JP2012142462A - ミラーおよびその製造方法、露光装置、ならびに、デバイス製造方法 - Google Patents
ミラーおよびその製造方法、露光装置、ならびに、デバイス製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012142462A JP2012142462A JP2011000004A JP2011000004A JP2012142462A JP 2012142462 A JP2012142462 A JP 2012142462A JP 2011000004 A JP2011000004 A JP 2011000004A JP 2011000004 A JP2011000004 A JP 2011000004A JP 2012142462 A JP2012142462 A JP 2012142462A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- shape
- mirror
- manufacturing
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/08—Mirrors
- G02B5/0816—Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y10/00—Nanotechnology for information processing, storage or transmission, e.g. quantum computing or single electron logic
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70058—Mask illumination systems
- G03F7/702—Reflective illumination, i.e. reflective optical elements other than folding mirrors, e.g. extreme ultraviolet [EUV] illumination systems
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70216—Mask projection systems
- G03F7/70233—Optical aspects of catoptric systems, i.e. comprising only reflective elements, e.g. extreme ultraviolet [EUV] projection systems
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70216—Mask projection systems
- G03F7/70316—Details of optical elements, e.g. of Bragg reflectors, extreme ultraviolet [EUV] multilayer or bilayer mirrors or diffractive optical elements
-
- G—PHYSICS
- G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
- G21K—TECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
- G21K1/00—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating
- G21K1/06—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating using diffraction, refraction or reflection, e.g. monochromators
- G21K1/062—Devices having a multilayer structure
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
- G03F7/7095—Materials, e.g. materials for housing, stage or other support having particular properties, e.g. weight, strength, conductivity, thermal expansion coefficient
- G03F7/70958—Optical materials or coatings, e.g. with particular transmittance, reflectance or anti-reflection properties
-
- G—PHYSICS
- G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
- G21K—TECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
- G21K2201/00—Arrangements for handling radiation or particles
- G21K2201/06—Arrangements for handling radiation or particles using diffractive, refractive or reflecting elements
- G21K2201/064—Arrangements for handling radiation or particles using diffractive, refractive or reflecting elements having a curved surface
-
- G—PHYSICS
- G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
- G21K—TECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
- G21K2201/00—Arrangements for handling radiation or particles
- G21K2201/06—Arrangements for handling radiation or particles using diffractive, refractive or reflecting elements
- G21K2201/067—Construction details
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- High Energy & Nuclear Physics (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
Abstract
【解決手段】ミラーの製造方法は、熱により膜厚が変化する形状修正層12を基板11の上に配置する第1工程と、第1層、第2層、および、前記第1層と前記第2層との間に配置されて前記第1層を構成する材料と前記第2層を構成する材料との反応を防止するバリア層16を含む反射層13を前記形状修正層12の上に配置する第2工程と、前記第2工程の後に、前記形状修正層12の膜厚分布を変化させることによって前記反射層13の形状を目標形状に近づける第3工程とを含み、前記第3工程は、前記形状修正層12を部分的にアニールする処理を含む。
