KR20050120922A

KR20050120922A - 질량 유량 측정센서

Info

Publication number: KR20050120922A
Application number: KR1020040046039A
Authority: KR
Inventors: 김욱현
Original assignee: 김욱현
Priority date: 2004-06-21
Filing date: 2004-06-21
Publication date: 2005-12-26

Abstract

질량 유량 제어기의 측정 정밀도를 향상시키고, 응답 속도를 개선시키기 위하여, 유로를 통해 흐르는 유체중 일부인 시료 유체가 일정 비율로 통과되도록 형성된 시료 유동관; 시료 유동관을 통하여 흐르는 시료 유체를 가열하기 위한 가열수단; 시료 유동관을 통하여 흐르는 시료 유체의 온도를 측정하기 위한 온도 센서; 온도 센서에서 측정되는 온도를 주위 온도와 일정한 온도차로 유지시키기 위하여, 가열수단에 공급되는 전원을 제어하기 위한 가열수단 제어부 및 시료 유체의 유동량 변동에 따라 가열수단에 공급되는 전압 차이를 검출하기 위한 전압차 검출부로 구성된 질량 유량 측정센서가 제공된다.

Description

질량 유량 측정센서 {MASS FLOW MEASUREMENT SENSOR FOR MASS FLOW CONTROLLER}

본 발명은 질량 유량 제어기에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 시료 유체를 주위 온도와 일정한 온도차로 유지시키고, 시료 유체의 유동시와 비유동시의 전압차 를 검출하여 유체의 질량 유량을 측정하는 질량 유량 측정센서에 관한 것이다.

가스나 기체를 측정하기 위한 대표적인 유량계로는 오리피스를 비롯한 차압 유량계, 볼텍스 유량계, 터빈 유량계, 초음파 유량계, 면적식 유량계 그리고 열식 질량 유량계가 있다. 이들 유량계중 열식 질량 유량계를 제외한 나머지는 유체의 체적만을 측정하는 유량계로 유체 측정을 필요로 하는 공정의 온도나 압력 등이 설계치와 달라질 때, 이를 적절히 보정을 할 수 없는 즉, 현재 배관에 흐르고 있는 유체의 양만을 측정하는 유량계이다. 하지만, 가스 혹은 기체는 온도나 압력의 변화에 대단히 큰 부피의 팽창과 수축을 하게 되며, 이를 적절히 보정하지 못하게 되면 대단히 큰 측정 오차를 갖게 된다.

현대의 산업은 점점 고도화, 다양화되어 왔으며, 이와 더불어 유체, 특히 가스의 흐름을 측정하는데 있어서도 점점 다양한 공정에서 요구되고, 또한 고정밀도의 측정이 요구되기도 한다.

일반적으로 기체의 측정에 있어서, 유체의 체적 유량 측정값만으로 충분한 산업공정이 있는가 하면, 반도체 산업, 천연가스 또는 도시가스 측정, 화학반응 공정, 발전소, 빌딩 공조 산업, 석유 화학 분야 및 환경 산업 등 여러 산업 분야에서 사용된다. 그리고, 유체가 비중이 작고 압축성이 큰 가스인 경우, 체적유량에 의한 방식보다는 질량유량에 의한 측정 방식이 유체의 유동을 보다 정확하게 제어할 수 있는 것으로 알려져 있으며, 특히, 화학반응장치에서의 유량제어는, 화학반응이 질량을 기준으로 한 반응이므로, 질량유량을 측정하고 제어하는 것이 보다 편리하다.

이와 같은 질량유량측정의 경우 미소의 질량유량을 측정하기 위한 방식으로는 통상 2가지 방식 즉, 코리올리스 질량 유량계와 열식 질량 유량계가 있다.

코리올리스 질량유량계는 1970년대에 이르러 실용화되었으며, 측정원리는 유체가 배관 내를 흐르면 흐르는 유체의 질량에 의하여 배관은 비틀리게 된다. 이 비틀리는 힘을 코리올리스 힘이라고 부르며, 코리올리스 힘은 관로 내를 흐르는 질량 유량과 비례 관계에 있으므로 이 비틀리는 힘 또는 이에 관련된 양을 측정하면 질량 유량을 구할 수 있다.

