JP2012166276A - クランプ装置のロッド位置検出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】クランプロッドの位置検出に必要な軸心方向の検出スペースを小型化してコンパクトに構成することができ、クランプロッドの位置検出精度を高めることができるロッド位置検出装置を提供する。
【解決手段】ロッド位置検出装置７は、クランプ本体２に固定的に設けられた弁支持部材３０、弁支持部材３０に軸心方向へ移動自在に装着された弁部材３６を含む弁機構４０、弁支持部材３０に形成され弁機構４０により開閉される位置検出用の流体通路４５、弁部材３６を閉弁側へ付勢可能な第１付勢機構５０、弁部材３６を開弁側へ付勢可能な第２付勢機構５５、油圧シリンダ２０によりクランプロッド３を最大進出位置へ駆動する際、その最大進出位置又はその近傍位置で第１付勢機構５０の付勢力と第２付勢機構５５の付勢力の大小関係を逆転させる付勢力切換機構６０を備えている。
【選択図】図２

Description

本発明は、クランプ装置のロッド位置検出装置に関し、特に、流体圧シリンダによりクランプロッドを設定位置へ駆動する際、位置検出用の流体通路を開閉する弁部材を閉弁側へ付勢する付勢力と開弁側へ付勢する付勢力の大小関係を逆転させることで、前記設定位置を検出可能に構成したものである。

機械加工に供するワーク等を固定する一般的なクランプ装置は、クランプ本体と、このクランプ本体に軸心方向へ進退可能に挿入されたクランプロッドと、このクランプロッドを進退させるロッド駆動機構とを備えている。

従来、前記クランプ装置に装備されて、クランプロッドの軸心方向の位置（アンクランプ位置、クランプ位置等）を検出するロッド位置検出装置（特許文献１，３参照）や、ワークのクランプ状態を検出するクランプ検出装置（特許文献４参照）が実用に供されている。また、クランプ装置に限らず、流体圧シリンダのピストンロッドの軸心方向の位置を検出するロッド位置検出装置（特許文献２参照）も実用に供されている。

特許文献１のロッド位置検出装置では、流体圧シリンダのピストンロッドの基端側部分が下方へ突出し、そのロッド突出部分に被検出部（ドグ）が取付けられている。被検出部はピストンロッドと一体的に上下動し、アンクランプ位置とクランプ位置とに対応する被検出部の２位置が位置検出スイッチにより検出される。

特許文献２のロッド位置検出装置では、流体圧シリンダのピストンロッドに検出ロッドが軸心方向へ相対移動可能に挿入され、その検出ロッドが軸心方向基端側へ突出し、そのロッド突出部分に被検出部が取付けられている。ピストンロッドがその移動端側領域以外の中間領域に位置するときに、検出ロッドは流体圧シリンダのヘッドカバーに２個の圧縮バネにより中立位置に保持される。ピストンロッドが移動端側領域に位置するときにのみ、ピストンロッドが検出ロッドと係合して一体的に移動し、ピストンロッドの最大進出位置と最大退入位置とに対応する被検出部の２位置が位置検出スイッチにより検出される。被検出部の移動量を特許文献１の被検出部の移動量よりも小さくすることができる。

特許文献３の実施例１のロッド位置検出装置は、旋回式クランプ装置のクランプロッドのアンクランプ位置とクランプ位置とを検出する。クランプロッドの下端部に検出部材が装着され、その検出部材は、クランプ本体側の部材に形成された検出孔に軸心方向へ移動自在に且つ軸心を中心に回動自在に挿入され、ピストンロッドと一体的に上下動する。検出部材の外周部には複数の閉止部と複数の凹部とが周方向に交互に形成され、クランプ本体側部材の検出孔の周面には、クランプロッドがアンクランプ位置のときに閉止部で閉止される上部エア通路の通路端と、クランプロッドがクランプ位置のときに閉止部で閉止される下部エア通路の通路端とが開口されている。クランプロッドのアンクランプ位置とクランプ位置は、上部エア通路と下部エア通路に供給される加圧エアの圧力上昇により検出される。

特許文献３の実施例２のロッド位置検出装置は、リンク式クランプ装置のクランプロッドのアンクランプ位置とクランプ位置とを検出する。特許文献３の実施例１と基本的に同機能の検出ロッド、検出孔、上部エア通路とその通路端、下部エア通路とその通路端が設けられている。但し、検出部材の外周部には、特許文献３の実施例１とは形状が異なる閉止部と凹部が形成されている。

特許文献４のクランプ検出装置は、加圧エアを利用した所謂着座センサを構成し、クランプ装置とは独立に配設されている。パッドが外筒に上下動自在に挿入され上方へ付勢されている。クランプ装置によりワークがパッドを介して外筒に押圧され、これにより、パッドが下降して、パッドに形成されたエア通路の通路端が外筒により塞がれるため、そのエア通路に供給される加圧エアの圧力上昇が生じて、クランプ状態が検出される。

特開２００１−８７９９１号公報 実開昭５７−３５５０２号公報 特開２００３−３０５６２６号公報 特開２００９−１２５８２１号公報

特許文献１のロッド位置検出装置では、被検出部がクランプロッドと一体的に軸心方向へ移動し、特許文献３のロッド位置検出装置では、検出部材がクランプロッドと一体的に軸心方向へ移動する。つまり、特許文献１，３のロッド位置検出装置では、クランプロッドの位置検出に必要な軸心方向の検出スペースを小型化することができないため、ロッド位置検出装置をコンパクトに構成することができない。

特許文献２のロッド位置検出装置では、被検出部を検出ロッドに取付けて、その移動量を特許文献１の被検出部の移動量よりも小さくすることができるが、ピストンロッドの位置検出を可能にするためには、検出ロッドの移動量をある程度必要とし、結局、軸心方向の検出スペースを小型化するのに限界がある。また、ピストンロッドが中間領域に位置するときに検出ロッドを中立位置に保持する２個の圧縮バネと、ピストンロッドが移動端側領域に位置するときにのみピストンロッドが検出ロッドと係合する係合手段を設ける必要があるため、構造が複雑化し、作動信頼性の問題も懸念される。

特許文献１，２のロッド位置検出装置では、被検出部を検出するスイッチやセンサを設ける必要があるが、それらスイッチやセンサをクランプ本体に組込むことは難しい。故に、ピストンロッドや検出ロッドをシリンダよりも軸心方向基端側へ突出させ、そのロッド突出部分に被検出部を取付け、スイッチやセンサをシリンダよりも軸心方向基端側に配設するため、ロッド位置検出装置の構造が大型化し且つ複雑化する。

