JP2012169361A5 - - Google Patents
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Description
前記基板の表面は、鏡面仕上げであることが好ましい。
(実施例1)
鏡面仕上げに研磨された15mm角、厚さ0.7mmの単結晶シリコンインゴットからなる基板10を、基板内部加工装置100のステージ110に設けられた基板固定具130に固定テーブル125を介して固定した。なお、ステージ110に固定する基板10は単数に限らず、複数であってもよい。
鏡面仕上げに研磨された15mm角、厚さ0.7mmの単結晶シリコンインゴットからなる基板10を、基板内部加工装置100のステージ110に設けられた基板固定具130に固定テーブル125を介して固定した。なお、ステージ110に固定する基板10は単数に限らず、複数であってもよい。
上記作業の際、ステージ支持部120によりステージ110を所定方向に10mm秒で往復移動させた。また、レーザ光190の照射停止後、基板10の外観を観察したが、表面は鏡面仕上げのままであり、外観に変化は見られなかった。
Claims (2)
- 前記基板の表面は、鏡面仕上げであることを特徴とする請求項1記載の基板加工方法。
- 前記基板の表面は、鏡面仕上げであることを特徴とする請求項7記載の基板。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2011027606A JP5950269B2 (ja) | 2011-02-10 | 2011-02-10 | 基板加工方法及び基板 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011027606A JP5950269B2 (ja) | 2011-02-10 | 2011-02-10 | 基板加工方法及び基板 |
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JP2012169361A JP2012169361A (ja) | 2012-09-06 |
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JP5950269B2 JP5950269B2 (ja) | 2016-07-13 |
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Family Applications (1)
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JP2011027606A Active JP5950269B2 (ja) | 2011-02-10 | 2011-02-10 | 基板加工方法及び基板 |
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2011
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