JPH0798291A - オゾン濃度測定方法と装置 - Google Patents
オゾン濃度測定方法と装置Info
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- JPH0798291A JPH0798291A JP26557493A JP26557493A JPH0798291A JP H0798291 A JPH0798291 A JP H0798291A JP 26557493 A JP26557493 A JP 26557493A JP 26557493 A JP26557493 A JP 26557493A JP H0798291 A JPH0798291 A JP H0798291A
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Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 オゾンガス濃度を簡単なシステムで、連続し
て正確に測定できるオゾン濃度測定方法と装置を提供す
る。 【構成】 オゾン含有ガスと酸素ガスを、オゾン分解触
媒に交互に接触させて、該オゾン分解触媒による上記オ
ゾン含有ガス中のオゾンの分解反応熱温度と、該オゾン
含有ガスの未分解時の温度を検出し、該両検出温度の温
度差によりオゾンガス濃度を測定する構成よりなる。
て正確に測定できるオゾン濃度測定方法と装置を提供す
る。 【構成】 オゾン含有ガスと酸素ガスを、オゾン分解触
媒に交互に接触させて、該オゾン分解触媒による上記オ
ゾン含有ガス中のオゾンの分解反応熱温度と、該オゾン
含有ガスの未分解時の温度を検出し、該両検出温度の温
度差によりオゾンガス濃度を測定する構成よりなる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、オゾン濃度測定方法と
装置に係り、より詳細には、オゾンの分解を促進し、か
つガス中に分散できるオゾン分解触媒と、オゾンガス濃
度を簡単なシステムで、かつ連続して測定できるオゾン
濃度測定方法と装置に関する。
装置に係り、より詳細には、オゾンの分解を促進し、か
つガス中に分散できるオゾン分解触媒と、オゾンガス濃
度を簡単なシステムで、かつ連続して測定できるオゾン
濃度測定方法と装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、オゾン濃度測定方法およびその装
置としては、オゾンが紫外線領域の２５４ｎｍ付近に最
大吸収帯があることを利用した紫外線吸収法による測定
装置が多く使用されている。しかし、この装置の場合、
オゾン含有ガスと比較ガスとの紫外線吸光度の差を検出
し、これを比較する構成であるため、その装置が複雑化
すると共に、コストが高くなるという問題がある。
置としては、オゾンが紫外線領域の２５４ｎｍ付近に最
大吸収帯があることを利用した紫外線吸収法による測定
装置が多く使用されている。しかし、この装置の場合、
オゾン含有ガスと比較ガスとの紫外線吸光度の差を検出
し、これを比較する構成であるため、その装置が複雑化
すると共に、コストが高くなるという問題がある。
【０００３】そこで、近年では、オゾン含有ガスをオゾ
ン分解触媒に接触させて、該オゾン分解触媒によるオゾ
ン分解発生熱をペルチェ素子で検出し、該検出温度と、
分解前の温度との差に基づいてオゾンガス濃度を算出す
るオゾン濃度測定装置が提案されている（特開平１−１
５２３４９号公報参照）。この装置は、オゾン分解触媒
を用い、該分解反応熱量をオゾン濃度として測定するの
で、その構成が単純化されると共に、測定速度を速くで
きるという利点を有する。
ン分解触媒に接触させて、該オゾン分解触媒によるオゾ
ン分解発生熱をペルチェ素子で検出し、該検出温度と、
分解前の温度との差に基づいてオゾンガス濃度を算出す
るオゾン濃度測定装置が提案されている（特開平１−１
５２３４９号公報参照）。この装置は、オゾン分解触媒
を用い、該分解反応熱量をオゾン濃度として測定するの
で、その構成が単純化されると共に、測定速度を速くで
きるという利点を有する。
【０００４】ところで、オゾン分解触媒としては、通
常、二酸化マンガンを主剤とした触媒が使用されてい
る。従って、上述したオゾン濃度測定装置においても、
この一般的なオゾン分解触媒が使用されている。
常、二酸化マンガンを主剤とした触媒が使用されてい
る。従って、上述したオゾン濃度測定装置においても、
この一般的なオゾン分解触媒が使用されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述したオゾ
