KR101041434B1

KR101041434B1 - 질량 유량계

Info

Publication number: KR101041434B1
Application number: KR1020090030338A
Authority: KR
Inventors: 민병광
Original assignee: 엠케이프리시젼 주식회사
Priority date: 2009-04-08
Filing date: 2009-04-08
Publication date: 2011-06-14
Also published as: KR20100111884A

Abstract

본 발명은 다수의 센서튜브를 설치하여 센서튜브에서 측정되는 질량유량을 보다 정확하게 계산되도록 하는 질량 유량계에 관한 것으로, 길이 방향으로 형성된 유로에 바이패스가 설치된 본체, 상기 바이패스를 통과하는 유량의 일부가 통과되도록 상기 본체 상면에 설치되는 센서튜브, 상기 센서튜브를 통과하는 질량유량의 비열과 온도 차이에 의해 질량유량을 계산하여 표시하는 제어부, 상기 제어부의 신호에 따라 상기 유로를 개폐시키는 솔레노이드 밸브가 구비되는 질량 유량계로서, 상기 본체 상면에는 직경이 다른 센서튜브가 적어도 2개 이상 설치되는 것을 특징으로 한다.

이와 같은 본 발명은 적어도 2개 이상의 센서튜브가 설치됨에 따라 바이패스를 통과하는 질량유량을 보다 정확하게 파악할 수 있을 뿐만 아니라 정확한 질량유량을 표시할 수 있게 되는 유용한 효과가 있다.

질량 유량계, 센서튜브, 유로, 바이패스

Description

질량 유량계{Mass Flow Meter and Controller}

본 발명은 질량 유량계에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 유로를 흐르는 유체의 질량유량을 정밀하게 측정하는 질량 유량계에 관한 것이다.

일반적으로 가스나 기체를 측정하기 위한 대표적인 유량계로는 오리피스를 비롯한 차압 유량계, 볼텍스 유량계, 터빈 유량계, 초음파 유량계, 면적식 유량계 그리고 열식 질량 유량계가 있다.

이들 유량계 중 열식 질량 유량계를 제외한 나머지는 유체의 체적만을 측정하는 유량계로 유체 측정을 필요로 하는 공정의 온도나 압력 등이 설계치와 달라질 때, 이를 적절히 보정을 할 수 없는 즉, 현재 배관에 흐르고 있는 유체의 양만을 측정하는 유량계이다.

하지만 가스 혹은 기체는 온도나 압력의 변화에 대단히 큰 부피의 팽창과 수축을 하게 되며, 이를 적절히 보정하지 못하게 되면 대단히 큰 측정 오차를 갖게 된다.

현대의 산업은 점점 고도화, 다양화되어 왔으며, 이와 더불어 유체, 특히 가 스의 흐름을 측정하는데 있어서도 점점 다양한 공정에서 요구되고, 또한 고정밀도의 측정이 요구되기도 한다.

또한 기체의 측정에 있어서 유체의 체적 유량 측정값만으로 충분한 산업공정이 있는가 하면, 반도체 산업, 천연가스 또는 도시가스 측정, 화학반응 공정, 발전소, 빌딩 공조 산업, 석유 화학 분야 및 환경 산업 등 여러 산업 분야에서 사용된다.

그리고 유체 비중이 작고 압축성이 큰 가스인 경우, 체적유량에 의한 방식보다는 질량유량에 의한 측정 방식이 유체의 유동을 보다 정확하게 제어할 수 있는 것으로 알려져 있으며, 특히 화학반응장치에서의 유량제어는 화학반응이 질량을 기준으로 한 반응이므로, 질량유량을 측정하고 제어하는 것이 보다 편리하다.

이와 같은 질량유량측정의 경우 미소의 질량유량을 측정하기 위한 방식으로는 통상 2가지 방식 즉, 코리올리스 질량 유량계와 열식 질량 유량계가 있다.

