JPS6312929A - 流体抵抗式温度計測装置 - Google Patents
流体抵抗式温度計測装置Info
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- JPS6312929A JPS6312929A JP15769786A JP15769786A JPS6312929A JP S6312929 A JPS6312929 A JP S6312929A JP 15769786 A JP15769786 A JP 15769786A JP 15769786 A JP15769786 A JP 15769786A JP S6312929 A JPS6312929 A JP S6312929A
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- 239000012530 fluid Substances 0.000 title claims abstract description 86
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 37
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 abstract description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 6
- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 5
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 230000003584 silencer Effects 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
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- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、流体の温度による状態変化を利用して、例え
ば炉内温度や溶湯温度などを計測する流体抵抗式温度計
測装置に関するものである。
ば炉内温度や溶湯温度などを計測する流体抵抗式温度計
測装置に関するものである。
(従来技術とその問題点)
従来、溶湯金属あるいは炉内などの高温部の温度計測に
は、熱雷対あるいは抵抗温度計などが一般に使用されて
いる。しかし、これらの温度計は、高温にさらされる温
度感知部の材料が原理的に限定されてしまうため、酸化
その他寿命を縮めるような原因に対する対策が施しにく
く、長期間の使用には不適当であった。
は、熱雷対あるいは抵抗温度計などが一般に使用されて
いる。しかし、これらの温度計は、高温にさらされる温
度感知部の材料が原理的に限定されてしまうため、酸化
その他寿命を縮めるような原因に対する対策が施しにく
く、長期間の使用には不適当であった。
このため、温度感知部であるセンサーの材料の選定が計
測の原理によって制約されることなく、寿命の観点から
自由に選定し得る利点を有する流体抵抗式温度計測装置
が開発されている。この流体抵抗式温度計測装置の原理
は、気体の粘性係数の温度依存性を利用し、気体が毛細
管を通過する際の圧力損失の変化から温度を知ろうとい
うもので、その基本的な構成は第9図に示すように、A
rガスなどの作動流体を作動流体供給源9より圧力制御
装置21を介1−て圧カ一定で供給し、被計測雰囲気の
温度に対応して生じるプローブ22内の毛細管23の圧
力損失ΔPをトリム弁24の2次側と毛細管23の2次
側との圧力差ΔPcとして、流体素子25により増幅し
、圧力センサー26によって電気信号として検出するも
のである。
測の原理によって制約されることなく、寿命の観点から
自由に選定し得る利点を有する流体抵抗式温度計測装置
が開発されている。この流体抵抗式温度計測装置の原理
は、気体の粘性係数の温度依存性を利用し、気体が毛細
管を通過する際の圧力損失の変化から温度を知ろうとい
うもので、その基本的な構成は第9図に示すように、A
rガスなどの作動流体を作動流体供給源9より圧力制御
装置21を介1−て圧カ一定で供給し、被計測雰囲気の
温度に対応して生じるプローブ22内の毛細管23の圧
