JP2012151367A - 撮像素子及び撮像装置 - Google Patents
撮像素子及び撮像装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012151367A JP2012151367A JP2011010218A JP2011010218A JP2012151367A JP 2012151367 A JP2012151367 A JP 2012151367A JP 2011010218 A JP2011010218 A JP 2011010218A JP 2011010218 A JP2011010218 A JP 2011010218A JP 2012151367 A JP2012151367 A JP 2012151367A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- microlens
- refractive index
- light
- photoelectric conversion
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Focusing (AREA)
- Automatic Focus Adjustment (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Abstract
【解決手段】 撮像素子は複数の画素を有し、前記複数の画素の内の少なくとも一部の画素が、それぞれ、光電変換部(PD−A、PD−B)と、マイクロレンズ(ML)と、前記光電変換部と前記マイクロレンズとの間に形成され、前記マイクロレンズの光軸から偏心した位置に開口部が形成された遮光層(SL−A、SL−B)と、前記遮光層と前記マイクロレンズとの間に形成された層内レンズ(ML2)と、前記層内レンズと前記遮光層との間を充填する高屈折率層(HL)と、前記マイクロレンズと前記遮光層との間を充填する、前記マイクロレンズ及び前記高屈折率層の屈折率以下の屈折率を有する低屈折率層(LL)とを有する。
【選択図】 図5
Description
図1は本発明の第1の実施形態に係る焦点検出装置を有する撮像装置であるカメラの概略構成を示したものである。図1において、101は撮影光学系(結像光学系)の先端に配置された第1レンズ群で、光軸方向に進退可能に保持される。102は絞り兼用シャッタで、その開口径を調節することで撮影時の光量調節を行うほか、静止画撮影時には露光秒時調節用シャッタとしての機能も備える。103は第2レンズ群である。そして絞り兼用シャッタ102及び第2レンズ群103は一体となって光軸方向に進退し、第1レンズ群101の進退動作との連動により、変倍機能(ズーム機能)を実現することができる。
105は第3レンズ群で、光軸方向の進退により、焦点調節を行う。106は光学的ローパスフィルタで、撮影画像の偽色やモアレを軽減するための光学素子である。107はCMOSセンサとその周辺回路で構成された撮像素子である。撮像素子107には、横方向m画素、縦方向n画素の受光画素上に、ベイヤー配列の原色カラーモザイクフィルタがオンチップで形成された、2次元単板カラーセンサが用いられる。
次に、本第1の実施形態におけるA像用の焦点検出用画素の構造を図5(a)に、B像用の焦点検出用画素の構造を図5(b)に示す。PD−A、PD−Bは光電変換部、MLはマイクロレンズである。光電変換部PD−A及びPD−BとマイクロレンズMLとの間には、少なくともマイクロレンズMLの屈折率以下の屈折率を有する低屈折率層LLが形成されている。必要に応じて、カラーフィルター(CF)層を配置しても良い。マイクロレンズMLや低屈折率層LLはポリマーやシリカSiO2などからなり、可視域での屈折率は1.4から1.8程度である。光電変換部PD−A及びPD−BとマイクロレンズMLとの間に、瞳分割のために開口部が形成された遮光層SL−AとSL−Bが配置されている。これら遮光層SL−AとSL−Bの開口部は、マイクロレンズMLの光軸からそれぞれ互いに反対方向に偏心して構成されている。遮光層は、チタンTiやアルミAlなどと窒化チタンTiNなどの多層干渉膜や、可視域での吸収係数が大きい材料で構成される。
本発明の第2の実施形態における焦点検出用画素の構造を図8に示す。PD−A及びPD−Bは光電変換部、MLはマイクロレンズである。光電変換部PD−A及びPD−BとマイクロレンズMLとの間は、マイクロレンズMLの屈折率以下の屈折率を有する低屈折率層LLが形成されている。必要に応じて、カラーフィルター(CF)層を配置しても良い。1つのマイクロレンズMLに対して、瞳分割のために、光電変換部はPD−AとPD−Bの複数(2つ以上)に分割されて構成されており、光電変換部PD−AとPD−Bはマイクロレンズの光軸からそれぞれ反対方向に偏心して配置されている。
本発明の第3の実施形態におけるA像用の焦点検出用画素の構造を図9(a)に、B像用の焦点検出用画素の構造を図9(b)に示す。PD−A及びPD−Bは光電変換部、MLはマイクロレンズである。光電変換部PD−A及びPD−BとマイクロレンズMLとの間には、少なくともマイクロレンズMLの屈折率以下の屈折率を有する低屈折率層LLが形成されている。低屈折率層LLには、低屈折率層LLの屈折率より大きい屈折率を有する光導波路LGが形成されている。必要に応じて、カラーフィルター(CF)層を配置しても良い。光導波路LGとマイクロレンズMLとの間に、瞳分割のために開口部を有した遮光層SL−A及びSL−Bが配置されている。これら遮光層SL−AとSL−Bの開口部は、マイクロレンズMLの光軸からそれぞれ互いに反対方向に偏心して構成されている。ここで、撮像画素(不図示)では、遮光層の開口部は焦点検出用画素よりも広く形成される。