상기 코리올리스 질량 유량계는 1970년대에 이르러 실용화되었으며, 측정원리는 유체가 배관 내를 흐르면 흐르는 유체의 질량에 의하여 배관은 비틀리게 된다.

이 비틀리는 힘을 코리올리스 힘이라고 부르며, 코리올리스 힘은 관로 내를 흐르는 질량유량과 비례 관계에 있으므로 이 비틀리는 힘 또는 이에 관련된 양을 측정하면 질량 유량을 구할 수 있다.

열식 질량 유량계는 흐르고 있는 유체 중에 가열된 물체를 놓으면 유체와 가열된 물체 사이에 열교환이 이루어짐에 따라 가열된 물체가 냉각되며, 이 냉각율은 유속의 함수가 되기 때문에 가열된 물체의 온도를 측정하는 것에 의해 유속을 구할 수 있다.

또한 유체를 가열하여 일정한 온도로 높이기 위하여 필요한 에너지도 유속의 함수가 되기 때문에 흐르고 있는 유체 온도를 어떤 일정한 온도로 높이기 위하여 필요한 에너지를 측정하면 유속을 구할 수 있게 된다.

상기 질량 유량계의 개략적인 구성을 도1에 도시하였다.

도1에 도시된 바와 갈이, 질량유량계(100)는 유로(110)를 통해 흐르는 질량유량을 측정하는 질량유량측정센서(120), 유로(110)의 개도를 변화시켜 유로(110)를 통해 흐르는 질량유량을 조절하는 밸브 작동기(160) 및 밸브(130), 질량유량측정센서(120)에 의해 측정된 질량유량을 검출하고 유로(110)의 개도를 조절하도록 전기적 신호를 밸브 작동기(160)로 송출하는 제어부(140)로 구성되어 있다.

여기서, 질량유량측정센서(120)는 유로(110)를 통해 흐르는 유체의 일정 부분이 통과하도록 유로(110)에 연결되게 구성된 센서튜브(121), 전원으로부터 공급되는 전기에너지를 열에너지로 변환하여 센서튜브(121)를 통해 흐르는 시료유체를 가열하는 열원으로서의 역할을 하도록 센서튜브(121) 외주에 감겨 있는 가열코일(122), 시료유체의 상류 온도를 측정하는 온도측정기로서의 역할을 하도록 가열코일(122)의 상류에서 센서튜브(121)의 외주에 감겨 있는 제1코일센서(123) 및 시료 유체의 하류 온도를 측정하는 온도측정기로서의 역할을 하도록 가열코일(122)의 하류에서 센서튜브(121)의 외주에 감겨 있는 제2코일센서(124)로 구성된다.

즉, 제1코일센서(123)에서는 상류의 시료유체 온도에 대응하는 전기신호가 얻어지고, 제2코일센서(124)에서는 하류의 시료유체 온도에 대응하는 전기신호가 얻어지며, 센서튜브(121)의 상류 및 하류에서 각각 측정한 시료유체의 온도차를 이용하여 질량유량을 측정하게 된다.

가열코일(122)에 의해 시료유체가 가열된 상태에서, 시료유체가 유동되지 않는 상태일 경우 제1, 제2코일센서(123, 124)에서는 동일한 온도 값에 해당하는 전기신호가 얻어지지만, 시료유체가 유동하는 상태일 경우 제1, 제2코일센서(123, 124)에서는 온도차(ΔT)를 갖는 전기신호가 각각 얻어진다.

이러한 온도차(ΔT)는 상류에서 유입된 시료유체가 가열코일(122) 부위를 지나면서 가열코일(122)의 열을 일부분 흡수하여 가열되며, 가열된 시료유체는 하류로 이동하기 때문이다. 즉, 센서튜브 내의 시료유체의 이동에 따른 대류현상 때문이다.

시료유체의 온도차(ΔT)는 열원이 제공한 열량(Q: heat flux or heat flow rate) 및 그 열량(Q)에 의해 가열되는 센서튜브(121)를 통과하는 시료유체의 질량유량(m: mass flow rate)과 함수관계를 갖는다.