ン濃度測定装置の場合、次のような課題がある。すなわ
ち、 オゾン分解発生熱は、オゾン含有ガスとオゾン分解
触媒の接触によって発生するが、該ガスがオゾン分解触
媒に均一に分散した状態で接触しないので、ペルチェ素
子に十分な熱伝達が行われない。 途中でオゾン濃度が変わった場合、オゾン分解発生
熱に変化が生じるが、連続してオゾン含有ガスがオゾン
分解触媒と接触する構成であるので、その応答性（温度
変化の検出）が悪くなる。 オゾン分解触媒の寿命が短い。 等の課題がある。
ン濃度測定装置の場合、次のような課題がある。すなわ
ち、 オゾン分解発生熱は、オゾン含有ガスとオゾン分解
触媒の接触によって発生するが、該ガスがオゾン分解触
媒に均一に分散した状態で接触しないので、ペルチェ素
子に十分な熱伝達が行われない。 途中でオゾン濃度が変わった場合、オゾン分解発生
熱に変化が生じるが、連続してオゾン含有ガスがオゾン
分解触媒と接触する構成であるので、その応答性（温度
変化の検出）が悪くなる。 オゾン分解触媒の寿命が短い。 等の課題がある。
【０００６】本発明は、このような観点に立脚して創作
したものであって、その目的とする処は、オゾンガス濃
度を簡単なシステムで、連続して正確に測定できるオゾ
ン濃度測定方法と装置を提供することにある。
したものであって、その目的とする処は、オゾンガス濃
度を簡単なシステムで、連続して正確に測定できるオゾ
ン濃度測定方法と装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】そして、上記目的を達成
するための手段としての本発明のオゾン濃度測定方法
は、オゾン含有ガスと酸素ガスを、オゾン分解触媒に交
互に接触させて、該オゾン分解触媒による上記オゾン含
有ガス中のオゾンの分解反応熱温度と、該オゾン含有ガ
スの未分解時の温度を検出し、該両検出温度の温度差に
よりオゾンガス濃度を測定する構成としている。
するための手段としての本発明のオゾン濃度測定方法
は、オゾン含有ガスと酸素ガスを、オゾン分解触媒に交
互に接触させて、該オゾン分解触媒による上記オゾン含
有ガス中のオゾンの分解反応熱温度と、該オゾン含有ガ
スの未分解時の温度を検出し、該両検出温度の温度差に
よりオゾンガス濃度を測定する構成としている。
【０００８】また、本発明のオゾン濃度測定方法は、前
記発明において、オゾン分解触媒として、活性炭と二酸
化マンガンを１：１〜６：１（重量比）の割合で配合し
てなる混合物を用いた構成、オゾン分解触媒を充填した
熱伝導性カラム内にオゾン含有ガスと酸素ガスを交互に
導入し、該熱伝導性カラムを介して該オゾン含有ガスと
オゾン分解触媒の接触によるオゾン分解反応熱を検出
し、また該酸素ガスの該熱伝導性カラム内への導入は、
該熱伝導性カラム内を減圧した後に行う構成としてい
る。
記発明において、オゾン分解触媒として、活性炭と二酸
化マンガンを１：１〜６：１（重量比）の割合で配合し
てなる混合物を用いた構成、オゾン分解触媒を充填した
熱伝導性カラム内にオゾン含有ガスと酸素ガスを交互に
導入し、該熱伝導性カラムを介して該オゾン含有ガスと
オゾン分解触媒の接触によるオゾン分解反応熱を検出
し、また該酸素ガスの該熱伝導性カラム内への導入は、
該熱伝導性カラム内を減圧した後に行う構成としてい
る。
【０００９】更に、本発明のオゾン濃度測定装置は、ガ
ス導入口とガス排出口を有し、内部にオゾン分解触媒を
充填した熱伝導性カラムと、該熱伝導性カラムのガス導
入側に切り替え弁を介して接続した酸素ガス導入路およ
びオゾン含有ガス導入路と、上記切り替え弁を制御して
オゾン含有ガスと酸素ガスを交互導入制御する切り替え
弁制御部と、該熱伝導性カラム自体またはその近傍に設
け、上記オゾン含有ガスとオゾン分解触媒との接触によ
るオゾン分解熱温度を検出する温度検出センサーと、該
オゾン含有ガスの未分解時の温度を検出する温度検出セ
ンサーと、該両検出温度の温度差によりオゾンガス濃度
を演算・算出するオゾン濃度算出部を有する構成として
いる。
ス導入口とガス排出口を有し、内部にオゾン分解触媒を
充填した熱伝導性カラムと、該熱伝導性カラムのガス導
入側に切り替え弁を介して接続した酸素ガス導入路およ
びオゾン含有ガス導入路と、上記切り替え弁を制御して
オゾン含有ガスと酸素ガスを交互導入制御する切り替え
弁制御部と、該熱伝導性カラム自体またはその近傍に設
け、上記オゾン含有ガスとオゾン分解触媒との接触によ
るオゾン分解熱温度を検出する温度検出センサーと、該
