JP2012171289A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2012171289A5
JP2012171289A5 JP2011037311A JP2011037311A JP2012171289A5 JP 2012171289 A5 JP2012171289 A5 JP 2012171289A5 JP 2011037311 A JP2011037311 A JP 2011037311A JP 2011037311 A JP2011037311 A JP 2011037311A JP 2012171289 A5 JP2012171289 A5 JP 2012171289A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
heating resistor
opening
forming
region corresponding
support substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2011037311A
Other languages
English (en)
Other versions
JP5765845B2 (ja
JP2012171289A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2011037311A priority Critical patent/JP5765845B2/ja
Priority claimed from JP2011037311A external-priority patent/JP5765845B2/ja
Priority to CN201210040844.XA priority patent/CN102649367B/zh
Priority to US13/401,891 priority patent/US8624946B2/en
Publication of JP2012171289A publication Critical patent/JP2012171289A/ja
Publication of JP2012171289A5 publication Critical patent/JP2012171289A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5765845B2 publication Critical patent/JP5765845B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Description

上記目的を達成するために、本発明は以下の手段を提供する。
本発明の第1の態様は、表面に凹部を有する支持基板と、該支持基板の表面に積層状態に接合され、前記凹部に対応する領域内に凸部が形成された上板基板と、該上板基板の表面において前記凸部を跨ぐ位置に設けられた発熱抵抗体と、該発熱抵抗体の両側に設けられた一対の電極とを備え、前記一対の電極の少なくとも一方が、前記凹部に対応する領域内における前記凸部の側面または頂面において前記発熱抵抗体に接続される薄肉部と、前記発熱抵抗体に接続され前記薄肉部よりも厚く形成された厚肉部とを有するサーマルヘッドである。
上記のサーマルヘッドにおいて、前記凸部が、前記凹部に対応する領域内に形成されている
このようにすることで、上板基板の表面の空洞部(凹部)に対応する領域内において、凸部が形成されていない領域、すなわち、上板基板の厚さが薄い領域を設けることができる。これにより、上板基板の平面方向への熱の拡散を低減することができ、サーマルヘッドの熱効率を向上することができる。
本発明の他の第1の態様は、表面に凹部を有する支持基板と、該支持基板の表面に積層状態に接合され、前記凹部に対応する位置に該凹部に対応する領域よりも外側まで広がるように凸部が形成された上板基板と、該上板基板の表面において前記凸部を跨ぐ位置に設けられた発熱抵抗体と、該発熱抵抗体の両側に設けられた一対の電極とを備え、前記一対の電極の少なくとも一方が、前記凹部に対応する領域内における前記凸部の側面または頂面において前記発熱抵抗体に接続される薄肉部と、前記発熱抵抗体に接続され前記薄肉部よりも厚く形成された厚肉部とを有するサーマルヘッドである。
凸部を凹部(空洞部)に対応する領域よりも外側まで広がるように形成することで、空洞部上の上板基板の強度を向上することができ、高い印字効率と強度を両立させることができる。また、凸部を大きく形成することができるため、電極のパターニング時において、発熱部(発熱抵抗体上における電極の薄肉部の間の領域)と凸部との位置合わせが容易となる。
本発明の第3の態様は、支持基板の表面に開口部を形成する開口部形成工程と、該開口部形成工程により前記開口部が形成された前記支持基板の表面に上板基板の裏面を積層状態に接合する接合工程と、該接合工程により前記支持基板に接合された前記上板基板を薄板化する薄板化工程と、前記接合工程により前記支持基板に接合された前記上板基板の表面の前記開口部に対応する領域内に凸部を形成する凸部形成工程と、前記上板基板の表面において、前記開口部に対応する領域に発熱抵抗体を形成する抵抗体形成工程と、該抵抗体形成工程により形成された発熱抵抗体の両端に、前記開口部に対応する領域内における前記凸部の側面または頂面において前記発熱抵抗体に接続される薄肉部と、前記発熱抵抗体に接続され前記薄肉部よりも厚く形成された厚肉部とを有する電極層を形成する電極層形成工程とを備えるサーマルヘッドの製造方法である。
このようなサーマルヘッドの製造方法によれば、支持基板と上板基板との間に空洞部が形成されるとともに、発熱抵抗体の両端に形成された電極層の間に凸部が形成されたサーマルヘッドを製造することができる。また、発熱抵抗体の両端に、凹部に対応する領域内における凸部の側面または頂面において発熱抵抗体に接続される薄肉部と、発熱抵抗体に接続され薄肉部よりも厚く形成された厚肉部とを有する電極層を形成することができる。これにより、上記のように、上板基板の強度を確保しつつ、サーマルヘッドの熱効率を向上して印刷に必要なエネルギー量を低減することができる。
本発明の他の第3の態様は、支持基板の表面に開口部を形成する開口部形成工程と、該開口部形成工程により前記開口部が形成された前記支持基板の表面に上板基板の裏面を積層状態に接合する接合工程と、該接合工程により前記支持基板に接合された前記上板基板を薄板化する薄板化工程と、前記接合工程により前記支持基板に接合された前記上板基板の表面に、前記開口部に対応する位置に該開口部に対応する領域よりも外側まで広がるように凸部を形成する凸部形成工程と、前記上板基板の表面において、前記開口部に対応する領域に発熱抵抗体を形成する抵抗体形成工程と、該抵抗体形成工程により形成された発熱抵抗体の両端に、前記開口部に対応する領域内における前記凸部の側面または頂面において前記発熱抵抗体に接続される薄肉部と、前記発熱抵抗体に接続され前記薄肉部よりも厚く形成された厚肉部とを有する電極層を形成する電極層形成工程とを備えるサーマルヘッドの製造方法である。