열식 질량 유량계는 흐르고 있는 유체 중에 가열된 물체를 놓으면 유체와 가열된 물체 사이에 열교환이 이루어짐에 따라 가열된 물체가 냉각되며, 이 냉각율은 유속의 함수가 되기 때문에 가열된 물체의 온도를 측정하는 것에 의해 유속을 구할 수 있다(기본 방식). 또한, 유체를 가열하여 일정한 온도로 높이기 위하여 필요한 에너지도 유속의 함수가 되기 때문에 흐르고 있는 유체의 온도를 어떤 일정한 온도로 높이기 위하여 필요한 에너지를 측정하면 유속을 구할 수 있게 된다(정온도차 제어방식).

도 1은 종래의 질량 유량 제어기의 개략 구성도이다.

종래의 질량유량제어기(100)는 유로(110)를 통해 흐르는 질량유량을 측정하는 질량유량측정센서(120)와, 유로(110)의 개도를 변화시켜 유로(110)를 통해 흐르는 질량유량을 조절하는 밸브 작동기(160) 및 밸브(130)와, 질량유량측정센서(120)에 의해 측정된 질량유량을 검출하고 유로(110)의 개도를 조절하도록 전기적 신호를 밸브 작동기(160)로 송출하는 제어부(140)로 구성된다. 여기서, 질량유량측정센서(120)는 유로(110)를 통해 흐르는 유체의 일정 부분이 통과하도록 유로(110)에 연결되게 구성된 시료 유동관(121)과, 전원(170)으로부터 공급되는 전기에너지를 열에너지로 변환하여 시료 유동관(121)을 통해 흐르는 시료유체를 가열하는 열원으로서의 역할을 하도록 시료 유동관(121)의 외주에 감겨 있는 가열코일(122)과, 시료유체의 상류의 온도를 측정하는 온도측정기로서의 역할을 하도록 가열코일(122)의 상류에서 시료 유동관(121)의 외주에 감겨 있는 제1 감온코일(123) 및, 시료 유체의 하류의 온도를 측정하는 온도측정기로서의 역할을 하도록 가열코일(122)의 하류에서 시료 유동관(121)의 외주에 감겨 있는 제2 감온코일(124)로 구성된다. 즉, 제1 감온코일(123)에서는 상류의 시료 유체의 온도에 대응하는 전기신호가 얻어지고, 제2 감온코일(124)에서는 하류의 시료유체의 온도에 대응하는 전기신호가 얻어지며, 시료 유동관(121)의 상류 및 하류에서 각각 측정한 시료유체의 온도차를 이용하여 질량유량을 측정하게 된다.

도 2에는 종래의 질량 유량 측정센서에서 시료 유체의 질량 유량 변화에 따른 온도 분포의 변화가 개략적으로 도시되어 있다.

도 2를 참조하면, 가열코일(122)에 의해 시료유체가 가열된 상태에서, 시료유체가 유동되지 않는 상태일 경우 제1, 제2 감온코일(123, 124)에서는 동일한 온도값에 해당하는 전기신호가 얻어지지만, 시료유체가 유동 상태일 경우 제1, 제2 감온코일(123, 124)에서는 온도차(ΔT)를 갖는 전기신호가 각각 얻어진다. 이러한 온도차(ΔT)는 상류에서 유입된 시료유체가 가열코일(122)부위를 지나면서, 가열코일(122)의 열을 일부분 흡수하면서 가열되어지며, 가열되어진 시료유체는 하류로 이동하기 때문이다. 즉, 시료 유동관내의 시료유체의 이동에 의한 대류현상 때문이다.

시료유체의 온도차(ΔT)는 열원이 제공한 열량(Q : heat flux or heat flow rate) 및 그 열량(Q)에 의해 가열되어지는 시료 유동관(121)을 통과하는 시료유체의 질량유량(m : mass flow rate)과 함수관계를 갖는다. 그러므로, 아래의 수학식 1과 같이, 시료유체의 비열(Cp : specific heat)과, 열원에 의해 가해지는 열량(Q) 및, 제1 및 제2 감온코일(123, 124)로부터의 전기신호에 의해 얻어지는 시료유체의 온도차(ΔT)로부터 시료 유동관(110)을 통해 흐르는 시료유체의 질량유량(m)을 계산할 수 있으며, 유로(110)를 통과하는 총 질량유량은 시료 유동관(121)을 통과하는 시료유체의 질량유량에 층류기(150)를 통과하는 질량유량과의 비율을 곱하여 계산한다.

