを有する効果が得られ難くなる（オゾン濃度をより正確に（良好に）測定することが困難になる）おそれがある。一方、１ｍｍ超であると、上記距離Ｋが大きくなりすぎる（即ち、隙間が大きく開きすぎる）ため、触媒とオゾンとの反応によって生じた熱が伝わり難くなりオゾン濃度を正確に測定することが困難になるおそれがある。

連結部２１，２１の材料としては、熱を伝達可能なものである限り特に制限はないが、基材５ａ，５ｂ，５ｃと同様の材料（具体的には、ステンレス鋼やニッケルなど）などを用いることができる。連結部２１，２１の形状や大きさは、特に制限はないが、例えば、円柱状、四角柱状、三角柱状、多角柱状などの形状を挙げることができ、円柱状である場合、端面の直径が１〜１０ｍｍであり、中心軸方向の長さが１〜２０ｍｍであることが好ましい。

基材５としては、図８に示すように、折り曲げられていない平板状であってもよい。このような平板状であると、熱電対の作製が容易である。図８に示す熱電対１Ｅは、平板状の基材５を有すること以外は、図１に示す熱電対１Ａと同様の構成を有している。

なお、基材５は、第２感知部８以外とは接触せず第１感知部６及び第１感知部６の周辺を流れる試料ガスに影響を与えない（具体的には、発熱した基材５の熱が第１感知部６及び第１感知部６の周辺を流れる試料ガスに及ばない）ように考慮して取り付けることは言うまでもない。

［１−５］触媒：
触媒は、オゾンと接触することにより熱を発生させるものである限り特に制限はない。例えば、オゾンと接触することにより発熱するオゾン分解触媒、ニッケル、マンガン、銅、白金、パラジウム、鉄、コバルト、銀等の金属や、上記金属の酸化物（具体的には、酸化マンガン、酸化鉄）を含有するものなどを挙げることができる。これらの中でも、オゾンを良好に酸素に分解し、分解反応における反応熱の発生が良好であるという観点から、酸化マンガンを含有するものが好ましく、酸化銅を含む酸化マンガン（カロライト）が更に好ましい。

触媒は、基材の表面に、付着厚さとして２０〜５００μｍとなるような層（触媒層）を形成していることが好ましく、５０〜３００μｍとなるような層を形成していることが更に好ましい。上記触媒層の厚さが２０μｍ未満であると、オゾンと触媒との反応が十分に起こらずに、オゾン濃度計に使用した場合にオゾン濃度を正確に測定することが困難になるおそれがある。一方、５００μｍ超であると、基材と触媒（触媒層）との密着力（または触媒が基材に付着する力（付着力））が低下するため、触媒層が脱落するおそれがある。即ち、触媒層はスラリー状の触媒を塗布することによって形成することができるが、スラリー状の触媒が塗布後に乾燥することに伴って触媒に割れ等が生じるため、触媒層が脱落するおそれがある。

なお、触媒は、基材の表面の少なくとも一部に担持されていればよいが、基材の表面の全部に担持されることが好ましい。なお、上記基材表面に限らず第２感知部の表面上に触媒が担持されてもよい。このように第２感知部上にも触媒を担持させると、第２感知部上においてもオゾンと触媒との反応が起こり、熱が発生するため、オゾン濃度をより正確に測定することができる。

上記のように説明した発明は、第１感知部の温度と第２感知部の温度との差に起因して第１感知部と第２感知部とに発生する起電力から、これらの差を算出するもの（熱電対）に関する発明であるが、オゾン濃度計においては、第１感知部と第２感知部の電気的特性（例えば、抵抗値）の差を算出可能なもの（例えばサーミスターなど）を、熱伝対の代わりとして使用することができる。

