KR890005283B1 - 유량제어장치 - Google Patents

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KR890005283B1
KR890005283B1 KR1019830005605A KR830005605A KR890005283B1 KR 890005283 B1 KR890005283 B1 KR 890005283B1 KR 1019830005605 A KR1019830005605 A KR 1019830005605A KR 830005605 A KR830005605 A KR 830005605A KR 890005283 B1 KR890005283 B1 KR 890005283B1
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데쓰지 사도오
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가부시기가이샤 후지긴
오가와 슈헤이
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    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
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Abstract

내용 없음.

Description

유량제어장치
제 1 도는 본 발명에 실시예를 예시하는 블럭도이다.
제 2 도는 중앙처리장치에 의한 유량제어처리를 표시하는 플로우챠트이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 주관 2 : 바이패스관
3 : 압력검출기 5 : 증폭회로/리니어라이저
6 : A/D변환회로 7 : 압력검출기
8 : 증폭회로 10 : 중앙처리장치
11 : 메모리 21 : 유량조정변
22 : 변좌와의 사이에서 유로를 폐쇄하는 부재(예컨데, 폐쇄부재 변봉동)
23 : 펄스모터 24 : 드라이버
본 발명은 콤퓨터를 사용량 유량(流量)제어장치에 관한 것이다.
종래에 유량제어장치의 한 형태로서 유체논리소자를 조합하는 것이 있다. 이는 많은 파라메터를 취급할 수 없으므로 필히 고정도의 유량제어를 기대할 수는 없다. 유체의 물성에 반응하여 논리소자의 배열을 조합변경하지 않으면 않되므로 범용성에 취약하다는 결점이 있었다.
다른 형태의 유량제어장치는 유량검출기에 의해서 유량을 검출하고, 이 검출신호에 의거하여서 유량조정변을 제어하는 것이다. 유량검출기에는 각종 형태의 것이 알려지고 있으나, 비교적 간단한 것으로 오리피스 또는 노즐을 이용한 유량검출기가 있다. 이것은 오리피스 전후에 있어서의 압력 P1, P2를 측정하여 유량 Q를 구하는 것이다. 유량 Q는 근사식을 사용하여서 계산되어 왔다.
에컨데 액체의 경우에는, Qα P1-P2의 관계를 이용하고, 사전에 비례전수를 정하여두고 유량 Q를 산출한다.
그러나, 기체의 경우에는 액체의 경우와 다른 연산식을 사용하지 않으면 않되며, 또한 유량에 대응하여 다음의 2개를 선택하지 않으면 않된다.
(a) 유량이 적은 경우
Qα P2(P1-P2)
(b) 유량이 많은 경우
QαP1
하여간, 상기의 연산식은 근사식이며, 정도가 높은 유량제어는 기대할 수 없다.
본 발명의 목적은 정도가 높은 유량제어를 수행하는데에 있다. 본 발명의 다른 목적은 다량의 기체를 수송하는 경우에 있어서도 고정도의 유량제어를 행할 수 있도록 하는데 있다.
본 발명에 의한 유량제어장치는 피제어유체가 흐르는 관에 설치된 유량조정변, 관내에 설치된 오리피스의 1차측 및 2차측압력을 검출하는 압력검출기, 압력검출개소 부근에 있어서 유체의 온도를 측정하는 온도검출기, 검출된 1차측 및 2차측압력 및 온도에 의거하여 유량을 산출하는 수단 및 산출된 유량과 설정유량과의 편차 및 극성에 대응하여 편차가 감소하는 방향으로 유량조정변의 개도(開度)를 제어하는 수단을 구비한 것을 특징으로 한다. 주관에 설치된 오리피스의 1차측 및 2차측의 압력뿐만 아니라 그 부근에 있어서 유체의 온도를 측정하여서 이들의 측정데이터에 의거하여 유량을 산출하고 있으므로 극히 정확히 유체유량을 측정할 수가 있다. 그리고, 이 측정유량과 설정유량과의 편차에 의거하여서 유량조절변을 제어하고 있으므로 정도가 높은 유량제어가 가능하게 된다. 또, 본 발명의 다른 특징은 유량제어장치가 피제어유체가 흐르는 주관에 설치된 유량조절변 주관내에 설치된 오리피스의 1차측 및 2차측압력을 검출하는 압력검출기, 압력검출개소 부근에 있어서 유체의 온도를 측정하는 온고검출기, 압력검출기의 상류측과의 사이를 결부하는 주관에 설치된 바이패스관, 바이스패관의 유로를 개폐하는 바이패스변, 검출된 1차측 및 2차측압력 및 온도에 의거하여서 유량을 산출하는 수단, 바이패스변의 개폐를 제어하는 수단, 바이패스변에 닫쳐있을 경우에는 산출된 유량을 측정유량으로 하고, 바이패스변이 열려있을 경우에는 산출된 유량에서 다시 총유량을 산출하여 이를 측정유량으로 하는 수단 및 측정유량과 설정유량과의 편차 및 극성에 응하여서 편차가 감소하는 방향으로 유량조절변의 개도를 제어하는 수단을 구비하고 있는 것에 있다.