m=Q/(CpㆍΔT)

통상적으로는, 열원에 의해 공급되는 열량을 일정하게 유지하고, 제어부(140)가 제1 및 제2 감온코일(123, 124)로부터의 전기신호에 의해 얻어지는 시료유체의 상류 및 하류의 온도차 또는 저항차에 대응하는 밸브 구동신호를 밸브 작동기(160)로 송출하며, 밸브 작동기(160)가 밸브 구동신호에 따라 밸브(130)를 작동시켜 유로(110)의 개도를 조절함으로써 유로(110)를 통해 흐르는 질량유량을 제어한다.

도 3은 종래의 질량 유량 측정센서에서 시료 유체의 질량 유량 변화에 따른 온도차 분포를 도시한 도이다. 도 3에서 도시된 바와 같이, 초기의 부분에서만 선형적인 변화를 보이며, 이후의 영역에서는 비선형적인 변화를 보인다. 이와 같은, 질량유량측정센서에 있어서 질량유량의 변화에 따른 온도차 변화의 그래프에서 비선형성을 일으키는 가장 큰 주된 요인은, 시료 유동관내의 시료유체의 이동에 의한 대류현상에 의하여 발생되는 시료 유동관의 최고온도의 위치 이동과 최고 온도값의 변동 때문이다.

도 4에는 종래의 정온도차 제어 방식의 질량 유량 제어기의 원리가 개략적으로 도시된다. Rd:하류측 저항체, Rtu:상류측 주위온도 검출저항체, Rtd:하류측 주위온도 검출 저항체, Rsu:정온도차 설정저항체, Rsd:정온차 설정 저항체, Ts:유량센서는 온도, Ta:주위온도와 같다. 상기 도 4에 도시된 질량 유량 제어기는 열전도를 이용하는 것은 공통이지만 기본 방식과 달리 온도차를 검출하는 것이 아니라 전압차를 검출하는 방식으로 되어 있다. 유체가 비유동시에 전압은 상류, 하류가 같은 전압이 되고, 유체가 유동시에 상류, 하류 각각에 필요한 전압이 변화된다. 상류측은 보다 많은 전압을 필요로 하고 하류측은 적은 전압으로 충분하다. 이러한 전압차를 검출함으로써 질량 유량의 신호를 얻게 된다.

상기 도 1 내지 도 3에서 살펴본 기본 방식에 의하면, 온도 분포가 실제로 변화되면서 신호가 얻어지기 때문에 시료 유동관의 질량, 센서 자신의 질량이 응답 속도에 영향을 주기 때문에 응답 속도가 느리게 된다. 또한, 미소한 온도 변화를 검출하기 때문에 감도를 크게 하기 위해서, 센서 온도를 높이게 되므로 전기 절연재료의 열화가 빨라진다.

상기 도 4에서 살펴본 정온도차 제어방식의 경우에는 상기 기본 방식의 문제점은 해결되는 데 반하여, 기본 방식에 비하여 많은 센서와 코일이 소요되어, 구성이 복잡해지는 문제점이 발생하게 된다.

본 발명은 상술한 종래의 문제점을 극복하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 시료 유체의 온도를 주위 온도에 대하여 일정하게 유지시킬 때, 가열수단에서 소요되는 전압의 차이를 이용하여 질량 유량을 측정하는 질량 유량 측정센서를 제공하기 위한 것이다.

상기 본 발명의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 질량 유량 측정센서는 유로를 통해 흐르는 유체중 일부인 시료 유체가 일정 비율로 통과되도록 형성된 시료 유동관; 시료 유동관을 통하여 흐르는 시료 유체를 가열하기 위한 가열수단; 시료 유동관을 통하여 흐르는 시료 유체의 온도를 측정하기 위한 온도 센서; 온도 센서에서 측정되는 온도를 주위 온도와 일정한 온도차로 유지시키기 위하여, 가열수단에 공급되는 전원을 제어하기 위한 가열수단 제어부 및 시료 유체의 유동량 변동에 따라 가열수단에 공급되는 전압 차이를 검출하기 위한 전압차 검출부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 가열수단 제어부는 주위 온도를 측정하기 위한 주위 온도 센서; 상기 주위 온도 센서에 의해 측정된 주위 온도와 상기 온도 센서에서 측정되는 온도를 일정한 온도차로 유지시키기 위한 정온도차 제어부 및 상기 정온도차 제어부에서 출력된 신호에 따라 상기 가열수단에 전원을 인가시키기 위한 전원공급부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 설명하기로 한다.