特許文献３のロッド位置検出装置では、検出部材、検出孔、エア通路を設けて、エア通路に供給される加圧エアの圧力変化により、クランプロッドの軸心方向の位置を検出するが、検出部材の閉止部をクランプ本体側部材の検出孔の周面に密着させることは難しい。つまり、検出部材の閉止部により前記周面に開口されたエア通過の通路端を確実に閉止することが難しく、従って、加圧エアを利用したクランプロッドの位置検出が不安定になり、要するに、クランプロッドの位置検出精度を高めることができない場合がある。

ここで、クランプロッドと一体的に移動する検出部材の閉止部を前記周面に密着させ、その周面に開口されたエア通過の通路端を確実に閉止するために、クランプロッドに対して検出部材を軸心直交方向へ付勢することは困難である。従って、クランプロッドの位置検出精度を高めるためには、閉止部の外周面と前記周面の加工精度を高めることが要求されるが、そうすると製作コストが高価になる。

尚、特許文献４のクランプ検出装置は、クランプ装置とは独立に配設されるものであり、クランプロッドのクランプ状態しか検出することができない。

本発明の目的は、クランプロッドの位置検出に必要な軸心方向の検出スペースを小型化してコンパクトに構成することができるロッド位置検出装置を提供すること、クランプ装置にコンパクトに組込むことができるロッド位置検出装置を提供すること、クランプロッドの位置検出精度を高めることができるロッド位置検出装置を提供すること、等である。

請求項１の発明は、クランプ本体と、このクランプ本体に軸心方向へ進退可能に挿入されたクランプロッドと、このクランプロッドを進退させる流体圧シリンダを含むロッド駆動機構とを備えたクランプ装置に装備されて、前記クランプロッドの軸心方向の位置を検出するクランプ装置のロッド位置検出装置において、前記クランプ本体に固定的に設けられた弁支持部材と、前記弁支持部材に軸心方向へ移動自在に装着された弁部材を含む弁機構と、前記弁支持部材に形成され前記弁機構により開閉される位置検出用の流体通路と、前記弁部材を閉弁側へ付勢可能な第１付勢手段と、前記弁部材を開弁側へ付勢可能な第２付勢手段と、前記流体圧シリンダによりクランプロッドを進退方向における予め設定された設定位置へ駆動する際、その設定位置又はその近傍位置で第１付勢手段の付勢力と第２付勢手段の付勢力の大小関係を逆転させる付勢力切換手段とを備えたことを特徴としている。

請求項２の発明は、請求項１の発明において、前記弁支持部材がクランプ本体の軸心方向基端側部分に配設され、前記弁部材と弁部材から軸心方向先端側へ一体的に延びて流体圧シリンダのクランプロッドを進出駆動する為の進出用流体圧作動室内に突出するロッド部とを有する検出ロッドを備え、前記第１付勢手段は、前記進出用流体圧作動室内の流体圧を用いて検出ロッドを軸心方向基端側へ付勢可能に構成され、前記付勢力切換手段は、前記設定位置において第１付勢手段の付勢力を第２付勢手段の付勢力よりも大きくするように変化させることを特徴としている。

請求項３の発明は、請求項２の発明において、前記第２付勢手段は、前記検出ロッドを軸心方向先端側へ付勢するバネ部材からなることを特徴としている。

請求項４の発明は、請求項２の発明において、前記第２付勢手段は、前記検出ロッドのロッド部の長さ方向途中部に形成された受圧部を有し、前記進出用流体圧作動室内の流体圧を前記受圧部に作用させて検出ロッドを軸心方向先端側へ付勢するように構成されたことを特徴としている。

請求項５の発明は、請求項２〜４の何れか１項の発明において、前記進出用流体圧作動室に連通可能にクランプロッドに形成されて、前記検出ロッドのロッド部が軸心方向へ相対移動自在に挿入されるロッド挿入穴を備え、前記第１付勢手段は、前記進出用流体圧作動室から前記ロッド挿入穴に導入された流体圧により検出ロッドを軸心方向基端側へ付勢することを特徴としている。

請求項６の発明は、請求項５の発明において、前記付勢力切換手段は、前記検出ロッドのロッド部と、そのロッド部の先端部に一体的に形成された小径ロッド部と、前記クランプロッドが前記設定位置以外のときだけ前記ロッド部と前記ロッド挿入穴の周壁との間をシールするシール部材とを有することを特徴としている。

請求項７の発明は、請求項６の発明において、前記ロッド駆動機構によりクランプロッドを退入駆動する際に、前記ロッド挿入穴内の流体を前記進出用流体圧作動室へ排出する流体排出通路が検出ロッドの内部に形成され、この流体排出通路に前記進出用流体圧作動室から前記ロッド挿入穴への流体の流入を逆止するチェック弁が組込まれたことを特徴としている。

請求項８の発明は、請求項１〜７の何れか１項の発明において、前記弁機構は、弁支持部材に形成された環状弁座面と、この環状弁座面に対向するように弁部材に形成された環状弁面とを有し、この環状弁面が環状弁座面に当接して前記流体通路を閉じることを特徴としている。

請求項１の発明によれば、クランプ本体に弁支持部材を固定的に設け、この弁支持部材に軸心方向へ移動自在に装着された弁部材を含む弁機構により位置検出用の流体通路を開閉し、弁部材を閉弁側へ付勢可能な第１付勢手段、弁部材を開弁側へ付勢可能な第２付勢手段を備え、流体圧シリンダによりクランプロッドを進退方向における予め設定された設定位置へ駆動する際、付勢力切換手段により前記設定位置又はその近傍位置で第１付勢手段の付勢力と第２付勢手段の付勢力の大小関係を逆転させる。これにより、弁部材が作動して前記流体通路が開状態と閉状態の一方から他方へ切換わるため、クランプロッドの前記設定位置を検出可能に構成することができる。クランプロッドの位置検出のために、弁部材を微小ストロークだけ軸心方向へ移動可能にし、弁部材をクランプロッドと一体的に移動させずに構成することができるため、クランプロッドの位置検出に必要な軸心方向の検出スペースを小型化して、ロッド位置検出装置をコンパクトに構成し、ロッド位置検出装置をクランプ装置にコンパクトに組込むことができる。