주관에 바이패스관을 설치하고 있으므로 주관에 오리피스가 설치되어 있다고 하여도 바이패스관을 통하여도 유체를 흘릴수가 있으므로 다량의 유체를 수송하는 경우에 적용가능하다. 더우기, 바이패스관에 설치된 바이패스변의 개폐에 의해서 바이패스관에의 유체의 흐름을 제어할 수 있다. 그리고, 바이패스변이 열려있는 경우에는 산출된 유량에 의거하여서 다시 총유량을 산출하고, 이 총유량과 설정유량과의 편차에 응하여서 조절변을 제어하고 있으므로 바이패스관에 유체를 흘렸을 경우에는 고정도의 유량제어가 가능하다.
본 발명의 또 다른 특징은 도면을 참조한 실시예의 설명으로서 명백히 이해될 것이다.
실시예에 있어서는 오리피스를 이용한 유량검출기가 사용되고 있다. 관로내에 설치된 오리피스를 통과하는 유체의 유량W(중량)은 엄밀히 다음식으로 부여된다.
Figure kpo00001
여기서, P1 : 1차측압력, P2 : 2차측압력, F : 관로단면적, F0: 짜기부(오리피스판의 공)의 단면적, β : 짜기면적비(F0/F), g : 중력의 가속도(9.8m/sec2), Cv: 속소계수, Cc: 축류계수, x : 유체의 비열비, r : 유체의 밀도.
제(1)식은 기체와 간층 압축성유체에 적용되고, 또 유체가 오리피스를 통화할때의 밀도 및 압력의 변화가 단열적이라고 가정하고 있다.
상기의 단면적 F 및 F0, 면적비 β, g 및 계수 Cv, Cc는 정수이며, 후술하는 바와같이 메모리내에 사전저당되어 있다. 비열비 x는 기체의 종류에 의해서 다르며 또한 온도에 의해서도 변화한다. 따라서 비열비 x는 각종의 기체에 대하여서 온도 T에 응한 그 값이 사전에 실험에 의해서 구해지고, 비열비 데이타표로서 사전에 메모리에 저장된다. 밀도 r은 다음식에 의해서 구해진다.
Figure kpo00002
(2)
여기서, P0: 표준상태의 압력, T0: 표준상태의 절대온도, r0: 표준상태에 있어서의 밀도, R : 압축계수.
상기의 정수 P0, T0, r0및 R는 사전에 구해지고 메모리에 저장된다. 그리고 압력 P1 및 온도 T를 측정하는 것에 의해 제(2)식에 따라서 밀도 r이 산출된다. 비교적 저압으로 이상기체의 조건이 성립하는 범위에서는 압축계수 R=1로 간주할 수 가 있다.
R=1이 성립하지 않는 경우에는 실험치로서 측정되어 있는 압축계수를 사전에 메모리에 저장하여둘 필요가 있다. 이상과 같이 1차측 및 2차측압력 P1 및 P2 및 절대온도 T를 측정하는 것에 의해 유량 W가 산출될 수 있는 것이 이해될 것이다. 유체가 액체의 경우에는 제(1)식은 성립되지 않으나, 액체의 유량도 또한 1차, 2차압력 및 온도의 함수로서 표시할 수 가 있다. 액체의 경우에는 비열비가 아니고 점도가 파라메터로서 나타나고, 이 점도가 온도의 함수로 된다.
제 1 도는 유량제어장치의 구성을 표시하고 있다. 기체가 흐르는 주관(1)에 유량조정변(21)이 설치되고 있어 이 조정변(21)의 상류측에 압력검출기(3) 및 온도검출기(4)가 설치되어 있다. 압력검출기(3)는 주관(1)내에 설치된 오리피스판(도시약)의 1차측압력 P1 및 2차측압력 P2를 검출하는 것이다, 온도검출기(4)는 주관(1)내를 흐르는 기체의 온도 T를 검출하는 것으로서, 예컨데 열전대등이 사용된다.