도 5를 참조하여, 본 발명에 따른 질량 유량 제어기의 개략 구성도를 상술하면 다음과 같다.

상기 도 5에 도시된 질량 유량 제어기는 유체가 이동되는 유로(110), 상기 유로를 통하여 이동되는 유체의 질량 유량을 측정하기 위한 질량 유량 측정센서(400), 상기 질량 유량 측정센서(400)를 통과하지 않고 바이패스되는 유체가 시료 유동관을 통과하는 시료유체의 유량과 항상 일정한 비율을 유지하며 유로를 통과하도록 하는 층류기(150), 상기 질량 유량 측정센서에서 측정된 신호를 증폭시키기 위한 증폭회로(142), 사용자에 의하여 미리 설정된 질량 유량 설정치와 질량유량 측정센서(400)로부터의 측정치를 비교하여 밸브 작동기(160)를 작동시키기 위한 제어신호를 생성하는 비교 제어회로(143), 상기 비교 제어회로(143)로부터의 제어신호에 따라 유로의 개도를 조절하는 밸브(130)를 작동하여 유로를 통과하는 전체 질량 유량을 조절하는 밸브 작동기(160)로 구성된다. 또한, 질량 유량 측정센서(400)로부터 측정된 온도차 또는 저항차로부터 환산된 질량 유량값을 표시해 주는 표시부(145)가 별도로 구비될 수도 있다.

상기 질량 유량 측정센서(400)는 시료 유동관(421), 주위 온도 센서(422), 온도 센서(423), 가열 수단(424), 전원공급부(430), 정온도차 제어부(440) 및 전압차 검출부(450)로 구성되며, 상기 주위 온도 센서(422), 전원공급부(430) 및 정온도차 제어부(440)는 상기 가열 수단(424)을 제어하기 위한 가열 수단 제어부로서의 기능을 수행한다.

상기 시료 유동관(421)은 상기 층류기(150)에 의해 상기 유로를 통해 흐르는 유체중 일부인 시료 유체가 일정 비율로 통과되도록 상기 유로(110)의 상부와 하부에 각각 연통되어 구성된다.

상기 가열 수단(424)은 상기 시료 유동관(421)을 통하여 흐르는 시료 유체를 가열하며, 상기 온도 센서(423)는 상기 시료 유동관을 통하여 흐르는 시료 유체의 온도를 측정하고, 상기 주위 온도 센서(422)는 시료 유동관의 주위 온도를 측정하는 기능을 수행하게 된다.

상기 가열 수단(424)으로서 본 실시예에서는 가열 및 온도 측정이 가능한 가열 코일을 사용하였으나, 가열 코일 이외에도 다양한 발열체를 사용할 수 있다.

상기 정온도차 제어부(440)는 상기 주위 온도 센서(422)에 의해 측정된 주위 온도와 상기 온도 센서(423)에서 측정된 온도를 일정한 온도차로 유지시키며, 상기 전원공급부(430)에서는 상기 정온도차 제어부(440)에서 출력된 신호에 따라, 상기 가열수단에 전원을 인가하게 된다.

상기 주위 온도와 상기 온도 센서에서 측정된 온도를 일정한 온도차로 유지시키기 위한 정온도차 제어부(440)는 브리지 회로를 이용하여 구성될 수 있다.

상기 전압차 검출부(450)는 상기 시료 유체의 유동량 변동에 따라 상기 가열수단에 공급되는 전압 차이를 검출하여, 검출된 신호를 상기 증폭 회로(142)로 인가하게 된다. 이러한 전압차 검출부(450)는 브리지 회로를 이용하여 구성될 수 있다.

상기와 같은 구성을 갖는 질량 유량 제어기의 동작을 살펴보면, 유체는 상기 층류기(150)에 의해 항상 일정한 비율을 유지하면서 시료 유동관(421)과 유로(110)로 흐르게 된다.

상기 주위 온도 센서(422)는 시료 유동관 주위의 온도를 측정하며, 상기 시료 유동관내를 흐르는 시료 유체는 상기 온도 센서(423)에 의해서 온도가 측정되며, 상기 가열수단(424)에 의해서 가열된다.

