JP2016048738A - 撮像素子、および撮像装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】従来の分割パターンでは、瞳強度分布の感度のずれ量(基線長)が大きくとれない。また像の非対称性が大きく、焦点検出を行う上での特性が悪くなるという課題があった。【解決手段】マイクロレンズ下部に形成された画素部を複数分割にする視差画像を得る撮像素子において、水平方向と垂直方向の画素分割の分割重心長さを異ならせること、複数分割画素全てが、水平、または垂直方向の最外周に接するように構成することを特徴とする。【選択図】図3

Description

本発明は、撮像素子、および撮像装置に関する。
撮影レンズの焦点状態を検出する方式の一つとして、各画素にマイクロレンズが形成された2次元撮像素子を用いて、瞳分割位相差方式の焦点検出を行う撮像装置が提案されている。
特許文献1では、1つの画素に対して、1つのマイクロレンズと複数に分割された光電変換部が形成されている2次元撮像素子を用いた撮像装置が開示されている。分割された光電変換部は、1つのマイクロレンズを介して撮影レンズの射出瞳の異なる領域を受光するように構成され、瞳分割を行っている。これらの分割された光電変換部で受光したそれぞれの信号から像ずれ量を求めて、焦点検出を行い、分割された光電変換部で受光した信号を足し合わせることで、撮像信号を取得する。
米国特許第4410804号明細書
しかしながら、光電変換部を複数に分離するために形成される従来の分割帯では、瞳強度分布の感度のずれ量(基線長)が大きくとれない。また、像の非対称性が大きくなり、焦点検出を行う上での特性が低くなるという課題がある。
本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであり、光電変換部の分割に伴い発生する基線長が小さくなる現象、及び像の非対称性が大きくなる現象を抑制可能な撮像素子を提供することを目的とする。
上記の目的を達成するために、本発明の撮像素子は、
マイクロレンズ下部に形成された画素部を複数分割にする視差画像を得る撮像素子において、
水平方向と垂直方向の画素分割の分割重心長さを異ならせること
複数分割画素全てが、水平、または垂直方向の最外周に接するように構成すること
を特徴とする。
本発明の撮像素子によれば、画素配線を複雑化することなく、瞳強度分布の形の崩れる現象と基線長が小さくなる現象を抑制することができる。
本発明の実施形態における撮像装置の概略構成図 本発明の実施例1における画素配列の概略図 本発明の実施例1における第1画素の概略平面図と概略断面図 本発明の実施例1における瞳分割の概略説明図 本発明の実施例1と従来例との瞳強度分布の概略説明図 明るいレンズ装着時の実施例1と従来例との瞳強度分布の概略説明図 暗いレンズ装着時の実施例1と従来例との瞳強度分布の概略説明図 口径食発生時の実施例1と従来例との瞳強度分布の概略説明図 本発明の実施例2における画素配列の概略図 本発明の実施例2における第1画素の概略平面図と概略断面図 本発明の実施例2と従来例との瞳強度分布の概略説明図 明るいレンズ装着時の実施例2と従来例との瞳強度分布の概略説明図 暗いレンズ装着時の実施例2と従来例との瞳強度分布の概略説明図
以下、本発明を実施するための形態を図面に基づいて説明する。
[実施例1]
本発明の実施例1について、図1から図8を用いて以下に説明する。図1は本発明における撮像素子を有する撮像装置であるカメラの構成図を示している。同図において、101は結像光学系の先端に配置された第1レンズ群で、光軸方向に進退可能に保持される。102は絞り兼用シャッタで、その開口径を調節することで撮影時の光量調節を行なうほか、静止画撮影時には露光秒時調節用シャッタとしての機能も備える。103は第2レンズ群である。そして前記絞り兼用シャッタ102及び第2レンズ群103は一体となって光軸方向に進退し、前記第1レンズ群101の進退動作との連動により、変倍作用(ズーム機能)をなす。