그러므로 아래의 수학식1과 같이, 시료유체의 비열(Cp: specific heat), 열원에 의해 가해지는 열량(Q) 및 제1 및 제2코일센서(123, 124)로부터의 전기신호에 의해 얻어지는 시료유체의 온도차(ΔT)로부터 유로(110)를 통해 흐르는 시료유체의 질량유량(m)을 계산할 수 있게 된다.

유로(110)를 통과하는 총 질량유량은 센서튜브(121)를 통과하는 시료유체의 질량유량에 바이패스(150)를 통과하는 질량유량을 더하여 계산한다.

<수학식 1>

m=Q/(Cpㆍ△T)

통상적으로는 열원에 의해 공급되는 열량을 일정하게 유지하고, 제어부(140)가 제1 및 제2코일센서(123, 124)로부터의 전기신호에 의해 얻어지는 시료유체의 상류 및 하류의 온도차 또는 저항차에 대응하는 밸브 구동신호를 밸브 작동기(160)로 송출하며, 밸브 작동기(160)가 밸브 구동신호에 따라 밸브(130)를 작동시켜 유로(110)의 개도를 조절함으로써 유로(110)를 통해 흐르는 질량유량을 제어한다.

이와 같은 종래기술의 센서튜브는 하나가 설치되어 있으며, 하나의 센서튜브에 설치되어 있는 2개의 코일센서에 의하여 제어부에서 바이패스를 통과하는 질량유량을 계산하게 된다.

상기 바이패스를 통과하는 유량이 총 1,000㏄가 흐르는 것으로 가정하면, 센서튜브에도 유량이 가득 채워진 100%로 통과하게 된다.

이와 같이 바이패스를 통과하는 유량이 많을 경우에는 센서튜브를 통과하는 유량에 의해 발생되는 전기신호 즉, 온도 차가 크므로 바이패스를 통과하는 유량의 측정된 계산값을 신뢰할 수 있게 된다.

그러나 바이패스를 통과하는 유량이 적을 경우 즉, 총 1,000㏄ 중 유량이 100㏄ 이하로 통과하는 경우에는 센서튜브에 소량의 유량이 10% 이하로 통과하게 된다.

이에 따라 바이패스를 통과하는 유량이 적을 경우에는 센서튜브를 통과하는 유량에 의해 발생되는 전기신호 즉, 온도 차가 작아지게 되어 바이패스를 통과하는 질량유량을 신뢰할 수 없게 된다.

또한 바이패스를 통과하는 유량이 총 1,000㏄ 중 10㏄의 유량이 통과한다고 가정하면, 센서튜브에는 1%의 유량이 통과하게 됨에 따라 센서튜브를 통과하는 유량에 의해 발생되는 전기신호 즉, 온도 차는 매우 미미하여 바이패스를 통과하는 유량의 질량유량을 거의 신뢰할 수 없게 된다.

이와 같이, 종래의 질량 유량계에서는 하나의 센서튜브에서 바이패스를 통과하는 전체 유량 즉, 0~1,000㏄에 대하여 하나의 센서튜브에서 질량유량을 측정하여 계산하게 되므로 질량유량계에서 측정된 계산값에 대한 신뢰도가 떨어지게 되는 문제점이 있었다.

즉, 바이패스를 통과하는 유량이 최대값에 근접한 근사치로 통과하게 되면 센서튜브에서의 계산값을 신뢰할 수 있으나, 바이패스를 통과하는 유량이 최소값에 근접한 근사치로 통과하게 되면 센서튜브의 질량유량을 신뢰할 수 없게 된다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 적어도 2개 이상의 센서튜브를 설치하여 센서튜브에서 측정되는 질량유량을 보다 정확하게 측정 계산할 수 있는 질량 유량계를 제공하는 데 있다.

본 발명의 다른 목적은 직경이 각각 다른 다수의 센서튜브에 의해 센서튜브를 통과하는 유량에 따라 각각 설정된 범위별로 질량유량을 측정 계산할 수 있는 질량 유량계를 제공하는 데 있다.

