JP2007255960A - 可燃性ガスの干渉を無くすガス検知方法及びガス検知センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】混合ガス系の可燃性ガスの濃度を検出するガス検知方法において、ガスと触媒材の触媒反応による発熱から発生する温度差の変化を熱電変換原理を利用して電圧信号として検出するセンサ素子を用いて、複数の異なる触媒材が有するガス選択的な燃焼特性の差を利用して混合ガス系における特定ガスの濃度を高い選択性を以て検出することを特徴とするガス検知方法、及び混合ガス系の可燃性ガスの濃度を選択的に検出するガス検出センサであって、複数の異なる触媒材を設置した基板と、ガスと触媒材の触媒反応による発熱から発生する温度差を電圧信号に変換する熱電変換部とを配設したことを特徴とするガス検知センサ。
【選択図】図3
Description
(1)混合ガス系の可燃性ガスの濃度を検出するガス検知方法において、ガスと触媒材の触媒反応による発熱から発生する温度差の変化を熱電変換原理を利用して電圧信号として検出するセンサ素子を用いて、複数の異なる触媒材が有するガス選択的な燃焼特性の差を利用して混合ガス系における特定ガスの濃度を高い選択性を以て検出することを特徴とするガス検知方法。
(2)複数の異なる触媒材を配設した基板、ガスと触媒材の触媒反応による発熱による温度差を電圧信号に変換する熱電変換部を構成要素として含むセンサ素子を用いる、前記(1)に記載のガス検知方法。
(3)触媒材として、金系の貴金属合金、金と酸化物の複合体又は金系の貴金属合金と酸化物の複合体からなる複合触媒部材を用いる、前記(1)に記載のガス検知方法。
(4)可燃性ガスの中の水素ガス濃度及び一酸化炭素ガス濃度を測定する、前記(1)に記載のガス検知方法。
(5)混合ガス系の可燃性ガスの濃度を選択的に検出するガス検知センサであって、複数の異なる触媒材を配設した基板と、ガスと触媒材の触媒反応による発熱から発生する温度差を電圧信号に変換する熱電変換部とを具備していることを特徴とするガス検知センサ。
(6)触媒材が、金系の貴金属合金、金と酸化物の複合体又は金系の貴金属合金と酸化物の複合体からなる複合触媒部材である、前記(5)に記載のガス検知センサ。
(7)水素及び一酸化炭素に応答する触媒材と、一酸化炭素に応答する触媒材を配設した、前記(5)に記載のガス検知センサ。
(8)Pd系触媒と、Au系触媒を配設した、前記(7)に記載のガス検知センサ。
本発明は、混合ガス系の可燃性ガスの濃度を検出するガス検知方法において、ガスと触媒材の触媒反応による発熱から発生する温度差の変化を熱電変換原理を利用して電圧信号として検出するセンサ素子を用いて、複数の異なる触媒材が有するガス選択的な燃焼特性の差を利用して混合ガス系における特定ガスの濃度を高い選択性を以て検出することを特徴とするものである。
可燃性ガスと触媒材の触媒反応による発熱によって発生する局部的な温度差を、熱電変換材料を利用して電気エネルギーに変えることができるが、本発明では、触媒の形成において、例えば、ディスペンサを使用することが好適であり、それにより、高性能のガスセンサを構築することが可能となる。本発明では、好適には、例えば、安定した触媒反応による温度差発生を促すため、シリコン基板上に厚さ1μm以下のメンブレンに乗せた構造とし、それにより、素子の熱容量を低減するとともに、基板への熱伝達を極限まで低減し、素子の応答性を向上させることが可能である。
(1)混合系の可燃性ガス中の特定ガスの濃度を高選択的に計測することができる。
(2)一酸化炭素及び水素の混合ガスから、これらのガス成分の濃度を正確に計測することができる。
(3)上記特定ガスの計測を可能とするガス検出方法を提供することができる。
(4)上記計測を可能とするガス検出センサを構築し、提供することができる。
(5)混在するCOガスの影響を排除してH2ガスを正確に、選択的に計測することが可能な新しいガス検出デバイスを提供することができる。
(6)混合系のガス成分中の特定ガスを正確に計測することを可能とする新しいガス検出方法及びそのガス検出センサを提供することができる。
一酸化炭素を酸化させる触媒としては、金のナノ粒子が挙げられる。ナノサイズの金を適切な酸化物に担持させることにより、一酸化炭素に優れた触媒活性を示すことが春田らによって近年報告された。金の粒子径を5nm以下にして、酸化チタンや酸化鉄等に担持させることで、COの酸化活性が現れ、マイナス数十℃でも反応が進行することが報告されている(M. Haruta 他、Journal of Catalyst, 115, p.301、1989年、及びS. Tsubota 他、ACS Symposium Series, 552, p.420、1994年)。
このAu/TiO2触媒として、触媒組成が3wt.%Au/TiO2で、金粒子径が2.8nm(TEM 標準偏差0.8nm)の超微粒子の触媒材を用いた。この触媒は、金属酸化物担体を浸漬した塩化物金酸水溶液をpH6〜10の範囲内で一定に保持し、熟成することにより、水酸化金を担体上にだけ析出・沈殿させた後、水洗・乾燥後、空気中で25℃、30分焼成することで作製された。上記触媒の作製法は、上記文献に詳細に報告されている。
Claims (8)
- 混合ガス系の可燃性ガスの濃度を検出するガス検知方法において、ガスと触媒材の触媒反応による発熱から発生する温度差の変化を熱電変換原理を利用して電圧信号として検出するセンサ素子を用いて、複数の異なる触媒材が有するガス選択的な燃焼特性の差を利用して混合ガス系における特定ガスの濃度を高い選択性を以て検出することを特徴とするガス検知方法。
- 複数の異なる触媒材を配設した基板、ガスと触媒材の触媒反応による発熱による温度差を電圧信号に変換する熱電変換部を構成要素として含むセンサ素子を用いる、請求項1に記載のガス検知方法。
- 触媒材として、金系の貴金属合金、金と酸化物の複合体又は金系の貴金属合金と酸化物の複合体からなる複合触媒部材を用いる、請求項1に記載のガス検知方法。
- 可燃性ガスの中の水素ガス濃度及び一酸化炭素ガス濃度を測定する、請求項1に記載のガス検知方法。
- 混合ガス系の可燃性ガスの濃度を選択的に検出するガス検知センサであって、複数の異なる触媒材を配設した基板と、ガスと触媒材の触媒反応による発熱から発生する温度差を電圧信号に変換する熱電変換部とを具備していることを特徴とするガス検知センサ。
- 触媒材が、金系の貴金属合金、金と酸化物の複合体又は金系の貴金属合金と酸化物の複合体からなる複合触媒部材である、請求項5に記載のガス検知センサ。
- 水素及び一酸化炭素に応答する触媒材と、一酸化炭素に応答する触媒材を配設した、請求項5に記載のガス検知センサ。
- Pd系触媒と、Au系触媒を配設した、請求項7に記載のガス検知センサ。
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