상기 온도 센서(423)에서 측정된 시료 유체의 온도가 시료유체의 유동량 변화에 상관없이 상기 주위 온도 센서(422)에서 측정된 주위 온도에 대하여 일정한 온도차를 유지하도록 정온도차 제어부(440)와 전원 공급부(430)에 의해서 상기 가열수단에 인가되는 전원이 조절된다.

그러므로, 상기 온도 센서(423)에서 측정된 시료 유체의 온도는 시료 유체의 유동량이 변동하더라도, 주위 온도에 대하여 항상 일정한 온도차를 유지하게 되고, 상기 가열수단(424)에서는 시료 유체의 유동량 변동에 따른 소요 전압의 차이는 상기 전압 검출부(450)를 통하여 출력된다.

이러한 신호는 미소한 출력 신호이므로 이를 증폭하기 위해서, 상기 증폭회로(142)로 인가되며, 상기 비교 제어회로(143)에서는 측정된 질량 유량과 설정된 질량 유량을 비교하여 밸브 작동기(160)와 밸브(130)를 조절하여, 유체의 질량 유량을 제어하게 된다.

도 6은 본 발명에 따른 질량 유량 제어기의 질량 유량 측정 센서의 개략 구성도이며, 도 7은 본 발명에 따른 질량 유량 제어기의 질량 유량 측정 센서에서 시료 유체의 질량 유량 변화에 따른 온도 분포의 변화를 도시한 도이다.

상기 도 6은 시료 유체가 일정 비율로 유동하도록 설치된 시료 유동관(421), 주위의 온도를 감지하기 위한 주위 온도 센서(422), 시료 유체의 온도를 감지하기 위한 온도 센서(423) 및 시료 유동관(421)의 외부면에 설치되어 시료 유체를 가열하기 위한 가열수단(424)으로 구성된다.

상기 주위 온도 센서(422)는 상기 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 시료 유동관 상에 설치될 수도 있으며, 이와는 달리 시료 유동관 외부에 설치될 수도 있다. 바람직하게는, 상기 주위 온도 센서(422)는 시료 유동관 상에 설치된다.

상기 도 7에는 온도센서(423)에서 측정되는 온도가 시료 유체의 유동량 변동에 관계없이 주위 온도 센서(422)에서 측정된 온도에 대하여 일정한 온도차를 유지시킬 때, 상기 가열수단(424)에서의 유동량 변동에 따른 온도 분포가 나타나 있다.

다시 설명하면, 시료 유동관 내에서 시료 유체가 유동하게 되면, 비유동시 보다 온도 센서에서 측정되는 온도는 떨어지게 되고, 상기 가열수단은 시료 유체를 가열하여 시료 유체의 온도를 상승시킴으로써, 시료 유체의 온도를 일정하게 유지시킬 수 있게 된다. 따라서, 시료 유체의 유동량이 증가할수록 가열수단의 온도도 상승하게 되며, 가열수단에서 소요되는 전압은 비유동시와 유동시에 차이가 발생된다.

비유동시와 유동시에 가열수단에서 소요되는 전압차는 유체의 질량 유량의 함수이므로, 이러한 전압차를 측정함으로써, 유체의 질량 유량을 구할 수 있게 된다.

도 8은 본 발명에 따른 질량 유량 측정센서의 정온도차 제어부의 일 실시예를 도시한 도이다.

상기 정온도차 제어부(440)는 상기 도 8에 도시된 바와 같이, 브리지 회로와 증폭기를 이용하여 구성된다.

상기 브리지 회로는 주위 온도 센서(422), 온도 센서(423), 가변 저항(R3, R4) 으로 구성되며, 상기 브리지 회로를 통하여 검출된 출력신호는 증폭기를 통하여 증폭되며, 각 출력신호의 차이에 상응하는 신호가 상기 전원공급부(430)로 인가된다. 상기 전원공급부(430)는 인가된 신호에 따라 가열수단(424)을 가열함으로써, 상기 주위 온도 센서(422)와 상기 온도 센서(423)의 온도가 항상 일정한 온도차로 유지된다.

상기 증폭기는 바람직하게는 비례 제어기, PI 제어기, PD 제어기 및 PID 제어기중 어느 하나를 사용할 수 있다.