力損失ΔPをトリム弁24の2次側と毛細管23の2次
側との圧力差ΔPcとして、流体素子25により増幅し
、圧力センサー26によって電気信号として検出するも
のである。
本方式の構成は、電気的に言えば一種のホイートストー
ンブリッジであり、感度調整弁27.供給弁28、ある
いはトリム弁24における圧力損失のわずかな変動が、
流体素子25からの圧力信号に大きな影響を及ぼす。し
たがって、環境温度による作動流体の状態変化は、前記
8弁27.28.24における圧力損失に変動を与え、
見かけ上プローブ22の毛細管23の圧力損失ΔPの変
動、すなわちプローブ22による計測温度変化として認
識されるので、本方式の温度計は環境温度の影響を受け
やすいという欠点を有する。
ンブリッジであり、感度調整弁27.供給弁28、ある
いはトリム弁24における圧力損失のわずかな変動が、
流体素子25からの圧力信号に大きな影響を及ぼす。し
たがって、環境温度による作動流体の状態変化は、前記
8弁27.28.24における圧力損失に変動を与え、
見かけ上プローブ22の毛細管23の圧力損失ΔPの変
動、すなわちプローブ22による計測温度変化として認
識されるので、本方式の温度計は環境温度の影響を受け
やすいという欠点を有する。
(発明の目的)
本発明は、前記従来の問題点に鑑みてなされたもので、
環境温度1作動流体温度に影響を受けない、高温計測の
可能な流体抵抗式温度計測装置を提供しようとするもの
である。
環境温度1作動流体温度に影響を受けない、高温計測の
可能な流体抵抗式温度計測装置を提供しようとするもの
である。
(発明の構成)
前記目的を達成するために、本発明は、作動流体供給源
と、一端が封じられた外筒内に、絞り部を先端に有する
内筒を挿入してなるプローブと、作動流体供給源からの
作動流体を前記外筒に導く配管とを備え、この配管に圧
力制御装置および質量流量制御装置を直列に設けるとと
もに、前記絞り部における圧力損失を検出する差圧計と
、この差圧計からの信号に基づいて温度を求める演算手
段とを設けて形成した。
と、一端が封じられた外筒内に、絞り部を先端に有する
内筒を挿入してなるプローブと、作動流体供給源からの
作動流体を前記外筒に導く配管とを備え、この配管に圧
力制御装置および質量流量制御装置を直列に設けるとと
もに、前記絞り部における圧力損失を検出する差圧計と
、この差圧計からの信号に基づいて温度を求める演算手
段とを設けて形成した。
(実施例)
次に、本発明の一実施例を図面にしたがって説明する。
第1図は、本発明に係る流体抵抗式温度計測装置の第1
実施例を示し、感温センサーであるプローブ1は1.内
部に絞り部の一形態である毛細管2および毛細管2を通
過した作動流体をプローブIの外に排出するための作動
流体排出流路3を形成する内筒4と、作動流体を毛細管
2に導くための作動流体供給流路5を形成する外筒6と
から構成され、−例として炉壁7に取付け、炉内温度を
計測するようにしである。また、プローブ1の作動流体
供給口8には高圧作動流体を供給する作動流体供給源9
からの配管IOを接続するとともに、配管10には減圧
弁11.圧力制御弁12および質量流量制御装置13が
直列に設けである。
実施例を示し、感温センサーであるプローブ1は1.内
部に絞り部の一形態である毛細管2および毛細管2を通
過した作動流体をプローブIの外に排出するための作動
流体排出流路3を形成する内筒4と、作動流体を毛細管
2に導くための作動流体供給流路5を形成する外筒6と
から構成され、−例として炉壁7に取付け、炉内温度を
計測するようにしである。また、プローブ1の作動流体
供給口8には高圧作動流体を供給する作動流体供給源9
からの配管IOを接続するとともに、配管10には減圧
弁11.圧力制御弁12および質量流量制御装置13が
直列に設けである。
この質量流量制御装置13は時々刻々と供給されて来る
作動流体の質量流量を質量流量計により検出し、設定質
量流量値との比較を行ない、その結果に基づいてバルブ
の開度を制御して、一定の質量流量を維持するものであ
る。
作動流体の質量流量を質量流量計により検出し、設定質
量流量値との比較を行ない、その結果に基づいてバルブ
の開度を制御して、一定の質量流量を維持するものであ
る。
さらに、プローブl内の毛細管2における圧力損失ΔP
を検出するために、作動流体供給流路5の人口部14と
、作動流体排出流路3の出口部15に圧力検出管16を
