JP2012093429A - 放射線画像撮影用グリッド及びその製造方法、並びに、放射線画像撮影システム - Google Patents
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Abstract
【課題】放射線吸収損失の少ない放射線透過部を備えたグリッドを提供する。
【解決手段】X線源とX線画像検出器との間に第1及び第2のグリッドが配置される。第1及び第2のグリッドは、X線吸収部の幅、ピッチ、厚さが異なる以外は同様の構成である。第2のグリッド14は、複数のX線吸収部14a及びX線透過部14bからなるグリッド層20と、グリッド層20を支持する支持層21とからなる。X線吸収部13a及びX線透過部13bは、一方向に沿って交互に配列されている。X線透過部14bの内部には、X線吸収損失を低減させるために、空気が封入された空洞22が形成されている。
【選択図】図3
【解決手段】X線源とX線画像検出器との間に第1及び第2のグリッドが配置される。第1及び第2のグリッドは、X線吸収部の幅、ピッチ、厚さが異なる以外は同様の構成である。第2のグリッド14は、複数のX線吸収部14a及びX線透過部14bからなるグリッド層20と、グリッド層20を支持する支持層21とからなる。X線吸収部13a及びX線透過部13bは、一方向に沿って交互に配列されている。X線透過部14bの内部には、X線吸収損失を低減させるために、空気が封入された空洞22が形成されている。
【選択図】図3
Description
本発明は、X線等の放射線を用いた放射線画像撮影用グリッド及びその製造方法、並びに、放射線画像撮影システムに関する。
X線は、物体に入射したとき、相互作用により強度及び位相が変化し、位相変化(角度変化)が強度変化よりも大きいことが知られている。このX線の性質を利用し、被検体によるX線の位相変化に基づいて、X線吸収能が低い被検体から高コントラストの画像(以下、位相コントラスト画像と称する)を得るX線位相イメージングの研究が盛んに行われている。
X線位相イメージングの一種として、2枚の透過型の回折格子(グリッド)によるタルボ干渉効果を用いたX線画像撮影システムが考案されている(例えば、特許文献1、非特許文献1参照)。このX線画像撮影システムは、X線源から見て、被検体の背後に第1のグリッドを配置し、第1のグリッドからタルボ干渉距離だけ下流に第2のグリッドを配置している。第2のグリッドの背後には、X線を検出して画像を生成するX線画像検出器が配置されている。第1及び第2のグリッドは、一方向に延伸されたX線吸収部及びX線透過部を、延伸方向に直交する配列方向に沿って交互に配列した縞状のグリッドである。タルボ干渉距離とは、第1のグリッドを通過したX線が、タルボ干渉効果によって自己像(縞画像)を形成する距離である。タルボ干渉効果によって形成された縞画像は、被検体とX線との相互作用(位相変化)により変調を受けている。
上記X線画像撮影システムでは、第1のグリッドの自己像と第2のグリッドとの重ね合わせ(強度変調)により生じるモアレ縞を、縞走査法により検出し、被検体によるモアレ縞の変化から被検体の位相情報を取得する。この縞走査法とは、第1のグリッドに対して第2のグリッドを、第1のグリッドの面にほぼ平行で、かつ第1のグリッドの格子方向(条帯方向)にほぼ垂直な方向に、格子ピッチを等分割した走査ピッチで並進移動させながら複数回の撮影を行い、X線画像検出器で得られる各画素値の変化から、被検体で屈折したX線の角度分布(位相シフトの微分像)を取得する方法であり、この角度分布に基づいて被検体の位相コントラスト画像を得る。この縞走査法は、レーザ光を利用した撮影装置においても用いられている(例えば、非特許文献2参照)。
第1及び第2のグリッドのX線吸収部は、高いX線吸収性が求められる。特に第2のグリッドは、縞画像を確実に強度変調させるため、第1のグリッドよりも高いX線吸収性を必要とする。そのため、第1及び第2のグリッドのX線吸収部は、原子量の重い金(Au)で形成され、第2のグリッドのX線吸収部は、X線の進行方向に対して比較的大きな厚みを有すること(高アスペクト比であること)が必要とされている。このような第2のグリッドは、例えば、X線吸収部のピッチが数μm、X線の進行方向の厚みが数十〜百数十μmという微細な構造を有する。