［２］熱電対具備部材：
本発明の熱電対具備部材の一の実施形態は、図９に示す熱電対具備部材２０のように、オゾンを含む試料ガスが流れる貫通路２５、及び、貫通路２５に連通する熱電対配設路２７を有する外装部材２９と、熱電対配設路２７に、第１感知部６と第２感知部８とが貫通路２５内に位置するように配設された熱電対１Ａと、を備えるものである。このような熱電対具備部材２０を用いれば、「オゾンを含む試料ガスが流れる貫通路２５、及び、貫通路２５に連通する熱電対配設路２７を有する外装部材２９と、熱電対配設路２７に、第１感知部６と第２感知部８とが貫通路２５内に位置するように配設された熱電対１Ａと、を備える」ため、応答速度が速く、構成部品数が少なく簡単な構成からなり、オゾン濃度を継続的かつ良好に測定することが可能なオゾン濃度計を得ることができる。熱電対具備部材２０においては、熱電対配設路２７が熱電対１Ａによって塞がれており、試料ガスが熱電対配設路２７に流れないようになっている。

［２−１］外装部材：
貫通路は、図９に示すような貫通路２５のように、中心軸が直線状に延びる流路であり、試料ガスが貫通路２５の一方の開口２５ａから流入し、貫通路２５内を直進して、他方の開口２５ｂから流出するものであることが好ましい。このように中心軸が直線状に延びる流路であると、貫通路２５内で試料ガスの流れが滞るという不具合が生じ難くなる。そのため、昇温した基材５の熱が試料ガスに伝達されてしまうことを防止でき、より正確な温度測定が可能になる。即ち、第１感知部６及び第２感知部８においてオゾン濃度に起因した正確な起電力を発生させることが可能になる。従って、オゾン濃度を精度良く測定できる。

図９に示す熱電対具備部材２０は、熱電対１Ａの第１感知部６と第２感知部８とが、外装部材２９の貫通路２５の一方の開口２５ａからの、貫通路２５の延びる方向における距離Ｄ２が同じになるように並列に配置されている。即ち、第１感知部６と第２感知部８とが、図９中、紙面の上下方向に並んで配置されている。そのため、試料ガスが、第１感知部６と第２感知部８とに接触するタイミングが同時になるため、試料ガス温度とオゾンにより昇温された温度とを更に良好に測定することができる。

本発明の熱電対具備部材は、図１０に示す熱電対具備部材１２０のように、熱電対１Ｆの第１感知部６の方が、第２感知部８に比べて、外装部材２９の貫通路２５の試験ガスの流入口である一方の開口２５ａに近くなるように配置されている（第１感知部６が上流側に配置され、第２感知部８が下流側に配置されている）ことも好ましい。このような熱電対１Ｆ（熱電対具備部材１２０）は、第１感知部６が基材５の熱による影響を受け難い。即ち、発熱した基材５の熱が第１感知部６及び第１感知部６の周辺を流れる試料ガスに及ばない。そのため、より正確なオゾン濃度の測定が可能になる。図１０に示す熱電対具備部材１２０は、第１感知部６が上流側に配置され、第２感知部８が下流側に配置されていること以外は、図９に示す熱電対具備部材２０と同様の構成を有している。

図１１は、熱伝対の第１感知部が上流側に配置され、第２感知部が下流側に配置される別の形態を示している。そして、図１１に示す熱電対具備部材２２０は、外装部材２９の貫通路２５が屈曲（例えば、への字に屈曲）している例である。このとき、屈曲する角度（屈曲する前の流路（試料ガスの流入口側に位置する流路）２５ｘが延びる方向と屈曲した後の流路２５ｙが延びる方向とがなす角度）は、特に限定されないが、例えば、図１１に示すように９０°とすることができる。そして、図１１に示す熱電対具備部材２２０においては、線熱電対配設路２７は、貫通路２５が屈曲した部分（屈曲部）から、貫通路２５の、試料ガスの流入口側に位置する流路２５ｘを、上記流路２５ｘの延びる方向に延長させた流路として形成されている。熱電対配設路２７には、熱電対１Ｇが配設され、更に、第１感知部６が試料ガスの流れの上流側、第２感知部８が下流側に位置するように貫通路２５中に配置されている。図１１は、本発明の熱電対具備部材の更に他の実施形態を模式的に示す一部断面図である。このような熱電対具備部材２２０は、第１感知部６が基材５の熱による影響を受け難く、更に図１０に示す熱電対具備部材１２０に比べて、小さくすることができる。

