JP2021534426A - 多軸力及びモーメントセンサ、該センサを備えるロボット - Google Patents
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Abstract
Description
本願は米国特許法第119条(e)により、2018年07月02日に出願され、出願名称が「ROBUST SIX DEGREE OF FREEDOM FORCE AND TORQUE SENSOR WITH OVERLOAD PROTECTION」で出願番号が62/693030である米国特許出願に基づいて優先権を主張する。該米国特許出願の開示内容は、援用により本願に含まれている。
Claims (20)
- 第1の支持部材と、
第2の支持部材と、
前記第1の支持部材と前記第2の支持部材との間に接続され、複数の方向に加えられた外力及びモーメントに応じて歪むように構成される変形可能部品と、
磁石及びホール効果センサを含む複数の信号組と、を含み、
前記磁石は前記第1の支持部材と前記第2の支持部材のいずれか一方に取付けられており、
前記ホール効果センサは、前記第1の支持部材と前記第2の支持部材の他方に取付けられ、各々の磁石に対応する位置に配置されており、
前記複数の信号組は、磁石の着磁方向が異なることで、前記複数の信号組により異なる方向において前記第1の支持部材と前記第2の支持部材に加えられた力及びモーメントを測定することができる、
多軸力及びモーメントセンサ。 - 前記第1の支持部材は第1の盤と第3の盤とを含み、前記第2の支持部材は第2の盤と第4の盤とを含み、前記変形可能部品は第1の撓み部材と第2の撓み部材とを含み、
前記第1の盤と前記第2の盤は、前記第1の撓み部材により接続されているとともに、協同でアッパーセンサコンポーネントを構成し、前記第3の盤と前記第4の盤は、前記第2の撓み部材により接続されているとともに、協同でロアセンサコンポーネントを構成し、前記アッパーセンサコンポーネントは前記ロアセンサコンポーネント上に積層されており、
前記第1の盤、前記第2の盤、前記第3の盤及び前記第4の盤は互いに略平行に延在している、
ことを特徴とする請求項1に記載のセンサ。 - 前記複数の信号組は6つの信号組を含み、
前記6つの信号組のうち3つの信号組の磁石の着磁方向は、前記センサの周方向に平行であり、
前記6つの信号組のうち他の3つの信号組の磁石の着磁方向は、前記センサの軸方向に平行である、
ことを特徴とする請求項2に記載のセンサ。 - 前記第1の盤と前記第3の盤とを剛性的に接続する複数の第1のブリッジング機構と、
前記第2の盤と前記第4の盤とを剛性的に接続する複数の第2のブリッジング機構とをさらに含む、
ことを特徴とする請求項2に記載のセンサ。 - 前記複数の第1のブリッジング機構及び前記複数の第2のブリッジング機構のそれぞれは、高導磁率の材料を含むとともに、前記複数の信号組のうち対応する一つの信号組に対応する位置に配置され、前記一つの信号組のそれぞれを少なくとも部分的に封止する、
ことを特徴とする請求項4に記載のセンサ。 - 前記複数の第1のブリッジング機構のそれぞれは、前記センサの軸方向において前記第2の盤から間隔を空けている第1のストッパを含み、前記第1のストッパは、前記第1の撓み部材が軸方向において過度に歪むことを防止するように構成されており、
前記複数の第2のブリッジング機構のそれぞれは、前記センサの前記軸方向において前記第3の盤から間隔を空けている第2のストッパを含み、前記第2のストッパは、前記第2の撓み部材が前記軸方向において過度に歪むことを防止するように構成される、
ことを特徴とする請求項4に記載のセンサ。 - 前記第2の盤から延びて前記第1の盤を挿通する第1の位置決めピンと、前記第3の盤から延びて前記第4の盤を挿通する第2の位置決めピンとをさらに含み、
前記第1の盤の延在方向において、前記第1の位置決めピンと前記第1の盤との間に間隔があり、前記第1の位置決めピンは、前記第1の撓み部材が前記センサの径方向及び周方向において過度に歪むことを防止するように構成され、
前記第4の盤の延在方向において、前記第2の位置決めピンと前記第4の盤との間に間隔があり、前記第2の位置決めピンは、前記第2の撓み部材が前記センサの径方向及び周方向において過度に歪むことを防止するように構成される、
ことを特徴とする請求項6に記載のセンサ。 - 前記第1の支持部材に接続された上部ハウジングと、
前記第2の支持部材に接続された底部ハウジングと、
前記上部ハウジングと底部ハウジングとの間に接続されている封止部材とを、さらに含み、
前記上部ハウジング、前記底部ハウジング及び前記封止部材は、協同で前記第1の支持部材、前記第2の支持部材、前記変形可能部品及び前記複数の信号組を封止するように構成される、
ことを特徴とする請求項1に記載のセンサ。 - 積層されたアッパーセンサコンポーネントとロアセンサコンポーネントとを含み、
