JP2012169363A5 - - Google Patents
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Description
前記基板の表面は、鏡面仕上げであることが好ましい。
（実施例１）
鏡面仕上げで研磨された１５ｍｍ角、厚さ０．７ｍｍの単結晶シリコンインゴットからなる基板１０を、基板内部加工装置１００のステージ１１０に設けられた基板固定具１３０に固定テーブル１２５を介して固定した。なお、ステージ１１０に固定する基板１０は単数に限らず、複数であってもよい。
鏡面仕上げで研磨された１５ｍｍ角、厚さ０．７ｍｍの単結晶シリコンインゴットからなる基板１０を、基板内部加工装置１００のステージ１１０に設けられた基板固定具１３０に固定テーブル１２５を介して固定した。なお、ステージ１１０に固定する基板１０は単数に限らず、複数であってもよい。
上記作業の際、ステージ支持部１２０によりステージ１１０を所定方向に１０ｍｍ秒で往復移動させた。また、レーザ光１９０の照射停止後、基板１０の外観を観察したが、表面は鏡面仕上げのままであり、外観に変化は見られなかった。
Claims (1)
- 前記基板の表面は、鏡面仕上げであることを特徴とする請求項１記載の基板加工方法。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP2011027612A JP5946112B2 (ja) | 2011-02-10 | 2011-02-10 | 基板加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011027612A JP5946112B2 (ja) | 2011-02-10 | 2011-02-10 | 基板加工方法 |
Publications (3)
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| JP2012169363A JP2012169363A (ja) | 2012-09-06 |
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| JP5946112B2 JP5946112B2 (ja) | 2016-07-05 |
Family
ID=46973268
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP2011027612A Active JP5946112B2 (ja) | 2011-02-10 | 2011-02-10 | 基板加工方法 |
Country Status (1)
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| JP (1) | JP5946112B2 (ja) |
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2011
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