請求項２の発明によれば、弁支持部材をクランプ本体の軸心方向基端側部分に配設し、検出ロッドの弁部材から軸心方向先端側へ一体的に延びるロッド部を流体圧シリンダの進出用流体圧作動室内に突出させ、その進出用流体圧作動室内の流体圧を用いて検出ロッドを軸心方向基端側へ付勢可能に第１付勢手段を構成することができ、即ち、クランプロッドを進出駆動する際の進出用流体圧作動室内の流体圧を第１付勢手段として有効利用することができる。付勢力切換手段により、前記設定位置において第１付勢手段の付勢力を第２付勢手段の付勢力よりも大きくするように変化させるので、弁部材を閉弁側へ移動させて前記流体通路を閉状態にすることができる。進出用流体圧作動室内の流体圧を用いて前記流体通路を確実に閉状態にすることができるので、クランプロッドの位置検出精度を高めることができる。

請求項３の発明によれば、第２付勢手段は検出ロッドを軸心方向先端側へ付勢するバネ部材からなるので、第２付勢手段を簡単に構成することができる。

請求項４の発明によれば、第２付勢手段は、検出ロッドのロッド部の長さ方向途中部に形成された受圧部を有し、進出用流体圧作動室内の流体圧を前記受圧部に作用させて検出ロッドを軸心方向先端側へ付勢するように構成したので、クランプロッドを進出駆動する際の進出用流体圧作動室内の流体圧を、第１付勢手段としてだけでなく、第２付勢手段としても有効利用することができる。

請求項５の発明によれば、進出用流体圧作動室に連通可能にクランプロッドにロッド挿入穴を形成し、そのロッド挿入穴に検出ロッドのロッド部を軸心方向へ相対移動自在に挿入し、第１付勢手段は進出用流体圧作動室からロッド挿入穴に導入された流体圧により検出ロッドを軸心方向基端側へ付勢するので、進出用流体圧作動室内の流体圧を用いて検出ロッドを軸心方向基端側へ確実に付勢することができる。

請求項６の発明によれば、付勢力切換手段は、検出ロッドのロッド部と、そのロッド部の先端部に一体的に形成された小径ロッド部と、クランプロッドが前記設定位置以外のときだけロッド部とロッド挿入穴の周壁との間をシールするシール部材とを有するので、クランプロッドを設定位置に進出駆動する際、クランプロッドが設定位置に達するまでは、シール部材により進出用流体圧作動室からロッド挿入穴への流体圧の導入を防止して、第２付勢手段の付勢力を第１付勢手段の付勢力よりも大きくして、前記流体通路を確実に開状態に保持することができ、クランプロッドが設定位置に達した場合、シール部材によるシール機能を無効にして進出用流体圧作動室からロッド挿入穴へ流体圧を導入させて、第１付勢手段の付勢力を第２付勢手段の付勢力よりも大きくするように変化させて、前記流体通路を確実に閉状態に切換えることができる。

請求項７の発明によれば、ロッド駆動機構によりクランプロッドを退入駆動する際に、ロッド挿入穴内の流体を進出用流体圧作動室へ排出する流体排出通路を検出ロッドの内部に形成したので、ロッド挿入穴内の流体を進出用流体圧作動室へ排出しながらクランプロッドを確実に退入させることができ、この流体排出通路に進出用流体圧作動室からロッド挿入穴への流体の流入を逆止するチェック弁を組込んだので、クランプロッドを進出駆動する際、クランプロッドが設定位置に達するまで、進出用流体圧作動室からロッド挿入穴に流体圧が導入されるのを確実に防止することができる。

請求項８の発明によれば、弁機構は、弁支持部材に形成された環状弁座面と、この環状弁座面に対向するように弁部材に形成された環状弁面とを有し、この環状弁面が環状弁座面に当接して前記流体通路を閉じるので、進出用流体圧作動室内の流体圧を用いて弁部材を付勢して、環状弁面を環状弁座面に押圧状に当接させて前記流体通路を確実に閉じることができる。つまり、環状弁面や環状弁座面が多少粗くても、前記流体通路を確実に閉じることができるためクランプロッドの位置検出精度を維持でき、それら環状弁面や環状弁座面の面加工の加工精度を必要以上に高める必要がないためコスト的にも有利になる。

実施例１のクランプ装置（最大進出状態）の平面図である。 図１のII−II線断面図である。 実施例１のクランプ装置（最大退入状態）の平面図である。 図３のIV−IV線断面図である。 図２のV −V 線断面図である。 クランプシステムの構成図である。 実施例２の図２相当図である。 実施例３の図２相当図である。

以下、発明の実施の形態について実施例に基づいて説明する。

図１〜図４に示すように、クランプ装置１は、パレット等のベース部材Ｂに上方突出状に組付けられた旋回式クランプ装置であり、ベース部材Ｂの固定面Ｂａ（上面）にワーク等のクランプ対象物Ｗを固定解除可能に固定する。

クランプ装置１は、クランプ本体２と、クランプ本体２に軸心方向（上下方向）へ進退可能に上方突出状に挿入されたクランプロッド３と、クランプロッド３の上端部に固定されたクランプアーム４と、クランプロッド３を進退させるロッド駆動機構５と、クランプロッド３の進退動作をクランプロッド３の軸心回りの旋回動作に変換する変換機構６と、クランプロッド３の軸心方向の位置を検出するロッド位置検出装置７とを備えている。

クランプ本体２は、シリンダ筒部１１とシリンダ筒部１１の上端壁を含むロッド挿通支持部１２とを有する本体部材１０と、シリンダ筒部１１の下部に内嵌状に固定されたシリンダ下端壁１３とを備えている。ベース部材Ｂには上端開放状の取付穴Ｂｂが形成され、本体部材１０のシリンダ筒部１１を含む部分が取付穴Ｂｂに内嵌されている。本体部材１０のシリンダ筒部１１とロッド挿通支持部１２との境界付近に形成された段部１０ａが固定面Ｂａに当接し、ロッド挿通支持部１２が複数（例えば、４本）のボルト２ａによりベース部材Ｂに固定されている。

ロッド挿通支持部１２には、上部に小径挿通孔１２ａが形成され、下部に小径挿通孔１２ａから連続する大径挿通孔１２ｂが形成され、小径挿通孔１２ａの上部外周側にシール取付凹部１２ｃが形成されている。シリンダ筒部１１には、大径挿通孔１２ｂに連通するシリンダ孔１１ａと、その下側にシリンダ孔１１ａよりも大径のネジ孔１１ｂが形成されている。シリンダ下端壁１３は、シリンダ孔１１ａの下端部に内嵌されネジ孔１１ｂに螺合されている。