105は第3レンズ群で、光軸方向の進退により、焦点調節を行なう。106は光学的ローパスフィルタで、撮影画像の偽色やモアレを軽減するための光学素子である。107は2次元CMOSフォトセンサーと周辺回路からなる撮像素子である。
111はズームアクチュエータで、不図示のカム筒を回動することで、第1レンズ群111ないし第3レンズ群103を光軸方向に進退駆動し、変倍操作を行なう。112は絞りシャッタアクチュエータで、絞り兼用シャッタ102の開口径を制御して撮影光量を調節すると共に、静止画撮影時の露光時間制御を行なう。114はフォーカスアクチュエータで、第3レンズ群105を光軸方向に進退駆動して焦点調節を行なう。
115は撮影時の被写体照明用電子フラッシュで、キセノン管を用いた閃光照明装置が好適だが、連続発光するLEDを備えた照明装置を用いても良い。116はAF補助光手段で、所定の開口パターンを有したマスクの像を、投光レンズを介して被写界に投影し、暗い被写体あるいは低コントラスト被写体に対する焦点検出能力を向上させる。
121はCPUで、カメラ本体の種々の制御を司るカメラ内CPUで、演算部、ROM、RAM、A/Dコンバータ、D/Aコンバータ、通信インターフェイス回路等を有し、ROMに記憶された所定のプログラムに基づいて、カメラが有する各種回路を駆動し、AF、撮影、画像処理と記録等の一連の動作を実行する。CPU121は本発明の演算手段、焦点検出手段、判定手段である。
122は電子フラッシュ制御回路で、撮影動作に同期して照明手段115を点灯制御する。123は補助光駆動回路で、焦点検出動作に同期してAF補助光手段116を点灯制御する。124は撮像素子駆動回路で、撮像素子107の撮像動作を制御するとともに、取得した画像信号をA/D変換してCPU121に送信する。125は画像処理回路で、撮像素子107が取得した画像のγ変換、カラー補間、JPEG圧縮等の処理を行なう。
126はフォーカス駆動回路で、焦点検出結果に基づいてフォーカスアクチュエータ114を駆動制御し、第3レンズ群105を光軸方向に進退駆動して焦点調節を行なう。128はシャッタ駆動回路で、絞りシャッタアクチュエータ112を駆動制御して絞り兼用シャッタ102の開口を制御する。129はズーム駆動回路で、撮影者のズーム操作に応じてズームアクチュエータ111を駆動する。
131はLCD等の表示器で、カメラの撮影モードに関する情報、撮影前のプレビュー画像と撮影後の確認用画像、焦点検出時の合焦状態表示画像等を表示する。132は操作スイッチ群で、電源スイッチ、レリーズ(撮影トリガ)スイッチ、ズーム操作スイッチ、撮影モード選択スイッチ等で構成される。133は着脱可能なフラッシュメモリで、撮影済み画像を記録する。
本実施例1における撮像素子の画素配列の概略図を図2に示す。図2は、本実施例1の2次元CMOSセンサー(撮像素子)の画素配列を、4列×4行画素の範囲で示したものである。図2に示した4列×4行画素を面上に多数配置し、高解像度画像の取得を可能としている。本実施例1においては、画素ピッチが4μm、有効画素数が横4000列×縦2667行=約1067万画素、撮像画面サイズが横36mm×縦24mmの撮像素子として説明を行なう。
実施例1において、図2に示した2行×2列の第1画素群210は、対角2画素にG(緑)の分光感度を有する第1画素210Gを配置し、他の2画素にR(赤)の分光感度を有する第1画素210RとB(青)の分光感度を有する第1画素210Bが配置されている。また、図2に示した2行×2列の第2画素群220は、対角2画素にGの分光感度を有する第2画素220Gを配置し、2画素にR(赤)の分光感度を有する第2画素220RとB(青)の分光感度を有する第2画素220Bが配置されている。
図2に示した撮像素子の1つの第1画素210Gを、撮像素子の受光面側(+z側)から見た平面図を図3(a)に示し、図3(a)のa−a断面を-y側から見た断面図を図3(b)に示す。