【選択図】図1
Description
2×d×cosθ=λ ・・・(1)
の関係を満足するような、λを中心とした狭いバンド幅のEUV光だけが効率よく反射される。このときのバンド幅は0.6〜1nm程度である。反射率は最大で70%程度である。図4には、入射角15度でEUV光を膜周期7.2nmの多層膜ミラーに入射させたときの反射率の波長依存性が示されている。
σ=λ/(28×√n) ・・・(2)
で与えられる。例えば、6枚ミラーでは、波長が13.5nmであるとすると、許容される形状誤差σは0.2nmである。形状誤差は、基板形状の誤差と膜形状の誤差を含みうる。基板形状および膜形状をともに許容される誤差内に収めることは困難である。特許文献2には、ミラーに取り付けたヒーターで熱膨張によりミラーの形状を補正する技術が提案されている。
Claims (11)
- 熱により膜厚が変化する形状修正層を基板の上に配置する第1工程と、
第1層、第2層、および、前記第1層と前記第2層との間に配置されて前記第1層を構成する材料と前記第2層を構成する材料との反応を防止するバリア層を含む反射層を前記形状修正層の上に配置する第2工程と、
前記第2工程の後に、前記形状修正層の膜厚分布を変化させることによって前記反射層の形状を目標形状に近づける第3工程と、を含み、
前記第3工程は、前記形状修正層を部分的にアニールする処理を含む、
ことを特徴とするミラーの製造方法。 - 前記第3工程では、前記反射層の形状を計測する計測工程と、前記計測工程による計測の結果に基づいて前記形状修正層を部分的にアニールするアニール工程とを繰り返す、
ことを特徴とする請求項1に記載のミラーの製造方法。 - 前記第3工程において前記形状修正層を部分的にアニールする際の温度および時間が、前記反射層の形状を前記目標形状に近づけるために前記形状修正層の膜厚を変化させるべき量に基づいて決定される、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載のミラーの製造方法。 - 前記形状修正層の部分的なアニールによって前記形状修正層の膜厚とともに前記反射層の膜厚も変化し、前記第3工程では、前記形状修正層の膜厚の変化および前記反射層の膜厚の変化によって前記反射層の形状が前記目標形状に近づくようにアニールを実施する、
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のミラーの製造方法。 - 前記処理は、レーザ光の照射によって前記形状修正層に熱を与える処理を含む、
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のミラーの製造方法。 - 前記形状修正層は、多層膜である、
ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のミラーの製造方法。 - 前記形状修正層は、単層膜である、
ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のミラーの製造方法。 - 基板と、
前記基板の上に配置され形状修正層と、
前記形状修正層の上に配置された反射層と、を含み、
前記形状修正層は、熱によって膜厚が変化するように構成され、
前記反射層は、第1層、第2層、および、前記第1層と前記第2層との間に配置されて前記第1層を構成する材料と前記第2層を構成する材料との反応を防止するバリア層を含む、
ことを特徴とするミラー。 - 前記形状修正層は、Be、B、C、Si、P、S、K、Ca、Sc、Br、Rb、Sr、Y、Zr、Nb、Mo、Ba、La、Ce、Pr、Pa、Uからなるグループから選択される1つの材料である第1材料で構成された第1材料層と、前記グループから選択される1つの材料であって前記第1材料とは異なる第2材料で構成された第2材料層とを含み、前記形状修正層に部分的に与えられる熱によって前記第1材料と前記第2材料とが反応することによって前記形状修正層の厚さ分布が変化する、
ことを特徴とする請求項8に記載のミラー。 - 請求項8又は9に記載のミラーを含む光学系を備え、前記光学系を通して基板を露光するように構成された露光装置。
- 請求項10に記載の露光装置によって基板を露光する工程と、
該基板を現像する工程と、
を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011000004A JP5340321B2 (ja) | 2011-01-01 | 2011-01-01 | ミラーおよびその製造方法、露光装置、ならびに、デバイス製造方法 |
US13/332,582 US9063277B2 (en) | 2011-01-01 | 2011-12-21 | Mirror, method of manufacturing the same, exposure apparatus, and device manufacturing method |
DE102011090192.2A DE102011090192B4 (de) | 2011-01-01 | 2011-12-30 | Spiegel, Verfahren zu dessen Herstellung, Belichtungsgerät und Vorrichtungsherstellungsverfahren |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011000004A JP5340321B2 (ja) | 2011-01-01 | 2011-01-01 | ミラーおよびその製造方法、露光装置、ならびに、デバイス製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012142462A true JP2012142462A (ja) | 2012-07-26 |
JP5340321B2 JP5340321B2 (ja) | 2013-11-13 |
Family
ID=46380500
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011000004A Active JP5340321B2 (ja) | 2011-01-01 | 2011-01-01 | ミラーおよびその製造方法、露光装置、ならびに、デバイス製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9063277B2 (ja) |
JP (1) | JP5340321B2 (ja) |
DE (1) | DE102011090192B4 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016006691A1 (ja) * | 2014-07-10 | 2016-01-14 | イビデン株式会社 | ミラー |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102012212898A1 (de) * | 2012-07-24 | 2014-01-30 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Spiegelanordnung für eine EUV-Projektionsbelichtungsanlage, Verfahren zum Betreiben derselben, sowie EUV-Projektionsbelichtungsanlage |
US9709713B1 (en) * | 2014-06-18 | 2017-07-18 | Peter C. Chen | High quality telescope mirrors made from polymer matrix composite materials and method |
DE102015200328A1 (de) | 2015-01-13 | 2016-07-14 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Verfahren zum Herstellen eines optischen Elements für ein optisches System, insbesondere für einemikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage |
NL2017602A (en) * | 2015-11-02 | 2017-05-23 | Stichting Voor Fundamenteel Onderzoek Der Materie | Multilayer Reflector, Method of Manufacturing a Multilayer Reflector and Lithographic Apparatus |
US10468149B2 (en) * | 2017-02-03 | 2019-11-05 | Globalfoundries Inc. | Extreme ultraviolet mirrors and masks with improved reflectivity |
DE102018203241A1 (de) | 2018-03-05 | 2019-09-05 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Optisches Element, sowie Verfahren zur Korrektur der Wellenfrontwirkung eines optischen Elements |
CN108445567B (zh) * | 2018-03-30 | 2020-09-18 | 苏州沛斯仁光电科技有限公司 | 一种高损伤阈值的高反膜及制备方法 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004532413A (ja) * | 2001-05-01 | 2004-10-21 | ザ・リージェンツ・オブ・ジ・ユニバーシティ・オブ・カリフォルニア | 極値紫外線リソグラフィー(euvl)の多層構造 |
JP2007109971A (ja) * | 2005-10-14 | 2007-04-26 | Hoya Corp | 多層反射膜付き基板、その製造方法、反射型マスクブランクおよび反射型マスク |
JP2007140147A (ja) * | 2005-11-18 | 2007-06-07 | Nikon Corp | 多層膜反射鏡及び露光装置 |
JP2007183120A (ja) * | 2006-01-05 | 2007-07-19 | Canon Inc | 多層膜ミラー、製造方法、露光装置及びデバイス製造方法 |
JP2007198782A (ja) * | 2006-01-24 | 2007-08-09 | Nikon Corp | 多層膜反射鏡及び露光装置 |
JP2008270808A (ja) * | 2007-04-23 | 2008-11-06 | Nikon Corp | 多層膜反射鏡、露光装置、デバイス製造方法、多層膜反射鏡の製造方法 |
JP2010045355A (ja) * | 2008-08-14 | 2010-02-25 | Asml Netherlands Bv | 放射源、リソグラフィ装置、および、デバイス製造方法 |
JP2010514203A (ja) * | 2006-12-22 | 2010-04-30 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | パターニングデバイス、パターニングデバイスを提供する方法、フォトリソグラフィ装置、および、デバイス製造方法 |
JP2011007501A (ja) * | 2009-06-23 | 2011-01-13 | Canon Inc | 多層膜ミラー |
JP2011022012A (ja) * | 2009-07-16 | 2011-02-03 | Canon Inc | 光学素子 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6319635B1 (en) * | 1999-12-06 | 2001-11-20 | The Regents Of The University Of California | Mitigation of substrate defects in reticles using multilayer buffer layers |
US6821682B1 (en) * | 2000-09-26 | 2004-11-23 | The Euv Llc | Repair of localized defects in multilayer-coated reticle blanks for extreme ultraviolet lithography |
US6844272B2 (en) * | 2002-03-01 | 2005-01-18 | Euv Limited Liability Corporation | Correction of localized shape errors on optical surfaces by altering the localized density of surface or near-surface layers |
JP2005019628A (ja) | 2003-06-25 | 2005-01-20 | Nikon Corp | 光学装置、露光装置、並びにデバイス製造方法 |
US7230695B2 (en) * | 2004-07-08 | 2007-06-12 | Asahi Glass Company, Ltd. | Defect repair device and defect repair method |
DE102004062289B4 (de) * | 2004-12-23 | 2007-07-19 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Thermisch stabiler Multilayer-Spiegel für den EUV-Spektralbereich |
FR2884965B1 (fr) * | 2005-04-26 | 2007-06-08 | Commissariat Energie Atomique | Structure de blanc de masque ajustable pour masque euv a decalage de phase |
JP2006308483A (ja) | 2005-04-28 | 2006-11-09 | Canon Inc | 多層膜及び多層膜の製造方法 |