クランプロッド３は、クランプ本体２に軸心方向に進退可能に且つ軸心回りに回動可能に支持されている。クランプロッド３は、ナット取付軸部３ａ、アーム固定軸部３ｂ、中間軸部３ｃ、大径軸部３ｄ、ピストン部３ｅを上側から下側へ順に連続的に一体形成して構成されている。

ナット取付軸部３ａとアーム固定軸部３ｂと中間軸部３ｃがクランプ本体２から上方へ突出し、中間軸部３ｃと大径軸部３ｄが夫々クランプ本体２の小径挿通孔１２ａと大径挿通孔１２ｂに摺動自在に挿通され、ピストン部３ｅがクランプ本体２のシリンダ孔１１ａに摺動自在に内嵌されている。クランプ本体２のシール取付凹部１２ｃには、中間軸部３ｃに接触する環状のダストシール１５が装着されている。

クランプアーム４は、その基端部がアーム固定軸部３ｂに固定されて、軸心方向と直交する水平方向へ延びている。クランプアーム４に形成されたテーパ孔部４ａがテーパ状のアーム固定軸部３ｂに係合して、ナット取付軸部３ａに外嵌状に螺合されたナット部材８によりクランプアーム４がアーム固定軸部３ｂに締結されている。

ロッド駆動機構５は複動型の油圧シリンダ２０により構成され、クランプロッド３を、図２に示すアンクランプ状態になる最大進出位置と、図４に実線で示す最大退入位置（退入位置）とに亙って進退駆動可能であり、図４に仮想線で示すように、クランプアーム４がクランプ対象物Ｗをベース部材Ｂの固定面Ｂａに押圧して、クランプロッド３はクランプ位置になる。油圧シリンダ２０は、クランプロッド３の大径軸部３ｄ及びピストン部３ｅと、クランプロッド３を退入駆動する為の退入用油圧作動室２１と、クランプロッド３を進出駆動する為の進出用油圧作動室２２とを有する。

退入用油圧作動室２１は、本体部材１０の小径挿通孔１２ａと大径挿通孔１２ｂとの境界の段部１０ｂとピストン部３ｅとの間において、本体部材１０とクランプロッド３とで囲まれた部分に形成されている。退入用油圧作動室２１は、本体部材１０の内部に形成され油路２１ａに接続され、ロッド挿通支持部１２に設けられた油路２１ａの油圧ポート２１ｂに、油圧供給源側から延びる油圧ホース２１ｃが接続されている。

クランプロッド３の大径軸部３ｄ及びピストン部３ｅには、進出用油圧作動室２２に連通可能に下端開放状のロッド挿通孔３ｆが形成され、このロッド挿入孔３ｆには検出ロッド３５が軸心方向へ相対移動自在に挿入されている。進出用油圧作動室２２は、本体部材１０とシリンダ下端壁１３とクランプロッド３のピストン部３ｅと検出ロッド３５とで囲まれた部分に形成されている。進出用油圧作動室２２は、本体部材１０の内部に形成された油路２２ａに接続され、ロッド挿通支持部１２に設けられた油路２２ａの油圧ポート２２ｂに、油圧供給源側から延びる油圧ホース２２ｃが接続されている。

クランプロッド３の大径軸部３ｄとピストン部３ｅが退入用油圧作動室２１に供給された油圧を受圧して、クランプロッド３が退入駆動され、クランプロッド３のピストン部３ｅが進出用油圧作動室２２に供給された油圧を受圧して、クランプロッド３が進出駆動される。尚、油圧作動室２１，２２からの油のリークを防止する為の複数のシール部材（符号省略、図中断面が黒色の部材）が設けられている。尚、油圧シリンダ２０の代わりに複動型のエアシリンダを採用することも可能である。

変換機構６は、本体部材１０のロッド挿通支持部１２に大径挿通孔１２ｂに臨むように保持された複数（例えば、３個）の鋼球２５と、クランプロッド３の大径軸部３ｄの外周部に形成され複数の鋼球２５に夫々係合する複数（例えば、３本）の鋼球溝２６を有する。各鋼球溝２６は、軸心方向と平行方向に延びるストレート鋼球溝２６ａと、このストレート鋼球溝２６ａの下端に繋がり９０度に亙って形成された旋回鋼球溝２６ｂからなる。

クランプロッド３が最大進出位置から最大退入位置へ退入動作する際、先ず、鋼球２５は旋回鋼球溝２６ｂに係合するため、クランプロッド３はクランプアーム４と一体的に旋回しながら下降し、９０度旋回すると、鋼球２５はストレート鋼球溝２６ａに係合するため、クランプロッド３はクランプアーム４と一体的に旋回せずに下降する。クランプロッド３が最大退入位置から最大進出位置へ進出動作する際は前記と逆の動作になる。尚、複数の鋼球２５をクランプロッド３の大径軸部３ｄに保持し、これら複数の鋼球２５に夫々係合する複数の鋼球溝２６を本体部材１０のロッド挿通支持部１２に形成してもよい。

次に、ロッド位置検出装置７について説明する。
図２、図４、図５に示すように、ロッド位置検出装置７は、クランプ本体２に固定的に設けられた弁支持部材３０と、弁支持部材３０に上下方向（軸心方向）へ移動自在に装着された検出ロッド３５と、検出ロッド３５に設けられた弁部材３６を含む弁機構４０と、弁支持部材３０に形成され弁機構４０により開閉される位置検出用の流体通路４５と、弁部材３６を閉弁側（下方）へ付勢可能な第１付勢機構５０と、弁部材３６を開弁側（上方）へ付勢可能な第２付勢機構５５と、油圧シリンダ２０によりクランプロッド３を進退方向における予め設定された設定位置である最大進出位置へ進出駆動する際、その最大進出位置（又はその近傍位置）で第１付勢機構５０の下向きの付勢力と第２付勢機構５５の上向きの付勢力の大小関係を逆転させる付勢力切換機構６０とを備えている。

弁支持部材３０は、クランプ本体２の下端側部分（軸心方向基端側部分）に配設され、クランプ本体２のシリンダ下端壁１３と、シリンダ下端壁１３に固定された下部支持部材３１とを有する。シリンダ下端壁１３の上部に挿通孔１３ａが形成され、シリンダ下端壁１３の下部に挿通孔１３ａと連通する下端開放状の凹部１３ｂが形成されている。