이들의 검출기(3) (4)로 검출된 압력 P1 및 P2 및 온도 T의 각 신호는 증폭회로/리니어라이져(5) 및 A/D 변환회로(6)를 경유하여 각기 중앙처리장치(CPU)(10)에 입력된다. CPU(10)는 예컨데 마이크로프로세서이다. 주로(1)에는 바이패스관(2)이 설치되고 있어, 이 바이패스관(2)은 검출기(3) 및 (4)의 상류측에서 주관(1)에서 분기하고 그들의 하류측에서 주관(1)에 합류하고 있다. 이 바이패스관(2)에는 바이패스변(27)이설치되어 있다. 바이패스변(27)은 드라이버(28)에 의해서 개방 또는 폐쇄된다. 주관(1)에 있어서 압력검출기(3)가 설치되어 있는 개소에는 오리피스판이 있으므로 그곳을 흐르는 기체의 유량은 이 오리피스관에 의해서 제한된다. 기체의 유량이 많은 경우에는 바이패스변(27)이 열리고, 그 일부는 바이패스관(2)을 통해서 흐른다. 주관(1)에서 바이패스관(2)에 분류하는 유체의 비율은 유량에 불구하고 주관(1)에 설치된 오리피스판의 구멍, 바이패스변(27)이 완전히 열렸을시의 개구의 횡단면적등에 의해서 규정되고 약 일정치를 표시한다, 바이패스관(2)에 분류하는 유량의 나머지의 유량(분류하지 않고 그대로 주관(1)을 흐르는 유량)에 대한 비율(배율)을 바이패스 보정계수 t로 한하다. 바이패스변(27)이 열려있는 경우에는 검출압력 P1 및 P2 및 검출온도 T를 사용하여서 제(1)식에 의해 산출된 유량 W에 이 보정계수 t를 곱한치가 실제로 흐르는 기체의 총유량으로 된다. 보정계수 t는 실험에 의해 사전에 구해진다. 보정계수 t가 유량이나 온도등에 의해 약간 변화하는 경우에는 그 테이블을 사전에 작성하여 두면 된다.
주관(1)에 흐릴소망의 유량(설정유량) Ws는 설정기(12)에 설정된다. CPU(10)는 측정유량 Ws에 일치하도록 조정변(21)의 개도(開度)를 제어한다. 조정변(21)으로서는 니들변, 판별, 스리브변, 볼변등 임의의 형태의 것을 채용할 수 가 있고, 제어할 유체의 종류, 주관(1)의 관경등에 응하여서 선택된다. 이 실시예에 있어서는 조정변(21)의 변 좌(도시약)과의 사이에서 유로를 폐쇄하는 부재(예컨데 변봉)(22)는 펄스모터(23)에 의해서 변위시켜진다.
펄스모터(23)는 그 드라이버(24)에 의해서 구동된다. 드라이버(24)에는 CPU(10)에 의해서 쉬프트 펄스수와 극성이 부여된다. 쉬프트 펄스수는 펄스.모터(23)의 회전각, 즉 폐쇄부재(22)의 변위량을 표시하고, 극성은 펄스.모터(23)의 회전방향 즉 폐쇄부재(22)의 변위방향을 표시한다. 펄스.모터(23)의 회전은 적당한 나사기구등에 의해서 폐쇄부재(22)의 직선변위로 변환된다, 폐쇄부재(22)가 변좌에 맞닿으면 조정변의 개도는 영, 즉 변이 닫쳐진 것으로 된다.
이후에 또한 드라이버(24)에 폐쇄지령이 부여되어져 있으면, 펄스.모터(23)는 폐쇄방향으로 회전을 계속한다, 그렇게하면 펄스.모터의 소손이나 폐쇄부재(22)의 변좌에 물어뜯기는 등의 손상이 생긴다.