オゾン含有ガスの未分解時の温度を検出する温度検出セ
ンサーと、該両検出温度の温度差によりオゾンガス濃度
を演算・算出するオゾン濃度算出部を有する構成として
いる。
【００１０】また、本発明のオゾン濃度測定装置は、前
記発明において、熱伝導性カラムのガス排出側に接続し
たオゾン分解触媒を充填した残留オゾン分解触媒カラム
を設けてなる構成としている。また、必要に応じて、オ
ゾン分解熱温度を検出する温度検出センサーが、オゾン
含有ガスの未分解時の温度を検出する温度検出センサー
を兼用する構成としている。
記発明において、熱伝導性カラムのガス排出側に接続し
たオゾン分解触媒を充填した残留オゾン分解触媒カラム
を設けてなる構成としている。また、必要に応じて、オ
ゾン分解熱温度を検出する温度検出センサーが、オゾン
含有ガスの未分解時の温度を検出する温度検出センサー
を兼用する構成としている。
【００１１】
【作用】本発明のオゾン濃度測定方法と装置は、オゾン
分解触媒に、オゾン含有ガスと酸素ガスを交互に接触さ
せ、該オゾン分解触媒とオゾン含有ガスの接触によるオ
ゾン分解熱温度測定後、該酸素ガスでオゾン分解触媒を
冷却させ得るので、検出するオゾン含有ガスのオゾン分
解熱温度と、未分解時の温度との温度差を正確に検出で
き、またオゾン濃度の変化に際しても、その濃度検出応
答性がよく、かつ該オゾン分解触媒の寿命を延ばすこと
ができるように作用する。
分解触媒に、オゾン含有ガスと酸素ガスを交互に接触さ
せ、該オゾン分解触媒とオゾン含有ガスの接触によるオ
ゾン分解熱温度測定後、該酸素ガスでオゾン分解触媒を
冷却させ得るので、検出するオゾン含有ガスのオゾン分
解熱温度と、未分解時の温度との温度差を正確に検出で
き、またオゾン濃度の変化に際しても、その濃度検出応
答性がよく、かつ該オゾン分解触媒の寿命を延ばすこと
ができるように作用する。
【００１２】また、オゾン分解触媒を熱伝導性カラム内
に充填し、該熱伝導性カラム自体またはその近傍に設け
た温度検出センサーで、オゾン分解熱温度を検出する構
成としているので、該温度検出を正確に行えるように作
用する。
に充填し、該熱伝導性カラム自体またはその近傍に設け
た温度検出センサーで、オゾン分解熱温度を検出する構
成としているので、該温度検出を正確に行えるように作
用する。
【００１３】
【実施例】以下、図面を参照しながら、本発明を具体化
した実施例について説明する。ここに、図１〜図２は、
本発明の一実施例を示し、図１はオゾン濃度測定装置の
概略構成図、図２は温度検出データのグラフ、図３はオ
ゾン分解反応カラムの断面図である。
した実施例について説明する。ここに、図１〜図２は、
本発明の一実施例を示し、図１はオゾン濃度測定装置の
概略構成図、図２は温度検出データのグラフ、図３はオ
ゾン分解反応カラムの断面図である。
【００１４】そして、本実施例はオゾン濃度測定装置で
あって、概略すると、オゾン分解発生熱検出部１と、オ
ゾン含有ガス（Ｏ3 ガス試料）と酸素ガスを供給するガ
ス導入部２と、オゾン濃度算出・制御部３、およびガス
排出部４とより構成されている。
あって、概略すると、オゾン分解発生熱検出部１と、オ
ゾン含有ガス（Ｏ3 ガス試料）と酸素ガスを供給するガ
ス導入部２と、オゾン濃度算出・制御部３、およびガス
排出部４とより構成されている。
【００１５】オゾン分解発生熱検出部１は、オゾン分解
反応カラム５で形成されていて、内部にオゾン分解触媒
６がカートリッジ式で交換自在に装着され、またカラム
５の内側（あるいは外面側）に温度検出センサー７が設
けられている。ここで、該カラム５は、図３に示すよう
に、熱伝導性の良好なアルミニウム、あるいは銅板等の
熱伝導性材で形成された容器であって、その周囲を断熱
材２１で覆った構成とされ、該容器の内部にオゾン分解
触媒６が入れられていて、テフロン等で形成されたガス
導入部２を備えたシリコンゴム等で形成された蓋体２０
を着脱自在の構成とされている。従って、所定形状に成
形したオゾン分解触媒６のみを、あるいは容器と一体と
して交換できる。またオゾン分解触媒６としては、活性
炭と二酸化マンガンを１：１〜６：１（重量比）の割合
で有する混合物で形成した粒子状の触媒を、多数充填し
て用いられている。
反応カラム５で形成されていて、内部にオゾン分解触媒
６がカートリッジ式で交換自在に装着され、またカラム
５の内側（あるいは外面側）に温度検出センサー７が設
けられている。ここで、該カラム５は、図３に示すよう
に、熱伝導性の良好なアルミニウム、あるいは銅板等の
熱伝導性材で形成された容器であって、その周囲を断熱