設けて差圧計17に接続しである。また、この差圧計1
7には演算器18が接続してあり、差圧計17からの信
号に基づいて温度を求め、温度表示するように形成しで
ある。
を検出するために、作動流体供給流路5の人口部14と
、作動流体排出流路3の出口部15に圧力検出管16を
設けて差圧計17に接続しである。また、この差圧計1
7には演算器18が接続してあり、差圧計17からの信
号に基づいて温度を求め、温度表示するように形成しで
ある。
そして、以下に詳述するように、前記圧力損失ΔPを差
圧計17により検出することにより、炉内温度が計測で
きるようになっている。
圧計17により検出することにより、炉内温度が計測で
きるようになっている。
次に、前記構成からなる装置による温度計測方法につい
て説明する。
て説明する。
まず、作動流体供給源9から高圧の作動流体、例えばA
rガスを供給する。供給された作動流体は、減圧弁11
.圧力制御弁!2により所定の圧力まで減圧され、さら
にこの圧力を保つように制御され、この状態で質量流量
制御装置13によって、一定の質量流ff1Qでプロー
ブlの作動流体供給流路5に供給される。
rガスを供給する。供給された作動流体は、減圧弁11
.圧力制御弁!2により所定の圧力まで減圧され、さら
にこの圧力を保つように制御され、この状態で質量流量
制御装置13によって、一定の質量流ff1Qでプロー
ブlの作動流体供給流路5に供給される。
質量流ff1Q一定で作動流体供給流路5に供給された
作動流体は毛細管2を経て、出口部15から大気中に放
出される。この際、前記毛細管2の部分において、圧力
損失ΔPが生じるので、この圧力損失ΔPを差圧計17
により検出して、この検出結果に基づいて温度計測が行
なわれる。
作動流体は毛細管2を経て、出口部15から大気中に放
出される。この際、前記毛細管2の部分において、圧力
損失ΔPが生じるので、この圧力損失ΔPを差圧計17
により検出して、この検出結果に基づいて温度計測が行
なわれる。
そこで、この圧力損失ΔPからプローブl内の炉内温度
Tを求める方法について説明する。
Tを求める方法について説明する。
作動流体供給口8からプローブ!に供給された作動流体
は、作動流体供給流路5を流れる間にプローブlの外筒
6を介して炉内雰囲気より加熱され、炉内温度Tまで温
度上昇し、毛細管2に導かれる。
は、作動流体供給流路5を流れる間にプローブlの外筒
6を介して炉内雰囲気より加熱され、炉内温度Tまで温
度上昇し、毛細管2に導かれる。
毛細管2内の流れは、一般にハーゲン・ボアズイユ流れ
が仮定できるので、毛細管2において生じる圧力損失は
、以下の式で表わされる。
が仮定できるので、毛細管2において生じる圧力損失は
、以下の式で表わされる。
ただし、12.dはそれぞれ毛細管の長さおよび内径を
示し、μ(T)、ρ(T)は炉内温度Tにおける作動流
体の粘性係数と密度を示す。またQは作動流体の質量流
量を示しており、ここでは質量流量制御装置13で一定
に制御されているので定数である。
示し、μ(T)、ρ(T)は炉内温度Tにおける作動流
体の粘性係数と密度を示す。またQは作動流体の質量流
量を示しており、ここでは質量流量制御装置13で一定
に制御されているので定数である。
厳密には毛細管2の長さgあるいは内径dも温度の影響
を受ける。このことを考慮し、さらに作動流体の動粘度
をν(T)−μ(T)/P(T)であるから(1)式は
以下のように書き直すことができる。
を受ける。このことを考慮し、さらに作動流体の動粘度
をν(T)−μ(T)/P(T)であるから(1)式は
以下のように書き直すことができる。
したがって、ΔPは炉内温度Tの関数であることがわか
る。
る。
一般的には12. dの温度依存性はν(T)のそれに
比べて小さい場合が多いので、 と表わすことができる。この(3)式から毛細管2で生
じる圧力損失ΔPは毛細管2を通過するときの作動流体
の動粘度ν(T)に比例すると言える。
比べて小さい場合が多いので、 と表わすことができる。この(3)式から毛細管2で生
じる圧力損失ΔPは毛細管2を通過するときの作動流体
の動粘度ν(T)に比例すると言える。
作動流体の動粘度ν(T)は温度の関数であるので、圧
力損失ΔPは毛細管2を通過するときの作動流体の温度
、すなわち炉内温度Tの関数である。
力損失ΔPは毛細管2を通過するときの作動流体の温度
、すなわち炉内温度Tの関数である。