이와같은 사태의 발생을 방지하기 위해 폐쇄부재(22)의 변좌에의 접촉압력을 검출하는 압력검출기(7)가 설치되어 있다. 압력검출기(7)는 예컨데 구부러진 게이지이며, 폐쇄부재(22) 또는 그것에 접속된 부재의 소요개소에 부착되어 있어 상기의 나사기구와 변좌와에 의해서 가해지는 압축력을 검출한다. 검출된 압력은 증폭회로(8)을 거쳐서 비교회로(9)에 입력된다, 비교회로(9)에는 기준치 E0가 사전에 설정되어서 입력하고 있다. 기준치 E0는 폐쇄부재(22)와 변좌와의 접촉압력의 상한치를 부여하는 것이다. 검출압력이 이 기준치 E0에 달하면 비교회로(9)에서 강제정지신호가 드라이버(24)에 보내지고, 펄스.모터(23)의 구동이 정지된다.
펄스.모터(23)의 회전수는 회전트랜스듀서(25)에 의해서 검출된다. 이 트랜스듀서(25)는 회전방향에 응하여서 회전수를 가감산한다. 따라서 트랜스듀서(25)의 출력을 폐쇄부재(22)의 위치를 표시하고, 이는 표시기(26)에 있어서 변개도로서 표시된다.
CPU(10)는 그 프로그램을 저장하는 메모리와 각종 데이터를 스토어하는 메모리(11)를 구비하고 있다. 메모리(11)에는 압력 P1, P2 및 온도 T에 대하여서 금회의 측정치와 전회의 측정치와를 저장하는 에리어(area) 설정기(12)에서 읽어넣은 설정유량 Ws을 저장하는 에리어 기준펄스수 Np, 이상변동계수 Ac, 고정속절환계수 S, 감속정수 d, 바이패스.플래그 F(이들의 의미에 대하여서는 후술한다) 및 바이패스 보정계수 t를 저장하는 에리어 및 상술한 제(1)식 및 제(2)식을 산출하는데 필요한 정수나 파라메터를 저장하는 에리어가 설정되어 있다. 제 2 도는 유랑저에를 위한 CPU(10)의 제어순서를 표시하고 있다. 우선 초기화 처리가 행해진다(단계(31)). 이 처리에 있어서는 상술한 정수나 파라메터의 읽어넣기, 메모리(11)의 스토어가 행해진다. 또, 설정유량 Ws가 읽어넣어지고, 이 유량 Ws에 대응하는 개도가 구해지고, 조정변(21)의 폐쇄부재(22)가 2개도 위치까지 일거에 열린다. 이 조정변(21)에 개방처리에 있어서는 개도는 개략적으로서 좋다. 이는 기체가 흐르기 시작하면 이하에 논하는 피드백제어에 있어서 고정도의 유량제어가 행해지기 때문이다.
설정유량 Ws이 읽어넣어지고(단계(32)) 메모리(11)에 저장되어 있는 것과 비교하는 것에 의해 설정유량 Ws의 변경이 있었나 여부가 첵크된다(단계(33)). 설정유량 Ws에 변경에 있으면 바이패스변 제어로 진행한다(단계(34)).
설정유량 Ws가 큰 값의 경우에는 다량의 기체가 흐르므로 바이패스관(2)를 사용할 필요가 있다. 설정유량 Ws가 사전에 정해진 소정치(도시는 되어있지 않으나 메모리(11)에 스토어되어 있다)와 비교되고, 유량 Ws가 소정치 이상의 경우에는 개변지령 SB가 출력된다.
이 지령 SB에 의거하여서 드라이버(28)에 의해서 바이패스변(27)이 열린다. 개변지령 SB가 출려된 경우에는 바이패스.플래그 F에 1로 셋트된다. 설정유량 Ws가 상기 소정치 미만의 경우에는 개변지령이 출력되고, 바이패스변(27)이 닫쳐진다. 또, 바이패스 플래그 F가 0으로 리셋트된다. 바이패스변(27)의 개폐는 설정유량 Ws에 관계없이 다른 외부로부터의 지령에 응하여서 행하도록 하여도 좋다. 초기화처리 후 최초의 설정유량 Ws의 읽어넣기에 있어서는 단계(33)에서 반드시 YES로 되고 바이패스변제어가 행해진다.
이상의 처리후, 메모리(11)내에 있어서 전회의 측정치 P16를 금회의 측정치 P1으로 치환하는 것에 의해 전회의 측정치가 갱신된다(단계(35)). 그리고, 1차측압력 P1이 읽어 넣어지고, 이것이 금회의 측정치로서 메모리(11)내에 스토어된다(단계36)). 동일하게, 2차측압력 및 온도에 대하여서도 전회의 측정치의 갱신처리와 금회의 측정치의 읽어넣기 처리가 행해진다(단계(37)-(40)).
