JPS60177232A - 多分力検出器 - Google Patents
多分力検出器Info
- Publication number
- JPS60177232A JPS60177232A JP59032496A JP3249684A JPS60177232A JP S60177232 A JPS60177232 A JP S60177232A JP 59032496 A JP59032496 A JP 59032496A JP 3249684 A JP3249684 A JP 3249684A JP S60177232 A JPS60177232 A JP S60177232A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- force
- permanent magnets
- hall
- disk
- displacement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L5/00—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes
- G01L5/16—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes for measuring several components of force
- G01L5/164—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes for measuring several components of force using variations in inductance
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L1/00—Measuring force or stress, in general
- G01L1/12—Measuring force or stress, in general by measuring variations in the magnetic properties of materials resulting from the application of stress
- G01L1/122—Measuring force or stress, in general by measuring variations in the magnetic properties of materials resulting from the application of stress by using permanent magnets
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は、小形で安価な多分力検出器に関するもので
ある。
ある。
産業用ロボットのような複雑な構造体において、各関節
等が受ける力”や”モーメント二の複合力を同時に高精
度で検出するための多分力検出器には、従来、歪ゲージ
や圧電素子を用いたものがあるが、いずれも高価であり
、しかも大形であるので卓上形−ポットのような小形の
ロボットには使用できないという欠点があった。
等が受ける力”や”モーメント二の複合力を同時に高精
度で検出するための多分力検出器には、従来、歪ゲージ
や圧電素子を用いたものがあるが、いずれも高価であり
、しかも大形であるので卓上形−ポットのような小形の
ロボットには使用できないという欠点があった。
この発明は、これらの欠点を解決するため、複数の永久
磁石とホール素子を結合させ、両者の相対位置の変化に
より各方向に作用する力を検出するようKしたものであ
り、その目的は小形で安価な多分力検出器を実現するこ
とにある。以下この発明を図面について説明する。
磁石とホール素子を結合させ、両者の相対位置の変化に
より各方向に作用する力を検出するようKしたものであ
り、その目的は小形で安価な多分力検出器を実現するこ
とにある。以下この発明を図面について説明する。
第1図はこの発明の一実施例であり、多分力検出器の外
観を示している。この図で、1は筐体で、円柱状をして
おり、円柱の軸と同軸上に軸2が設けられている。なお
、この明細書では、第1図の軸2の軸心方向を2軸、こ
れと直角をなす平面上の直交方向をX軸、y軸と定義す
る。軸2は筐体1に対し、半径方向および円周方向に移
動可能であり、軸2の軸心を2軸とした場合、Z軸回り
のモーメントM1.およびX軸方向の力FxrY軸方向
の力Fyが軸2に作用する場合、それに応じた出力が信
号線3より出力される構造となっている。
観を示している。この図で、1は筐体で、円柱状をして
おり、円柱の軸と同軸上に軸2が設けられている。なお
、この明細書では、第1図の軸2の軸心方向を2軸、こ
れと直角をなす平面上の直交方向をX軸、y軸と定義す
る。軸2は筐体1に対し、半径方向および円周方向に移
動可能であり、軸2の軸心を2軸とした場合、Z軸回り
のモーメントM1.およびX軸方向の力FxrY軸方向
の力Fyが軸2に作用する場合、それに応じた出力が信
号線3より出力される構造となっている。
lI42図にm1図の砂分力検出器を分解した様子を示
す。軸2には円盤4が固定されており、円盤40円周上
には等間隔に4個の永久磁石5 a、 5 b。
す。軸2には円盤4が固定されており、円盤40円周上
には等間隔に4個の永久磁石5 a、 5 b。
5c、5d(以下総称するときは単に5という。
他の符号についても同様とするンおよび板はね6a、a
b、6c、6dが内側を固着して設けられている。また
、円盤4の上面にはSWS係数の小さな材料よりなる板
、例えは弗素樹脂板1があり、上部板8との間をすべり
易くしている。円盤4の外側には円盤4とほぼ同じ厚さ
をもつリング9が位置し、板はね63〜6dの外側はリ
ング9の内側に固定され、リング9と円盤4は同心構造
となっている。また、リング8の内側にはホール素子1
0a、10b、10c、10dが4個等間隔に設けられ
ており、永久磁石5a、5bt5c+ sdと対向して
それぞれ組をなしている。リング9の下方には下部板1
1があり、下部板11の上面には摩擦係数の小さな材料
、例えば弗素樹脂板12があり、円盤4が下部板11に
対しすべり易くなっている。
b、6c、6dが内側を固着して設けられている。また
、円盤4の上面にはSWS係数の小さな材料よりなる板