材２１で覆った構成とされ、該容器の内部にオゾン分解
触媒６が入れられていて、テフロン等で形成されたガス
導入部２を備えたシリコンゴム等で形成された蓋体２０
を着脱自在の構成とされている。従って、所定形状に成
形したオゾン分解触媒６のみを、あるいは容器と一体と
して交換できる。またオゾン分解触媒６としては、活性
炭と二酸化マンガンを１：１〜６：１（重量比）の割合
で有する混合物で形成した粒子状の触媒を、多数充填し
て用いられている。
【００１６】ここで、活性炭と二酸化マンガンを１：１
〜６：１（重量比）の割合としたのは、この範囲外の場
合、酸化発熱反応が悪くなり、センサーとしての機能が
得られなくなるということを考慮したことによる。すな
わち、この反応触媒量を、一定（ここでは、６ｇ）と
し、アルミニウム製カラム５内に充填し、カラム５の外
部に設けた温度センサー７で、初目ね温度を取り出す場
合、その応答時間が長くなるとセンサーとしての機能が
得られなくなることを考慮したことによる。そして、こ
のことは、図４に示す、活性炭と二酸化マンガンとの配
合割合において、平衡温度に到るまでの時間を測定した
グラフからもわかる。また、また、必要に応じて、フェ
ライト等のガス分散剤を添加してもよい。この場合、反
応熱を熱伝達性を良好にすることができる。また、温度
検出センサー７としては、熱電対等のセンサーが用いら
れている。そして、オゾン分解発生熱検出部１には、ガ
ス導入部２が接続され、オゾン含有ガス（Ｏ3 ガス試
料）と酸素ガスを、オゾン分解触媒６に接触できるよう
にされている。なお、温度検出センサー７は、カラム５
内の他の部位に設けてもよい。
〜６：１（重量比）の割合としたのは、この範囲外の場
合、酸化発熱反応が悪くなり、センサーとしての機能が
得られなくなるということを考慮したことによる。すな
わち、この反応触媒量を、一定（ここでは、６ｇ）と
し、アルミニウム製カラム５内に充填し、カラム５の外
部に設けた温度センサー７で、初目ね温度を取り出す場
合、その応答時間が長くなるとセンサーとしての機能が
得られなくなることを考慮したことによる。そして、こ
のことは、図４に示す、活性炭と二酸化マンガンとの配
合割合において、平衡温度に到るまでの時間を測定した
グラフからもわかる。また、また、必要に応じて、フェ
ライト等のガス分散剤を添加してもよい。この場合、反
応熱を熱伝達性を良好にすることができる。また、温度
検出センサー７としては、熱電対等のセンサーが用いら
れている。そして、オゾン分解発生熱検出部１には、ガ
ス導入部２が接続され、オゾン含有ガス（Ｏ3 ガス試
料）と酸素ガスを、オゾン分解触媒６に接触できるよう
にされている。なお、温度検出センサー７は、カラム５
内の他の部位に設けてもよい。
【００１７】ガス導入部２は、オゾン含有ガスを導入す
るオゾン含有ガス導入路８と、酸素ガスを導入するため
の酸素ガス導入路９を有し、オゾン含有ガス導入路８と
酸素ガス導入路９は、三方（電動）弁１０を介してオゾ
ン分解発生熱検出部１に、オゾン含有ガスと酸素ガスを
交互に導入できるようにされている。また、三方弁１０
の切り替え制御は、オゾン濃度算出・制御部３で行われ
るように構成されている。
るオゾン含有ガス導入路８と、酸素ガスを導入するため
の酸素ガス導入路９を有し、オゾン含有ガス導入路８と
酸素ガス導入路９は、三方（電動）弁１０を介してオゾ
ン分解発生熱検出部１に、オゾン含有ガスと酸素ガスを
交互に導入できるようにされている。また、三方弁１０
の切り替え制御は、オゾン濃度算出・制御部３で行われ
るように構成されている。
【００１８】オゾン濃度算出・制御部３は、コンピュー
タによる演算・制御部１１と濃度表示器（ｇ／ｍ3 ）１
２を有し、三方弁１０の切り替え制御を行うと共に、オ
ゾン分解発生熱検出部１に設けられている温度検出セン
サー７の検出データを演算・制御できるように構成され
ている。すなわち、オゾン含有ガスは、オゾン分解触媒
との接触によって分解され、その発生熱が温度検出セン
サー７によって検出されると共に、演算・制御部１１
で、温度検出センサー７が検出する検出上部温度と検出
下部温度との温度差を演算し、かつ該温度差をオゾン濃
度変化に演算換算されて、オゾン濃度表示器１２で表示
できるようにされている。
タによる演算・制御部１１と濃度表示器（ｇ／ｍ3 ）１
２を有し、三方弁１０の切り替え制御を行うと共に、オ
ゾン分解発生熱検出部１に設けられている温度検出セン
サー７の検出データを演算・制御できるように構成され
ている。すなわち、オゾン含有ガスは、オゾン分解触媒