図3に示すように、本実施例1の第1画素210Gでは、各画素の受光側に入射光を集光するためのマイクロレンズ305が形成され、図3(a)で示す水平方向と垂直方向の画素分割の分割重心長さを異ならせた分割パターンの光電変換部PDが形成される。また実施例1の光電変換部PDは、水平、垂直方向に末広がりとなる分割パターン構成となっている。
また図3(a)で示すように複数の光電変換部PD全てが、水平、または垂直方向の最外周に接するように構成されており、光電変換部PDで発生した電荷を転送するためのポリシリコン307で構成された転送電極が配置される。このような構成を取ることにより、信号取り出しのための配線が画素に対し左右の領域のみにレイアウトすることができる。
光電変換部PDは、p型層とn型層の間にイントリンシック層を挟んだpin構造フォトダイオードとしても良いし、必要に応じて、イントリンシック層を省略し、pn接合フォトダイオードとしても良い。
第1画素と第2画素には、マイクロレンズ305と光電変換部PDとの間に、カラーフィルター306が形成される。また、必要に応じて、カラーフィルターを省略しても良い。
図3に示した第1画素210G(第2画素220G)に入射した光は、マイクロレンズ305により集光され、カラーフィルター306で分光されたのち、光電変換部PDで受光される。
光電変換部PDでは、受光量に応じて電子とホールが対生成し、空乏層で分離された後、負電荷の電子はn型層(不図示)に蓄積され、一方、ホールは定電圧源(不図示)に接続されたp型層を通じて撮像素子外部へ排出される。
本発明の分割パターンに対し、仮に上下左右に電荷を転送するためのポリシリコン307を配置すると、上下用の取り出し配線と、左右用の取り出し配線がクロスすることになる。従って配線ショートしないように、本発明に対し更に一段電極層を積み上げる必要が生じる。
図4に、画素の分割された光電変換部と瞳分割との対応関係を示した概略説明図を示す。図3(a)に示した第1画素210Gのa−a断面を+y側から見た断面図と結像光学系の射出瞳面を図4に示す。400は、レンズの射出瞳を示している。また図4では、射出瞳面の座標軸と対応を取るため、断面図のx軸とy軸を図3に対して反転させている。
図4で、第1画素の射出瞳上での瞳透過領域は、分割された光電変換部PDの受光面A、B、C、Dと、マイクロレンズによって、概ね、共役関係になっており、第1画素で受光可能な瞳領域A、B、C、Dを表すことになる。
図4では、分割された光電変換部PDと一致した瞳分割を示しているが、実際には回折やレンズ収差などの影響で、光電変換部PDの受光面の像は、明瞭な領域とならない。
分割された光電変換部PDの受光面A、B、C、Dは、図4で示す瞳透過領域と射出瞳領域が重なった領域から、光を受光することができる。つまり各受光面A、B、C、Dの瞳感度分布は、X方向は瞳透過領域と射出瞳領域が重なった領域のY方向の積分を取ることで求めることができる。Y方向もX方向と同様の手法で、瞳感度分布を求めることができる。
図5は、分割された画素の光電変換部の瞳強度分布を説明する図である。図5(a)、(b)、(c)は、従来の分割画素パターンに対する特性であり、図5(d)、(e)、(f)は、実施例1の分割画素パターンに対する特性である。
図5(a)は、従来の分割画素パターンA、B、C、Dの射出瞳面上での分割パターンの様子を示す。図5(b)は、従来の分割画素A、B、C、DのX方向の瞳強度分布を示す。図5(c)は、従来の分割画素分割画素C、DのY方向の瞳強度分布を示す。図5(d)は、実施例1の分割画素パターンA、B、C、Dを示す。図5(e)は、実施例1の分割画素A、BのX方向の瞳強度分布を示す。図5(f)は、実施例1の分割画素C、DのY方向の瞳強度分布を示す。
図5からわかるように、従来の瞳強度分布に対し、本発明では、水平方向と垂直方向画素分割重心長さを異ならせることにより、水平、垂直ともに、入射角が大きい方向に末広がりとなる瞳強度分布を実現している。
図6は、比較的明るいレンズ(F値:2.8)を装着した場合の、中央画素部での各分割された画素の光電変換部の瞳強度分布を説明する図である。図6(a)、(b)、(c)は、従来の分割画素パターンに対する特性であり、図6(d)、(e)、(f)は、実施例1の分割画素パターンに対する特性である。400は、射出瞳の形状を示す。