下部支持部材３１は、上部嵌合部３１ａ、鍔状部３１ｂ、下部軸状部３１ｃを有する。上部嵌合部３１ａがシリンダ下端壁１３の凹部１３ｂの下部に内嵌され、上部嵌合部３１ａの上端面には水平且つ平滑な環状弁座面４１が形成されている。鍔状部３１ｂは、ベース部材Ｂの取付穴Ｂｂの下端側部分に内嵌され、複数（例えば、４本）のボルト３２によりシリンダ下端壁１３に固定され、取付穴Ｂｂの底面から多少の隙間を空けて配設されている。下部軸状部３１ｃは、ベース部材Ｂの取付穴Ｂｂの中心部下側に形成された凹部Ｂｃに内嵌されている。下部支持部材３１にはバネ装着穴３１ｄが上端開放状に形成されるとともに、この下部支持部材３１に前記流体通路４５が形成されている。

流体通路４５は、加圧エアを供給する第１流体通路４６と加圧エアを排出する第２流体通路４７とを有する。第１流体通路４６は下部支持部材３１のバネ装着穴３１ｄよりも外周外側部分に上下貫通状に鉛直に形成され、この第１流体通路４６の下流側（上端）の通路端４６ａが環状弁座面４１に開口され、第１流体通路４６にはベース部材Ｂに形成された流体供給通路４８が接続されている。第２流体通路４７は下部支持部材３１の中心部分に上下貫通状にバネ装着穴３１ｄを含めて鉛直に形成され、第２流体通路４７にはベース部材Ｂに形成された流体排出通路４９が接続されている。尚、第２流体通路４７から加圧エアを供給し、第１流体通路４６から加圧エアを排出してもよい。この場合、符号４９が流体供給通路になり、符号４８が流体排出通路になる。

検出ロッド３５は、弁部材３６と、弁部材３６から上方（軸心方向先端側）へ一体的に延びて進出用油圧作動室２２内に突出するロッド部３７とを有する。弁部材３６はシリンダ下端壁１３の凹部１３ｂに微小ストロークだけ上下移動自在に内嵌され、弁部材３６の下端面には水平且つ平滑な環状弁面４２が形成されている。ロッド部３７がシリンダ下端壁１３の挿通孔１３ａに上下移動自在に挿通され、ロッド部３７の先端部（上端部）に小径ロッド部３８が一体的に形成され、ロッド部３７及び小径ロッド部３８がクランプロッド３のロッド挿入穴３ｆに挿入されている。

弁機構４０は、弁支持部材３１に形成された前記環状弁座面４１と、この環状弁座面４１に対向するように弁部材３６に形成された前記環状弁面４２とを有する。第１付勢機構５０の付勢力が第２付勢機構５５の付勢力よりも大きい場合に、環状弁面４２が環状弁座面４１に押圧状に当接し第１流体通路４６の通路端４６ａを閉塞するので、流体通路４５が閉じられる。第２付勢機構５５の付勢力が第１付勢機構５０の付勢力よりも大きい場合に、環状弁面４２が環状弁座面４１から上方へ離隔し第１流体通路４６の通路端４６ａを開放するので、第１，第２流体通路４６，４７が環状弁座面４１と環状弁面４２と間の隙間を介して接続され、即ち、流体通路４５が開けられる。

第１付勢機構５０は、進出用油圧作動室２２内の油圧を用いて検出ロッド３５を下方へ付勢可能に構成されている。前記のように、クランプロッド３のロッド挿入穴３ｆには検出ロッド３５のロッド部３７が挿入されており、第１付勢機構５０は、進出用油圧作動室２２からロッド挿入穴３ｆに導入された油圧により検出ロッド３５を下方へ付勢する。ロッド挿入穴３ｆにおいて、クランプロッド３と検出ロッド３５とで囲まれた部分に、検出ロッド３５を下方へ付勢する為の付勢用油圧作動室６２が形成される。

第２付勢機構５５は、検出ロッド３５を上方へ付勢するバネ部材５６からなり、このバネ部材５６が、下部支持部材３１のバネ装着穴３１ｄにおいて、検出ロッド３５の弁部材３６と下部支持部材３１との間に装着されている。バネ部材５６で検出ロッド３５を上方へ付勢する付勢力は、付勢用油圧作動室６２に導入された油圧で検出ロッド３５を下方へ付勢する付勢力よりも小さくなるように設定されている。

付勢力切換機構６０は、油圧シリンダ２０によりクランプロッド３を進出駆動する際、クランプロッド３の最大進出位置（又はその近傍位置）において第１付勢機構５０の付勢力を第２付勢機構５５の付勢力よりも大きくするように変化させる。

この付勢力切換機構６０は、検出ロッド３５の前記ロッド部３７及び小径ロッド部３８と、クランプロッド３が最大進出位置（又は最大進出位置を含むその近傍位置）以外のときだけロッド部３７とクランプロッド３のロッド挿入穴３ｆの周壁との間をシールする環状のシール部材６１とを有する。つまり、クランプロッド３が最大進出位置（又は最大進出位置を含むその近傍位置）以外のときには、進出用油圧作動室２２から付勢用油圧作動室６２への油圧の導入が不可能な状態になる。

一方、クランプロッド３が最大進出位置（又は最大進出位置を含むその近傍位置）のときには、シール部材６１によるシール機能は無効になり、進出用油圧作動室２２から付勢用油圧作動室６２へ油圧が導入される。シール部材６１は、クランプロッド３の下部（ピストン部３ｅ）にロッド挿入穴３ｆに臨むように装着されている。但し、シール部材６１を、検出ロッド３５のロッド部３７の先端外周部に装着してもよい。

油圧シリンダ２０によりクランプロッド３を退入駆動する際に、クランプロッド３のロッド挿入穴３ｆ内の油を進出用油圧作動室２２へ排出する流体排出通路６５が検出ロッド３５の内部に形成され、この流体排出通路６５に進出用油圧作動室２２からクランプロッド３のロッド挿入穴３ｆへの油の流入を逆止するチェック弁６６が組込まれている。流体排出通路６５は、上流端が小径ロッド部３８の上端面に開口し、下流端がシリンダ下端壁１３の上方近傍においてロッド部３７の外周面に開口するように形成されている。

尚、流体通路４５（第１，第２流体通路４６，４７）からのエアのリークを防止する為の複数のシール部材（符号省略、図中断面が黒色の部材）が設けられ、それらの一部は油圧作動室２１，２２からの油のリークを防止する為のシール部材の一部として併用されている。尚、前記加圧エアの代わりに油圧等の加圧流体を採用してもよい。

以上、説明したクランプ装置１の作用・効果について説明する。
例えば、図６に示すように、複数（例えば、４個）のクランプ装置１を有するクランプシステムＳが構成され、このクランプシステムＳは、複数のクランプ装置１によりベース部材Ｂにクランプ対象物Ｗを固定解除可能に固定するとともに、複数のクランプ装置１のクランプロッド３の最大進出位置を検出可能である。尚、複数のクランプ装置１の油圧シリンダ２０に油圧を供給する油圧系については図示省略する。

このクランプシステムＳでは、ベース部材Ｂに形成された流体供給通路４８に、複数のクランプ装置１の第１流体通路４６が並列接続され、ベース部材Ｂに形成された流体排出通路４９に、複数のクランプ装置１の第２流体通路４７が並列接続されている。流体供給通路４８の供給ポート４８ａが加圧エア供給通路７１により加圧エア供給源７０に接続され、流体排出通路４９の排出ポート４９ａが大気開放されている。

加圧エア供給通路７１には、方向切制御換弁７２が設けられ、方向切換制御弁７２よりも下流側に圧力センサ７３が接続されている。位置検出制御装置７４が、方向切換制御弁７２を制御して供給ポート４８ａへの加圧エアの供給／停止を行うとともに、複数のクランプ装置１のクランプロッド３が進出駆動される際に、供給ポート４８ａに加圧エアを供給して、圧力センサ７３により検出された加圧エアの圧力に基づいて、複数のクランプ装置１のクランプロッド３が最大進出位置か否か検出するロッド位置検出処理を実行する。

各クランプ装置１では、油圧シリンダ２０によりクランプロッド３を進出駆動する際（（例えば、クランプロッド３を図４に示す最大退入位置から進出駆動する時）、バネ部材５６の付勢力により、検出ロッド３５の環状弁面４２が下部支持部材３１の環状弁座面４１から上方へ離隔して、第１流体通路４６の通路端４６ａが開放され、第１，第２流体通路４６，４７（流体通路４５）が接続される。

その後、クランプロッド３が図２に示す最大進出位置（又はその近傍位置）のときに、シール部材６１によるシール機能が無効になり、進出用油圧作動室２２から付勢用油圧作動室６２に油圧が導入され、その油圧により検出ロッド３５を下方へ付勢する付勢力は、バネ部材５６により検出ロッド３５を上方へ付勢する付勢力よりも大きいため、検出ロッド３５は下方へ移動し、検出ロッド３５の環状弁面４２が下部支持部材３１の環状弁座面に押圧状に接触する。つまり、環状弁面４２により第１流体通路４６の通路端４６ａが閉塞され、第１，第２流体通路４６，４７（流体通路４５）が遮断される。

位置検出制御装置７４でロッド位置検出処理を実行するにあたって、複数のクランプ装置１の第１，第２流体通路４６，４７の全てが遮断された状態における通路７１内の加圧エアの圧力を判定基準圧として予め設定しておく。

ロッド位置検出処理では、複数のクランプ装置１のクランプロッド３の進出駆動が開始されてから、設定時間内に圧力センサ７３により検出された圧力が判定基準圧以上になると、複数のクランプ装置１のクランプロッド３の全てが正常に進出動作して最大進出位置に切換わったと判定され、そうならない場合、複数のクランプ装置１のクランプロッド３の少なくとも１つが最大進出位置に切換わっていない、或いは、正常に進出動作していないと判定される。この場合、ベース部材Ｂへのクランプ対象物Ｗの着脱作業を実行させないようにすることができ、また、何らかの報知機器により外部に報知することができる。

尚、圧力センサ７３の代わりに圧力スイッチを採用してもよい。この場合、その圧力スイッチが前記判定基準圧を境界にオン・オフが切換わるように構成されたものにして、前記同様のロッド位置検出処理を実現することができる。

本発明のロッド位置検出装置７によれば、クランプ本体２に弁支持部材３０を固定的に設け、この弁支持部材３０に軸心方向へ移動自在に装着された弁部材３６を含む弁機構４０により位置検出用の流体通路４５を開閉し、弁部材３６を閉弁側へ付勢可能な第１付勢機構５０、弁部材３６を開弁側へ付勢可能な第２付勢機構５５を備え、油圧シリンダ２０によりクランプロッド３を最大進出位置へ駆動する際、付勢力切換機構６０によりクランプロッド３の最大進出位置又はその近傍位置で第１付勢機構５０の付勢力と第２付勢機構５５の付勢力の大小関係を逆転させる。

これにより、弁部材３６が作動して流体通路４５が開状態から閉状態へ切換わるため、流体通路４５に供給される加圧エアの圧力上昇を検知して、クランプロッド３の最大進出位置を検出可能に構成することができる。クランプロッド３の位置検出のために、弁部材３６を微小ストロークだけ軸心方向へ移動可能にし、弁部材３６をクランプロッド３と一体的に移動させずに構成することができるため、クランプロッド３の位置検出に必要な軸心方向の検出スペースを小型化して、ロッド位置検出装置７をコンパクトに構成し、ロッド位置検出装置７をクランプ装置１にコンパクトに組込むことができる。

弁支持部材３０をクランプ本体２の軸心方向基端側部分に配設し、検出ロッド３５の弁部材３６から軸心方向先端側へ一体的に延びるロッド部３７を油圧シリンダ２０の進出用油圧作動室２２内に突出させ、その進出用油圧作動室２２内の油圧を用いて検出ロッド３５を軸心方向基端側へ付勢可能に第１付勢機構５０を構成することができ、即ち、クランプロッド３を進出駆動する際の進出用油圧作動室２２内の油圧を第１付勢機構５０として有効利用することができる。第２付勢機構５５は検出ロッド３５を軸心方向先端側へ付勢するバネ部材５６からなるので、第２付勢機構５５を簡単に構成することができる。

付勢力切換機構６０により、クランプロッド３の最大進出位置において第１付勢機構５０の付勢力を第２付勢機構５５の付勢力よりも大きくするように変化させるので、弁部材３６を閉弁側へ移動させて流体通路４５を閉状態にすることができる。進出用油圧作動室２２内の油圧を用いて流体通路４５を確実に閉状態にすることができるので、クランプロッド３の位置検出精度を高めることができる。