JP4343895B2 (ja) | 2005-12-01 | 2009-10-14 | キヤノン株式会社 | 軟x線用多層膜ミラー |
JP5432378B2 (ja) * | 2009-08-18 | 2014-03-05 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | Euvマイクロリソグラフィー用基板及びミラーとその製造方法 |
-
2011
- 2011-01-01 JP JP2011000004A patent/JP5340321B2/ja active Active
- 2011-12-21 US US13/332,582 patent/US9063277B2/en active Active
- 2011-12-30 DE DE102011090192.2A patent/DE102011090192B4/de active Active
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004532413A (ja) * | 2001-05-01 | 2004-10-21 | ザ・リージェンツ・オブ・ジ・ユニバーシティ・オブ・カリフォルニア | 極値紫外線リソグラフィー(euvl)の多層構造 |
JP2007109971A (ja) * | 2005-10-14 | 2007-04-26 | Hoya Corp | 多層反射膜付き基板、その製造方法、反射型マスクブランクおよび反射型マスク |
JP2007140147A (ja) * | 2005-11-18 | 2007-06-07 | Nikon Corp | 多層膜反射鏡及び露光装置 |
JP2007183120A (ja) * | 2006-01-05 | 2007-07-19 | Canon Inc | 多層膜ミラー、製造方法、露光装置及びデバイス製造方法 |
JP2007198782A (ja) * | 2006-01-24 | 2007-08-09 | Nikon Corp | 多層膜反射鏡及び露光装置 |
JP2010514203A (ja) * | 2006-12-22 | 2010-04-30 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | パターニングデバイス、パターニングデバイスを提供する方法、フォトリソグラフィ装置、および、デバイス製造方法 |
JP2008270808A (ja) * | 2007-04-23 | 2008-11-06 | Nikon Corp | 多層膜反射鏡、露光装置、デバイス製造方法、多層膜反射鏡の製造方法 |
JP2010045355A (ja) * | 2008-08-14 | 2010-02-25 | Asml Netherlands Bv | 放射源、リソグラフィ装置、および、デバイス製造方法 |
JP2011007501A (ja) * | 2009-06-23 | 2011-01-13 | Canon Inc | 多層膜ミラー |
JP2011022012A (ja) * | 2009-07-16 | 2011-02-03 | Canon Inc | 光学素子 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016006691A1 (ja) * | 2014-07-10 | 2016-01-14 | イビデン株式会社 | ミラー |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US9063277B2 (en) | 2015-06-23 |
DE102011090192B4 (de) | 2020-07-30 |
US20120170012A1 (en) | 2012-07-05 |
JP5340321B2 (ja) | 2013-11-13 |
DE102011090192A1 (de) | 2012-07-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5340321B2 (ja) | ミラーおよびその製造方法、露光装置、ならびに、デバイス製造方法 | |
JP5515235B2 (ja) | 多層膜反射鏡、照明光学系、投影光学系、露光装置、デバイス製造方法、多層膜反射鏡の製造方法 | |
JP5061903B2 (ja) | 多層膜反射鏡、多層膜反射鏡の製造方法、光学系、露光装置及びデバイスの製造方法 | |
US8937709B2 (en) | Reflective optical element for EUV lithography | |
JP5406602B2 (ja) | 多層ミラー及びリソグラフィ装置 | |
JP2007329368A (ja) | 多層膜ミラー、評価方法、露光装置及びデバイス製造方法 | |
US7628497B2 (en) | Mirror unit, method of producing the same, and exposure apparatus and method using the mirror unit | |
JP2002311198A (ja) | 多層膜反射鏡の製造方法 | |
US20040095662A1 (en) | Adjustment method and apparatus of optical system, and exposure apparatus | |
JP2010199503A (ja) | 光学素子、露光装置及びデバイス製造方法 | |
JP2017076150A (ja) | 光学素子、投影光学系、露光装置及びデバイス製造方法 | |
US7102734B2 (en) | Exposure apparatus | |
JP5305938B2 (ja) | 露光装置、光源装置及びデバイス製造方法 | |
JP2004080021A (ja) | 光学系の調整方法及び装置、露光装置 | |
JP2007107888A (ja) | 多層膜反射鏡、多層膜反射鏡の製造方法及び縮小投影露光装置 | |
JP2005049122A (ja) | 多層膜反射鏡及び露光装置 | |
JP2007140146A (ja) | 多層膜反射鏡及び露光装置 | |
TW202414071A (zh) | 用於euv微影之反射部件 | |
JPH09152500A (ja) | 多層膜x線反射鏡の製造方法及び製造装置 | |
JP2009141178A (ja) | Euv用ミラー及びそれを有するeuv露光装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121128 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130107 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130225 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130708 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130806 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5340321 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |