JP4332612B2 - 熱電堆パターンを備える気体センサ - Google Patents
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Description
たとえば、非特許文献3および4参照)。
インターネット、URL<: HYPERLINK http://www.wired.com/news/b usiness/0,1367,59482,00.html> Proceedings of the 1999 U.S. DOE Hydrogen Program Review NREL/CP-570-26938 申ウソウ、村山宣光「高性能普及形水素センサの開発」(Material Stage Vol. 2, No.10, 2003) Woosuck SHIN, Kiyohisa IMAI, Noriya Izu and Norimitsu MURAYAMA "Thermolelectric Thick-Film Hydrogen Gas Sensor Operating ay Room Temperature", Jpn. J. Appl. Phys. Vol 40 (2001) pp.L1232-L1234 part 2, No. 11B. 15 November 2001.
(第一の実施態様)
図2は、本発明による気体センサの第一の実施態様として、前記気体センサの基本構造の一例を示す図である。図2(a)は、基本構造の正面図であり、図2(b)は、図2(a)のC−C線に沿った、基本構造の側断面図である。
(第二の実施態様)
図5は、本発明に係る気体センサの別の実施態様の概略正面図である。図5に示す気体センサ200は、図2に示す気体センサと比して、熱電堆パターン24,26の形状と白金薄膜形成領域28の数および配置を変更したセンサである。具体的には、図5に示す気体センサ200は、第一の導体パターンと第二の導体パターンとからなる熱電堆パターンを、さらに繰り返す構造を採用している。
(第三の実施態様)
図7は、本発明に係る気体センサを利用した、本発明のさらに別の実施態様のセンサシステムを示す図である。図7(a)は、図2に気体センサと同様のセンサであって、本発明の第三の実施態様に使用されるセンサの一例を示し、一方、図7(b)は、図7(a)に示すセンサの折目に沿って折り曲げ、熱抵抗体に巻回させたセンサシステムの側断面図を示す。
Claims (6)
- 第一の面および第二の面を備える、耐熱性の可撓性支持体と、
第一の金属からなる第一の導体パターンと、前記第一の金属とは異なる第二の金属からなる第二の導体パターンとを含む熱電堆パターンであって、前記第一の導体パターンの一の端部と前記第二の導体パターンの一の端部とが連接した連接部を介して連なり、前記第一の面に配設された熱電堆パターンと、
前記第二の面に面状に配設される、気体の酸化反応に対して触媒作用を有する材料からなる薄膜と、を備え、
前記支持体を介して、前記薄膜の形成領域に対向する第一の面上の領域内に、前記連接部が包含され、前記対向する第一の面上の領域を超えた外側に、前記熱電堆パターンが延在する、気体センサ。 - 前記熱電堆パターンは、前記第一の導体パターンと前記第二の導体パターンとが交互に連接するように、前記第一の導体パターンの他の端部と連接する別の第二の導体パターンを、または前記第二の導体パターンの他の端部と連接する別の第一の導体パターンを、さらに備える、請求項1に記載の気体センサ。
- 前記気体が水素であり、前記気体の酸化反応に対して触媒作用を有する材料が、白金である、請求項1または2に記載の気体センサ。
- 前記第一の金属がコンスタンタンであり、前記第二の金属が、銅めっきされたコンスタンタンである、請求項1ないし3のうち何れか一項に記載の気体センサ。
- 前記第一の金属がニッケルである、前記第二の金属が、銅めっきされたニッケルである、請求項1または3のうち何れか一項に記載の気体センサ。
- 請求項1ないし5のうち何れか一項に記載の気体センサと、熱抵抗体とを備え、
前記気体センサを前記熱抵抗体に対して巻回させたセンサシステム。
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