Claims (6)
- 複数の画素を有し、前記複数の画素の内の少なくとも一部の画素が、それぞれ、
光電変換部と、
マイクロレンズと、
前記光電変換部と前記マイクロレンズとの間に形成され、前記マイクロレンズの光軸から偏心した位置に開口部が形成された遮光層と、
前記遮光層と前記マイクロレンズとの間に形成された層内レンズと、
前記層内レンズと前記遮光層との間を充填する高屈折率層と、
前記マイクロレンズと前記遮光層との間を充填する、前記マイクロレンズ及び前記高屈折率層の屈折率以下の屈折率を有する低屈折率層と
を有することを特徴とする撮像素子。 - 複数の画素を有し、前記複数の画素の内の少なくとも一部の画素が、それぞれ、
複数の光電変換部と、
マイクロレンズと、
前記複数の光電変換部と前記マイクロレンズとの間に形成された層内レンズと、
前記層内レンズと前記複数の光電変換部との間を充填する高屈折率層と、
前記マイクロレンズと前記複数の光電変換部との間を充填する、前記マイクロレンズ及び前記高屈折率層の屈折率以下の屈折率を有する低屈折率層と
を有することを特徴とする撮像素子。 - 前記光電変換部と、前記遮光層との間に、光導波路を更に有することを特徴とする請求項1に記載の撮像素子。
- 前記マイクロレンズの底面と前記光導波路の受光面との距離が、前記画素の周期よりも短いことを特徴とする請求項3に記載の撮像素子。
- 前記光電変換部の前記マイクロレンズと反対側に配線層を有することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の撮像素子。
- 請求項1乃至5のいずれか1項に記載の撮像素子を備えたことを特徴とする撮像装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011010218A JP5956718B2 (ja) | 2011-01-20 | 2011-01-20 | 撮像素子及び撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011010218A JP5956718B2 (ja) | 2011-01-20 | 2011-01-20 | 撮像素子及び撮像装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016119129A Division JP6393293B2 (ja) | 2016-06-15 | 2016-06-15 | 撮像素子及び撮像装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012151367A true JP2012151367A (ja) | 2012-08-09 |
JP5956718B2 JP5956718B2 (ja) | 2016-07-27 |
Family
ID=46793323
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011010218A Active JP5956718B2 (ja) | 2011-01-20 | 2011-01-20 | 撮像素子及び撮像装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5956718B2 (ja) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014075445A (ja) * | 2012-10-03 | 2014-04-24 | Canon Inc | 裏面照射型撮像素子 |
JP2014093343A (ja) * | 2012-11-01 | 2014-05-19 | Canon Inc | 固体撮像素子及びそれを用いた測距装置 |
JP2014099841A (ja) * | 2012-10-19 | 2014-05-29 | Canon Inc | 撮像素子及び撮像装置 |
WO2015001769A2 (en) | 2013-07-03 | 2015-01-08 | Sony Corporation | Solid-state image-capturing device and production method thereof, and electronic appliance |
JP2015032610A (ja) * | 2013-07-31 | 2015-02-16 | キヤノン株式会社 | 固体撮像素子およびそれを用いた撮像装置 |
JP2015135936A (ja) * | 2013-12-18 | 2015-07-27 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置およびその製造方法、並びに電子機器 |
US9282268B2 (en) | 2012-10-16 | 2016-03-08 | Canon Kabushiki Kaisha | Solid-state image pickup device, method of manufacturing solid-state image pickup device, and image pickup system |
JP2018041810A (ja) * | 2016-09-06 | 2018-03-15 | キヤノン株式会社 | 撮像素子及び撮像装置 |
JP2018107460A (ja) * | 2018-02-02 | 2018-07-05 | キヤノン株式会社 | 撮像素子及び撮像装置 |
US10276612B2 (en) | 2014-06-02 | 2019-04-30 | Canon Kabushiki Kaisha | Photoelectric conversion apparatus and image pickup system |
CN110211982A (zh) * | 2019-06-13 | 2019-09-06 | 芯盟科技有限公司 | 双核对焦图像传感器以及制作方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001267544A (ja) * | 2000-03-21 | 2001-09-28 | Sharp Corp | 固体撮像装置およびその製造方法 |
JP2007095791A (ja) * | 2005-09-27 | 2007-04-12 | Canon Inc | 撮像装置の製造方法 |
JP2007227643A (ja) * | 2006-02-23 | 2007-09-06 | Fujifilm Corp | 固体撮像装置 |
JP2007281296A (ja) * | 2006-04-10 | 2007-10-25 | Nikon Corp | 固体撮像装置、および電子カメラ |
JP2008091771A (ja) * | 2006-10-04 | 2008-04-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 固体撮像装置およびその製造方法 |
JP2009130581A (ja) * | 2007-11-22 | 2009-06-11 | Nikon Corp | 固体撮像装置、電子カメラ |
JP2010272654A (ja) * | 2009-05-20 | 2010-12-02 | Panasonic Corp | 固体撮像装置およびその製造方法 |
-
2011
- 2011-01-20 JP JP2011010218A patent/JP5956718B2/ja active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001267544A (ja) * | 2000-03-21 | 2001-09-28 | Sharp Corp | 固体撮像装置およびその製造方法 |
JP2007095791A (ja) * | 2005-09-27 | 2007-04-12 | Canon Inc | 撮像装置の製造方法 |
JP2007227643A (ja) * | 2006-02-23 | 2007-09-06 | Fujifilm Corp | 固体撮像装置 |
JP2007281296A (ja) * | 2006-04-10 | 2007-10-25 | Nikon Corp | 固体撮像装置、および電子カメラ |
JP2008091771A (ja) * | 2006-10-04 | 2008-04-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 固体撮像装置およびその製造方法 |
JP2009130581A (ja) * | 2007-11-22 | 2009-06-11 | Nikon Corp | 固体撮像装置、電子カメラ |
JP2010272654A (ja) * | 2009-05-20 | 2010-12-02 | Panasonic Corp | 固体撮像装置およびその製造方法 |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014075445A (ja) * | 2012-10-03 | 2014-04-24 | Canon Inc | 裏面照射型撮像素子 |
US9282268B2 (en) | 2012-10-16 | 2016-03-08 | Canon Kabushiki Kaisha | Solid-state image pickup device, method of manufacturing solid-state image pickup device, and image pickup system |
JP2014099841A (ja) * | 2012-10-19 | 2014-05-29 | Canon Inc | 撮像素子及び撮像装置 |
JP2014093343A (ja) * | 2012-11-01 | 2014-05-19 | Canon Inc | 固体撮像素子及びそれを用いた測距装置 |
WO2015001769A2 (en) | 2013-07-03 | 2015-01-08 | Sony Corporation | Solid-state image-capturing device and production method thereof, and electronic appliance |
KR20160029727A (ko) | 2013-07-03 | 2016-03-15 | 소니 주식회사 | 고체 촬상 장치 및 그 제조 방법, 밀 전자 기기 |
US9978786B2 (en) | 2013-07-03 | 2018-05-22 | Sony Corporation | Solid-state image-capturing device and production method thereof, and electronic appliance |