이상에서 설명한 것은 본 발명에 따른 질량 유량 측정센서의 예시적인 실시예에 불과한 것으로서, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하의 특허청구범위에서 청구하는 바와 같이, 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.

상술한 바와 같이, 본 발명의 질량 유량 측정센서에 따르면, 시료 유체의 온도를 주위 온도에 대하여 일정하게 유지시킬 때, 가열수단에서 소요되는 전압의 차이를 이용하여 질량 유량을 측정함으로써, 응답 속도가 빨라지며, 센서 온도가 낮아져서 전기 절연재료의 열화가 늦어진다. 또한, 질량 유량 측정 센서의 구성이 간단하면서, 측정 정밀도가 향상되는 효과를 얻게 된다.

도 1은 종래의 질량 유량 제어기의 개략 구성도.

도 2는 종래의 질량 유량 측정센서에서 시료 유체의 질량 유량 변화에 따른 온도 분포의 변화를 나타낸 개략도.

도 3은 종래의 질량 유량 측정센서에서 시료 유체의 질량 유량 변화에 따른 온도차 분포를 도시한 도.

도 4는 종래의 정온도차 제어 방식의 질량 유량 제어기의 원리를 개략적으로 나타낸 구성도.

도 5는 본 발명에 따른 질량 유량 제어기의 개략 구성도.

도 6은 본 발명에 따른 질량 유량 제어기의 질량 유량 측정 센서의 개략 구성도.

도 7은 본 발명에 따른 질량 유량 제어기의 질량 유량 측정 센서에서 시료 유체의 질량 유량 변화에 따른 온도 분포의 변화를 도시한 도.

도 8은 본 발명에 따른 질량 유량 측정센서의 정온도차 제어부의 일 실시예를 도시한 도.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

110 : 유로 130 : 밸브

142 : 증폭회로 143 : 비교제어회로

144 : 설정부 145 : 표시부

150 : 층류기 160 : 밸브 작동기

421 : 시료 유동관 422 : 주위 온도 센서부

423 : 온도 센서부 424 : 가열수단

430 : 전원공급부 440 : 정온도차 제어부

450 : 전압차 검출부

Claims

유체가 이동되는 유로, 상기 유로를 통하여 이동되는 유체의 질량 유량을 측정하기 위한 질량 유량 측정센서, 상기 유로를 통해 흐르는 유체의 질량 유량을 조절하기 위한 밸브 및 상기 밸브를 제어하기 위한 제어부로 구성된 질량 유량 제어기에 있어서, 상기 질량 유량 측정센서는

상기 유로를 통해 흐르는 유체중 일부인 시료 유체가 일정 비율로 통과되도록 형성된 시료 유동관;

상기 시료 유동관을 통하여 흐르는 시료 유체를 가열하기 위한 가열수단;

상기 시료 유동관을 통하여 흐르는 시료 유체의 온도를 측정하기 위한 온도 센서;

상기 온도 센서에서 측정된 온도를 주위 온도와 일정한 온도차로 유지시키기 위하여, 상기 가열수단에 공급되는 전원을 제어하기 위한 가열수단 제어부 및

상기 시료 유체의 유동량 변동에 따라 상기 가열수단에 공급되는 전압 차이를 검출하기 위한 전압차 검출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 질량 유량 측정센서.
제 1항에 있어서, 상기 가열수단 제어부는 주위 온도를 측정하기 위한 주위 온도 센서; 상기 주위 온도 센서에 의해 측정된 주위 온도와 상기 온도 센서에서 측정되는 온도를 일정한 온도차로 유지시키기 위한 정온도차 제어부 및 상기 정온도차 제어부에서 출력된 신호에 따라 상기 가열수단에 전원을 인가시키기 위한 전원공급부를 포함하는 것을 특징으로 하는 질량 유량 측정센서.
제 2항에 있어서, 상기 주위 온도 센서는 상기 시료 유동관 상의 상류부에 설치되며, 가열수단은 하류부에 설치되고, 온도센서는 상기 주위 온도 센서와 상기 가열수단 사이에 설치되는 것을 특징으로 하는 질량 유량 측정센서.
제 1항에 있어서, 상기 전압차 검출부는 시료 유체의 비유동시 전압과 유동시 전압 차이를 검출하는 것을 특징으로 하는 질량 유량 측정센서.