상기 목적을 달성하기 위해 본 발명의 질량 유량계는 길이 방향으로 형성된 유로에 바이패스가 설치된 본체, 상기 바이패스를 통과하는 유량의 일부가 통과되도록 상기 본체 상면에 설치되는 센서튜브, 상기 센서튜브를 통과하는 질량유량의 비열과 온도 차이에 의해 질량유량을 계산하여 표시하는 제어부, 상기 제어부의 신호에 따라 상기 유로를 개폐시키는 솔레노이드 밸브가 구비되는 질량 유량계로서,
상기 본체 상면에는 직경이 다른 센서튜브가 적어도 2개 이상 설치되는 것을 포함하며,
상기 센서튜브는 직경이 작은 제1센서튜브와 상기 제1센서튜브 보다 직경이 큰 제2센서튜브가 설치되고,
상기 제어부는 상기 제1센서튜브의 계산값을 선택하여 표시하고,
상기 제1센서튜브에서 계산된 계산값이 설정된 범위 이하인 경우 상기 제2센서튜브의 계산값을 표시하는 것을 특징으로 한다.
또 본 발명의 질량유량계는 길이 방향으로 형성된 유로에 바이패스가 설치된 본체, 상기 바이패스를 통과하는 유량의 일부가 통과되도록 상기 본체 상면에 설치되는 센서튜브, 상기 센서튜브를 통과하는 질량유량의 비열과 온도 차이에 의해 질량유량을 계산하여 표시하는 제어부, 상기 제어부의 신호에 따라 상기 유로를 개폐시키는 솔레노이드 밸브가 구비되는 질량 유량계로서,
상기 본체 상면에는 직경이 다른 센서튜브가 적어도 2개 이상 설치되는 것을 포함하며,
상기 센서튜브는 제1센서튜브,
상기 제1센서튜브 보다 작은 직경으로 형성된 제2센서튜브,
상기 제1센서튜브 보다 큰 직경으로 형성된 제3센서튜브가 설치되고,
상기 제어부는 상기 제2센서튜브에서 계산된 계산값이 최대 유량에 근사한 경우 상기 제2센서튜브의 계산값을 표시하고,

삭제

상기 제2센서튜브에서 계산된 계산값이 설정된 중간 유량에 근사한 경우 상기 제1센서튜브의 계산값을 표시하며,
상기 제2센서튜브에서 계산된 계산값이 설정된 최소 유량에 근사한 경우 상기 제3센서튜브의 계산값을 표시하는 것을 특징으로 한다.

삭제

이와 같은 본 발명은 적어도 하나 이상의 센서튜브가 설치됨에 따라 바이패스를 통과하는 질량유량을 보다 정확하게 파악할 수 있을 뿐만 아니라 정확한 질량유량을 표시할 수 있게 되는 유용한 효과가 있다.

또한 본 발명은 다수의 센서튜브에서 발생된 전기신호에 따라 설정된 범위별로 질량유량을 측정하여 표시되므로 바이패스를 통과한 질량유량을 보다 정확하게 표시할 수 있게 되는 유용한 효과가 있다.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명한다.

<제1실시예>

도2는 본 발명에 의한 제1실시예를 도시한 일부 사시도이고, 도3은 본 발명에 의한 제1실시예를 도시한 단면도이다.

도2 및 도3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1실시예에 의한 질량 유량계는 길이 방향으로 형성된 유로(11)에 바이패스(12)가 설치된 본체(10), 상기 바이패스(12)를 통과하는 유량의 일부가 통과되도록 상기 본체(10) 상면에 설치되는 센서튜브(20), 상기 센서튜브(20)를 통과하는 유량의 비열과 온도 차에 의하여 질량유량을 계산하여 표시하는 제어부(30), 상기 제어부(30)의 신호에 따라 상기 유로(11)를 개폐시키는 솔레노이드 밸브(40)를 포함한다.

