JP2012093291A - 力覚センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1の本体部A1および第2の本体部A2と中間体Bとの間に弾性連結部9a〜9c、10a〜10cを設ける。これにより、本体部A1、A2を中間体Bを介して相対移動可能に連結し、第2の本体部A2に作用する外力の6方向の成分を、センサ基板13に搭載された検出電極14a〜14c、15a〜15cによって検出する。本体部A2に支持されたセンサ基板13のみに検出電極が設けられるため、中間体Bや本体部A1にまたがって複雑な配線を施す必要がない。
【選択図】図2
Description
2 本体下部
3 本体上部
4 上蓋
5 中間体下部
6 中間体上部
9a、9b、9c、10a、10b、10c 弾性連結部
13、24 センサ基板
14a、14b、14c、15a、15b、15c 検出電極
16a、16b、16c、17a、17b、17c 対象電極
22a、22b、22c 変位方向変換部材
33a、33b、33c、34a、34b、34c 受光素子
Claims (2)
- 基台に取付けられる第1の本体部と、
外力がかかる荷重導入部を構成する第2の本体部と、
前記第1の本体部と前記第2の本体部の間に配置された中間体と、
前記中間体と前記第1の本体部とをX方向およびY方向に相対変位自在に連結する第1の弾性連結部と、
前記中間体と前記第2の本体部とをZ方向に相対変位自在に連結する第2の弾性連結部と、
前記第1の本体部に対する、前記中間体または前記第2の本体部のX方向およびY方向の相対変位を検出する第1の変位検出手段と、
前記中間体に対する前記第2の本体部のZ方向の相対変位を検出する第2の変位検出手段と、
前記第1および前記第2の変位検出手段を搭載するセンサ基板と、を有することを特徴とする力覚センサ。 - 前記センサ基板は前記中間体に配設され、
前記Z方向の相対変位をX方向およびY方向の相対変位に変換して検出するための変位方向変換手段を備えたことを特徴とする請求項1に記載の力覚センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2010242171A JP5606270B2 (ja) | 2010-10-28 | 2010-10-28 | 力覚センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2010242171A JP5606270B2 (ja) | 2010-10-28 | 2010-10-28 | 力覚センサ |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2012093291A true JP2012093291A (ja) | 2012-05-17 |
JP5606270B2 JP5606270B2 (ja) | 2014-10-15 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5606270B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2023074781A1 (ja) * | 2021-10-27 | 2023-05-04 | キヤノン株式会社 | センサ、機器、システム、物品の製造方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6673979B2 (ja) * | 2018-05-28 | 2020-04-01 | ファナック株式会社 | 変位検出方式の力センサ |
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JP7096560B2 (ja) | 2018-07-02 | 2022-07-06 | フレキシブ リミテッド | 多軸力及びモーメントセンサ、該センサを備えるロボット |
WO2023074781A1 (ja) * | 2021-10-27 | 2023-05-04 | キヤノン株式会社 | センサ、機器、システム、物品の製造方法 |
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Publication number | Publication date |
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JP5606270B2 (ja) | 2014-10-15 |
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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A977 | Report on retrieval |
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