前記アッパーセンサコンポーネントは、
第1の盤と、
第2の盤と、
前記第1の盤と第2の盤との間に接続され、複数の方向に加えられた外力及びモーメントに応じて歪むように構成される第1の撓み部材と、
第1の発信器及び第1の受信器を含み、前記第1の発信器が前記第1の盤及び第2の盤のいずれか一方に取付けられており、前記第1の受信器が前記第1の盤及び第2の盤の他方に取付けられているとともに、前記第1の発信器に対応する位置に配置されている、複数の第1の信号組と、を含み、
前記ロアセンサコンポーネントは、
第3の盤と、
第4の盤と、
前記第3の盤と前記第4の盤との間に接続され、複数の方向に加えられた外力及びモーメントに応じて歪むように構成される第2の撓み部材と、
第2の発信器及び第2の受信器を含み、前記第2の発信器が前記第3の盤及び前記第4の盤のいずれか一方に取付けられており、前記第2の受信器が前記第3の盤及び前記第4の盤の他方に取付けられているとともに、前記第2の発信器に対応する位置に配置されている、複数の第2の信号組と、を含み、
前記第1の信号組と前記第2の信号組とは、異なる配置となっていることで、前記第1の信号組と前記第2の信号組とが複数の方向に加えられた外力及びモーメントを測定するように構成される、
多軸力及びモーメントセンサ。 - 前記第1の発信器及び前記第2の発信器は磁石であり、前記第1の受信器及び前記第2の受信器はホール効果センサである、
ことを特徴とする請求項9に記載のセンサ。 - 前記複数の第1の信号組の各第1の信号組の前記第1の発信器の着磁方向は、前記センサの周方向に平行であり、
前記複数の第2の信号組の各第2の信号組の前記第2の発信器の着磁方向は、前記センサの軸方向に平行である、
ことを特徴とする請求項10に記載のセンサ。 - 前記第1の盤と前記第3の盤とを剛性的に接続する複数の第1のブリッジング機構と、
前記第2の盤と前記第4の盤とを剛性的に接続する複数の第2のブリッジング機構とをさらに含む、
ことを特徴とする請求項9に記載のセンサ。 - 前記複数の第1のブリッジング機構のそれぞれは、前記センサの軸方向において前記第2の盤から間隔を空けている第1のストッパを含み、前記第1のストッパは、前記第1の撓み部材が軸方向において過度に歪むことを防止するように構成されており、
前記複数の第2のブリッジング機構のそれぞれは、前記センサの前記軸方向において前記第3の盤から間隔を空けている第2のストッパを含み、前記第2のストッパは、前記第2の撓み部材が前記軸方向において過度に歪むことを防止するように構成される、
ことを特徴とする請求項12に記載のセンサ。 - 前記第2の盤から延びて前記第1の盤を挿通する第1の位置決めピンと、前記第3の盤から延びて前記第4の盤を挿通する第2の位置決めピンとをさらに含み、
前記第1の盤の延在方向において、前記第1の位置決めピンと前記第1の盤との間に間隔があり、前記第1の位置決めピンは、前記第1の撓み部材が前記センサの径方向及び周方向において過度に歪むことを防止するように構成され、
前記第4の盤の延在方向において、前記第2の位置決めピンと前記第4の盤との間に間隔があり、前記第2の位置決めピンは、前記第2の撓み部材が前記センサの径方向及び周方向において過度に歪むことを防止するように構成される、
ことを特徴とする請求項13に記載のセンサ。 - 前記第1の盤に接続された上部ハウジングと、
前記第4の盤に接続された底部ハウジングと、
前記上部ハウジングと底部ハウジングとの間に接続されている封止部材とを含み、
前記上部ハウジング、前記底部ハウジング及び前記封止部材は、協同で前記アッパーセンサコンポーネント及び前記ロアセンサコンポーネントを封止するように構成される、
ことを特徴とする請求項9に記載のセンサ。 - 連続的に接続された複数のリンクとエンドアクチュエーターとを含み、前記エンドアクチュエーターは多軸力及びモーメントセンサを含み、前記多軸力及びモーメントセンサは前記エンドアクチュエーターに加えられた力及びモーメントを測定するように構成され、
前記多軸力及びモーメントセンサは、
第1の支持部材と、
第2の支持部材と、
前記第1の支持部材と前記第2の支持部材との間に接続され、複数の方向に加えられた外力及びモーメントに応じて歪むように構成される変形可能部品と、
磁石及びホール効果センサを含む複数の信号組と、を含み、
前記磁石は前記第1の支持部材と前記第2の支持部材のいずれか一方に取付けられており、
前記ホール効果センサは、前記第1の支持部材と前記第2の支持部材の他方に取付けられており、各々の磁石に対応する位置に配置されており、
前記複数の信号組は、磁石の着磁方向が異なることで、前記複数の信号組により異なる方向において前記第1の支持部材と前記第2の支持部材に加えられた力及びモーメントを測定することができる、
ロボット。 - 前記第1の支持部材は第1の盤と第3の盤とを含み、前記第2の支持部材は第2の盤と第4の盤とを含み、前記変形可能部品は第1の撓み部材と第2の撓み部材とを含み、
前記第1の盤と前記第2の盤は、前記第1の撓み部材により接続されているとともに、協同でアッパーセンサコンポーネントを構成し、前記第3の盤と前記第4の盤は、前記第2の撓み部材により接続されているとともに、協同でロアセンサコンポーネントを構成し、前記アッパーセンサコンポーネントは前記ロアセンサコンポーネント上に積層されており、
前記第1の盤、前記第2の盤、前記第3の盤及び前記第4の盤は互いに略平行に延在している、
ことを特徴とする請求項16に記載のロボット。 - 前記複数の信号組は6つの信号組を含み、
前記6つの信号組の3つの信号組の磁石の着磁方向は、前記センサの周方向に平行であり、
前記6つの信号組の他の3つの信号組の磁石の着磁方向は、前記センサの軸方向に平行である、
ことを特徴とする請求項17に記載のロボット。 - 前記多軸力及びモーメントセンサは、
前記第1の盤と前記第3の盤とを剛性的に接続する複数の第1のブリッジング機構と、
前記第2の盤と前記第4の盤とを剛性的に接続する複数の第2のブリッジング機構とをさらに含む、
ことを特徴とする請求項17に記載のロボット。 - 前記複数の第1のブリッジング機構のそれぞれは、前記センサの軸方向において前記第2の盤から間隔を空けている第1のストッパを含み、前記第1のストッパは、前記第1の撓み部材が軸方向において歪み過ぎるのを防止するように構成されており、
前記複数の第2のブリッジング機構のそれぞれは、前記センサの前記軸方向において前記第3の盤から間隔を空けている第2のストッパを含み、前記第2のストッパは、前記第2の撓み部材が前記軸方向において過度に歪むことを防止するように構成される、
ことを特徴とする請求項19に記載のロボット。
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Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6789853B2 (ja) * | 2017-03-08 | 2020-11-25 | 日本電産コパル電子株式会社 | 力覚センサ |
CN110462357B (zh) * | 2017-08-25 | 2022-01-25 | 非夕机器人有限公司 | 具有适度柔性的高可靠性扭矩传感器 |
JP6910990B2 (ja) * | 2018-07-02 | 2021-07-28 | 日本電産コパル電子株式会社 | トルクセンサの支持装置 |
CN111595505B (zh) * | 2020-06-28 | 2022-07-08 | 上海非夕机器人科技有限公司 | 轴向力传感器组件、机器人夹爪及机器人 |
WO2022021038A1 (en) * | 2020-07-28 | 2022-02-03 | Shanghai Flexiv Robotics Technology Co., Ltd. | Multi-degree of freedom force and torque sensor and robot |
CN111829714B (zh) * | 2020-07-28 | 2022-03-18 | 上海非夕机器人科技有限公司 | 多自由度力和力矩传感器及机器人 |
CN117043564A (zh) * | 2021-03-17 | 2023-11-10 | 弗森股份有限公司 | 具有过载结构的力和扭矩传感器及其制造方法 |
CN113305830B (zh) * | 2021-04-28 | 2022-08-16 | 吉林大学 | 一种基于人体姿态控制的仿人机器人动作系统及控制方法 |
WO2022261887A1 (en) * | 2021-06-17 | 2022-12-22 | Shanghai Flexiv Robotics Technology Co., Ltd. | Sensing assembly, force and torque sensor assembly, robot joint and robot |
CN113720500B (zh) * | 2021-08-31 | 2024-07-05 | 西红柿科技(武汉)有限公司 | 一种用于钢结构的应力监测传感器及方法 |
CN114414113A (zh) * | 2021-12-01 | 2022-04-29 | 蓝点触控(北京)科技有限公司 | 六维力传感器过载保护装置和具有其的设备 |
CN114544058A (zh) * | 2022-02-14 | 2022-05-27 | 上海非夕机器人科技有限公司 | 一种扭矩传感器装置、关节、机器人及形变量测量方法 |
CN114918921B (zh) * | 2022-06-08 | 2024-01-26 | 苏州艾利特机器人有限公司 | 一种冗余检测的力传感器及机器人 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60177232A (ja) * | 1984-02-24 | 1985-09-11 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 多分力検出器 |
JPS61283842A (ja) * | 1985-06-10 | 1986-12-13 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 力覚センサ |
JP2012093291A (ja) * | 2010-10-28 | 2012-05-17 | Canon Inc | 力覚センサ |
JP2012237570A (ja) * | 2011-05-10 | 2012-12-06 | Canon Inc | 力覚センサ |
JP2016070824A (ja) * | 2014-09-30 | 2016-05-09 | ファナック株式会社 | 変位検出方式の6軸力センサ |
US20170276556A1 (en) * | 2014-09-24 | 2017-09-28 | Schaeffler Technologies AG & Co. KG | Method and arrangement for measuring a force or a moment, using multiple mangetic sensors |
WO2018042571A1 (ja) * | 2016-08-31 | 2018-03-08 | 株式会社 トライフォース・マネジメント | 力覚センサ |
JP2018059854A (ja) * | 2016-10-07 | 2018-04-12 | キヤノン株式会社 | 変位測定装置、ロボット、ロボットアーム及び物品の製造方法 |
WO2018065765A1 (en) * | 2016-10-07 | 2018-04-12 | King's College London | Multi-axis force sensor |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05187940A (ja) | 1992-01-14 | 1993-07-27 | Fujitsu Ltd | 力検出装置とその方法 |
FR2774469B1 (fr) | 1998-02-04 | 2000-03-03 | Roulements Soc Nouvelle | Capteur de couple pour arbre tournant |
DE10034569B4 (de) | 2000-07-14 | 2004-02-12 | Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. | Einrichtung zum Erfassen von Relativbewegungen eines Objekts |
JP2005106679A (ja) | 2003-09-30 | 2005-04-21 | Nitta Ind Corp | 多軸センサユニットおよびこれを利用した多軸センサ |
IL159651A0 (en) | 2003-12-30 | 2004-06-01 | Nexense Ltd | Method and apparatus for measuring torque |
US7770471B2 (en) | 2004-08-16 | 2010-08-10 | Transense Technologies Plc | Torque measurement within a powertrain |
US7691690B2 (en) | 2007-01-12 | 2010-04-06 | International Business Machines Corporation | Methods for forming dual fully silicided gates over fins of FinFet devices |
CN101118194A (zh) * | 2007-09-14 | 2008-02-06 | 哈尔滨工业大学 | 提供转矩和弯矩过载保护的关节力矩传感器 |
JP5130097B2 (ja) | 2008-03-31 | 2013-01-30 | カヤバ工業株式会社 | トルクセンサ |
JP2010243399A (ja) * | 2009-04-08 | 2010-10-28 | Honda Lock Mfg Co Ltd | トルクセンサ |
FR2964190B1 (fr) * | 2010-08-24 | 2013-02-08 | Moving Magnet Tech | Dispositif de detection magnetique de position absolue multitour |