外装部材２９の貫通路２５の内径は、試料ガスを通過させることができる限り特に制限はないが、２〜４０ｍｍであることが好ましい。また、熱電対配設路２７の内径は、本発明の熱電対を配設可能な大きさであれば特に制限はないが、２〜４０ｍｍであることが好ましい。

外装部材の材質としては、例えば、ステンレス鋼などの金属、塩化ビニル樹脂、ポリポリエチレン樹脂、フッ素樹脂などの合成樹脂、アルミナ、ムライトなどのセラミックなどを挙げることができる。これらの中でも、耐オゾン性が優れるため、テフロン（登録商標）が好ましい。

［３］オゾン濃度計：
本発明のオゾン濃度計の一の実施形態は、図９に示すオゾン濃度計１０Ａのように、熱電対具備部材２０と、熱電対１Ａの第１感知部６と第２感知部８との電位差からオゾン濃度を算出するオゾン濃度計測部１３と、を備えるものである。このようなオゾン濃度計１０Ａは、「熱電対具備部材２０と、熱電対１Ａの第１の素線１５ａと第３の素線１５ｃとの電位差からオゾン濃度を算出するオゾン濃度計測部１３と、を備える」ため、応答速度が速く、構成部品数が少なく簡単な構成からなり、オゾン濃度を継続的かつ良好に測定することが可能なものである。

なお、オゾン濃度測定に際しては、試料ガスの流量を一定に保つことが好ましい。試料ガスの流量が変動することにより、第１感知部、第２感知部、及び基材の温度がそれぞれ変動する。このとき、温度の変動の割合は、第１感知部、第２感知部、及び基材（特に、感知部と基材）においてそれぞれ異なる。そのため、正確な温度測定が困難になることに起因して正確なオゾン濃度の測定ができなくなるおそれがある。

［３−１］オゾン濃度計測部：
本発明のオゾン濃度計は、図９に示すオゾン濃度計１０Ａのように、熱電対の第１の素線１５ａと第３の素線１５ｃとの電位差からオゾン濃度を算出するオゾン濃度計測部１３を備えることが好ましい。図９において、オゾン濃度計測部１３には、熱電対１Ａの接続端子１６が接続されている。なお、オゾン濃度計測部１３に代えて、電位差から温度を算出する温度測定部を用いてもよい。この場合には、温度測定部に表示された温度をオゾン濃度に換算すること（換算部を備えること）が好ましい。また、オゾン濃度計測部１３に代えて、オゾン濃度制御機を用い、熱電対の第１の素線１５ａと第３の素線１５ｃとの電位差（第１感知部６で発生した起電力と第２感知部８で発生した起電力との差）を直接、オゾン濃度制御機に制御信号として送信してもよい。

［４］オゾン濃度計の製造方法：
次に、本発明のオゾン濃度計の製造方法について、図９に示すオゾン濃度計１０Ａを製造する方法に基づいて説明する。

まず、一方の先端部に接続端子１６が配設された同じ材質からなる第１の素線１５ａ及び第３の素線１５ｃと、第１の素線１５ａ及び第３の素線１５ｃとは異なる材質からなる第２の素線１５ｂを用意し、第３の素線１５ｃの他方の先端部と第２の素線１５ｂの一方の先端部をスポット溶接して溶接部分（第１感知部６）を形成する。次に、第１の素線１５ａの他方の先端部と第２の素線１５ｂの他方の先端部、及び、予め表面に触媒が担持されたステンレス鋼からなる網状の基材５をスポット溶接して溶接部分（第２感知部８）を形成する。このとき、２つの溶接部分（第１感知部６と第２感知部８）の間の長さＬが１〜２０ｍｍとなるようにする。その後、基材５をＺ字状をなすように折り曲げる。次に、第１の素線１５ａ及び第３の素線１５ｃを合成樹脂製の支持部１７により支持（固定）する。このようにして、熱電対１Ａを作製する。なお、表面に触媒が担持された基材５は、オゾンを分解可能な触媒を有するスラリーを調製した後、触媒担持前の網状の基材の全部を上記スラリーに浸漬することによって作製することができる。

次に、オゾンを含む試料ガスが流れる貫通路２５、及び、この貫通路２５に連通する熱電対配設路２７が形成されたテフロン（登録商標）製の外装部材２９を用意し、この外装部材２９の熱電対配設路２７に、先端部側（第１感知部６と第２感知部８が形成された側）から熱電対１Ａを挿入する。そして、第１感知部６と第２感知部８とが貫通路２５内に位置したところで熱電対１Ａの挿入を停止する。このとき、第１感知部６と第２感知部８とが貫通路２５の中央部（貫通路２５の延びる方向に直交する断面における中央部）に位置するように熱電対１Ａを配設することが好ましい。次に、熱電対配設路２７の内周壁と熱電対１Ａ（特に、熱電対１Ａの支持部１７）との間に隙間がある場合には、封止剤などにより上記隙間を埋めることにより、熱電対配設路２７を塞ぐ。このようにして、熱電対具備部材２０を作製する。なお、熱電対配設路２７の内径と支持部１７の外径を同じにしておくことにより、上記封止剤を使用することなく熱電対配設路２７を塞ぐことができる。次に、熱電対１Ａの接続端子１６をオゾン濃度計測部１３に接続する。このようにして、オゾン濃度計１０Ａを作製する。

以下、本発明を実施例に基づいて具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。

（実施例１）
まず、熱電対の材料の第１の素線及び第３の素線として２本のクロメル材、第２の素線としてアルメル材（部材長さ１０ｍｍ）、基材として縦４ｍｍ×横１２ｍｍの平板状で網状のステンレス鋼（ＳＵＳ３０４（目開き５００μｍ、厚さ（細線径）６３０μｍ））を用いた。なお、基材としては、表面の全部に酸化マンガン触媒を担持させたものを用いた。このような基材（触媒が担持された基材）は、酸化マンガン触媒（カロライト）の粉末に水を添加してスラリーを調製し、調製したスラリーを基材に塗布して作製した。

次に、１本のクロメル材（第１の素線）の一方の先端部とアルメル材（第２の素線）の一方の先端部とをスポット溶接して直径０．３２ｍｍの溶接部分（第１感知部）を形成した。次に、別のクロメル材（第３の素線）の一方の先端部とアルメル材（第２の素線）の他方の先端部をスポット溶接して直径０．３２ｍｍの溶接部分（第２感知部）を形成した。このとき、上記溶接部分（第２感知部）に上記基材も接合した（接合位置は、基材の中央部分とした）。次に、上記基材を前後に三つ折りにしてＺ字状にした。このようにして、熱電対（Ｋ熱電対）を作製した。なお、第１の素線及び第３の素線の他方の先端部には、接続端子が配設されている。

次に、この熱電対を、第１の感知部と第２の感知部との距離Ｌ（図１参照）が５ｍｍとなるようにテフロン（登録商標）製のＴ型の継ぎ手（外装部材）の熱電対配設路に挿入し配設して熱電対具備部材を作製した（図９参照）。その後、熱電対の接続端子をオゾン濃度計測部に接続してオゾン濃度計を作製した（図９参照）。

［オゾン濃度計の評価］
図１２に示すオゾン濃度計評価装置３０を用いて、本実施例のオゾン濃度計１０Ａの評価を行った。オゾン濃度計評価装置３０は、図１２に示すように、純度９８％以上の酸素が充填された酸素供給源３３と、オゾン発生装置３５（小型オゾナイザ：メタウォーター社製（オゾン発生量能力１ｇ／時間））と、紫外線オゾン濃度計３７（エバラ社製（型番）「Ｍｏｄｅｌ−６００」）と、カロライトを有するオゾン分解処理塔３９と、を備えている。更に、酸素供給源３３とオゾン発生装置３５との間に配置された酸素流量計４１と、紫外線オゾン濃度計３７と本実施例のオゾン濃度計１０Ａとの間に配置された２つのオゾン流量計４３と、オゾン発生装置３５と紫外線オゾン濃度計３７との間には圧力計４５と、を備えている。

オゾン濃度計１０Ａの評価は、具体的には、以下のようにして行った。なお、オゾン濃度計の評価については全てオゾン濃度計測部に代えて、温度計測部（富士電機社製の「ＰＸＲ４（型番）」）を熱電対に接続して評価を行った。即ち、上記温度計測部により温度を計測し、この温度からオゾン濃度を算出して評価を行った。

まず、酸素供給源３３からオゾン発生装置３５に酸素を２Ｌ／分の流量で供給した。そして、供給された酸素を原料にしてオゾン発生装置３５においてオゾンを発生させた（発生量：１ｇ／時間、流量：１Ｌ／分）。なお、発生させたオゾンの濃度は、紫外線オゾン濃度計３７でも測定した。

上記評価結果を図１３に示す。図１３は、実施例１のオゾン濃度計を用いたときのオゾン濃度と感知温度との関係を示すグラフである。なお、図１３では、測定を２度行い、２度の測定の結果を示している。

また、以下の評価（感知応答性の評価）を行った。まず、オゾン濃度０ｇ／Ｎｍ^３のガスをオゾン濃度計に供給した。その後、順次オゾン濃度を高くして最終的にオゾン濃度３０ｇ／Ｎｍ^３のガス（オゾン）を上記オゾン濃度計に供給し、その後、オゾン濃度０ｇ／Ｎｍ^３のガスを供給した。このようにして、供給する試料ガス中のオゾン濃度と、第１感知部と第２感知部との温度差（温度計測部に表示される温度）との経時変化を測定した。

上記評価結果を図１４に示す。図１４は、試料ガス中のオゾン濃度の経時変化と本実施例のオゾン濃度計で測定される温度差（第１感知部と第２感知部との温度の差）を示すグラフである。オゾン濃度の変化に対する温度差の変化の遅れは２分以内であることが確認できた。即ち、本実施例の熱電対は、第１感知部と第２感知部とが近接しているため、図１４に示すように、供給した試料ガス中のオゾンの濃度変化に追従して、感知される温度（第１感知部と第２感知部との温度差）が良好に変化した。

（比較例１）
図１２に示すオゾン濃度計評価装置３０におけるオゾン濃度計１０Ａを、図１５に示すオゾン濃度計１００に置き換えたこと以外は、実施例１と同様に、「感知応答性の評価」を行った。オゾン濃度計１００は、熱電対（Ｋ熱電対）１０１ａを備える熱電対具備部材１０１と熱電対（Ｋ熱電対）２０１ａを備える熱電対具備部材２０１とを直列に接続し、上流側に熱電対（Ｋ熱電対）１０１ａ（熱電対具備部材１０１）を配置し、下流側に熱電対（Ｋ熱電対）２０１ａ（熱電対具備部材２０１）を配置したものである（図１５参照）。

熱電対具備部材１０１は、実施例１と同様の外装部材を備え、この外装部材に熱電対１０１ａが実施例１の熱電対と同様に配設されている。熱電対１０１ａは、クロメル材とアルメル材とをスポット溶接して直径０．３２ｍｍの溶接部分（感知部１０６）を形成し、支持部である直径８ｍｍの外管１１７（テフロン（登録商標）製）により支持させたものである。

熱電対具備部材２０１は、熱電対１０１ａに代えて熱電対２０１ａを有すること以外、熱電対具備部材１０１と同様の構成を有している。熱電対２０１ａは、クロメル材２１５ａとアルメル材２１５ｂとをスポット溶接して直径０．３２ｍｍの溶接部分（感知部２０６）を形成し、かつ、この溶接部分（感知部２０６）に実施例１の基材と同様の基材２０７を溶接し、その後、直径８ｍｍの外管２１７（テフロン（登録商標）製）により支持させたものである。

評価結果を図１６に示す。図１６に示すように、オゾン濃度の変化に対する温度差の変化の遅れ、即ち、熱電対１０１ａにおける起電力と熱電対２０１ａにおける起電力の差の変化の遅れは５分以上あった。図１６は、試料ガス中のオゾン濃度の経時変化と比較例１のオゾン濃度計で測定される温度差の経時変化を示すグラフである。

（実施例２）
実施例１のオゾン濃度計の温度計測部を、Ｒ熱電対（白金−ロジウム）用の温度計測部に代えたこと以外は、実施例１と同様のオゾン濃度計を作製した。

Ｒ熱電対（白金−ロジウム）用の温度計測部を用いることにより、Ｋ熱電対（温度表示レンジ：０〜２３℃）をＲ熱電対用の温度表示レンジ（０〜１５７℃）まで拡大して読み取ることができ、読み取り精度を向上させることができた。図１７は、実施例２のオゾン濃度計を用いたときのオゾン濃度と温度差との関係を示すグラフである。

実施例１，２及び比較例１から明らかなように、実施例１，２のオゾン濃度計は、本発明の熱電対を備えているため、比較例１のオゾン濃度に比べて、応答速度が速く（即ち、オゾン濃度の変化に対する温度差の変化の遅れが小さく追随性が良く）、継続的かつ良好に測定することが可能であることが確認できた。また、実施例１，２のオゾン濃度計は、比較例１のオゾン濃度計に比べて、構成部品数が少なく簡単な構成からなるものである。

本発明の熱電対及び熱電対具備部材は、オゾン濃度計を構成する部材として好適に用いることができる。本発明のオゾン濃度計は、オゾン発生装置（オゾナイザー）から発生したオゾンの濃度を測定するための装置として好適に用いることができる。

１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ，１Ｅ，１Ｆ，１Ｇ，１０１ａ，２０１ａ：熱電対、３：貫通孔、４：細線、５，５ａ，５ｂ，５ｃ，２０７：基材、６：第１感知部、８：第２感知部、１０Ａ，１００：オゾン濃度計、１３：オゾン濃度計測部、１４：温度計測部、１５ａ：第１の素線、１５ｂ：第２の素線、１５ｃ：第３の素線、１６：接続端子、１７：支持部、１９：パンチングプレート、２０，１０１，１２０，２０１，２２０：熱電対具備部材、２１：連結部、２５，２５ｘ，２５ｙ：貫通路、２５ａ：一方の開口、２５ｂ：他方の開口、２７：熱電対配設路、２９：外装部材、３０：オゾン濃度計評価装置、３３：酸素供給源、３５：オゾン発生装置、３７：紫外線オゾン濃度計、３９：オゾン分解処理塔、４１：酸素流量計、４３：オゾン流量計、４５：圧力計、１０６，２０６：感知部、１１７，２１７：外管。

Claims (8)

1. 第１の素線と、前記第１の素線とは異なる材質からなる第２の素線とを互いに溶接して形成された溶接部分であり、オゾンを含む試料ガスの温度を感知する第１感知部と、
   前記第１の素線と同じ材質からなる第３の素線と、前記第２の素線とを互いに溶接して形成された溶接部分であって、複数の貫通孔が形成されたシート状のものからなり表面に触媒が担持され、オゾン濃度に比例して昇温される金属製の基材が熱伝導可能に固定され、前記基材の温度を感知する第２感知部と、を有し、
   前記第１感知部と前記第２感知部とが同一の先端部に形成されており、
   前記第１感知部で発生した起電力と前記第２感知部で発生した起電力との差を、前記第１の素線と前記第３の素線との電位差として測定する熱電対。
2. 前記基材における複数の前記貫通孔が、細線によって区画形成されており、前記細線の太さが２０〜４００μｍである請求項１に記載の熱電対。
3. 前記基材における目開きは、２０〜６００μｍである請求項２に記載の熱電対。
4. 前記基材は、シートが折り曲げられてなるものである請求項１〜３のいずれか一項に記載の熱電対。
5. 前記基材を複数有し、複数の前記基材は、一の基材に平行になるように他の基材が配列された状態で、隣接する基材が、相互に連結されている請求項１〜４のいずれか一項に記載の熱電対。
6. 前記基材が、ステンレス鋼からなる請求項１〜５のいずれか一項に記載の熱電対。
7. オゾンを含む試料ガスが流れる貫通路、及び、前記貫通路に連通する熱電対配設路を有する外装部材と、
   前記熱電対配設路に、前記第１感知部と前記第２感知部とが前記貫通路内に位置するように配設された、請求項１〜６のいずれか一項に記載の熱電対と、を備える熱電対具備部材。
8. 請求項７に記載の熱電対具備部材と、前記熱電対の前記第１の素線と前記第３の素線との電位差からオゾン濃度を算出するオゾン濃度計測部と、を備えるオゾン濃度計。

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