との接触によって分解され、その発生熱が温度検出セン
サー７によって検出されると共に、演算・制御部１１
で、温度検出センサー７が検出する検出上部温度と検出
下部温度との温度差を演算し、かつ該温度差をオゾン濃
度変化に演算換算されて、オゾン濃度表示器１２で表示
できるようにされている。
【００１９】また、オゾン分解発生熱検出部１は、ガス
排出部４に接続されている。ガス排出部４は、残留オゾ
ン分解触媒カラム１３と、ガス流量計１４と、駆動ポン
プ１５、および排気ガス排出路１６を有している。残留
オゾン分解触媒カラム１２は、オゾン含有ガス中のオゾ
ンがオゾン分解発生熱検出部１のオゾン分解触媒６で分
解されなかった残留オゾンを分解させるためのカラムで
あって、内部にオゾン分解反応カラム５に設けられてい
るオゾン分解触媒と同じ触媒が着脱自在に装着されてい
る。そして、分解されたガスは、ガス流量計１４、駆動
ポンプ１５を介して排気ガス排出路１６より排出できる
ように構成されている。
排出部４に接続されている。ガス排出部４は、残留オゾ
ン分解触媒カラム１３と、ガス流量計１４と、駆動ポン
プ１５、および排気ガス排出路１６を有している。残留
オゾン分解触媒カラム１２は、オゾン含有ガス中のオゾ
ンがオゾン分解発生熱検出部１のオゾン分解触媒６で分
解されなかった残留オゾンを分解させるためのカラムで
あって、内部にオゾン分解反応カラム５に設けられてい
るオゾン分解触媒と同じ触媒が着脱自在に装着されてい
る。そして、分解されたガスは、ガス流量計１４、駆動
ポンプ１５を介して排気ガス排出路１６より排出できる
ように構成されている。
【００２０】本実施例のオゾン濃度測定装置は、まず、
駆動ポンプ１５と演算・制御部１１を作動させ、ガス導
入部３よりオゾン含有ガスと酸素ガスを、三方弁１０を
介して交互にオゾン分解発生熱検出部１に導入する。オ
ゾン分解発生熱検出部１に導入されたオゾン含有ガス
は、オゾン分解触媒６に接触すると酸素に分解され、該
分解の際に分解発生熱が生じ、オゾン分解発生熱検出部
１における温度が上昇することになり、該温度（上限温
度）を温度検出センサー７で検出し、該検出データを演
算・制御部１１に伝達する。次に、オゾン分解発生熱検
出部１を構成するオゾン分解反応カラム５内を減圧し
て、オゾン分解触媒６中の残留吸着オゾンガスを離脱さ
せ、かつ排出させた後、三方弁１０を切り替えて酸素ガ
スを導入すると、該酸素ガスによってオゾン分解発生熱
検出部１におけるオゾン分解反応カラム５内が冷却さ
れ、温度が低下することになり、該温度を温度検出セン
サー７で検出し、該検出データを演算・制御部１１に伝
達する。そして、この操作を繰り返すことにより、連続
してオゾン濃度測定ができる。なお、未分解のオゾン含
有ガスの温度（下限温度）をオゾン分解反応カラム５の
温度検出センサー７で検出することなく、別途、その温
度を測定しておいてもよい。
駆動ポンプ１５と演算・制御部１１を作動させ、ガス導
入部３よりオゾン含有ガスと酸素ガスを、三方弁１０を
介して交互にオゾン分解発生熱検出部１に導入する。オ
ゾン分解発生熱検出部１に導入されたオゾン含有ガス
は、オゾン分解触媒６に接触すると酸素に分解され、該
分解の際に分解発生熱が生じ、オゾン分解発生熱検出部
１における温度が上昇することになり、該温度（上限温
度）を温度検出センサー７で検出し、該検出データを演
算・制御部１１に伝達する。次に、オゾン分解発生熱検
出部１を構成するオゾン分解反応カラム５内を減圧し
て、オゾン分解触媒６中の残留吸着オゾンガスを離脱さ
せ、かつ排出させた後、三方弁１０を切り替えて酸素ガ
スを導入すると、該酸素ガスによってオゾン分解発生熱
検出部１におけるオゾン分解反応カラム５内が冷却さ
れ、温度が低下することになり、該温度を温度検出セン
サー７で検出し、該検出データを演算・制御部１１に伝
達する。そして、この操作を繰り返すことにより、連続
してオゾン濃度測定ができる。なお、未分解のオゾン含
有ガスの温度（下限温度）をオゾン分解反応カラム５の
温度検出センサー７で検出することなく、別途、その温
度を測定しておいてもよい。
【００２１】そして、演算・制御部１１では、上記両温
度（上限温度と下限温度）との温度差を演算すると共
に、該温度差よりオゾンガス濃度を演算し、該演算によ
って得られたオゾンガス濃度値を、濃度表示器で表示す
る。ところで、該温度差とオゾンガス濃度との関係は、 温度差＝オゾン分解時のエンタルピー×オゾンＯ3 濃
度）／分子量×比熱 であるので、両者は比例するため、該温度差よりオゾン
ガス濃度を演算算出することができる。