したがって、(2)、(3)式いずれで表わされる場合
であっても、毛細管2で生じる圧力損失ΔPを計測すれ
ば炉内温度Tを知ることができる。多くの場合、Q、
dの温度依存性(すなわち、プローブlの熱膨張)は、
動粘度ν(T)の温度依存性に比べて低いので、概ね(
3)式で表わされると考えてよい。
であっても、毛細管2で生じる圧力損失ΔPを計測すれ
ば炉内温度Tを知ることができる。多くの場合、Q、
dの温度依存性(すなわち、プローブlの熱膨張)は、
動粘度ν(T)の温度依存性に比べて低いので、概ね(
3)式で表わされると考えてよい。
以上説明したように、毛細管2における圧力損失ΔPは
そこを通過するときの作動流体の温度のみに依存する。
そこを通過するときの作動流体の温度のみに依存する。
したがって、作動流体の毛細管2に入る以前の温度履歴
、プローブ1の材料環境温度、大気圧等の影響は受けな
い。
、プローブ1の材料環境温度、大気圧等の影響は受けな
い。
作動流体は気体であっても液体であっても差し支えない
。しかし、一般に液体より気体の方が動粘度の温度依存
性が顕著であるので、気体を用いた方が温度分解能が高
くなる。なお、一般に液体の動粘度は温度上昇とともに
小さくなり、逆に、気体の動粘度は温度の上昇とともに
大きくなる。
。しかし、一般に液体より気体の方が動粘度の温度依存
性が顕著であるので、気体を用いた方が温度分解能が高
くなる。なお、一般に液体の動粘度は温度上昇とともに
小さくなり、逆に、気体の動粘度は温度の上昇とともに
大きくなる。
したがって、圧力損失ΔPと温度Tとの関係は、作動液
体を液体とした場合には第2図、作動流体を気体とした
場合には第3図のようになる。次に、プローブlの具体
例として、第4図に示すように毛細管2の内径dが0.
76mm(atO℃)、長さeが13 a+n+(at
0℃)でタングステン(熱膨張率20xlo−”/’
C)製のものを用い、作動流体をArガスとした場合に
ついて考える。このときの圧力損失ΔPと温度Tとの関
係をArガス(作動流体)の流量をパラメータとして示
すと第5図のようになる。
体を液体とした場合には第2図、作動流体を気体とした
場合には第3図のようになる。次に、プローブlの具体
例として、第4図に示すように毛細管2の内径dが0.
76mm(atO℃)、長さeが13 a+n+(at
0℃)でタングステン(熱膨張率20xlo−”/’
C)製のものを用い、作動流体をArガスとした場合に
ついて考える。このときの圧力損失ΔPと温度Tとの関
係をArガス(作動流体)の流量をパラメータとして示
すと第5図のようになる。
毛細管2で生じる圧力損失ΔPは温度の上昇に対して単
調に増加している。
調に増加している。
また、第5図から毛細管2を流れる質量流ff1Qが大
きくなるほど、圧力損失へPの値が大きくなり、また、
温度依存性も強くなることがわかる。
きくなるほど、圧力損失へPの値が大きくなり、また、
温度依存性も強くなることがわかる。
このことだけからすれば、質量流11Qが大きいほど温
度計の計測精度あるいは温度分解能が向上するとも考え
られる。しかし、流量が多くなるほど以下の問題が顕著
になる。
度計の計測精度あるいは温度分解能が向上するとも考え
られる。しかし、流量が多くなるほど以下の問題が顕著
になる。
まず、第1の問題は、プローブl内での熱伝達が追随で
きなくなり作動流体と炉内温度との差が大きくなって炉
内温度を正確に表示しなくなる。
きなくなり作動流体と炉内温度との差が大きくなって炉
内温度を正確に表示しなくなる。
特に炉内温度の変化が速いほどその遅れが大きくなるこ
とである。
とである。
第2の問題は、毛細管2での圧力損失ΔPに比べ、プロ
ーブ先端部あるいはプローブ1の作動流体の入口部!4
などの曲がり部、絞り部等での圧力損失の大きさの比率
が相対的に大きくなり、その結果、毛細管2での圧力損
失ΔPの温度依存性が相対的に小さくなることである。
ーブ先端部あるいはプローブ1の作動流体の入口部!4
などの曲がり部、絞り部等での圧力損失の大きさの比率
が相対的に大きくなり、その結果、毛細管2での圧力損
失ΔPの温度依存性が相対的に小さくなることである。
第3の問題は、プローブl先端部、あるいはプローブ1
の作動流体の入口部14など曲がり部。
の作動流体の入口部14など曲がり部。
絞り部で流れが不安定になるため、圧力損失ΔPが変動
することである。
することである。
