JP2012161767A - 共振器の支持装置 - Google Patents
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- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims abstract description 82
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 47
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 14
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 44
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 17
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 13
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 13
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 5
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 4
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- UONOETXJSWQNOL-UHFFFAOYSA-N tungsten carbide Chemical compound [W+]#[C-] UONOETXJSWQNOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001200 Ferrotitanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001069 Ti alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920006311 Urethane elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 1
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 229920006332 epoxy adhesive Polymers 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
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- Pressure Welding/Diffusion-Bonding (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
Abstract
【解決手段】共振器7に当接する当接部材21aおよび共振器7を当接部材21aに押圧する押圧部材21bにクランプされて共振器7が支持されるが、押圧部材21bは、該押圧部材21bの本体部21dに設けられた緩衝構造部21fの押圧部21eが共振器7の第1被支持部41に接触して共振器7を押圧するため、支持装置44に共振器7の振動が伝達するのが抑制されて、共振器7および支持装置44が一体的に振動するのが防止されるため、従来のように、共振器7にフランジ構造やリブなどを形成する特殊な加工を施さなくとも、共振器7の任意の位置をクランプして共振器7を固有振動数がずれないように支持することができる。
【選択図】図3
Description
この発明の第1実施形態について図1〜図4を参照して説明する。図1は本発明の第1実施形態たる共振器の支持装置を備える接合装置を示す図である。図2は共振器を一例を示す図である。図3は共振器の支持装置を示す図であって、(a)は分解図、(b)は(a)の点線で囲まれた部分の拡大図である。図4は共振器が支持装置に支持された状態を示す図であって、(a)は正面図、(b)は(a)のA−A線矢視断面図である。
図1に示す接合装置100は、チップ23や電子部品などの対象物を、基板24やウエハなどの被実装物の所定の位置に超音波振動により接合する。例えば、GaAsやSiなどの半導体の接合面に金属バンプ23aを有するチップ23と、金属バンプ24aを有する基板24とが超音波振動が印加されることにより接合され、チップ23が基板24の所定の位置に接合される。なお、チップ23は後述する共振器7の保持手段40の保持面に保持され、基板24は後述するステージ10の上面(載置面)に載置される。
支持装置44の構成について、主に図3および図4を参照して説明する。図3(a)および図4(a)に示すように、支持装置44は、基部20と、第1クランプ手段21および第2クランプ手段22とを備え、基部20が共振器支持部6に固定されてることで支持装置44は接合装置100に配設される。
次に、接合装置100における、チップ23を基板24の所定の位置に超音波振動により接合する接合動作の一例について説明する。
この発明の第2実施形態について図5および図6を参照して説明する。図5は共振器の支持装置の第2実施形態を示す図である。図6は図5の共振器の支持装置の異なる状態を示す図である。この実施形態が上記した第1実施形態と異なる点は、図5に示すように、第1クランプ手段121がトグル機構200を備える点である。その他の構成および動作は上記した第1実施形態と同様であるため、同一符号および相当符号を付すことにより、その構成および動作の説明は省略する。また、この実施形態では、第2クランプ手段は第1クランプ手段121と同一のトグル機構200を備えるが、その構成および動作は第1クランプ手段121が備えるトグル機構200の構成および動作と同一であるため、その構成および動作の説明は、第1クランプ手段121が備えるトグル機構200の構成および動作を説明することにより省略する。
この発明の第3実施形態について図7を参照して説明する。図7は共振器の支持装置の第3実施形態を示す図であって、(a)は要部拡大図、(b)は(a)のB−B線矢視断面図である。この実施形態が上記した第1および第2実施形態と異なる点は、図7(a),(b)に示すように、支持装置244の第1クランプ手段221が有する押圧部材221bの緩衝構造部221fが、空洞221gが設けられることにより形成された振動板構造221hを備えている点である。その他の構成および動作は上記した第1実施形態と同様であるため、同一符号および相当符号を付すことにより、その構成および動作の説明は省略する。