다음에 전회의 1차측압력 P1b과 금회의 그것 P1과의 차가 산출되고, 이 차에 의거하여서 급격한 압력변동이 있었는가 여부가 첵크된다(단계(41)). 어떠한 원인으로 1차측압력이 2배라든가 3배라든가로 급격히 증대 또는 4, 2, 1, 3로 급격히 감소하는 수가 있다.
이상 면수계수 Ac는 이상변동인가 여부를 판정하기 위한 기준으로되는 변동의 배율을 정하는 것으로서, 예전에 그정도로 설정되어 있다.
편차 ｜P1-P1b｜가 전회의 1차측압력 P1b에 계수 Ac를 승한치 이내이라면 1차측압력 변동은 정상이며 그 이상이면 이상으로 판단된다. 그, 판단의 기준으로 되는 치 AcP1b는 이 실시예에서는 항시 전회의 측정치 P1b에 의존하고 있으나 사전에 일정치로 정하여도 좋다. 동일하게 하여서 2차측압력 및 온도의 이상변동의 유무가 첵크된다(단계(42)(43)).
1차측 및 2차측압력 및 온도의 변동이 모두가 정상한 범위내에 있으면 금회의 측정치 P1, P2 및 T 및 메모리(11)에 스토어되어 있는 정수나 파라메터를 사용하여서 제(1)식 및 제(2)식에 의해 유량 W가 산출된다(단계(14)). 그리고, 마이패스.플래그 F가 1인가 여부가 첵크된다(단계(45)). 이 프라그 F가 0의 경우에는 바이패스변(27)은 닫고있어, 바이패스관(2)에는 기체는 흐르지 않으므로 산출된 유량 W가 조정변(21)을 흐르는 유량을 표시하는 것으로 된다. 바이패스 플래그 F가 1의 경우에는 바이패스변(27)이 열리고 있어, 바이패스관(2)에도 기체가 분류하고 있다. 그러므로, 산출된 유량 W에 바이패스 보정계수 t를 승하여서 총유량(조정변(21)을 흐르는 유량)이 산출된다(단계(46)). 이 총유량도 특히 지장이 없는한 부호 W로 표시된다. 이어서 설정유량 Ws과 측정유량 W의 대소관계가 판정되고, 이 결과에 대응하여 드라이버(24)에 극성신호가 출력된다(단계(47)). 설정유량 Ws의 쪽이 큰 경우에는 조정변(21)을 여는 방향으로 스텝모터(23)을 회전시키는 극성이며, 역의 경우에는 역극성으로 된다.
다시편차 ｜Ws-W｜를 Ws로(나누기) 한 값이 고저속절환계수 S보다도 큰가 여부가 첵크된다(단계(48)). 편차 ｜Ws-W｜가 큰 경우에는 조정변(21)은 고속제어되고, 작은 경우에는 저속제어된다. 절환계수 S는 고저속제어의 어느것을 선택하는가를 결정하기 위한 것이며, 1-수%에 설정되어 있다.
고속제어의 경우에는 기준펄스수 Np에 편차 ｜Ws-W｜를 곱한치가 쉬프트 펄스수로서, CPU(10)에서 드라이버(24)에 보내진다(단계(49)). 기준펄스 Np는 조정변(21)의 폐쇄부재(22)를 어느 단위량만 변위시키기 위해, 펄스.모터(23)에 부여할 쉬프트 펄스수이다.
이와같이 하여서, 편차 ｜Ws-W｜에 비례한 회전각만 펄스모터(23)가 구동되고, 조정변(21)의 폐쇄부재(22)가 편차에 비례한 양만 개(開) 또는 폐(閉)방향으로 움직여진다. 저속제어에 있어서는 고속제어 있어서의 스프트 펄스수를 감속정수 d로 제한(나눈)수의 시프트 펄스가 드라이버(24)에 부여된다(단계(50)). 정수 d는 2-3정도로 설정되고 있다.
단계(41)에 있어서, 1차측압력에 이상변동이 있다고 판단된 경우에는 이상처리가 행해진다(단계(51)). 단계(42)(43)에서 이상변동으로 판단된 경우도 동일하다. 계의 안전을 도모하기 위해서는 예컨데, 조정변(21)을 급속히 닫는(반드시 전폐상태로 할 필요는 없다)처리가 행해진다. 이 처리에 있어서는 드라이버(24)에 변을 닫는 방향의 극성신호가 부여됨과 동시에 시프트 펄스수로서 기준펄스수 Np에 적당한 정수 h(>1)를 곱한치가 드라이버(24)에 부여된다, 이상 발생을 계원에 유지하기 위해 부저가 울려지거나 표시기에 그 뜻이 표시되거나 한다.