図6(b)、(e)からわかるように、比較的明るいレンズ(F値:2.8)を装着した場合の、X方向の本発明の瞳強度分布は従来の瞳強度分布に対し、形の崩れが小さい。これは、レンズ枠によって外周部の強度の落ち方がじわじわと落ちるのに対し、元々の瞳強度分布を末広がりにすることによりこの効果を発揮する。この2つの瞳強度分布の形をできるだけ同じような形にすることが、焦点検出性能の誤差を抑えることになる。つまり本発明では瞳強度分布の形の上で、焦点検出性能に有利であることがわかる。また瞳分離の長さ、所謂基線長は本発明の方が長くなる。この基線長は長ければ長いほど、ピントずれ検出敏感度を上げることができ、この点においても本発明の方が、焦点検出性能に有利となる。
一方、図6(c)、(f)からわかるように、比較的明るいレンズ(F値:2.8)を装着した場合の、Y方向の本発明の瞳強度分布についても、X方向と同様の特徴を持つ。特に基線長の拡大には大きな効果が発揮される。このような特徴を効果を持たせるためには、水平と垂直の基線長を変えることによって可能とすることができる。
図7は、比較的暗いレンズ(F値=5.6)を装着した場合の、中央画素部での各分割された画素の光電変換部の瞳強度分布を説明する図である。図7(a)、(b)、(c)は、従来の分割画素パターンに対する特性であり、図7(d)、(e)、(f)は、実施例1の分割画素パターンに対する特性である。400は、射出瞳の形状を示す。
図7(b)、(e)からわかるように、比較的暗いレンズ(F値=5.6)を装着した場合の、X方向の本発明の瞳強度分布は従来の瞳強度分布に対し、形の崩れが小さい。これは、レンズ枠によって外周部の強度の落ち方がじわじわと落ちるのに対し、元々の瞳強度分布を末広がりにすることによりこの効果を発揮する。この2つの瞳強度分布の形をできるだけ同じような形にすることが、焦点検出性能の誤差を抑えることになる。つまり本発明では瞳強度分布の形の上で、焦点検出性能に有利であることがわかる。また瞳分離の長さ、所謂基線長は本発明の方が長くなる。この基線長は長ければ長いほど、ピントずれ検出敏感度を上げることができ、この点においても本発明の方が、焦点検出性能に有利となる。
一方、図7(c)、(f)からわかるように、比較的暗いレンズ(F値=5.6)を装着した場合の、Y方向の本発明の瞳強度分布についても、X方向と同様の特徴を持つ。特に基線長の拡大には大きな効果が発揮される。このような特徴を効果を持たせるためには、水平と垂直の基線長を変えることによって可能とすることができる。
図8は、ある特定の口径食(ビネッティング)が生じた場合の、対角画素部での各分割された画素の光電変換部の瞳強度分布を説明する図である。図8(a)、(b)、(c)は、従来の分割画素パターンに対する特性であり、図8(d)、(e)、(f)は、実施例1の分割画素パターンに対する特性である。400は、射出瞳の形状を示す。
図8(b)、(e)からわかるように、ある特定の口径食(ビネッティング)が生じた場合の、X方向の本発明の瞳強度分布は従来の瞳強度分布に対し、形の崩れが小さい。この2つの瞳強度分布の形をできるだけ同じような形にすることが、焦点検出性能の誤差を抑えることになる。つまり本発明では瞳強度分布の形の上で、焦点検出性能に有利であることがわかる。また瞳分離の長さ、所謂基線長についても、は本発明の方が長くなる。この基線長は長ければ長いほど、ピントずれ検出敏感度を上げることができ、この点においても本発明の方が、焦点検出性能に有利となる。
一方、図8(c)、(f)からわかるように、ある特定の口径食(ビネッティング)が生じた場合の、Y方向の本発明の瞳強度分布についても、X方向と同様の特徴を持つ。特に基線長の拡大には大きな効果が発揮される。このような特徴を効果を持たせるためには、水平と垂直の基線長を変えることによって可能とすることができる。