進出用油圧作動室２２に連通可能にクランプロッド３にロッド挿入穴３ｆを形成し、そのロッド挿入穴３ｆに検出ロッド３５のロッド部３７を軸心方向へ相対移動自在に挿入し、第１付勢機構５５は進出用油圧作動室２２からロッド挿入穴３ｆに導入された油圧により検出ロッド３５を軸心方向基端側へ付勢するので、進出用油圧作動室２２内の油圧を用いて検出ロッド３５を軸心方向基端側へ確実に付勢することができる。

付勢力切換機構６０、検出ロッド３５のロッド部３７と、そのロッド部３７の先端部に一体的に形成された小径ロッド部３８と、クランプロッド３が最大進出位置以外のときだけロッド部３７とロッド挿入穴３ｆの周壁との間をシールするシール部材６１とを有するので、クランプロッド３を最大進出位置に進出駆動する際、クランプロッド３が最大進出位置に達するまでは、シール部材６１により進出用油圧作動室２２からロッド挿入穴３ｆへの油圧の導入を防止して、第２付勢機構５５の付勢力を第１付勢機構５５の付勢力よりも大きくして、流体通路４５を確実に開状態に保持することができ、クランプロッド３が最大進出位置に達した場合、シール部材６１によるシール機能を無効にして進出用油圧作動室２２からロッド挿入穴３ｆへ油圧を導入させて、第１付勢機構５０の付勢力を第２付勢機構５５の付勢力よりも大きくするように変化させて、流体通路４５を確実に閉状態に切換えることができる。

油圧シリンダ２０によりクランプロッド３を退入駆動する際に、ロッド挿入穴３ｆ内の油を進出用油圧作動室２２へ排出する流体排出通路６５を検出ロッド３５の内部に形成したので、ロッド挿入穴３ｆ内の油を進出用油圧作動室２２へ排出しながらクランプロッド３を確実に退入させることができ、この流体排出通路６５に進出用油圧作動室２２からロッド挿入穴３ｆへの油の流入を逆止するチェック弁６６を組込んだので、クランプロッド３を進出駆動する際、クランプロッド３が最大進出位置に達するまで、進出用油圧作動室２２からロッド挿入穴３ｆに油圧が導入されるのを確実に防止することができる。

弁機構４０は、弁支持部材３０に形成された環状弁座面４１と、この環状弁座面４１に対向するように弁部材３６に形成された環状弁面４２とを有し、この環状弁面４２が環状弁座面４１に当接して流体通路４５を閉じるので、進出用油圧作動室２２内の油圧を用いて弁部材３６を付勢して、環状弁面４２を環状弁座面４１に押圧状に当接させて流体通路４５を確実に閉じることができる。つまり、環状弁面４２や環状弁座面４１が多少粗くても、流体通路４５を確実に閉じることができるためクランプロッド３の位置検出精度を維持することができ、それら環状弁面４２や環状弁座面４１の面加工の加工精度を必要以上に高める必要がないためコスト的にも有利になる。

クランプロッド３が旋回しても検出ロッド３５は旋回しないように、検出ロッド３５を弁支持部材３０に対して回り止めする構造（例えば、キー手段）を設けてもよい。

以下、実施例１を部分的に変更した別実施例について説明する。但し、基本的に、前記実施例と同一又は類似するものについては同一符号又は類似符号を付し、前記実施例と異なる構成について説明する。

図７に示すように、このクランプ装置１Ａは、上下方向の厚さ比較的薄いベース部材ＢＡに組付けられている。ベース部材ＢＡには、実施例１のような流体供給通路４８と流体排出通路４９を形成することが難しく、故に、クランプ装置１Ａは、流体供給通路４８と流体排出通路４９に代わる流体供給ホース４８Ａと流体排出ホース４９Ａを直接接続できるように構成されている。クランプ本体２のシリンダ筒部１１は、ベース部材ＢＡに上下貫通状に形成された取付穴ＢＡｂに内嵌され、ベース部材ＢＡの下方へ突出している。

ロッド位置検出装置７Ａにおいて、弁支持部材３０Ａの下部支持部材３１Ａに接続アタッチメント８０が装着され、この接続アタッチメント８０に流体供給ホース４８Ａと流体排出ホース４９Ａが接続されている。流体通路４５Ａは、第１，第２流体通路４６，４７Ａを有し、第２流体通路４７Ａの上流側の通路端は、実施例１同様、下部支持部材３１Ａの上端面に開口されているが、第２流体通路４７Ａの下流側の通路端は、下部支持部材３１Ａの下部軸状部３１Ａｃの外周面に開口されている。

接続アタッチメント８０には、凹部８０ａと凹部８０ａに連続する孔部８０ｂとが上下に形成され、凹部８０ａに下部支持部材３１Ａの鍔状部３１ｂが内嵌され、孔部８０ｂに下部支持部材３１Ａの下部軸状部３１Ａｃが内嵌された状態で、接続アタッチメント８０が下部支持部材３１Ａに止め輪８４で回動自在に保持されている。

下部支持部材３１Ａの鍔状部３１ｂは、接続アタッチメント８０の凹部８０ａの底面との間に隙間を空けて配設されており、接続アタッチメント８０には、第１流体通路４６に前記隙間を介して連通する第１流体接続通路８１が形成され、この第１流体接続通路８１の接続ポートに流体供給ホース４８Ａが接続されている。また、接続アタッチメント８０には、第２流体通路４７Ａに連通する第２流体接続通路８２が形成され、この第２流体接続通路８２の接続ポートに流体排出ホース４９Ａが接続されている。

図８に示すように、このクランプ装置１Ｂのロッド位置検出装置７Ｂにおいて、第２付勢機構５５Ｂは、検出ロッド３５Ｂのロッド部３７Ｂの長さ方向途中部に形成された受圧部８５を有し、進出用油圧作動室２２内の油圧を受圧部８５に作用させて検出ロッド３５Ｂを軸心方向先端側へ付勢するように構成されている。実施例１のバネ部材５６からなる第２付勢機構５５は省略されている。

弁支持部材３０Ｂの下部支持部材３１Ｂは、上部嵌合部３１ａ、鍔状部３１Ｂｂを有し、鍔状部３１Ｂｂの中央部分がベース部材Ｂに形成された取付穴Ｂｂの底面に近接している。下部支持部材３１Ｂに流体通路４５Ｂの第２流体通路４７Ｂが上下貫通状に形成され、流体排出通路４９Ｂは、その上流側の通路端が取付穴Ｂｂの底面に開口するようにベース部材Ｂに形成されている。

検出ロッド３５Ｂのロッド部３７Ｂは、ロッド大径部３７Ｂａと、ロッド大径部３７Ｂａの下側に位置するロッド小径部３７Ｂｂからなり、これらロッド大径部３７Ｂａとロッド小径部３７Ｂｂの境界の段部がシリンダ下端壁１３の上方近傍に位置するとともに、その段部によって受圧部８５が形成されている。

このロッド位置検出装置によれば、クランプロッド３を進出駆動する際の進出用油圧作動室２２内の流体圧を、第１付勢機構５０としてだけでなく、第２付勢機構５５Ｂとしても有効利用することができる。つまり、実施例１のようなバネ部材５６省略することができるので、部品点数を低減し構造を簡単化することができ、しかも、バネ部材５６のようなバネ力低下等の問題もないため、作動信頼性を長期に亙って確保することができる。

その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、前記開示事項以外の種々の変更を付加して実施可能である。例えば、検出ロッドを下方へ付勢する付勢機構により弁部材を開弁側へ付勢可能に構成し、検出ロッドを上方へ付勢する付勢機構により弁部材を閉弁側へ付勢可能に構成することもできる。また、実施例１〜３のロッド位置検出装置では、クランプロッドを進出駆動する際に、シール部材によるシール機能が無効になるクランプロッドの位置を最大進出位置以外の所定位置に変更して、その所定位置を検出可能に構成することもできる。また、本発明は、クランプロッドが軸心回りに旋回することなく進退する直動式（リンク式）クランプ装置への適用も勿論可能である。

１，１Ａ，１Ｂ クランプ装置
２ クランプ本体
３ クランプロッド
３ｆ ロッド挿入穴
５ ロッド駆動機構
７，７Ａ，７Ｂ ロッド位置検出装置
２０ 油圧シリンダ
２２ 進出用油圧作動室
３０，３０Ａ，３０Ｂ 弁支持部材
３５，３５Ｂ 検出ロッド
３６ 弁部材
３７，３７Ｂ ロッド部
３８ 小径ロッド部
４０ 弁機構
４１ 環状弁座面
４２ 環状弁面
４５，４５Ａ，４５Ｂ 流体通路
５０ 第１付勢機構
５５，５５Ｂ 第２付勢機構
５６ バネ部材
６０ 付勢力切換機構
６１ シール部材
６５ 流体排出通路
６６ チェック弁
８５ 受圧部

Claims (8)

1. クランプ本体と、このクランプ本体に軸心方向へ進退可能に挿入されたクランプロッドと、このクランプロッドを進退させる流体圧シリンダを含むロッド駆動機構とを備えたクランプ装置に装備されて、前記クランプロッドの軸心方向の位置を検出するクランプ装置のロッド位置検出装置において、
   前記クランプ本体に固定的に設けられた弁支持部材と、
   前記弁支持部材に軸心方向へ移動自在に装着された弁部材を含む弁機構と、
   前記弁支持部材に形成され前記弁機構により開閉される位置検出用の流体通路と、
   前記弁部材を閉弁側へ付勢可能な第１付勢手段と、
   前記弁部材を開弁側へ付勢可能な第２付勢手段と、
   前記流体圧シリンダによりクランプロッドを進退方向における予め設定された設定位置へ駆動する際、その設定位置又はその近傍位置で第１付勢手段の付勢力と第２付勢手段の付勢力の大小関係を逆転させる付勢力切換手段と、
   を備えたことを特徴とするクランプ装置のロッド位置検出装置。
2. 前記弁支持部材がクランプ本体の軸心方向基端側部分に配設され、
   前記弁部材と弁部材から軸心方向先端側へ一体的に延びて流体圧シリンダのクランプロッドを進出駆動する為の進出用流体圧作動室内に突出するロッド部とを有する検出ロッドを備え、
   前記第１付勢手段は、前記進出用流体圧作動室内の流体圧を用いて検出ロッドを軸心方向基端側へ付勢可能に構成され、
   前記付勢力切換手段は、前記設定位置において第１付勢手段の付勢力を第２付勢手段の付勢力よりも大きくするように変化させることを特徴とする請求項１に記載のクランプ装置のロッド位置検出装置。
3. 前記第２付勢手段は、前記検出ロッドを軸心方向先端側へ付勢するバネ部材からなることを特徴とする請求項２に記載のクランプ装置のロッド位置検出装置。
4. 前記第２付勢手段は、前記検出ロッドのロッド部の長さ方向途中部に形成された受圧部を有し、前記進出用流体圧作動室内の流体圧を前記受圧部に作用させて検出ロッドを軸心方向先端側へ付勢するように構成されたことを特徴とする請求項２に記載のクランプ装置のロッド位置検出装置。
5. 前記進出用流体圧作動室に連通可能にクランプロッドに形成されて、前記検出ロッドのロッド部が軸心方向へ相対移動自在に挿入されるロッド挿入穴を備え、
   前記第１付勢手段は、前記進出用流体圧作動室から前記ロッド挿入穴に導入された流体圧により検出ロッドを軸心方向基端側へ付勢することを特徴とする請求項２〜４の何れか１項に記載のクランプ装置のロッド位置検出装置。
6. 前記付勢力切換手段は、前記検出ロッドのロッド部と、そのロッド部の先端部に一体的に形成された小径ロッド部と、前記クランプロッドが前記設定位置以外のときだけ前記ロッド部と前記ロッド挿入穴の周壁との間をシールするシール部材とを有することを特徴とする請求項５に記載のクランプ装置のロッド位置検出装置。
7. 前記ロッド駆動機構によりクランプロッドを退入駆動する際に、前記ロッド挿入穴内の流体を前記進出用流体圧作動室へ排出する流体排出通路が検出ロッドの内部に形成され、この流体排出通路に前記進出用流体圧作動室から前記ロッド挿入穴への流体の流入を逆止するチェック弁が組込まれたことを特徴とする請求項６に記載のクランプ装置のロッド位置検出装置。
8. 前記弁機構は、弁支持部材に形成された環状弁座面と、この環状弁座面に対向するように弁部材に形成された環状弁面とを有し、この環状弁面が環状弁座面に当接して前記流体通路を閉じることを特徴とする請求項１〜７の何れか１項に記載のクランプ装置のロッド位置検出装置。

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