1차, 2차측압력 및 온도의 어느것도가 정상의 범위내로 되돌아 갔을때, 이상처리를 맞추고, 스텝(32)에 되돌아간다, 또한 초기화 처리후의 최초의 루틴에 있어서는 전회의 각 데이터 P1b, P2b Tb는 모두가 0이므로 스텝(41)-(43)의 판정은 행하지 않도록 한다.

Claims (8)

  1. 피제어유체가 흐르는 관에 설치된 유량조정변과, 관내에 설치된 오리피스이 1차측 및 2차측압력을 검출하는 압력검출기 및 압력검출개소 부근에 있어서의 유체의 온도를 측정하는 온도검출기와, 검출된 1차측 및 2차측압력 및 온도에 의거하여서 유량을 산출하는 수단 및 산출된 유량과 설정유량과의 편차 및 극성에 대응하여서 편차가 감소하는 방향으로 유량조정변의 개도를 제어하는 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 유량제어장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 유량조정변의 개도를 제어하는 수단으로서 유량조정변의 폐쇄부재를 이동시키기 위한 모터와 이 모터의 구동장치가 포함되고, 유량조정변의 폐쇄부재의 변좌에의 접촉압을 검출하는 압력검출기 및 압력검출기에 의해서 검출된 접촉압을 사전에 정해진 기준압과 비교하고, 접촉압이 기준압에 달하였을때에 모터의 구동장치에 모터의 강제정지신호를 부여하는 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 유량제어장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 산출된 유량과 설정유량과의 차 또는 비에 응하여서 유량조정변의 폐쇄부재의 이동속도가 변경되는 것을 특징으로 하는 유량제어장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 검출된 전회의 1차측 또는 2차측압력 또는 온도를 기억하는 수단 및 검출된 금회의 1차측 또는 2차측압력 또는 온도와 전회의 그것들과의 차 또는 비가 소정치를 넘어서고 있는가 여부를 판정하고, 넘고 있지않는 경우에 이상신호를 출력하는 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 유량제어장치.
  5. 피제어유체가 흐르는 주관에 설치된 유량조정변과, 주관내에 설치된 오리피스의 1차측 및 2차측압력을 검출하는 압력검출기 및 압력검출기 개소부근에 있어서의 유체의 온도를 측정하는 온도검출기와, 압력검출기의 상류측과 하류측과의 사이를 잇는 주관에 설치된 바이패스관과, 파이패스관의 유로를 개폐하는 바이패스변과 검출된 1차측 및 2차측압력 및 온도에 의거하여서 유량을 산출하는 수단, 바이패스변의 개폐를 제어하는 수단, 바이패스변이 닫쳐있을 경우에는 산출된 유량을 측정유량으로 하고, 바이패스변이 열려있을 경우에는 산출된 유량에서 다시 총유량을 산출하고, 이를 측정유량으로 하는 수단 및 측정유량과 설정유량과의 편차 및 극성에 응하여서 편차가 감소하는 방향으로 유량조정변의 개도를 제어하는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 유량제어장치.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 유량조정변의 개도를 제어하는 수단으로서, 유량조정변의 폐쇄부재를 이동시키기 위한 모터와 이 모터의 구동장치를 포함하고, 유량조정변의 폐쇄부재의 변좌에의 접촉을 검출하는 압력검출기 및 압력검출기에 의해서 검출된 접촉압을 사전에 정해진 기준압과 비교하고, 접촉압이 기준에 달하였을때에 모터의 구동장치에 모터의 강제정지신호를 부여하는 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 유량제어장치.
  7. 제 5 항에 있어서, 측정유량과 설정유량과의 차 또는 비에 응하여서 유량조정변의 폐쇄부재의 이동속도가 변경되는 것을 특징으로 하는 유량제어장치.
  8. 제 5 항에 있어서, 검출된 전회의 1차측 또는 2차측압력 또는 온도를 기억하는 수단 및 검출된 금회의 1차측 또는 2차측압력 또는 온도와 전회의 그것들과의 차 또는 비가 소정치를 넘고 있는가 여부를 판정하고, 넘고있는 경우에 이상신호를 출력하는 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 유량제어장치.
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