KR20210043002A (ko) | 2013-07-03 | 2021-04-20 | 소니 주식회사 | 고체 촬상 장치 및 그 제조 방법 및 전자 기기 |
JP2015032610A (ja) * | 2013-07-31 | 2015-02-16 | キヤノン株式会社 | 固体撮像素子およびそれを用いた撮像装置 |
JP2015135936A (ja) * | 2013-12-18 | 2015-07-27 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置およびその製造方法、並びに電子機器 |
US10276612B2 (en) | 2014-06-02 | 2019-04-30 | Canon Kabushiki Kaisha | Photoelectric conversion apparatus and image pickup system |
JP2018041810A (ja) * | 2016-09-06 | 2018-03-15 | キヤノン株式会社 | 撮像素子及び撮像装置 |
JP2018107460A (ja) * | 2018-02-02 | 2018-07-05 | キヤノン株式会社 | 撮像素子及び撮像装置 |
CN110211982A (zh) * | 2019-06-13 | 2019-09-06 | 芯盟科技有限公司 | 双核对焦图像传感器以及制作方法 |
CN110211982B (zh) * | 2019-06-13 | 2021-12-07 | 芯盟科技有限公司 | 双核对焦图像传感器以及制作方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5956718B2 (ja) | 2016-07-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5956718B2 (ja) | 撮像素子及び撮像装置 | |
JP5513326B2 (ja) | 撮像素子及び撮像装置 | |
KR101832094B1 (ko) | 이면 조사형 촬상 소자, 그 제조 방법 및 촬상 장치 | |
JP6721511B2 (ja) | 固体撮像素子およびその製造方法、並びに電子機器 | |
KR102523203B1 (ko) | 고체 화상 센서 및 그 제조 방법, 및 전자 장치 | |
JP5276374B2 (ja) | 焦点検出装置 | |
JP5503209B2 (ja) | 撮像素子及び撮像装置 | |
JP5675157B2 (ja) | 焦点検出装置 | |
JP6060494B2 (ja) | 撮像装置 | |
JP5455397B2 (ja) | 光学機器 | |
JP6288909B2 (ja) | 撮像素子及び撮像装置 | |
JP6016396B2 (ja) | 撮像素子および撮像装置 | |
US20120138773A1 (en) | Image capture apparatus | |
JP6174940B2 (ja) | 撮像素子及び撮像装置 | |
JP2016139988A (ja) | 固体撮像装置 | |
JP2022132320A (ja) | 撮像素子及び撮像装置 | |
JP6393293B2 (ja) | 撮像素子及び撮像装置 | |
JP2023067935A (ja) | 撮像素子 | |
JP2012220790A (ja) | 撮像装置 | |
JP2011227388A (ja) | 撮像装置 | |
JP5735784B2 (ja) | 撮像装置及びその制御方法、レンズ装置及びその制御方法 | |
JP5961208B2 (ja) | 撮像素子及び撮像装置 | |
JP7383876B2 (ja) | 撮像素子、及び、撮像装置 | |
JP6232108B2 (ja) | 撮像素子および撮像装置 | |
JP2016048738A (ja) | 撮像素子、および撮像装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140117 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20141009 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20141017 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141216 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150601 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150729 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150904 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20151030 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160520 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160617 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5956718 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |