JP2012169634A - 投影リソグラフィのための照明光学ユニット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】結像される物体を配置することができる物体視野を照明光で照明する投影リソグラフィのための照明光学ユニットは、複数の視野ファセットを有する視野ファセットミラーを有する。照明光学ユニットの瞳ファセットミラーは、複数の瞳ファセットを有する。瞳ファセットは、瞳ファセットに対して個々に割り当てられた視野ファセットを物体視野に結像するように機能する。照明光学ユニットの個々のミラーアレイは、個々に従動方式で傾斜可能な個々のミラーを有する。個々のミラーアレイは、視野ファセットミラーの上流の照明光ビーム経路に配置される。これは、照明光学ユニットによって柔軟に構成可能で所定の値に容易に適応可能な照明をもたらす。
【選択図】図1
Description
5 物体視野
7 物体
17 ミラーアレイ
20 視野ファセットミラー
21 瞳ファセットミラー
Claims (15)
- 複数の視野ファセット(22)を有する視野ファセットミラー(20)を含み、
複数の瞳ファセット(23)を有する瞳ファセットミラー(21)を含み、
前記瞳ファセット(23)が、該瞳ファセット(23)に個々にそれぞれ割り当てられた前記視野ファセット(22)を物体視野(5)の中に結像するように機能する、
結像される物体(7)を配置することができる物体視野(5)を照明光で照明するための投影リソグラフィのための照明光学ユニット(4)であって、
個々に従動方式で傾斜させることができる個々のミラー(18)を有し、視野ファセットミラー(20)の上流の照明光ビーム経路に配置された個々のミラーアレイ(17)、
を特徴とする照明光学ユニット。 - 各場合に複数の個々のミラー(18)の群が前記瞳ファセット(23)のうちの1つの上に結像されるような配列を特徴とする請求項1に記載の照明光学ユニット。
- 各場合に前記瞳ファセット(23)のうちの1つの上に結像させることができる複数の個々のミラー(18)の群が、該群の該個々のミラー(18)の少なくとも一部の前記傾斜させることによって複数の瞳ファセット(23)上に結像されるような配列を特徴とする請求項1に記載の照明光学ユニット。
- 特定の個々のミラー(18)の個々のミラー部分ビーム(24;25;31)が前記視野ファセットミラー(20)上で重なるような前記照明ビーム経路の設計を特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の照明光学ユニット。
- 各場合に特定の瞳ファセット(23)上に結像することができる複数の個々のミラー(18)の群(36,37)が、特定の個々のミラー(18I,18II)が同時に複数の群(36,37)に属し、すなわち、複数の瞳ファセット(23)上に結像させることができるように、前記個々のミラーアレイ(17)上で互いに重なるような前記照明ビーム経路の設計を特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の照明光学ユニット。
- 前記視野ファセット(22)は、特定の個々のミラー(18)の個々のミラー部分ビーム(25;31)が、前記視野ファセットミラー(20)上で短手ファセット辺に沿って短手ファセット辺よりも大きい広がりを有するような前記照明ビーム経路の設計を用いて1よりも大きいアスペクト比、すなわち、長手ファセット辺と短手ファセット辺を有することを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の照明光学ユニット。
- 前記視野ファセット(22)は、特定の個々のミラー(18)の個々のミラー部分ビーム(24;25;31)が、前記視野ファセットミラー(20)上で長手ファセット辺に沿って長手ファセット辺よりも小さい広がりを有するような前記照明ビーム経路の設計を用いて1よりも大きいアスペクト比、すなわち、長手ファセット辺と短手ファセット辺を有することを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の照明光学ユニット。
- 前記個々のミラー(18)が65°よりも大きい入射角(α)で照明されるような配列を特徴とする請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の照明光学ユニット。
- 前記個々のミラー(18)は、該個々のミラー(18)の中立位置において該個々のミラー(18)の全てが許容範囲内で同一の入射角(α)で照明されるように、前記個々のミラーアレイ(17)によって湾曲基板(38)上に装着されることを特徴とする請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の照明光学ユニット。
- 前記個々のミラー(18)は、駆動可能傾斜範囲を有し、各場合の該個々のミラー(18)のうちの1つの傾斜アクチュエータ(19)が、該傾斜範囲全体が該傾斜アクチュエータ(19)の電極(40,42)間の静電引力によって得られるように具現化され、該個々のミラー(18)は、前記中立位置において前記静電的に達成可能な傾斜範囲の縁部の一方の領域に位置することを特徴とする請求項9に記載の照明光学ユニット。
- 前記個々のミラーアレイ(17)は、それらを各場合に放射線ビーム(14)全体の一部(46,47)で照明することができるように配置された複数の互いに別々の区画(44,45)に再分割されることを特徴とする請求項1から請求項10のいずれか1項に記載の照明光学ユニット。
- 前記個々のミラーアレイ(17)の個々のミラー(18)を特定の連続瞳ファセット領域(211から218)上に結像する視野ファセット(22)が、連続視野ファセット領域(201から208)に配置されることを特徴とする請求項1から請求項11のいずれか1項に記載の照明光学ユニット。
- 請求項12に記載の照明光学ユニット(4)を含み、かつ
露光されるウェーハ(12)を配置することができる像視野(10)の中に物体視野(5)を結像するための投影光学ユニット(9)を含む、
ことを特徴とする照明系。 - 請求項13に記載の照明系を含み、かつ
放射線ビーム(14)のための放射線源(3)を含む、
ことを特徴とする投影露光装置。 - パターン化構成要素を生成する方法であって、
感光材料で構成された層が少なくとも部分的に付加されたウェーハ(12)を準備する段階と、
結像される構造を有するレチクル(7)を準備する段階と、
請求項14に記載の投影露光装置(1)を準備する段階と、
前記レチクル(7)の少なくとも一部を前記投影露光装置(1)を用いて前記ウェーハ(12)の前記層のある一定の領域上に投影する段階と、
を含むことを特徴とする方法。
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