상기 본체(10)에는 길이 방향으로 유로(11)가 형성되어 있고, 유로(11)에는 유체가 층류로 통과되도록 바이패스(12)가 설치되어 있으며, 본체(10)에는 상기 센서튜브(20)가 고정되는 구멍(21)이 형성되어 있다.

아울러 본체(10) 상면에는 도2에 도시된 바와 같이, 2개의 센서튜브(20)가 고정되어 있다. 이러한 센서튜브(20)에는 다수의 코일센서(22)가 설치되어 있으며, 상기 코일센서(22)에 전원을 공급하는 전원이 연결되어 있다.

상기 센서튜브(20)는 적어도 2개 이상 구비되는 것으로, 직경이 작은 제1센서튜브(24)와 직경이 큰 제2센서튜브(25)가 설치되어 있다.

이와 같이 제1센서튜브(24)는 그 직경이 작게 형성되고, 제2센서튜브(25)는 제1센서튜브(24)에 비하여 직경이 크게 형성된다.

즉, 바이패스(12)에 많은 양의 유량이 통과되는 경우 직경이 작은 제1센서튜브(24)에는 설정된 비율의 유량이 통과하게 되고, 제1센서튜브(24) 보다 직경이 큰 제2센서튜브(25)에는 제1센서튜브(24)에 비하여 상대적으로 많은 양의 유량이 통과하게 된다.

또한 바이패스(12)에 적은 양의 유량이 통과되는 경우 직경이 작은 제1센서튜브(24)에는 설정된 비율의 적은 유량이 통과하게 되고, 직경이 큰 제2센서튜브(25)에는 제1센서튜브(24)에 비하여 상대적으로 보다 많은 유량이 통과하게 된다.

상기 센서튜브(24,25)에는 각각 센서튜브(24,25)가 안정된 상태로 설치되어 있도록 센서바디(26)가 설치되며, 상기 센서바디(26)는 필요에 따라 설치되지 않을 수도 있다.

또한 본 발명의 질량 유량계에는 유량의 온도 차와 유체의 비열에 의하여 바이패스(12)를 통과하는 질량유량을 계산함은 물론 계산된 값을 표시하는 표시부가 구비된 제어부(30)가 구비되어 있다.

상기 제어부(30)에 구비되는 표시부는 통상의 기술이므로 이에 대한 구체적인 설명은 생략하기로 한다.

또 본체(10) 상면에는 상기 제어부(30)에 의하여 유로(11)를 개폐시키는 솔레노이드 밸브(40)가 구비되어 있으며, 이 또한 통상의 기술이므로 이에 대한 구체적인 설명은 생략하기로 한다.

이와 같은 본 발명의 제1실시예에 의한 질량 유량계는 유체가 유로(11)에 공급됨에 따라 바이패스(12)를 통과하게 되고, 유체 중 일부가 상기 센서튜브(20)를 통과하게 된다.

이때 바이패스(12)를 통과하는 유량이 많은 경우 제1센서튜브(24)에는 설정된 비율로 유량이 통과하게 되고, 제2센서튜브(25)에는 제1센서튜브(24)에 비하여 상대적으로 보다 많은 유량이 통과하게 된다.

또한 바이패스(12)를 통과하는 유량이 적은 경우 제1센서튜브(24)에는 적은 유량이 통과하게 되고, 직경이 큰 제2센서튜브(25)에는 제1센서튜브(24)에 비하여 보다 많은 양의 유량이 통과하게 된다.

예를 들어 제1센서튜브(24)의 직경을 0.3~0.5㎜로 가정하고, 제2센서튜브(25)의 직경을 0.5~0.7㎜로 가정하여 설명하기로 하며, 이러한 센서튜브(20)의 직경은 필요에 따라 직경의 크기를 증감시킬 수 있으므로 상기 직경의 수치에 한정되지 않는다.

이에 따라 바이패스(12)를 통과하는 유량이 적은 경우에는 제1센서튜브(24)를 통과하는 유량이 적어 제1센서튜브(24)에서 발생되는 전기신호가 작고, 제1센서튜브(24)에서 발생된 전기신호가 작음에 따라 바이패스(12)를 통과한 질량유량을 신뢰할 수 없게 된다.

이때 제2센서튜브(25)에는 제1센서튜브(24)에 비하여 보다 많은 유량이 지남에 따라 제2센서튜브(25)에서 발생되는 전기신호가 제1센서튜브(24)에 비해 높은 전기신호가 발생하게 된다.

이와 같이 바이패스(12) 및 센서튜브(20)를 통과하는 유량이 적은 경우 즉, 제1센서튜브(24)에서 질량유량이 0~30㏄ 미만인 경우로 계산되면, 제어부(30)에서는 제1센서튜브(24)에 비하여 비교적 높은 전기신호가 발생되는 제2센서튜브(25)의 계산값을 선택하게 된다.

따라서 제어부(30)에서는 제1센서튜브(24)에서 계산된 값을 먼저 선택하게 되고, 제1센서튜브(24)의 계산값이 작은 경우에는 제2센서튜브(25)에서 계산된 값을 선택하게 된다.

아울러 본 발명에서 질량유량이 0~30㏄ 미만인 경우를 예시적으로 설명하였으나, 이는 설명의 편의를 위한 것으로 제1센서튜브(24)의 계산값에 따라 제2센서튜브(25)의 계산값을 선택하는 범위를 달리 할 수 있음은 물론이다.

<제2실시예>

도4는 본 발명에 의한 제2실시예를 도시한 일부 사시도이고, 도5는 본 발명에 의한 제2실시예를 도시한 단면도이다.

도4 및 도5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2실시예에 의한 질량 유량계는 본체(10a), 제어부(30a) 및 솔레노이드 밸브(40a)가 제1실시예와 동일하므로 이에 대한 구체적인 설명을 생략하기로 한다.

본 발명의 제2실시예에 의한 질량 유량계는 본체(10a) 상면에 3개의 센서튜브(20a)가 설치됨이 특징이다.

상기 센서튜브(20a)는 제1센서튜브(28), 상기 제1센서튜브(28) 보다 작은 직 경으로 형성된 제2센서튜브(27) 및 상기 제1센서튜브(28) 보다 큰 직경으로 형성된 제3센서튜브(29)로 이루어져 있다.

즉, 제3센서튜브(29)는 제1센서튜브(28)와 제2센서튜브(27)에 비하여 그 직경이 가장 크게 형성되어 있고, 상기 제1센서튜브(28)는 제3센서튜브(29)의 직경 보다 작은 직경으로 형성되어 있으며, 상기 제2센서튜브(27)는 제1센서튜브(28)의 직경 보다 더 작은 직경으로 형성되어 있다.

이러한 센서튜브(27,28,29)의 직경은 예시적으로 제2센서튜브(27)의 직경이 0.3~0.5㎜이고, 제1센서튜브(28)의 직경이 0.5~0.7㎜이며, 제3센서튜브(29)의 직경이 0.7~0.9㎜로 형성될 수 있으며, 이러한 수치에 한정되지 않음은 물론이다.

이와 같이 서로 다른 직경을 갖는 센서튜브들(27,28,29)에는 유로(11a)를 통과하는 유량 중 그 일부가 각 센서튜브들(27,28,29)을 통과하게 된다.

이렇게 각 센서튜브들(27,28,29)을 통과하는 유량은 제2센서튜브(27)의 유량이 가장 적고, 제1센서튜브(28)의 유량이 상기 제2센서튜브(27) 보다 많으며, 제3센서튜브(29)의 유량이 가장 많게 된다.

따라서 유량이 적은 경우 상기 센서튜브들(27,28,29) 중 제2센서튜브(27)의 전기신호가 가장 낮고, 그 다음으로 제1센서튜브(28)의 전기신호가 높으며, 제3센서튜브(29)의 전기신호가 가장 높게 발생하게 된다.

이에 따라 제어부(30a)에서는 각 센서튜브들(27,28,29)을 지나는 유량에 따른 비열과 온도 차이에 의해 바이패스(12a)를 통과하는 질량유량을 계산하게 된다.

이렇게 계산된 값 중 제어부(30a)에서는 계산된 값 중에서 먼저 가장 직경이 작은 제2센서튜브(27)의 값을 가장 먼저 선택하게 되고, 제2센서튜브(27)에서 계산된 값이 설정치 보다 작은 경우에는 제1센서튜브(28)의 계산값을 선택하게 되며, 제1센서튜브(28)에서 계산된 값이 설정치 보다 작은 경우 제3센서튜브(29)의 값을 선택하게 된다.

이러한 제어부(30a)의 설정은 0~10㏄, 11~100㏄, 101~1,000㏄로 설정하거나 임의로 설정된 수치를 기준으로 다르게 설정할 수 있음은 물론이다.

도1은 종래의 질량 유량계를 도시한 개략적인 단면도이다.

도2는 본 발명에 의한 제1실시예를 도시한 일부 사시도이다.

도3은 본 발명에 의한 제1실시예를 도시한 단면도이다.

도4는 본 발명에 의한 제2실시예를 도시한 일부 사시도이다.

도5는 본 발명에 의한 제2실시예를 도시한 단면도이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

10: 본체 11: 유로

12: 바이패스 20: 센서튜브

21: 구멍 22: 코일센서

24: 제1센서튜브 25: 제2센서튜브

30: 제어부 40: 솔레노이드 밸브

Claims

길이 방향으로 형성된 유로에 바이패스가 설치된 본체, 상기 바이패스를 통과하는 유량의 일부가 통과되도록 상기 본체 상면에 설치되는 센서튜브, 상기 센서튜브를 통과하는 질량유량의 비열과 온도 차이에 의해 질량유량을 계산하여 표시하는 제어부, 상기 제어부의 신호에 따라 상기 유로를 개폐시키는 솔레노이드 밸브가 구비되는 질량 유량계로서,

상기 본체 상면에는 직경이 다른 센서튜브가 적어도 2개 이상 설치되는 것을 포함하며,

상기 센서튜브는 직경이 작은 제1센서튜브와 상기 제1센서튜브 보다 직경이 큰 제2센서튜브가 설치되고,

상기 제어부는 상기 제1센서튜브의 계산값을 선택하여 표시하고,

상기 제1센서튜브에서 계산된 계산값이 설정된 범위 이하인 경우 상기 제2센서튜브의 계산값을 표시하는 것을 특징으로 하는 질량 유량계.
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길이 방향으로 형성된 유로에 바이패스가 설치된 본체, 상기 바이패스를 통과하는 유량의 일부가 통과되도록 상기 본체 상면에 설치되는 센서튜브, 상기 센서튜브를 통과하는 질량유량의 비열과 온도 차이에 의해 질량유량을 계산하여 표시하는 제어부, 상기 제어부의 신호에 따라 상기 유로를 개폐시키는 솔레노이드 밸브가 구비되는 질량 유량계로서,

상기 본체 상면에는 직경이 다른 센서튜브가 적어도 2개 이상 설치되는 것을 포함하며,

상기 센서튜브는 제1센서튜브,

상기 제1센서튜브 보다 작은 직경으로 형성된 제2센서튜브,

상기 제1센서튜브 보다 큰 직경으로 형성된 제3센서튜브가 설치되고,

상기 제어부는 상기 제2센서튜브에서 계산된 계산값이 최대 유량에 근사한 경우 상기 제2센서튜브의 계산값을 표시하고,

상기 제2센서튜브에서 계산된 계산값이 설정된 중간 유량에 근사한 경우 상기 제1센서튜브의 계산값을 표시하며,

상기 제2센서튜브에서 계산된 계산값이 설정된 최소 유량에 근사한 경우 상기 제3센서튜브의 계산값을 표시하는 것을 특징으로 하는 질량 유량계.
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