Claims (8)

  1. 表面に凹部を有する支持基板と、
    該支持基板の表面に積層状態に接合され、前記凹部に対応する領域内に凸部が形成された上板基板と、
    該上板基板の表面において前記凸部を跨ぐ位置に設けられた発熱抵抗体と、
    該発熱抵抗体の両側に設けられた一対の電極とを備え、
    前記一対の電極の少なくとも一方が、
    前記凹部に対応する領域内における前記凸部の側面または頂面において前記発熱抵抗体に接続される薄肉部と、
    前記発熱抵抗体に接続され前記薄肉部よりも厚く形成された厚肉部とを有するサーマルヘッド。
  2. 表面に凹部を有する支持基板と、
    該支持基板の表面に積層状態に接合され、前記凹部に対応する位置に該凹部に対応する領域よりも外側まで広がるように凸部が形成された上板基板と、
    該上板基板の表面において前記凸部を跨ぐ位置に設けられた発熱抵抗体と、
    該発熱抵抗体の両側に設けられた一対の電極とを備え、
    前記一対の電極の少なくとも一方が、
    前記凹部に対応する領域内における前記凸部の側面または頂面において前記発熱抵抗体に接続される薄肉部と、
    前記発熱抵抗体に接続され前記薄肉部よりも厚く形成された厚肉部とを有するサーマルヘッド。
  3. 前記凸部が、平坦な先端面と、該先端面の両端に該先端面に向かって漸次先細となるように傾斜して形成された側面とを有している請求項1または請求項2に記載のサーマルヘッド。
  4. 前記薄肉部が、前記凹部に対応する領域よりも外側まで広がるように形成されている請求項1から請求項3のいずれかに記載のサーマルヘッド。
  5. 前記一対の電極の両方が前記薄肉部を有している請求項1から請求項4のいずれかに記載のサーマルヘッド。
  6. 請求項1から請求項5のいずれかに記載のサーマルヘッドと、
    該サーマルヘッドの前記発熱抵抗体に感熱記録媒体を押し付けながら送り出す加圧機構とを備えるプリンタ。
  7. 支持基板の表面に開口部を形成する開口部形成工程と、
    該開口部形成工程により前記開口部が形成された前記支持基板の表面に上板基板の裏面を積層状態に接合する接合工程と、
    該接合工程により前記支持基板に接合された前記上板基板を薄板化する薄板化工程と、
    前記接合工程により前記支持基板に接合された前記上板基板の表面の前記開口部に対応する領域内に凸部を形成する凸部形成工程と、
    前記上板基板の表面において、前記開口部に対応する領域に発熱抵抗体を形成する抵抗体形成工程と、
    該抵抗体形成工程により形成された発熱抵抗体の両端に、前記開口部に対応する領域内における前記凸部の側面または頂面において前記発熱抵抗体に接続される薄肉部と、前記発熱抵抗体に接続され前記薄肉部よりも厚く形成された厚肉部とを有する電極層を形成する電極層形成工程とを備えるサーマルヘッドの製造方法。
  8. 支持基板の表面に開口部を形成する開口部形成工程と、
    該開口部形成工程により前記開口部が形成された前記支持基板の表面に上板基板の裏面を積層状態に接合する接合工程と、
    該接合工程により前記支持基板に接合された前記上板基板を薄板化する薄板化工程と、
    前記接合工程により前記支持基板に接合された前記上板基板の表面に、前記開口部に対応する位置に該開口部に対応する領域よりも外側まで広がるように凸部を形成する凸部形成工程と、
    前記上板基板の表面において、前記開口部に対応する領域に発熱抵抗体を形成する抵抗体形成工程と、
    該抵抗体形成工程により形成された発熱抵抗体の両端に、前記開口部に対応する領域内における前記凸部の側面または頂面において前記発熱抵抗体に接続される薄肉部と、前記発熱抵抗体に接続され前記薄肉部よりも厚く形成された厚肉部とを有する電極層を形成する電極層形成工程とを備えるサーマルヘッドの製造方法。
JP2011037311A 2011-02-23 2011-02-23 サーマルヘッドおよびその製造方法、並びにプリンタ Active JP5765845B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011037311A JP5765845B2 (ja) 2011-02-23 2011-02-23 サーマルヘッドおよびその製造方法、並びにプリンタ
CN201210040844.XA CN102649367B (zh) 2011-02-23 2012-02-21 热头及其制造方法、以及打印机
US13/401,891 US8624946B2 (en) 2011-02-23 2012-02-22 Thermal head, method of manufacturing thermal head, and printer equipped with thermal head

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011037311A JP5765845B2 (ja) 2011-02-23 2011-02-23 サーマルヘッドおよびその製造方法、並びにプリンタ

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2012171289A JP2012171289A (ja) 2012-09-10
JP2012171289A5 true JP2012171289A5 (ja) 2014-01-30
JP5765845B2 JP5765845B2 (ja) 2015-08-19

Family

ID=46652384

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2011037311A Active JP5765845B2 (ja) 2011-02-23 2011-02-23 サーマルヘッドおよびその製造方法、並びにプリンタ

Country Status (3)

Country Link
US (1) US8624946B2 (ja)
JP (1) JP5765845B2 (ja)
CN (1) CN102649367B (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013082092A (ja) * 2011-10-06 2013-05-09 Seiko Instruments Inc サーマルヘッドおよびその製造方法、並びにサーマルプリンタ
JP6584641B2 (ja) * 2016-03-29 2019-10-02 京セラ株式会社 サーマルヘッドおよびサーマルプリンタ
US10543696B2 (en) * 2017-06-08 2020-01-28 Rohm Co., Ltd. Thermal print head

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6021264A (ja) * 1983-07-15 1985-02-02 Matsushita Electric Ind Co Ltd サ−マルプリントヘツドの電極構造
JP2608449B2 (ja) * 1988-03-02 1997-05-07 サーマルプリンタヘッドの製造方法
KR920009583A (ko) * 1990-11-20 1992-06-25 정용문 감열기록소자의 제조방법
JP3241755B2 (ja) * 1991-07-23 2001-12-25 ローム株式会社 サーマルヘッド及びそれを使用した電子機器
JP3231951B2 (ja) * 1994-05-12 2001-11-26 アルプス電気株式会社 サーマルヘッドおよびその製造方法
US5594488A (en) * 1994-05-12 1997-01-14 Alps Electric Co., Ltd. Thermal head
JP2002036614A (ja) * 2000-07-25 2002-02-06 Seiko Instruments Inc 薄膜型サーマルヘッド
JP2002067367A (ja) * 2000-08-31 2002-03-05 Alps Electric Co Ltd サーマルヘッド及びその製造方法
JP5039940B2 (ja) * 2005-10-25 2012-10-03 セイコーインスツル株式会社 発熱抵抗素子、サーマルヘッド、プリンタ、及び発熱抵抗素子の製造方法
JP2007245667A (ja) * 2006-03-17 2007-09-27 Sony Corp サーマルヘッド及びプリンタ装置
US7768541B2 (en) * 2007-10-23 2010-08-03 Seiko Instruments Inc. Heating resistor element, manufacturing method for the same, thermal head, and printer
JP2009119850A (ja) * 2007-10-23 2009-06-04 Seiko Instruments Inc 発熱抵抗素子とその製造方法、サーマルヘッドおよびプリンタ
JP5200230B2 (ja) * 2007-12-21 2013-06-05 セイコーインスツル株式会社 発熱抵抗素子部品およびサーマルプリンタ
JP5408695B2 (ja) * 2008-10-27 2014-02-05 セイコーインスツル株式会社 サーマルヘッドの製造方法
JP5672479B2 (ja) * 2010-08-25 2015-02-18 セイコーインスツル株式会社 サーマルヘッド、プリンタおよびサーマルヘッドの製造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5668910B2 (ja) サーマルヘッド、プリンタおよびサーマルヘッドの製造方法
JP2014175425A5 (ja)
JP2011183640A5 (ja)
JP5200256B2 (ja) サーマルヘッドの製造方法
JP2012171289A5 (ja)
JP5124396B2 (ja) 放熱基板ユニット
JP2012045757A5 (ja)
JP5311336B2 (ja) サーマルヘッド、サーマルプリンタ及びサーマルヘッドの製造方法
JP2009241120A (ja) 超音波金属接合機、この超音波金属接合機を用いた金属板の接合方法、この超音波金属接合機またはこの金属板の接合方法を用いて得られる接合金属板
JP5672479B2 (ja) サーマルヘッド、プリンタおよびサーマルヘッドの製造方法
JP2012171288A5 (ja)
JP2008098501A (ja) パワーモジュール用基板の製造方法およびパワーモジュール用基板の製造装置
JP2011115950A (ja) サーマルヘッドおよびその製造方法、並びにプリンタ
JP2007220704A (ja) 半導体装置
JP2009158816A (ja) 半導体装置
JP5980110B2 (ja) 拡散接合用治具及び拡散接合方法
JP5765845B2 (ja) サーマルヘッドおよびその製造方法、並びにプリンタ
JP5605824B2 (ja) サーマルヘッドおよびプリンタ
JP2013012630A (ja) 熱電変換モジュール
JP2015019023A (ja) チップ抵抗器、チップ抵抗器の実装構造
JP2019008952A (ja) ターミナルプレートの製造方法
JP6021142B2 (ja) サーマルヘッド、プリンタおよびサーマルヘッドの製造方法
TWI440420B (zh) 薄膜電路板製造方法及其薄膜電路板
JP2008006812A5 (ja)
JP2013021048A (ja) 熱電変換装置