この発明の第4実施形態について図8を参照して説明する。図8は共振器の支持装置の第4実施形態を示す図である。この実施形態が上記した第1実施形態と異なる点は、図8に示すように、支持装置44の第1クランプ手段21が有する当接部材21aに、送風口口301および排気口302を両端に有する通気穴303が設けられており、送風手段(図示省略)から送風口301に冷却用の空気が供給されて、供給された空気が排気口302から排気されることにより、第1クランプ手段21が冷却される点である。また、この実施形態では、図示省略されたヒータ(本発明の「加熱手段」に相当)により共振器7が加熱されることにより、上記した接合動作において接合対象が加熱されるように構成されている。なお、第1クランプ手段21に形成される送風口301および排気口302の位置や、通気穴303の第1クランプ手段21への配設態様や配設数は、図8に示す例に限られるものではなく、第1クランプ手段21の大きさや形状に応じて、適宜、通気穴303の第1クランプ手段21への配設態様および配設数を変更すればよい。
21,121,221…第1クランプ手段
22…第2クランプ手段
21a,22a,121a…当接部材
21b,22b,121b,221b…押圧部材
21d,221d…本体部
21f,121f,221f…緩衝構造部
21g,121g…スリット
21h,121h…スプリング構造
44,144,244…支持装置
200…トグル機構
202…連結部材
221g…空洞
221h…振動板構造
221j…振動面
301…送風口(冷却手段)
302…排気口(冷却手段)
303…通気穴(冷却手段)
Claims (6)
- 共振器をクランプして支持するクランプ手段を備える共振器の支持装置において、
前記クランプ手段は、
前記共振器に当接する当接部材と、
前記共振器を前記当接部材に押圧する押圧部材とを備え、
前記押圧部材は、本体部と、前記本体部に設けられた緩衝構造部とを有し、前記緩衝構造部が前記共振器に接触して該共振器を押圧する
ことを特徴とする共振器の支持装置。 - 前記緩衝構造部は、前記押圧部材にスリットが設けられることにより形成されたスプリング構造を有し、前記スプリング構造は、前記共振器を押圧する方向にばね力を有することを特徴とする請求項1に記載の共振器の支持装置。
- 前記緩衝構造部は、前記押圧部材に空洞が設けられることにより形成された振動板構造を有し、前記振動板構造の振動面は、前記共振器を押圧する方向にほぼ直交して形成されていることを特徴とする請求項1に記載の共振器の支持装置。
- 前記緩衝構造部は、弾性部材により形成されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の共振器の支持装置。
- 前記クランプ手段は、
前記当接部材および前記押圧部材と、前記当接部材と前記押圧部材とを連結する連結部材とにより形成されたトグル機構をさらに備え、前記トグル機構のロック状態において、前記当接部材および前記押圧部材により前記共振器をクランプすることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の共振器の支持装置。 - 前記共振器を加熱する加熱手段と、前記クランプ手段を冷却する冷却手段とをさらに備えることを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載の共振器の支持装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011025583A JP5737562B2 (ja) | 2011-02-09 | 2011-02-09 | 共振器の支持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011025583A JP5737562B2 (ja) | 2011-02-09 | 2011-02-09 | 共振器の支持装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012161767A true JP2012161767A (ja) | 2012-08-30 |
JP5737562B2 JP5737562B2 (ja) | 2015-06-17 |
Family
ID=46841731
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011025583A Active JP5737562B2 (ja) | 2011-02-09 | 2011-02-09 | 共振器の支持装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5737562B2 (ja) |
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US11938556B2 (en) | 2018-12-19 | 2024-03-26 | Herrmann Ultraschalltechnik Gmbh & Co. Kg | Ultrasonic welding system with a positive locking connection |
JP2023500120A (ja) * | 2019-11-07 | 2023-01-04 | シュンク ソノジステム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 発振器配置のための冷却を備えた超音波溶着装置 |
JP7350169B2 (ja) | 2019-11-07 | 2023-09-25 | シュンク ソノジステム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 発振器配置のための冷却を備えた超音波溶着装置 |
US11845140B2 (en) | 2019-11-07 | 2023-12-19 | Schunk Sonosystems Gmbh | Ultrasonic welding device with cooling for oscillator assembly |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP5737562B2 (ja) | 2015-06-17 |
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A621 | Written request for application examination |
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R250 | Receipt of annual fees |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313532 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
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