JP2012154846A - 試料作製装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】遮蔽板を試料の一部が露出しその他が遮蔽されるように配置し、遮蔽板と試料6の露出部分に跨るようにイオンビームを試料6に照射することにより、試料6の露出部分をエッチングして試料断面を作製する試料作製装置であって、遮蔽板ステージ9と、前記遮蔽板ステージ9により基端部を支持され、先端側が自由端となされた支持部材と、前記支持部材の先端側に支持された遮蔽板とを備え、前記支持部材は、前記遮蔽板の前記支持部材の基端側に向かう一側縁が前記イオンビームの照射位置となるように該遮蔽板を保持し、この遮蔽板により前記イオンビームが遮蔽される位置に設置された前記試料の該遮蔽板の一側縁から露出した箇所への前記イオンビームによる加工を行わせるようにした。
【選択図】図1
Description
10:イオン銃 11:観察穴 12:観察窓 13:観察手段 20:基台
21:スライダ板 22:支持部材 23:調整ピニオンギヤ 24:ラック部
27:第1のリニアベアリング 28:第2のリニアベアリング
Claims (3)
- 遮蔽板を試料の一部が露出しその他が遮蔽されるように配置し、遮蔽板と試料の露出部分に跨るようにイオンビームを試料に照射することにより、試料の露出部分をエッチングして試料断面を作製する試料作製装置であって、
遮蔽板ステージと、
前記遮蔽板ステージにより基端部を支持され、先端側が自由端となされた支持部材と、
前記支持部材の先端側に支持された遮蔽板と
を備え、
前記支持部材は、前記遮蔽板の前記支持部材の基端側に向かう一側縁が前記イオンビームの照射位置となるように該遮蔽板を保持し、
この遮蔽板により前記イオンビームが遮蔽される位置に設置された前記試料の該遮蔽板の一側縁から露出した箇所への前記イオンビームによる加工を行わせる
ことを特徴とする試料作製装置。 - 前記試料の該遮蔽板の一側縁から露出した箇所への前記イオンビームによる加工位置を前記前記遮蔽板ステージ側から観察する観察手段を設けたことを特徴とする請求項1記載の試料作製装置。
- 前記遮蔽板ステージ内に、前記観察手段と試料の加工位置とを結ぶ光路を設けたことを特徴とする請求項2記載の試料作製装置。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108982176A (zh) * | 2018-05-04 | 2018-12-11 | 东旭科技集团有限公司 | 柔性玻璃板的处理方法和热膨胀系数的测量方法 |
CN111383883A (zh) * | 2018-12-27 | 2020-07-07 | 中国科学院光电技术研究所 | 超大面积扫描式反应离子刻蚀机及刻蚀方法 |
JPWO2021059401A1 (ja) * | 2019-09-25 | 2021-04-01 | ||
WO2024053074A1 (ja) * | 2022-09-08 | 2024-03-14 | 株式会社日立ハイテク | イオンミリング装置及び試料加工方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005037164A (ja) * | 2003-07-16 | 2005-02-10 | Jeol Ltd | 試料作製装置 |
JP2005091094A (ja) * | 2003-09-16 | 2005-04-07 | Jeol Ltd | 試料作製装置および試料作製方法 |
JP2007333682A (ja) * | 2006-06-19 | 2007-12-27 | Jeol Ltd | イオンビームを用いた断面試料作製装置 |
JP2008091221A (ja) * | 2006-10-02 | 2008-04-17 | Hitachi High-Tech Science Systems Corp | イオンビーム加工装置及び方法 |
JP2009025243A (ja) * | 2007-07-23 | 2009-02-05 | Jeol Ltd | 試料作製装置 |
JP2009109323A (ja) * | 2007-10-30 | 2009-05-21 | Sony Corp | 断面試料作製装置 |
JP2010080382A (ja) * | 2008-09-29 | 2010-04-08 | Jeol Ltd | 薄膜試料作成装置 |
-
2011
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005037164A (ja) * | 2003-07-16 | 2005-02-10 | Jeol Ltd | 試料作製装置 |
JP2005091094A (ja) * | 2003-09-16 | 2005-04-07 | Jeol Ltd | 試料作製装置および試料作製方法 |
JP2007333682A (ja) * | 2006-06-19 | 2007-12-27 | Jeol Ltd | イオンビームを用いた断面試料作製装置 |
JP2008091221A (ja) * | 2006-10-02 | 2008-04-17 | Hitachi High-Tech Science Systems Corp | イオンビーム加工装置及び方法 |
JP2009025243A (ja) * | 2007-07-23 | 2009-02-05 | Jeol Ltd | 試料作製装置 |
JP2009109323A (ja) * | 2007-10-30 | 2009-05-21 | Sony Corp | 断面試料作製装置 |
JP2010080382A (ja) * | 2008-09-29 | 2010-04-08 | Jeol Ltd | 薄膜試料作成装置 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108982176A (zh) * | 2018-05-04 | 2018-12-11 | 东旭科技集团有限公司 | 柔性玻璃板的处理方法和热膨胀系数的测量方法 |
CN108982176B (zh) * | 2018-05-04 | 2021-06-22 | 东旭光电科技股份有限公司 | 柔性玻璃板的处理方法和热膨胀系数的测量方法 |
CN111383883A (zh) * | 2018-12-27 | 2020-07-07 | 中国科学院光电技术研究所 | 超大面积扫描式反应离子刻蚀机及刻蚀方法 |
JPWO2021059401A1 (ja) * | 2019-09-25 | 2021-04-01 | ||
WO2021059401A1 (ja) * | 2019-09-25 | 2021-04-01 | 株式会社日立ハイテク | 試料ホルダ、試料ホルダの使用方法、突出量調整治具、突出量の調整方法および荷電粒子線装置 |
JP7190586B2 (ja) | 2019-09-25 | 2022-12-15 | 株式会社日立ハイテク | 試料ホルダ、試料ホルダの使用方法、突出量調整治具、突出量の調整方法および荷電粒子線装置 |
WO2024053074A1 (ja) * | 2022-09-08 | 2024-03-14 | 株式会社日立ハイテク | イオンミリング装置及び試料加工方法 |
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Publication number | Publication date |
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