一方の第1及び第2のグリッドのX線透過部は、X線吸収損失が小さいことが求められる。このX線透過部として、例えば、酸化シリコン、樹脂、LPDセラミックス等の絶縁物を用いることが知られている(特許文献1参照)。また、X線吸収部を所定間隔でスペースを空けて配置することにより、隣接するX線吸収部の間を空隙とすることが知られている(特許文献2参照)。
C. David, et al., Applied Physics Letters, Vol.81, No.17, 2002年10月,3287頁
Hector Canabal, et al., Applied Optics, Vol.37, No.26, 1998年9月,6227頁
しかしながら、特許文献1に記載のように、X線透過部として酸化シリコンやLPDセラミックスを用いると、これらの材料にはX線吸収性があるためX線吸収損失が発生する。樹脂は、酸化シリコンやLPDセラミックスと比べてX線吸収性は低いがゼロではないため、やはりX線吸収損失が発生する。
また、特許文献2に記載のように、隣接するX線吸収部の間を空隙とすると、X線吸収部は、幅が数μm、厚さが100μm程度という高アスペクト比であるため、幅方向に倒れが生じ、グリッド性能が劣化するといった問題があり現実的でない。
本発明の目的は、X線等の放射線を用いた放射線画像撮影用グリッドに関し、放射線吸収損失の少ない放射線透過部を備えた放射線画像撮影用グリッド及びその製造方法、並びに、この放射線画像撮影用グリッドを用いた放射線画像撮影システムを提供することにある。
本発明の放射線画像撮影用グリッドは、放射線吸収材からなる複数の放射線吸収部と、空洞を有する放射線透過材からなり、放射線吸収部と交互に配置された複数の放射線透過部と、を備える。
空洞は、放射線透過材に分散された気泡であってもよい。また、空洞は、放射線透過材に分散された中空ビーズであってもよい。これらの場合、放射線透過材は、樹脂ペーストからなることが好ましい。
放射線吸収部と放射線透過部との間に補強層を設けてもよい。また、放射線透過部と一体に形成された支持層を設けてもよい。
放射線吸収部及び放射線透過部は、それぞれ一方向に延伸されかつ延伸方向に直交する方向に沿って交互に配置されるよう構成してもよい。
また、本発明の放射線画像撮影用グリッドの製造方法は、ベース基板の表面にシーズ層を形成するシーズ層形成工程と、エッチングマスクを介して、シーズ層側からベース基板にエッチングを行い、第1の溝を形成する第1エッチング工程と、第1の溝に、空洞が形成されるように放射線透過材を積層して放射線透過部を形成する積層工程と、放射線透過部をエッチングマスクとして、第1エッチング工程とは反対方向からエッチングを行うことにより放射線透過部の間のベース基板を除去し、シーズ層が底部に位置する第2の溝を形成する第2エッチング工程と、シーズ層を電極とした電解メッキ法により、第2の溝に放射線吸収材料を充填して放射線吸収部を形成するメッキ工程と、を備える。
さらに、本発明の放射線画像撮影システムは、放射線源から放射された放射線を通過させて縞画像を生成する第1のグリッドと、縞画像の周期パターンに対して位相が異なる複数の相対位置で縞画像に強度変調を与える第2のグリッドと、第2のグリッドにより各相対位置で強度変調された縞画像を検出する放射線画像検出器とを有する放射線画像撮影システムであって、第1及び第2のグリッドの少なくとも一方に、上記いずれかの放射線画像撮影用グリッドを用いる。
本発明の放射線画像撮影用グリッドは、放射線透過部にX線吸収性が低い空洞が設けられているので、放射線透過部での放射線吸収損失を低減することができる。また、本発明の放射線画像撮影システムは、上記のような放射線透過部での放射線吸収損失が小さいグリッドを用いるので、縞画像のコントラストが向上し、高画質の位相コントラスト画像を得ることができる。
[第1実施形態]
図1は、第1実施形態のX線画像撮影システム10を示す概念図である。X線画像撮影システム10は、X線源11、第1のグリッド13、第2のグリッド14、及びX線画像検出器15を備えている。X線源11は、例えば、回転陽極型のX線管と、X線の照射野を制限するコリメータとを有し、被検体HにX線を放射する。第1のグリッド13及び第2のグリッド14は、X線を吸収する吸収型グリッドであり、X線照射方向であるz方向においてX線源11に対向配置されている。X線源11と第1のグリッド13との間には、被検体Hが配置可能な間隔が設けられている。X線画像検出器15は、例えば、半導体回路を用いたフラットパネル検出器(FPD:Flat Panel Detector)であり、第2のグリッド14の背後に配置されている。
図1は、第1実施形態のX線画像撮影システム10を示す概念図である。X線画像撮影システム10は、X線源11、第1のグリッド13、第2のグリッド14、及びX線画像検出器15を備えている。X線源11は、例えば、回転陽極型のX線管と、X線の照射野を制限するコリメータとを有し、被検体HにX線を放射する。第1のグリッド13及び第2のグリッド14は、X線を吸収する吸収型グリッドであり、X線照射方向であるz方向においてX線源11に対向配置されている。X線源11と第1のグリッド13との間には、被検体Hが配置可能な間隔が設けられている。X線画像検出器15は、例えば、半導体回路を用いたフラットパネル検出器(FPD:Flat Panel Detector)であり、第2のグリッド14の背後に配置されている。
第1のグリッド13は、z方向に直交する面内の一方向であるy方向に延伸された複数のX線吸収部13a及びX線透過部13bを備えている。X線吸収部13a及びX線透過部13bは、z方向及びy方向に直交するx方向に沿って交互に配列されており、縞状のグリッドを構成している。第2のグリッド14は、第1のグリッド13と同様にy方向に延伸され、かつx方向に沿って交互に配列された複数のX線吸収部14a及びX線透過部14bを備えている。
第2のグリッド14を例にして、グリッドの構成を説明する。なお、第1のグリッド13は、X線吸収部13aのx方向の幅及びピッチと、z方向の厚さ等が異なる以外は第2のグリッド14とほぼ同様の構成である。そのため、第1のグリッド13についての詳しい説明は省略する。
図2は、第2のグリッド14をX線源11の側から見た平面図である。図3は、図2のA−A断面を表している。第2のグリッド14は、複数のX線吸収部14a及びX線透過部14bからなるグリッド層20と、グリッド層20を支持する支持層21とからなる。X線吸収部14aは、例えば金(Au)、白金(Pt)等のX線吸収性を有する金属からなる。
X線透過部14b及び支持層21は、窒化シリコン(SiN)等のX線透過性を有する材質からなる。X線透過部14bの内部には、X線吸収損失を低減させるために、X線吸収性が低い空気が封入された空洞22が形成されている。空洞22は、X線画像検出器15の1画素(約150μm角)に対応する領域内において、X線透過部14bの体積の1/10以上を占めることが好ましい。なお、空洞22には、空気に限られず、窒素、酸素、水素等の気体が封入されていてもよい。また、よりX線吸収損失を低減させるために、空洞22内が減圧されていることも好ましい。
X線吸収部14aのx方向の幅W2及び配列ピッチP2は、X線源11と第1のグリッド13との間の距離、第1のグリッド13と第2のグリッド14との距離、及び第1のグリッド13のX線吸収部13aのピッチ等に応じて決定される。例えば、幅W2は、およそ2〜20μmであり、ピッチP2はその倍の4〜40μm程度である。X線吸収部14aのz方向の厚みT2は、X線源11から放射されるコーンビーム状のX線のケラレを考慮して、例えば100μm程度となっている。本実施形態の第2のグリッド14は、例えば幅W2が2.5μm、ピッチP2が5μm、厚みT2が100μmとなっている。
次に、X線画像撮影システム10の作用について説明する。X線源11から放射されたX線は、被検体Hを通過することにより位相差が生じ、このX線が第1のグリッド13を通過することにより、被検体Hの屈折率と透過光路長とから決定される被検体Hの透過位相情報を反映した縞画像が形成される。
縞画像は、第2のグリッド14により強度変調され、例えば、縞走査法により検出される。縞走査法とは、第1のグリッド13に対し第2のグリッド14を、X線焦点を中心としてグリッド面に沿ったx方向にグリッドピッチを等分割(例えば、5分割)した走査ピッチで並進移動させながら、X線源11から被検体HにX線を照射して複数回の撮影を行なってX線画像検出器15により検出し、X線画像検出器15の各画素の画素データの位相のズレ量(被検体Hがある場合とない場合とでの位相のズレ量)から位相微分像(被検体で屈折したX線の角度分布に対応)を取得する方法である。この位相微分像を上記の縞走査方向に沿って積分することにより、被検体Hの位相コントラスト画像を得ることができる。
次に、第2のグリッド14の製造方法について説明する。なお、第1のグリッド13は、第2のグリッド14と同様に製造されるので、詳しい説明は省略する。図4〜図12は、第2のグリッド14の製造手順を示しており、前述のx方向及びz方向で規定されるxz面に沿う断面図である。まず、図4に示すように、シリコン(Si)からなるベース基板30の表面に、スッパッタリングやCVD(Chemical Vapor Deposition)法によりAuからなるシーズ層31が形成される。
次の工程では、一般的なフォトリソグラフィ技術を用いて、ベース基板30の上面に、エッチングマスクが形成される。図5に示すように、シーズ層31の表面に、レジスト層32が形成される。レジスト層32は、例えば、液状レジストをスピンコート等の塗布方法によってシーズ層31の表面に塗布する工程と、塗布された液状レジストから有機溶剤を蒸発させるベーク等の工程を経て形成される。
図6に示すように、ピッチP2のラインパターンを有する縞模様の露光マスク33を介して、紫外線等の光がレジスト層32に照射される。次いで、図7に示すように、現像液によってレジスト層32の露光部分が除去される。これにより、ベース基板30には、y方向に延伸されかつx方向に沿って配列されたラインパターンを有する縞模様のエッチングマスク34が形成される。エッチングマスク34の各ラインパターンの幅及び開口部分の幅は、例えばそれぞれ2.5μmである。なお、上記レジスト層32は、ポジ型レジストであるが、ネガ型レジストを用いることも可能である。また、レジスト層によるエッチングマスクに代えて、金属などのからなるエッチングマスクを用いることも可能である。
次いで、図8に示すように、エッチングマスク34を介したドライエッチングにより、シーズ層31からベース基板30にわたって、y方向に延伸されかつx方向に配列された複数の溝35を形成する。この後、アッシングによりエッチングマスク34を除去する。ドライエッチングには、深くアスペクト比の高い溝35が形成可能な深堀用のドライエッチングが用いられる。深堀用のドライエッチングには、例えば、エッチングと保護膜の成膜とを交互に繰り返して行うボッシュプロセスと呼ばれる方法が用いられる。
ボッシュプロセスでは、例えば、シリコンをエッチングするガスSF6と、保護膜を形成するガスC4F8とを用いてエッチングを行なう。SF6ガスでエッチングすると深さ方向だけでなく横方向にもエッチングが進むため、これだけでは深い穴や溝を形成することができない。そのため、ボッシュプロセスでは、ある時問エッチングした後でガスをC4F8に切り換えることにより、プラズマにより生成されるCFnのポリマーをエッチングされた溝内に付着させて膜を作る。そして、再びエッチング用のSF6ガスによりエッチングを行う。溝内をエッチングする際に、底面に比べ側面のエッチング速度は低いため、底面だけがエッチングされる。これを繰り返すことで深くアスペクトの高い溝を形成することができる。
上記ボッシュプロセスのエッチング条件は、例えば、ガス圧力が1〜10Pa、SF6とC4F8とのガスの切り換え間隔が5〜10s程度、パワーが600Wである。この条件でのエッチング速度は、例えば2μm/minであり、溝35の深さT2は100μmである。このエッチングではプラズマを高密度に作ることが重要である。この方法としてICP(Inductively Coupling Plasma)や、へリコン波など様々な方法がある。なお、上記エッチングには、ドライエッチングに限られず、シリコン単結晶の面方位に起因したウェットエッチングを用いることも可能である。
次いで、図9に示すように、CVD法により、各溝35に、窒化シリコン(SiN)からなる絶縁性のX線透過材36が積層される。X線透過材36は、各溝35に充填されるが、各溝35は深くアスペクト比が高いため、空洞22が形成される。この空洞22は、CVD法によるX線透過材36の積層速度を一般的な速度よりも高めると生じやすくなる。したがって、X線透過材36の積層速度を制御することにより、空洞22の大きさを調整することが可能である。
溝35に充填されたX線透過材36が前述のX線透過部14bを構成する。また、X線透過材36は、各溝35に充填されるだけでなく、シーズ層31を覆うように全面に積層され、前述の支持層21を構成している。空洞22は、必ずしもy方向に連続でなく、製造条件等によりランダムに分断される。
次の工程では、図10に示すように、上下を反転させ、CMP(Chemical Mechanical Polishing)法により、ベース基板30の表面を研摩して平坦化し、X線透過材36を露呈させる。次いで、図11に示すように、ドライエッチングにより、X線透過材36をエッチングマスクとして、ベース基板30をエッチングして除去する。これにより、X線透過部14bの間に溝37が形成され、溝37の底部にはシーズ層31が露呈される。このようにX線透過材36をエッチングマスクとしてベース基板30をエッチングするには、X線透過材36のエッチングレートが、ベース基板30のエッチングレートより遅い必要がある。X線透過材36及びベース基板30の材料は、本工程のドライエッチングにおける選択比(エッチングレートの比)に基づいて決定すればよい。
図12に示すように、次の工程では、シーズ層31を電極とした電解メッキ法により、溝37内に金(Au)からなるX線吸収材38が埋め込まれる。シーズ層31及びX線吸収材38が、前述のX線吸収部14aを構成する。この電解メッキでは、シーズ層31に電流端子が取り付けられる。図示は省略するが、電流端子の取り付けが一箇所で済むように、シーズ層31を溝37の外部で共通に接続しておくことが好ましい。
この電解メッキでは、図11のX線透過材36及びシーズ層31からなる構造体がメッキ液中に浸漬され、シーズ層31に対向して陽極が配置される。そして、シーズ層31と陽極との間に電流が流されることにより、メッキ溶液中の金属イオンが析出され、溝37内にAuが埋め込まれる。Auの電解メッキには、例えばシアン金浴ではメッキ液としてKAu(CN)2が用いられ、pH緩衝材としてKH2PO4、KOHを添加することにより、pHが6〜8とされる。そして、メッキ液の温度を25〜70°C、電流密度を0.2〜1A/cm2とし、陽極材として、PtメッキされたTiを用いる。なお、上記Auメッキの諸条件は一例であり、Auメッキは他のメッキ液、条件でも可能である。
以上の工程により、グリッド層20と支持層21とからなる第2のグリッド14が完成する。なお、上記実施形態では、X線透過材36としてSiNを用いているが、これに限られず、ポリイミド、ポリパラキシリレン等の有機材料や、SiO2、SiC等の無機材料を用いることができる。また、空洞22内を減圧するには、減圧された環境下でCVD法によるX線透過材36の成膜を行なえばよい。
以下では、本発明のその他の実施形態について説明する。なお、以下の各実施形態では、既に説明済みの実施形態と同じ構成については、同符号を用いて詳しい説明は省略する。また、以下の各実施形態においても、第1のグリッドは、グリッドピッチ及び厚さ等が異なる以外は、第2のグリッドと同様の構成及び製造方法を用いるため、詳しい説明は省略する。
[第2実施形態]
図13は、本実施形態の第2のグリッド40を、xz面に沿って切断した断面を示している。第2のグリッド40は、グリッド層41と支持層21とからなる。グリッド層41は、x方向に沿って交互に配列されたX線吸収部14a及びX線透過部14bと、X線吸収部14aとX線透過部14bとの間に形成された補強層42とからなる。補強層42は、X線吸収部14aと支持層21との間にも形成されている。
図13は、本実施形態の第2のグリッド40を、xz面に沿って切断した断面を示している。第2のグリッド40は、グリッド層41と支持層21とからなる。グリッド層41は、x方向に沿って交互に配列されたX線吸収部14a及びX線透過部14bと、X線吸収部14aとX線透過部14bとの間に形成された補強層42とからなる。補強層42は、X線吸収部14aと支持層21との間にも形成されている。
補強層42は、X線透過性及び剛性を有する材料が好ましく、例えば、SiO2からなる。X線透過部14bを樹脂等の有機材で形成した場合には、X線透過部14bが変形する可能性がある。補強層42は、X線透過部14bの形状を維持し、変形を防止可能な剛性を備える。また、補強層42は、X線吸収部14aが、X線透過部14bを構成する有機材によって腐食することを防止する。
第2のグリッド40を製造するには、第1実施形態の第2のグリッド14の製造方法において、図8の工程と図9の工程との間に、溝35の底面及び側壁とシーズ層31の表面とを覆うように補強層42を形成する工程を追加すればよい。補強層42の形成は、CVD法を用いて行なわれる。その他の点については、第1実施形態の製造方法と同一であるので、詳しい説明は省略する。
[第3実施形態]
図14は、本実施形態の第2のグリッド50を、xz面に沿って切断した断面を示している。第2のグリッド50は、グリッド層51と支持層52とからなり、グリッド層51は、x方向に沿って交互に配列されたX線吸収部14a及びX線透過部53によって構成されている。X線透過部53及び支持層52は、X線透過性を有する樹脂ペーストにより形成されている。この樹脂ペーストは、例えば、アクリル樹脂からなり、X線吸収性が低い気泡53aが分散されている。
図14は、本実施形態の第2のグリッド50を、xz面に沿って切断した断面を示している。第2のグリッド50は、グリッド層51と支持層52とからなり、グリッド層51は、x方向に沿って交互に配列されたX線吸収部14a及びX線透過部53によって構成されている。X線透過部53及び支持層52は、X線透過性を有する樹脂ペーストにより形成されている。この樹脂ペーストは、例えば、アクリル樹脂からなり、X線吸収性が低い気泡53aが分散されている。
第2のグリッド50を製造するには、第1実施形態の第2のグリッド14の製造方法の図9の工程において、CVD法でX線透過材36を溝35に積層する代わりに、気泡53aを含有した樹脂ペーストを溝35にペーストし、これを乾燥させればよい。この気泡53aは、溶剤に樹脂材料を分散させて樹脂ペーストを生成し、これに空気を混入させるように撹拌することで、形成することができる。その他の点については、第1実施形態の製造方法と同一であるので、詳しい説明は省略する。
なお、第2実施形態と同様に、X線吸収部14aとX線透過部53との間に補強層を形成してもよい。また、本実施形態では、気泡53aを分散させた樹脂ペーストを用いているが、これに代えて、中空の樹脂ビーズを分散させた樹脂ペーストを用いてもよい。この場合には、樹脂ペーストを泡立てる必要がないため、製造が容易となる。
[その他の実施形態]
上記各実施形態では、X線透過部に空洞を形成しているが、この空洞のxy面における面内分布については言及されていない。空洞の面内分布を均一にすることが好ましいが、グリッドの中央部分よりも周縁部分に空洞を多く分布させてもよい。この場合、グリッドの中央部分から周縁部分に向かうに連れてX線透過部53のX線透過率が向上する。X線源11から放射されるX線は、コーンビームであり、グリッドの中央部分から周縁部分に向かうに連れて強度が低下するため、グリッドのX線透過部53を透過するX線の強度分布は、上記X線透過率の分布により相殺され、ほぼ一定となる。
上記各実施形態では、X線透過部に空洞を形成しているが、この空洞のxy面における面内分布については言及されていない。空洞の面内分布を均一にすることが好ましいが、グリッドの中央部分よりも周縁部分に空洞を多く分布させてもよい。この場合、グリッドの中央部分から周縁部分に向かうに連れてX線透過部53のX線透過率が向上する。X線源11から放射されるX線は、コーンビームであり、グリッドの中央部分から周縁部分に向かうに連れて強度が低下するため、グリッドのX線透過部53を透過するX線の強度分布は、上記X線透過率の分布により相殺され、ほぼ一定となる。
また、グリッドの周縁部分に空洞が多すぎると、グリッドの機械的強度が低下するという問題が考えられるため、逆に、グリッドの周縁部分よりも中央部分に空洞を多く分布させてもよい。
上記各実施形態は、第1及び第2のグリッドを例に本発明を説明したが、本発明は、X線源11の射出側に線源グリッドを設けた場合に、その線源グリッドに適用することも可能である。
また、第1及び第2のグリッドを、そのX線透過部を通過したX線を線形的に投影するように構成しているが、本発明はこの構成に限定されるものではなく、X線透過部でX線を回折することにより、いわゆるタルボ干渉効果が生じる構成(特許第4445397号公報等に記載の構成)としてもよい。ただし、この場合には、第1及び第2のグリッドの間の距離をタルボ干渉距離に設定する必要がある。また、この場合には、第1のグリッドを吸収型グリッドに代えて、位相型グリッドを用いることが可能であり、第1のグリッドに代えて用いた位相型グリッドは、タルボ干渉効果により生じる縞画像(自己像)を、第2のグリッドに射影する。
さらに、上記実施形態では、被検体HをX線源と第1のグリッドとの間に配置しているが、被検体Hを第1のグリッドと第2のグリッドとの間に配置してもよい。この場合にも同様に位相コントラスト画像の生成が可能である。
以上説明した実施形態は、医療診断用の放射線画像撮影システムのほか、工業用や、非破壊検査等のその他の放射線撮影システムに適用することが可能である。また、本発明は、X線撮影において散乱線を除去する散乱線除去用グリッドにも適用可能である。更に、本発明は、放射線として、X線以外にガンマ線等を用いることも可能である。
10 X線画像撮影システム
11 X線源
13 第1のグリッド
14 第2のグリッド
14a X線吸収部
14b X線透過部
15 X線画像検出器
20 グリッド層
21 支持層
22 空洞
30 ベース基板
31 シーズ層
32 レジスト層
33 露光マスク
34 エッチングマスク
35 溝(第1の溝)
36 X線透過材
37 溝(第2の溝)
38 X線吸収材
42 補強層
53a 気泡
11 X線源
13 第1のグリッド
14 第2のグリッド
14a X線吸収部
14b X線透過部
15 X線画像検出器
20 グリッド層
21 支持層
22 空洞
30 ベース基板
31 シーズ層
32 レジスト層
33 露光マスク
34 エッチングマスク
35 溝(第1の溝)
36 X線透過材
37 溝(第2の溝)
38 X線吸収材
42 補強層
53a 気泡
Claims (9)
- 放射線吸収材からなる複数の放射線吸収部と、
空洞を有する放射線透過材からなり、前記放射線吸収部と交互に配置された複数の放射線透過部と、
を備えることを特徴とする放射線画像撮影用グリッド。 - 前記空洞は、前記放射線透過材に分散された気泡からなることを特徴とする請求項1に記載の放射線画像撮影用グリッド。
- 前記空洞は、前記放射線透過材に分散された中空ビーズからなることを特徴とする請求項1に記載の放射線画像撮影用グリッド。
- 前記放射線透過材は、樹脂ペーストからなることを特徴とする請求項2または3に記載の放射線画像撮影用グリッド。
- 前記放射線吸収部と前記放射線透過部との間に補強層を備えることを特徴とする請求項1から4いずれか1項に記載の放射線画像撮影用グリッド。
- 前記放射線透過部と一体に形成された支持層を備えることを特徴とする請求項1から5いずれか1項に記載の放射線画像撮影用グリッド。
- 前記放射線吸収部及び前記放射線透過部は、それぞれ一方向に延伸されかつ前記延伸方向に直交する方向に沿って交互に配置されていることを特徴とする請求項1から6いずれか1項に記載の放射線画像撮影用グリッド。
- ベース基板の表面にシーズ層を形成するシーズ層形成工程と、
エッチングマスクを介して、前記シーズ層側から前記ベース基板にエッチングを行い、第1の溝を形成する第1エッチング工程と、
前記第1の溝に、空洞が形成されるように放射線透過材を積層して放射線透過部を形成する積層工程と、
前記放射線透過部をエッチングマスクとして、前記第1エッチング工程とは反対方向からエッチングを行うことにより前記放射線透過部の間の前記ベース基板を除去し、前記シーズ層が底部に位置する第2の溝を形成する第2エッチング工程と、
前記シーズ層を電極とした電解メッキ法により、前記第2の溝に放射線吸収材料を充填して放射線吸収部を形成するメッキ工程と、
を備えることを特徴とする放射線画像撮影用グリッドの製造方法。 - 放射線源から放射された放射線を通過させて縞画像を生成する第1のグリッドと、前記縞画像の周期パターンに対して位相が異なる複数の相対位置で前記縞画像に強度変調を与える第2のグリッドと、前記第2のグリッドにより前記各相対位置で強度変調された縞画像を検出する放射線画像検出器とを有する放射線画像撮影システムであって、
前記第1及び第2のグリッドの少なくとも一方に、請求項1から7いずれか1項に記載の放射線画像撮影用グリッドを用いたことを特徴とする放射線画像撮影システム。
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