以上の構成により、小絞りやビネッティングが生じた場合でも、画素配線を複雑化することなく、瞳強度分布の形の崩れる現象と基線長が小さくなる現象を抑制することが可能となる。
[実施例2]
本発明の実施例2について、図9から図13を用いて以下に説明する。実施例2において、図9に示した2行×2列の第1画素群210は、対角2画素にG(緑)の分光感度を有する第1画素210Gを配置し、他の2画素にR(赤)の分光感度を有する第1画素210RとB(青)の分光感度を有する第1画素210Bが配置されている。また、図2に示した2行×2列の第2画素群220は、対角2画素にGの分光感度を有する第2画素220Gを配置し、2画素にR(赤)の分光感度を有する第2画素220RとB(青)の分光感度を有する第2画素220Bが配置されている。
図2に示した撮像素子の1つの第1画素210Gを、撮像素子の受光面側(+z側)から見た平面図を図10(a)に示し、図10(a)のa−a断面を-y側から見た断面図を図10(b)に示す。
図10に示すように、本実施例2の第1画素210Gでは、各画素の受光側に入射光を集光するためのマイクロレンズ305が形成され、図10(a)で示す水平方向と垂直方向の画素分割の分割重心長さを異ならせた分割パターンの光電変換部PDが形成される。
また図10(a)で示すように複数の光電変換部PD全てが、水平、または垂直方向の最外周に接するように構成されており、光電変換部PDで発生した電荷を転送するためのポリシリコン307で構成された転送電極が配置される。このような構成を取ることにより、信号取り出しのための配線が画素に対し左右の領域のみにレイアウトすることができる。その他、実施例1で説明した構成と同様となっている。
図11は、分割された画素の光電変換部の瞳強度分布を説明する図である。図11(a)、(b)、(c)は、従来の分割画素パターンに対する特性であり、図11(d)、(e)、(f)は、実施例2の分割画素パターンに対する特性である。
図11(a)は、従来の分割画素パターンA、B、C、Dの射出瞳面上での分割パターンの様子を示す。図11(b)は、従来の分割画素A、B、C、DのX方向の瞳強度分布を示す。図11(c)は、従来の分割画素分割画素C、DのY方向の瞳強度分布を示す。図11(d)は、実施例2の分割画素パターンA、B、C、Dを示す。図11(e)は、実施例2の分割画素A、BのX方向の瞳強度分布を示す。図11(f)は、実施例2の分割画素C、DのY方向の瞳強度分布を示す。
図11からわかるように、従来の瞳強度分布に対し、本発明では、水平方向と垂直方向画素分割重心長さを異ならせることにより、垂直方向に対して、入射角が大きい方向に瞳強度分布がシフトした特性を実現している。
図12は、比較的明るいレンズ(F値:2.8)を装着した場合の、中央画素部での各分割された画素の光電変換部の瞳強度分布を説明する図である。図12(a)、(b)、(c)は、従来の分割画素パターンに対する特性であり、図12(d)、(e)、(f)は、実施例2の分割画素パターンに対する特性である。400は、射出瞳の形状を示す。
図12(b)、(e)からわかるように、比較的明るいレンズ(F値:2.8)を装着した場合の、X方向の本発明の瞳強度分布は従来の瞳強度分布に対し、形の崩れがほとんどない。これは、上下方向の瞳強度分布が狭いことにより、レンズ枠によるケラレがほとんどないことによる。この2つの瞳強度分布の形をできるだけ同じような形にすることが、焦点検出性能の誤差を抑えることになる。つまり本発明では瞳強度分布の形の上で、焦点検出性能に有利であることがわかる。また瞳分離の長さ、所謂基線長は本発明の方が長くなる。この基線長は長ければ長いほど、ピントずれ検出敏感度を上げることができ、この点においても本発明の方が、焦点検出性能に有利となる。
一方、図12(c)、(f)からわかるように、比較的明るいレンズ(F値:2.8)を装着した場合の、Y方向の本発明の瞳強度分布についても、X方向と同様の特徴を持つ。特に基線長の拡大には大きな効果が発揮される。このような特徴を効果を持たせるためには、水平と垂直の基線長を変えることによって可能とすることができる。
図13は、比較的暗いレンズ(F値=5.6)を装着した場合の、中央画素部での各分割された画素の光電変換部の瞳強度分布を説明する図である。図13(a)、(b)、(c)は、従来の分割画素パターンに対する特性であり、図13(d)、(e)、(f)は、実施例2の分割画素パターンに対する特性である。400は、射出瞳の形状を示す。
図13(b)、(e)からわかるように、比較的暗いレンズ(F値=5.6)を装着した場合の、X方向の本発明の瞳強度分布は従来の瞳強度分布に対し、形の崩れがほとんどない。これは、上下方向の瞳強度分布が狭いことにより、レンズ枠によるケラレがほとんどないことによる。この2つの瞳強度分布の形をできるだけ同じような形にすることが、焦点検出性能の誤差を抑えることになる。つまり本発明では瞳強度分布の形の上で、焦点検出性能に有利であることがわかる。また瞳分離の長さ、所謂基線長は本発明の方が長くなる。この基線長は長ければ長いほど、ピントずれ検出敏感度を上げることができ、この点においても本発明の方が、焦点検出性能に有利となる。
一方、図13(c)、(f)からわかるように、比較的暗いレンズ(F値=5.6)を装着した場合の、Y方向の本発明の瞳強度分布についても、X方向と同様の特徴を持つ。特に基線長の拡大には大きな効果が発揮される。このような特徴を効果を持たせるためには、水平と垂直の基線長を変えることによって可能とすることができる。
以上の構成により、小絞りやビネッティングが生じた場合でも、画素配線を複雑化することなく、瞳強度分布の形の崩れる現象と基線長が小さくなる現象を抑制することが可能となる。
以上説明したように、本発明は水平方向と垂直方向の画素分割の分割重心長さを異ならせることにより、小絞りやビネッティングが生じた場合でも、瞳強度分布の形の崩れる現象と基線長が小さくなる現象を抑制することが可能となる。また、複数分割画素全てが、水平、または垂直方向の最外周に接するように構成することにより、画素配線を複雑化することなく、上記の効果を達成することができる。
従って、水平方向と垂直方向の画素分割の分割重心長さを異ならせ、複数分割画素全てが、水平、または垂直方向の最外周に接するように構成されたものは、実施例1、2以外の構成においても、本発明に含まれる。
101 第1レンズ群、102 絞り兼用シャッタ、103 第2レンズ群、
105 第3レンズ群、106 光学的ローパスフィルタ、107 撮像素子、
114 フォーカスアクチュエータ、121 CPU、124 撮像素子駆動回路、
125 画像処理回路、131 表示器、132 操作スイッチ群、
133 フラッシュメモリ、210 第1画素群、
210R,210G ,210B ,220G 第1画素、220 第2画素群 、
220R,220G,220B,220G 第2画素、230 第1画素群、
230R,230G,230B,230G 第1画素、240 第2画素群、
240R,240G,240B,240G 第2画素、305 マイクロレンズ、
307 ポリシリコン(転送電極)

Claims (4)

  1. マイクロレンズ下部に形成された画素部を複数分割にする視差画像を得る撮像素子(107)において、
    水平方向と垂直方向の画素分割の分割重心長さを異ならせること、
    複数分割画素全てが、水平、または垂直方向の最外周に接するように構成すること、
    を特徴とする撮像素子(107)。
  2. 複数分割画素数が4つであること、
    水平方向、または垂直方向のみに転送電極(307)を形成するように構成されること、
    を特徴とする請求項1に記載の撮像素子(107)。
  3. 複数分割画素数が4つであること、
    水平方向、垂直方向の形状が末広がりとなっていること、
    を特徴とする請求項1又は請求項2に記載の撮像素子(107)。
  4. 請求項1乃至請求項3の何れか一項に記載の撮像素子(107)を備えたことを特徴とする撮像装置。
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