KR100395656B1 - 질량유량제어기의 질량유량측정센서 - Google Patents
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Abstract
Description
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- 시료유체를 가열하여 시료유체의 상류 및 하류의 온도 또는 전력을 각각 측정한 후 그 온도차 또는 전력차로부터 시료유체의 질량유량을 측정하기 위한 질량유량측정센서에 있어서,시료유체가 흐르는 유로를 형성하는 시료유동관과,상기 유로를 따라 흐르는 시료유체를 가열시키는 열원과,상기 열원에 의해 영향을 받은 시료유체의 상류의 온도를 감지하여 그 온도에 대응하는 전기신호를 발생시키는 제1 감온수단 및,상기 열원에 의해 영향을 받은 시료유체의 하류의 온도를 감지하여 그 온도에 대응하는 전기신호를 발생시키는 제2 감온수단을 포함하고,상기 열원과 상기 제1 감온수단 및 상기 제2 감온수단이 존재하는 구간을 포함하는 상기 유로의 길이의 적어도 일부에서는 상기 유로가 유동구역과 비유동구역을 포함하며, 상기 비유동구역은 상기 유로의 횡단면의 중앙부에 형성되고, 상기 유동구역은 상기 비유동구역을 둘러싸게 형성된 것을 특징으로 하는 질량유량측정센서.
- 청구항 1에 있어서,상기 비유동구역이 상기 시료유동관 속에 삽입되어 상기 시료유동관의 내면으로부터 이격되어 있는 내부봉에 의해 형성된 것을 특징으로 하는 질량유량측정센서.
- 청구항 2에 있어서,상기 제1 감온수단은 온도변화에 따라 변하는 전기신호를 발생시키는 제1 감온코일이고, 상기 제2 감온수단은 상기 제1 감온코일보다 하류 쪽에 설치되어 온도변화에 따라 변하는 전기신호를 발생시키는 제2 감온코일인 것을 특징으로 하는 질량유량측정센서.
- 청구항 3에 있어서,상기 열원이 전기에너지를 열에너지로 변환하는 가열코일인 것을 특징으로 하는 질량유량측정센서.
- 청구항 4에 있어서,상기 제1 감온코일 및 상기 제2 감온코일은 상기 가열코일의 상류 및 하류 쪽의 시료유동관의 외면에 감겨 있고,상기 가열코일은 상기 제1 감온코일과 상기 제2 감온코일의 사이에서 상기 시료유동관의 외면에 감겨 있는 것을 특징으로 하는 질량유량측정센서.
- 청구항 4에 있어서,상기 내부봉의 적어도 일부가 중공으로 형성되고,상기 제1 감온코일 및 상기 제2 감온코일은 상기 시료유동관의 외주에 감겨 있으며,상기 가열코일은 상기 제1 감온코일과 상기 제2 감온코일의 사이에서 상기 내부봉의 중공부에 배치된 것을 특징으로 하는 질량유량측정센서.
- 청구항 4에 있어서,상기 내부봉의 단부를 제외한 전부가 중공으로 형성되고,상기 제1 감온코일 및 상기 제2 감온코일은 상기 시료유동관의 외주에 감겨 있으며,상기 가열코일은 상기 제1 감온코일 및 상기 제2 감온코일과 중첩되는 위치까지 점유하게 상기 내부봉의 중공부에 배치된 것을 특징으로 하는 질량유량측정센서.
- 청구항 4에 있어서,상기 내부봉의 적어도 일부가 중공으로 형성되고,상기 가열코일은 상기 시료유동관의 외주에 감겨 있으며,상기 제1 감온코일 및 상기 제2 감온코일이 상기 내부봉의 중공부에 배치된 것을 특징으로 하는 질량유량측정센서.
- 청구항 4에 있어서,상기 내부봉의 적어도 일부가 중공으로 형성되고,상기 가열코일과 상기 제1 감온코일 및 상기 제2 감온코일이 모두 상기 내부봉의 중공부에 배치된 것을 특징으로 하는 질량유량측정센서.
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Applications Claiming Priority (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR20010081357 | 2001-12-19 | ||
KR1020010081357 | 2001-12-19 | ||
KR20020014257 | 2002-03-16 | ||
KR1020020014257 | 2002-03-16 | ||
KR1020020020202 | 2002-04-13 | ||
KR1020020020202 | 2002-04-13 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20030051284A KR20030051284A (ko) | 2003-06-25 |
KR100395656B1 true KR100395656B1 (ko) | 2003-08-21 |
Family
ID=27350550
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR10-2002-0079262A KR100395656B1 (ko) | 2001-12-19 | 2002-12-12 | 질량유량제어기의 질량유량측정센서 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100395656B1 (ko) |
AU (1) | AU2002366483A1 (ko) |
WO (1) | WO2003052356A1 (ko) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100395657B1 (en) * | 2003-01-14 | 2003-08-21 | Wook Hyun Kim | Mass flow controller |
GB2553681B (en) | 2015-01-07 | 2019-06-26 | Homeserve Plc | Flow detection device |
GB201501935D0 (en) | 2015-02-05 | 2015-03-25 | Tooms Moore Consulting Ltd And Trow Consulting Ltd | Water flow analysis |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4464932A (en) * | 1982-07-12 | 1984-08-14 | Mks Instruments, Inc. | Thermal mass flowmetering |
JPS59105520A (ja) * | 1982-12-08 | 1984-06-18 | Tokyo Keiso Kk | 熱式質量流量計 |
JPH01114719A (ja) * | 1987-10-29 | 1989-05-08 | Hitachi Metals Ltd | 感熱型質量流量計 |
JP2814379B2 (ja) * | 1988-06-20 | 1998-10-22 | 忠弘 大見 | マスフローコントローラ |
JPH0784650A (ja) * | 1993-07-23 | 1995-03-31 | Hitachi Metals Ltd | マスフローコントローラ、その運転方法及び電磁弁 |
JPH1038652A (ja) * | 1996-07-23 | 1998-02-13 | Yokogawa Electric Corp | 熱式質量流量計 |
NL1014797C2 (nl) * | 2000-03-30 | 2001-10-02 | Berkin Bv | Massadebietmeter. |
-
2002
- 2002-12-12 KR KR10-2002-0079262A patent/KR100395656B1/ko active IP Right Grant
- 2002-12-16 WO PCT/KR2002/002364 patent/WO2003052356A1/en not_active Application Discontinuation
- 2002-12-16 AU AU2002366483A patent/AU2002366483A1/en not_active Abandoned
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2003052356A1 (en) | 2003-06-26 |
AU2002366483A1 (en) | 2003-06-30 |
KR20030051284A (ko) | 2003-06-25 |
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