JP5875382B2 (ja) * | 2011-02-15 | 2016-03-02 | キヤノン株式会社 | 力覚センサ、ロボット装置、ロボットハンド及び検出装置 |
US8424393B1 (en) * | 2011-10-18 | 2013-04-23 | Methode Electronics, Inc. | Magnetic torque sensor for transmission converter drive plate |
JP6168868B2 (ja) | 2012-06-29 | 2017-07-26 | キヤノン株式会社 | 力覚センサ及び力覚センサを備えたロボットアーム |
US9989427B2 (en) | 2013-11-05 | 2018-06-05 | Nsk Ltd. | Force sensor |
US9505140B1 (en) * | 2015-06-02 | 2016-11-29 | Irobot Corporation | Contact sensors for a mobile robot |
US10036658B2 (en) * | 2015-08-21 | 2018-07-31 | Te Connectivity Corporation | Sensor assembly |
US10239213B1 (en) * | 2015-11-24 | 2019-03-26 | X Development Llc | Flexure assembly for force/torque sensing |
CN110462357B (zh) * | 2017-08-25 | 2022-01-25 | 非夕机器人有限公司 | 具有适度柔性的高可靠性扭矩传感器 |
-
2019
- 2019-06-28 US US16/456,588 patent/US11287340B2/en active Active
- 2019-07-01 WO PCT/US2019/040063 patent/WO2020009961A1/en unknown
- 2019-07-01 JP JP2021522927A patent/JP7096560B2/ja active Active
- 2019-07-01 EP EP19830161.6A patent/EP3814076A4/en active Pending
- 2019-07-01 CN CN201980004857.1A patent/CN111183007B/zh active Active
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60177232A (ja) * | 1984-02-24 | 1985-09-11 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 多分力検出器 |
JPS61283842A (ja) * | 1985-06-10 | 1986-12-13 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 力覚センサ |
JP2012093291A (ja) * | 2010-10-28 | 2012-05-17 | Canon Inc | 力覚センサ |
JP2012237570A (ja) * | 2011-05-10 | 2012-12-06 | Canon Inc | 力覚センサ |
US20170276556A1 (en) * | 2014-09-24 | 2017-09-28 | Schaeffler Technologies AG & Co. KG | Method and arrangement for measuring a force or a moment, using multiple mangetic sensors |
JP2016070824A (ja) * | 2014-09-30 | 2016-05-09 | ファナック株式会社 | 変位検出方式の6軸力センサ |
WO2018042571A1 (ja) * | 2016-08-31 | 2018-03-08 | 株式会社 トライフォース・マネジメント | 力覚センサ |
JP2018059854A (ja) * | 2016-10-07 | 2018-04-12 | キヤノン株式会社 | 変位測定装置、ロボット、ロボットアーム及び物品の製造方法 |
WO2018065765A1 (en) * | 2016-10-07 | 2018-04-12 | King's College London | Multi-axis force sensor |
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