したがって、作動流体の流量には前記問題から制約され
た上限値が存在するものと考えられる。
た上限値が存在するものと考えられる。
作動流体の質量流量は前記の上限値を越えない適正流量
の範囲で計測温度範囲と差圧計17のレンジ、計測分解
能などから決定されるべきである。
の範囲で計測温度範囲と差圧計17のレンジ、計測分解
能などから決定されるべきである。
なお、作動流体の適正流量は、作動流体の種類あるいは
プローブの構造、形状、寸法により大きく異なるため、
実験的に決定すべきである。
プローブの構造、形状、寸法により大きく異なるため、
実験的に決定すべきである。
ところで、本実施例では、作動流体は第1図に示すよう
にプローブlの外筒6に沿った作動流体供給流路5を通
って毛細管2に供給され、内筒4内の作動流体排出流路
3を通ってプローブ1から排出される。流体抵抗式温度
計測装置の出力である毛細管2における圧力損失ΔPは
毛細管2におけろ作動流体の温度によって決定される。
にプローブlの外筒6に沿った作動流体供給流路5を通
って毛細管2に供給され、内筒4内の作動流体排出流路
3を通ってプローブ1から排出される。流体抵抗式温度
計測装置の出力である毛細管2における圧力損失ΔPは
毛細管2におけろ作動流体の温度によって決定される。
このことだけを考えると、プローブ内部の熱抵抗が小さ
くなれば、定常温度あるいはゆっくりとした温度変化を
計測する限り、第1図とは逆に内筒4から外筒6の方へ
作動流体を流した場合でも第1図の場合と同様に温度計
測が可能である。しかし、このように逆に流した場合に
は、作動流体供給流路5とプローブの外筒6との間に、
作動流体排出流路3が存在しているため応答性が低下し
てしまう。
くなれば、定常温度あるいはゆっくりとした温度変化を
計測する限り、第1図とは逆に内筒4から外筒6の方へ
作動流体を流した場合でも第1図の場合と同様に温度計
測が可能である。しかし、このように逆に流した場合に
は、作動流体供給流路5とプローブの外筒6との間に、
作動流体排出流路3が存在しているため応答性が低下し
てしまう。
そのため、炉内温度の急激な変化には追随しにくい。以
上のことから作動流体は第1図のように流すことが望ま
しい。
上のことから作動流体は第1図のように流すことが望ま
しい。
また、本温度計測装置によれば、高温部にさらされるの
はプローブ1の先端のみである。計測からすると、プロ
ーブlの材質は計測精度に影響がないので、計測温度範
囲に耐え得る材質であればよい。この点が、例えば計測
温度範囲に耐え得て、かつ、起電力を発生し得るような
金属の組み合わせを必要とする熱電対に比べて優れた点
の一つである。
はプローブ1の先端のみである。計測からすると、プロ
ーブlの材質は計測精度に影響がないので、計測温度範
囲に耐え得る材質であればよい。この点が、例えば計測
温度範囲に耐え得て、かつ、起電力を発生し得るような
金属の組み合わせを必要とする熱電対に比べて優れた点
の一つである。
第6図は、本発明の第2実施例を示し、差圧計17の低
圧側の配管17aを簡略化して大気に開放させたもので
ある。大気圧の変動(音に起因するものも含む、以下同
様)が小さい場合、あるいはその変動が極めて遅い場合
には、このように形成することができる。
圧側の配管17aを簡略化して大気に開放させたもので
ある。大気圧の変動(音に起因するものも含む、以下同
様)が小さい場合、あるいはその変動が極めて遅い場合
には、このように形成することができる。
第7図は、本発明の第3実施例を示し、出口部15の部
分に、例えばサイレンサーのような大きな流動抵抗を生
じる抵抗手段I9を接続したものである。また、第8図
は本発明の第4実施例を示し、第3実施例の抵抗手段1
9の代わりに、排出する作動流体を一旦ためておくアキ
ュムレータ20を設けたらのである。この第3.第4実
施例は、いずれも第2実施例の場合とは逆に大気圧の変
動が激しい場合でら、計測装置の出力にハンチングが生
じにくいようにしたものである。このハンチングに関し
ては、第3.第4実施例のように、物理的に抑制する以
外に、差圧計17から電気信号を取り出し、これをフィ
ルター回路に通して電気的に取り除くようにしたしので
あってしよい。
分に、例えばサイレンサーのような大きな流動抵抗を生
じる抵抗手段I9を接続したものである。また、第8図
は本発明の第4実施例を示し、第3実施例の抵抗手段1
9の代わりに、排出する作動流体を一旦ためておくアキ
ュムレータ20を設けたらのである。この第3.第4実
施例は、いずれも第2実施例の場合とは逆に大気圧の変
動が激しい場合でら、計測装置の出力にハンチングが生
じにくいようにしたものである。このハンチングに関し
ては、第3.第4実施例のように、物理的に抑制する以
外に、差圧計17から電気信号を取り出し、これをフィ
ルター回路に通して電気的に取り除くようにしたしので
あってしよい。
なお、第6図〜第8図の前記以外の部分は、第1図と実
質的に同一であり、互いに対応する部分には同一番号を
付しである。
質的に同一であり、互いに対応する部分には同一番号を
付しである。
(発明の効果)
以上の説明より明らかなように、本発明によれば、作動
流体供給源と、一端が封じられた外筒内に、絞り部を先
端に有する内筒を挿入してなるプローブと、作動流体供
給源からの作動流体を前記外筒に導く配管とを備え、こ
の配管に圧力制御装置および質量流量制御装置を直列に
設けるとともに、前記絞り部における圧力損失を検出す
る差圧計と、この差圧計からの信号に基づいて温度を求
める演算手段を設けて形成しである。
流体供給源と、一端が封じられた外筒内に、絞り部を先
端に有する内筒を挿入してなるプローブと、作動流体供
給源からの作動流体を前記外筒に導く配管とを備え、こ
の配管に圧力制御装置および質量流量制御装置を直列に
設けるとともに、前記絞り部における圧力損失を検出す
る差圧計と、この差圧計からの信号に基づいて温度を求
める演算手段を設けて形成しである。
このため、単純な構成により環境温度1作動流体温度の
影響を受けることなく、高温(15’OO〜3000℃
)でも信頼性の高い温度計測ができる。
影響を受けることなく、高温(15’OO〜3000℃
)でも信頼性の高い温度計測ができる。
特に、作動流体を外筒から絞り部を有する内筒内へ流す
ようにしであるので、前述のように計測精度を良好なも
のにすることができる等の効果を奏する。
ようにしであるので、前述のように計測精度を良好なも
のにすることができる等の効果を奏する。
第1図は本発明の第1実施例に係る流体抵抗式温度計測
装置の機器構成図、第2図は流体抵抗式温度計測装置の
作動流体として液体を用いた場合のプローブでの圧力損
失と温度との一般的関係を示す図、第3図は流体抵抗式
温度計測装置の作動流体として気体を用いた場合のプロ
ーブでの圧ノj損失と温度との一般的関係を示す図、第
4図は第1図中のプローブの拡大断面図、第5図は作動
流体をArガスとし、かつ第4図に示すプローブを用い
たときの圧力損失と温度との関係を示す図、第6図、第
7図、第8図は本発明の第2.第3.第4実施例に係る
流体抵抗式温度計測装置の機器構成図、第9図は従来の
温度計測装置の機器構成図である。 l・・・プローブ、2・・・毛細管、4・・・内筒、6
・・・外筒、9・・・作動流体供給源、10・・・配管
、11・・・減圧弁、12・・・圧力制御弁、13・・
・質量流量制御装置、17・・・差圧計、18・・・演
算器。 特 許 出 願 人 中外炉工業株式会社代 理 人
弁理士 前出 葆 ほか2名第1 図 第2図 1゜ fiL度T 過度T第4y
J 第5図 3ML凄T(’C) 第6図 第7図
装置の機器構成図、第2図は流体抵抗式温度計測装置の
作動流体として液体を用いた場合のプローブでの圧力損
失と温度との一般的関係を示す図、第3図は流体抵抗式
温度計測装置の作動流体として気体を用いた場合のプロ
ーブでの圧ノj損失と温度との一般的関係を示す図、第
4図は第1図中のプローブの拡大断面図、第5図は作動
流体をArガスとし、かつ第4図に示すプローブを用い
たときの圧力損失と温度との関係を示す図、第6図、第
7図、第8図は本発明の第2.第3.第4実施例に係る
流体抵抗式温度計測装置の機器構成図、第9図は従来の
温度計測装置の機器構成図である。 l・・・プローブ、2・・・毛細管、4・・・内筒、6
・・・外筒、9・・・作動流体供給源、10・・・配管
、11・・・減圧弁、12・・・圧力制御弁、13・・
・質量流量制御装置、17・・・差圧計、18・・・演
算器。 特 許 出 願 人 中外炉工業株式会社代 理 人
弁理士 前出 葆 ほか2名第1 図 第2図 1゜ fiL度T 過度T第4y
J 第5図 3ML凄T(’C) 第6図 第7図
Claims (3)
- (1)作動流体供給源と、一端が封じられた外筒内に、
絞り部を先端に有する内筒を挿入してなるプローブと、
作動流体供給源からの作動流体を前記外筒に導く配管と
を備え、この配管に圧力制御装置および質量流量制御装
置を直列に設けるとともに、前記絞り部における圧力損
失を検出する差圧計と、この差圧計とからの信号に基づ
いて温度を求める演算手段とを設けたことを特徴とする
流体抵抗式温度計測装置。 - (2)前記作動流体が不活性ガスであることを特徴とす
る特許請求の範囲第1項に記載の流体抵抗式温度計測装
置。 - (3)前記絞り部が毛細管であることを特徴とする特許
請求の範囲第1項または第2項のいずれかに記載の流体
抵抗式温度計測装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61157697A JPH073369B2 (ja) | 1986-07-03 | 1986-07-03 | 流体抵抗式温度計測装置 |
US07/030,606 US4881185A (en) | 1986-04-01 | 1987-03-27 | Method of measuring temperature and apparatus for effecting the method |
EP87104764A EP0243701B1 (en) | 1986-04-01 | 1987-03-31 | Apparatus for measuring temperature |
DE8787104764T DE3786696D1 (de) | 1986-04-01 | 1987-03-31 | Vorrichtung zur temperaturmessung. |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61157697A JPH073369B2 (ja) | 1986-07-03 | 1986-07-03 | 流体抵抗式温度計測装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6312929A true JPS6312929A (ja) | 1988-01-20 |
JPH073369B2 JPH073369B2 (ja) | 1995-01-18 |
Family
ID=15655404
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61157697A Expired - Fee Related JPH073369B2 (ja) | 1986-04-01 | 1986-07-03 | 流体抵抗式温度計測装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH073369B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013084046A3 (en) * | 2011-12-06 | 2013-11-21 | Preciflex Sa | Capillary flow control system for fluid indicator |
-
1986
- 1986-07-03 JP JP61157697A patent/JPH073369B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013084046A3 (en) * | 2011-12-06 | 2013-11-21 | Preciflex Sa | Capillary flow control system for fluid indicator |
CN104040439A (zh) * | 2011-12-06 | 2014-09-10 | 普雷斯弗雷克斯股份公司 | 用于流体指示器的毛细管流量控制系统 |
US10330233B2 (en) | 2011-12-06 | 2019-06-25 | Preciflex Sa | Capillary flow control system for fluid indicator |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH073369B2 (ja) | 1995-01-18 |
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