JP2012131147A - プラズマ装置、重合膜生成および表面改質の方法、ノズルプレート、インクジェットヘッド、インクジェットプリンター - Google Patents
プラズマ装置、重合膜生成および表面改質の方法、ノズルプレート、インクジェットヘッド、インクジェットプリンター Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012131147A JP2012131147A JP2010285971A JP2010285971A JP2012131147A JP 2012131147 A JP2012131147 A JP 2012131147A JP 2010285971 A JP2010285971 A JP 2010285971A JP 2010285971 A JP2010285971 A JP 2010285971A JP 2012131147 A JP2012131147 A JP 2012131147A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- film
- plasma
- potential
- nozzle plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
【解決手段】プラズマ装置30は、内部の圧力およびガス雰囲気を調整可能なチャンバー31と、電力を供給する高周波電源34と、チャンバー31内に設けられ、高周波電源34に接続された高周波電極33およびアース38に接続されノズルプレート20を載置するための接地電極36を有する放電電極と、を備え、アース38と接地電極36との間に、可変コイル40aおよび可変コンデンサー40bを有する電位制御部40をさらに備えていること、を特徴とする。
【選択図】図2
Description
(実施形態)
Claims (8)
- 内部の圧力およびガス雰囲気を調整可能なチャンバーと、
電力を供給する高周波電源と、
前記チャンバー内に設けられ、前記高周波電源に接続された第1電極およびアースに接続された第2電極を有し、前記第1電極または前記第2電極のいずれかに被処理物を載置可能な放電電極と、を備え、
前記アースと前記第2電極との間に電位制御部をさらに備えていること、を特徴とするプラズマ装置。 - 請求項1に記載のプラズマ装置において、
前記電位制御部は、可変コイルおよび可変コンデンサーを有すること、を特徴とするプラズマ装置。 - 請求項1または2に記載のプラズマ装置において、
前記電位制御部は、
前記第2電極の電位を制御して、前記チャンバー内に載置された前記被処理物の表面に重合膜を生成する成膜処理と、
前記第2電極の電位を前記成膜処理の場合とは異なる制御をして、前記重合膜の表面を改質する表面改質処理と、をするための制御を少なくとも行なうこと、を特徴とするプラズマ装置。 - 内部の圧力およびガス雰囲気を調整可能なチャンバーと、電力を供給する高周波電源と、前記チャンバー内に設けられ、前記高周波電源に接続された第1電極およびアースに接続された第2電極を有する放電電極と、前記アースと前記第2電極との間に設けられた電位制御部と、を備えたプラズマ装置を用い、前記プラズマ装置の前記第1電極または前記第2電極へ被処理物を載置する載置ステップと、
前記電位制御部により、前記第2電極の電位を制御して、前記チャンバー内に載置された前記被処理物の表面へ重合膜を生成する成膜処理ステップと、
前記電位制御部により、前記第2電極の電位を前記成膜処理ステップとは異なる制御をして、前記重合膜の表面を改質する表面改質処理ステップと、を有していること、を特徴とする重合膜生成および表面改質の方法。 - 請求項4に記載の重合膜生成および表面改質の方法において、
前記成膜処理ステップおよび前記表面改質処理ステップでは、前記電位制御部が可変コイルおよび可変コンデンサーを有すること、を特徴とする重合膜生成および表面改質の方法。 - 請求項4または5に記載の重合膜生成および表面改質の方法によって、重合膜の生成および前記重合膜の表面の改質がなされ、前記改質がなされた前記表面に撥液膜をさらに有していること、を特徴とするノズルプレート。
- 請求項6に記載のノズルプレートを備えていること、を特徴とするインクジェットヘッド。
- 請求項6に記載のノズルプレートを備えていること、を特徴とするインクジェットプリンター。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010285971A JP2012131147A (ja) | 2010-12-22 | 2010-12-22 | プラズマ装置、重合膜生成および表面改質の方法、ノズルプレート、インクジェットヘッド、インクジェットプリンター |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010285971A JP2012131147A (ja) | 2010-12-22 | 2010-12-22 | プラズマ装置、重合膜生成および表面改質の方法、ノズルプレート、インクジェットヘッド、インクジェットプリンター |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012131147A true JP2012131147A (ja) | 2012-07-12 |
JP2012131147A5 JP2012131147A5 (ja) | 2013-12-26 |
Family
ID=46647312
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010285971A Withdrawn JP2012131147A (ja) | 2010-12-22 | 2010-12-22 | プラズマ装置、重合膜生成および表面改質の方法、ノズルプレート、インクジェットヘッド、インクジェットプリンター |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2012131147A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021111737A (ja) * | 2020-01-15 | 2021-08-02 | セイコーエプソン株式会社 | 圧粉磁心の製造方法および圧粉磁心 |
JP2021163913A (ja) * | 2020-04-02 | 2021-10-11 | セイコーエプソン株式会社 | 圧粉磁心の製造方法および圧粉磁心 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04229277A (ja) * | 1990-04-30 | 1992-08-18 | Xerox Corp | 塗被方法 |
JPH0649243A (ja) * | 1992-07-27 | 1994-02-22 | Nippon Steel Corp | プラズマ表面処理装置 |
JP2004351923A (ja) * | 2003-05-07 | 2004-12-16 | Seiko Epson Corp | 撥液膜被覆部材、液体噴出装置の構成部材、液体噴出ヘッドのノズルプレート、液体噴出ヘッドおよび液体噴出装置 |
JP2009117592A (ja) * | 2007-11-06 | 2009-05-28 | Fujifilm Corp | ペロブスカイト型酸化物、強誘電体膜、強誘電体素子、及び液体吐出装置 |
JP2010138485A (ja) * | 2008-11-17 | 2010-06-24 | Fujifilm Corp | 成膜方法、成膜装置、圧電体膜、圧電素子、液体吐出装置、及び圧電型超音波振動子 |
-
2010
- 2010-12-22 JP JP2010285971A patent/JP2012131147A/ja not_active Withdrawn
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04229277A (ja) * | 1990-04-30 | 1992-08-18 | Xerox Corp | 塗被方法 |
JPH0649243A (ja) * | 1992-07-27 | 1994-02-22 | Nippon Steel Corp | プラズマ表面処理装置 |
JP2004351923A (ja) * | 2003-05-07 | 2004-12-16 | Seiko Epson Corp | 撥液膜被覆部材、液体噴出装置の構成部材、液体噴出ヘッドのノズルプレート、液体噴出ヘッドおよび液体噴出装置 |
JP2009117592A (ja) * | 2007-11-06 | 2009-05-28 | Fujifilm Corp | ペロブスカイト型酸化物、強誘電体膜、強誘電体素子、及び液体吐出装置 |
JP2010138485A (ja) * | 2008-11-17 | 2010-06-24 | Fujifilm Corp | 成膜方法、成膜装置、圧電体膜、圧電素子、液体吐出装置、及び圧電型超音波振動子 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021111737A (ja) * | 2020-01-15 | 2021-08-02 | セイコーエプソン株式会社 | 圧粉磁心の製造方法および圧粉磁心 |
JP7413786B2 (ja) | 2020-01-15 | 2024-01-16 | セイコーエプソン株式会社 | 圧粉磁心の製造方法および圧粉磁心 |
JP2021163913A (ja) * | 2020-04-02 | 2021-10-11 | セイコーエプソン株式会社 | 圧粉磁心の製造方法および圧粉磁心 |
JP7447640B2 (ja) | 2020-04-02 | 2024-03-12 | セイコーエプソン株式会社 | 圧粉磁心の製造方法および圧粉磁心 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5526810B2 (ja) | ゾルゲル液、電気−機械変換素子、液体吐出ヘッド及びインクジェット記録装置 | |
JP2013154315A (ja) | 薄膜形成装置、薄膜形成方法、電気−機械変換素子、液体吐出ヘッド、およびインクジェット記録装置 | |
US8128202B2 (en) | Nozzle plate, method for manufacturing nozzle plate, droplet discharge head, and droplet discharge device | |
US8262837B2 (en) | Bonding method, bonded structure, liquid droplet discharging head, and liquid droplet discharging apparatus | |
JP2012256756A (ja) | 電気−機械変換膜の形成方法、電気−機械変換膜、電気−機械変換素子、液体吐出ヘッドおよび画像形成装置 | |
EP3653386B1 (en) | Inkjet head, inkjet recording device and method for producing an inkjet head | |
JP5772039B2 (ja) | 電気機械変換膜の製造方法および電気機械変換素子の製造方法 | |
TWI295634B (en) | Nozzle plate producing method, nozzle plate, liquid droplet ejecting head and liquid droplet ejecting apparatus | |
JP2013143456A (ja) | 電気−機械変換素子、液体吐出ヘッド、液滴吐出装置および画像形成装置 | |
JP4041945B2 (ja) | ヘッド部材及び撥インク処理方法並びに処理装置 | |
JP2013077793A (ja) | 電気機械変換素子の製造方法 | |
JP2009132140A (ja) | 液滴吐出ヘッドおよび液滴吐出装置 | |
JP2012131147A (ja) | プラズマ装置、重合膜生成および表面改質の方法、ノズルプレート、インクジェットヘッド、インクジェットプリンター | |
US8029110B2 (en) | Droplet ejection head and droplet ejection apparatus | |
JP6611442B2 (ja) | 液体吐出ヘッドのクリーニング方法 | |
JP4393730B2 (ja) | インクジェットヘッド | |
US10926540B2 (en) | Liquid discharge head, liquid discharge device, liquid discharge apparatus, method for manufacturing liquid discharge head | |
JP6965796B2 (ja) | 積層体の製造方法、積層体、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット及び液体を吐出する装置 | |
JP2010095594A (ja) | 接合方法および接合体 | |
JP2004330604A (ja) | ノズルプレートの撥液膜形成方法及びノズルプレート並びにインクジェットプリンタヘッド | |
JPH08156276A (ja) | インクジェット記録装置用インクチューブおよびその内管面処理法 | |
JP2014141602A (ja) | 基材と他の基材との接合に用いられる接合膜、接合膜の形成方法、接合体、液滴吐出ヘッドおよび液滴吐出装置 | |
JP2004330793A (ja) | 微細孔内フッ素樹脂除去方法及び除去装置 | |
JP2010260982A (ja) | 接合方法および接合体 | |
JP2009285886A (ja) | 接合膜付き基材および接合体 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131107 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20131107 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20141125 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20150106 |
|
A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20150121 |