度（上限温度と下限温度）との温度差を演算すると共
に、該温度差よりオゾンガス濃度を演算し、該演算によ
って得られたオゾンガス濃度値を、濃度表示器で表示す
る。ところで、該温度差とオゾンガス濃度との関係は、 温度差＝オゾン分解時のエンタルピー×オゾンＯ3 濃
度）／分子量×比熱 であるので、両者は比例するため、該温度差よりオゾン
ガス濃度を演算算出することができる。
【００２２】また、オゾン分解発生熱検出部１に導入さ
れてオゾン分解触媒６で分解されたガス（オゾン含有ガ
ス）と、導入され酸素ガスは、残留オゾン分解触媒カラ
ム１２に送られ、残留オゾンが酸素に分解され、ガス流
量計１４、駆動ポンプ１５を介して排気ガス排出路１６
より排出される。なお、ガス流量計１４によって、流量
を検出し、適宜、駆動ポンプ１５の駆動状態を変更する
ようにしている。
れてオゾン分解触媒６で分解されたガス（オゾン含有ガ
ス）と、導入され酸素ガスは、残留オゾン分解触媒カラ
ム１２に送られ、残留オゾンが酸素に分解され、ガス流
量計１４、駆動ポンプ１５を介して排気ガス排出路１６
より排出される。なお、ガス流量計１４によって、流量
を検出し、適宜、駆動ポンプ１５の駆動状態を変更する
ようにしている。
【００２３】次に、本実施例の作用を確認するために、
同じ温度のオゾン含有ガスと酸素ガスを用い、該両ガス
を、流量０．２５ｌ／ｍｉｎで、オゾン分解触媒に交互
に接触させて、その温度変化よりオゾン濃度を検出した
処、図２に示すような結果を得た。
同じ温度のオゾン含有ガスと酸素ガスを用い、該両ガス
を、流量０．２５ｌ／ｍｉｎで、オゾン分解触媒に交互
に接触させて、その温度変化よりオゾン濃度を検出した
処、図２に示すような結果を得た。
【００２４】そして、この結果より、連続してオゾンガ
ス濃度検出ができることが確認できた。また、その濃度
検出の応答性についても、１サイクル内表示ができ、連
続測定と応答性が良好となることが確認できた。これ
は、オゾン含有ガスと酸素ガスを交互にオゾン分解触媒
に接触させる構成としたことによるものと考えられる。
また、その検出温度差が正確に測定できた。これはオゾ
ン分解熱温度の温度検出センサーを熱伝導性カラム自体
またはその近傍に設けたことによる。
ス濃度検出ができることが確認できた。また、その濃度
検出の応答性についても、１サイクル内表示ができ、連
続測定と応答性が良好となることが確認できた。これ
は、オゾン含有ガスと酸素ガスを交互にオゾン分解触媒
に接触させる構成としたことによるものと考えられる。
また、その検出温度差が正確に測定できた。これはオゾ
ン分解熱温度の温度検出センサーを熱伝導性カラム自体
またはその近傍に設けたことによる。
【００２５】なお、本発明は、上述した実施例に限定さ
れるものでなく、本発明の要旨を変更しない範囲内で変
形実施できる構成を含む。因みに、上述した実施例にお
いては、オゾン分解触媒を粒子状の触媒を充填した構成
で説明したが、粒子状のものでなく、ポーラス状の成形
体、ハニカム状の成形体を用いてもよい。
れるものでなく、本発明の要旨を変更しない範囲内で変
形実施できる構成を含む。因みに、上述した実施例にお
いては、オゾン分解触媒を粒子状の触媒を充填した構成
で説明したが、粒子状のものでなく、ポーラス状の成形
体、ハニカム状の成形体を用いてもよい。
【００２６】
【発明の効果】以上の説明より明らかなように、本発明
のオゾン濃度測定方法と装置によれば、オゾン分解触媒
に、オゾン含有ガスと酸素ガスを交互に接触させ、該オ
ゾン分解触媒とオゾン含有ガスの接触によるオゾン分解
熱温度測定後、該酸素ガスでオゾン分解触媒を冷却させ
得るので、検出するオゾン含有ガスのオゾン分解熱温度
と、未分解時の温度との温度差を正確に検出でき、また
オゾン濃度の変化に際しても、その濃度検出応答性がよ
く、かつ該オゾン分解触媒の寿命を延ばすことができる
という効果を有する。
のオゾン濃度測定方法と装置によれば、オゾン分解触媒
に、オゾン含有ガスと酸素ガスを交互に接触させ、該オ
ゾン分解触媒とオゾン含有ガスの接触によるオゾン分解
熱温度測定後、該酸素ガスでオゾン分解触媒を冷却させ
得るので、検出するオゾン含有ガスのオゾン分解熱温度
と、未分解時の温度との温度差を正確に検出でき、また
オゾン濃度の変化に際しても、その濃度検出応答性がよ
く、かつ該オゾン分解触媒の寿命を延ばすことができる
という効果を有する。
【００２７】また、本発明のオゾン濃度測定装置によれ
ば、オゾン分解触媒を熱伝導性カラム内に充填し、該熱
伝導性カラム自体またはその近傍に設けた温度検出セン
サーで、オゾン分解熱温度を検出する構成としているの
で、該温度検出を正確に行えるという効果を有する。
ば、オゾン分解触媒を熱伝導性カラム内に充填し、該熱
伝導性カラム自体またはその近傍に設けた温度検出セン
サーで、オゾン分解熱温度を検出する構成としているの
で、該温度検出を正確に行えるという効果を有する。
【００２８】従って、本発明によれば、オゾンガス濃度
を簡単なシステムで、連続して正確に測定できるオゾン
濃度測定方法と装置を提供することができるという効果
を有する。
を簡単なシステムで、連続して正確に測定できるオゾン
濃度測定方法と装置を提供することができるという効果
を有する。
【図１】本発明の一実施例を示すオゾン濃度測定装置の
概略構成図である。
概略構成図である。
【図２】温度検出データのグラフである。
【図３】オゾン分解反応カラムの断面図である。
【図４】活性炭と二酸化マンガンとの配合割合について
の平衡温度に到るまでの時間のグラフである。
の平衡温度に到るまでの時間のグラフである。
１・・・オゾン分解発生熱検出部、２・・・ガス導入
部、３・・・オゾン濃度算出・制御部、４・・・ガス排
出部、５・・・オゾン分解反応カラム、６・・・オゾン
分解触媒、７・・・温度検出センサー、８・・・オゾン
含有ガス導入路、９・・・酸素ガス導入路、１０・・・
三方（電動）弁、１１・・・演算・制御部、１２・・・
オゾン濃度表示器、１３・・・残留オゾン分解触媒カラ
ム、１４・・・流量計、１５・・・駆動ポンプ、１６・
・・排気ガス排出路
部、３・・・オゾン濃度算出・制御部、４・・・ガス排
出部、５・・・オゾン分解反応カラム、６・・・オゾン
分解触媒、７・・・温度検出センサー、８・・・オゾン
含有ガス導入路、９・・・酸素ガス導入路、１０・・・
三方（電動）弁、１１・・・演算・制御部、１２・・・
オゾン濃度表示器、１３・・・残留オゾン分解触媒カラ
ム、１４・・・流量計、１５・・・駆動ポンプ、１６・
・・排気ガス排出路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (71)出願人 593196562 株式会社ミック 山口県小野田市大字小野田3187−16 (71)出願人 593196573 辻畑 辰雄 山口県宇部市大字東岐波2915−10 (72)発明者 加美野 東生 山口県宇部市居能町１丁目５番33号 新光 産業株式会社内 (72)発明者 清水 通俊 山口県小野田市大字小野田新沖7515−92 株式会社ニッショー機工内 (72)発明者 山城 利勝 山口県下松市東海岸通り１−17 株式会社 兼清電子内 (72)発明者 森本 冠 山口県小野田市大字小野田3187−16 株式 会社ミック内 (72)発明者 辻畑 辰雄 山口県宇部市大字東岐波2915−10
Claims (6)
- 【請求項１】 オゾン含有ガスと酸素ガスを、オゾン分
解触媒に交互に接触させて、該オゾン分解触媒による上
記オゾン含有ガス中のオゾンの分解反応熱温度と、該オ
ゾン含有ガスの未分解時の温度を検出し、該両検出温度
の温度差によりオゾンガス濃度を測定することを特徴と
するオゾン濃度測定方法。 - 【請求項２】 オゾン分解触媒として、活性炭と二酸化
マンガンを１：１〜６：１（重量比）の割合で配合して
なる混合物よりなる請求項１に記載のオゾン濃度測定方
法。 - 【請求項３】 オゾン分解触媒を充填した熱伝導性カラ
ム内にオゾン含有ガスと酸素ガスを交互に導入し、該熱
伝導性カラムを介して該オゾン含有ガスとオゾン分解触
媒の接触によるオゾン分解反応熱を検出し、また該酸素
ガスの該熱伝導性カラム内への導入は、該熱伝導性カラ
ム内を減圧した後に行う請求項１に記載のオゾン濃度測
定方法。 - 【請求項４】 ガス導入口とガス排出口を有し、内部に
オゾン分解触媒を充填した熱伝導性カラムと、該熱伝導
性カラムのガス導入側に切り替え弁を介して接続した酸
素ガス導入路およびオゾン含有ガス導入路と、上記切り
替え弁を制御してオゾン含有ガスと酸素ガスを交互導入
制御する切り替え弁制御部と、該熱伝導性カラム自体ま
たはその近傍に設け、上記オゾン含有ガスとオゾン分解
触媒との接触によるオゾン分解熱温度を検出する温度検
出センサーと、該オゾン含有ガスの未分解時の温度を検
出する温度検出センサーと、該両検出温度の温度差によ
りオゾンガス濃度を演算・算出するオゾン濃度算出部を
有することを特徴とするオゾン濃度測定装置。 - 【請求項５】 熱伝導性カラムのガス排出側に接続した
オゾン分解触媒を充填した残留オゾン分解触媒カラムを
設けてなる請求項４に記載のオゾン濃度測定装置。 - 【請求項６】 オゾン分解熱温度を検出する温度検出セ
ンサーが、オゾン含有ガスの未分解時の温度を検出する
温度検出センサーを兼用する請求項４に記載のオゾン濃
度測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26557493A JPH0798291A (ja) | 1993-09-28 | 1993-09-28 | オゾン濃度測定方法と装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26557493A JPH0798291A (ja) | 1993-09-28 | 1993-09-28 | オゾン濃度測定方法と装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0798291A true JPH0798291A (ja) | 1995-04-11 |
Family
ID=17419011
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26557493A Pending JPH0798291A (ja) | 1993-09-28 | 1993-09-28 | オゾン濃度測定方法と装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0798291A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011208955A (ja) * | 2010-03-29 | 2011-10-20 | Metawater Co Ltd | オゾン濃度計 |
| JP2012173007A (ja) * | 2011-02-17 | 2012-09-10 | Metawater Co Ltd | 熱電対、熱電対具備部材及びそれを用いたオゾン濃度計 |
| JP2017525981A (ja) * | 2014-08-27 | 2017-09-07 | スエズ トリートメント ソリューションズ カナダ エルピー | オゾン濃度分析器およびそれを使用する方法 |
| DE102018120494A1 (de) * | 2018-08-22 | 2020-02-27 | Endress+Hauser Conducta Gmbh+Co. Kg | Messanordnung zur Bestimmung eines Ozongehalts eines Messmediums |
-
1993
- 1993-09-28 JP JP26557493A patent/JPH0798291A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011208955A (ja) * | 2010-03-29 | 2011-10-20 | Metawater Co Ltd | オゾン濃度計 |
| JP2012173007A (ja) * | 2011-02-17 | 2012-09-10 | Metawater Co Ltd | 熱電対、熱電対具備部材及びそれを用いたオゾン濃度計 |
| JP2017525981A (ja) * | 2014-08-27 | 2017-09-07 | スエズ トリートメント ソリューションズ カナダ エルピー | オゾン濃度分析器およびそれを使用する方法 |
| US10309915B2 (en) | 2014-08-27 | 2019-06-04 | Suez Treatment Solutions Canada L.P. | Ozone concentration analyzer and methods using same |
| DE102018120494A1 (de) * | 2018-08-22 | 2020-02-27 | Endress+Hauser Conducta Gmbh+Co. Kg | Messanordnung zur Bestimmung eines Ozongehalts eines Messmediums |
| US11525817B2 (en) | 2018-08-22 | 2022-12-13 | Endress+Hauser Conducta Gmbh+Co. Kg | Measuring arrangement for determining an ozone content of a measured medium |
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