、例えは弗素樹脂板1があり、上部板8との間をすべり
易くしている。円盤4の外側には円盤4とほぼ同じ厚さ
をもつリング9が位置し、板はね63〜6dの外側はリ
ング9の内側に固定され、リング9と円盤4は同心構造
となっている。また、リング8の内側にはホール素子1
0a、10b、10c、10dが4個等間隔に設けられ
ており、永久磁石5a、5bt5c+ sdと対向して
それぞれ組をなしている。リング9の下方には下部板1
1があり、下部板11の上面には摩擦係数の小さな材料
、例えば弗素樹脂板12があり、円盤4が下部板11に
対しすべり易くなっている。
上記のように、円盤4は弗素樹脂板T、12を介して上
部板8と下部板11に拘束されており、2軸回りおよび
x、y軸方向のみ運動呵能となっている。また、板はね
6a〜6dの作用により、z軸回りおよびX、y軸方向
の力に比例した変位をするように構成されている。
部板8と下部板11に拘束されており、2軸回りおよび
x、y軸方向のみ運動呵能となっている。また、板はね
6a〜6dの作用により、z軸回りおよびX、y軸方向
の力に比例した変位をするように構成されている。
第3図はz@に直角な面での断面図である。永久磁石5
8〜5dlホール素子10a〜10d。
8〜5dlホール素子10a〜10d。
板はね68〜6dの位置関係がより明確に示されている
。板はね68〜6dは、前述のように力に比例した変位
な生ぜしめる役目であり、板はねに限ることなく、第4
図に示すように円盤4とリング8の間を埋める高分子材
料からなる弾性材13であってもよい。
。板はね68〜6dは、前述のように力に比例した変位
な生ぜしめる役目であり、板はねに限ることなく、第4
図に示すように円盤4とリング8の間を埋める高分子材
料からなる弾性材13であってもよい。
次に、このような構成により力が検出できる原理を説明
する。
する。
第5図は永久磁石5とホール素子10を対向させた1組
の様子を示している。それぞれの向い合った面の中心な
A、Bとする時、A点、B点間のX軸方向の距離なp、
y方向の距離をqとする。
の様子を示している。それぞれの向い合った面の中心な
A、Bとする時、A点、B点間のX軸方向の距離なp、
y方向の距離をqとする。
永久磁石5をX軸方向にNai、soとなるように着磁
し、ホール素子10を適当な姿勢で対向させ14に示す
ように変化し、また、距fipを一定に保ったまま距1
1qを変化させると第6図(b)の実線15に示すよう
に変化することはよく知られている。実線14.15を
図に示すように、それぞれ点線16,17で近似する。
し、ホール素子10を適当な姿勢で対向させ14に示す
ように変化し、また、距fipを一定に保ったまま距1
1qを変化させると第6図(b)の実線15に示すよう
に変化することはよく知られている。実線14.15を
図に示すように、それぞれ点線16,17で近似する。
点線16は原点における実線14の接線であり、点線1
7は実線15のq”qoKおける接線である。q=qo
は基準となる永久磁石5とホール素子10の間隔を意味
する。
7は実線15のq”qoKおける接線である。q=qo
は基準となる永久磁石5とホール素子10の間隔を意味
する。
さて、点線16および17のようにホール電圧を近似す
るとホール電圧Vは。
るとホール電圧Vは。
V=ld(qo−q)+β)p
で表わすことができる。こ−にα、βは定数である。
第7図は、第3図または第4図に示す基準の位置からθ
方向にδだけ移動した状態を示したものである。
方向にδだけ移動した状態を示したものである。
永久磁石5とホール素子100対向面における中心をλ
1+ At * As t A4およびB1 * Bt
r BRrB4とおげば第4図に示す基準位置におい
てはA1点とB、点の関係より pm=O+ l =Q。
1+ At * As t A4およびB1 * Bt
r BRrB4とおげば第4図に示す基準位置におい
てはA1点とB、点の関係より pm=O+ l =Q。
At点とB1点の関係より
pz =O* qt =q6
At点と38点の関係より
pm =O* Qs =q。
八番点と84点の関係より
p4=O1q4=CL。
となっている。p1〜p4は第5図に示すp#q1〜q
4はqic相当して〜・る。
4はqic相当して〜・る。
同様に第7図のように移動した時には
人、とB1の関係より
p1″−δcosθ+Q1=qO−δ+st?+θA!
とBtの関係より pt=−δsi口θr q宜”qO+δcos θA3
とB、の関係より p8=δcosθr qt =q6 +a sinθ八
4とへ4の関係より 1)4=δsinθr qt=qo−δcosθまた、
第8図に示すように、θ′だけ回転した場合は、rを円
盤4の半径とすると、 A1とB1の関係より 1)! = r sinθ’p Qs =q(1+r
(1−cosθ′)A2とB、の関係より p2 = r sinθ’+ qt =qo +r (
1−coaθ′)A3とB1の関係より pm =r sin O’r q3 =q6 +r (
1−cosθ′)A4とB4の関係より p4= r sinθ’r q4 =q6 +r (1
−cosθ′)となる。よって、それぞれのホール電圧
はfs7図のよプ忙変化した場合は vI=<β十αδsinθ)δcosθVt=<β−α
δcoto)δsinθVs”(β−αδsinθ)δ
CQ8θV4””(β+αδcosθ)δsinσとな
り、第8図のように変化した場合はv+’=(β−αr
(1−cosθ’))rsinθ畢rβθ′” VS
=(β−αr(lcosθ’))rsinθ′キrβθ
′Vs=(β−αr(1−cos19’))rsinθ
′中rβθ′V7”lβ−αr (1−cosθ’)
) r sinθ′中rβθ′となる。
とBtの関係より pt=−δsi口θr q宜”qO+δcos θA3
とB、の関係より p8=δcosθr qt =q6 +a sinθ八
4とへ4の関係より 1)4=δsinθr qt=qo−δcosθまた、
第8図に示すように、θ′だけ回転した場合は、rを円
盤4の半径とすると、 A1とB1の関係より 1)! = r sinθ’p Qs =q(1+r
(1−cosθ′)A2とB、の関係より p2 = r sinθ’+ qt =qo +r (
1−coaθ′)A3とB1の関係より pm =r sin O’r q3 =q6 +r (
1−cosθ′)A4とB4の関係より p4= r sinθ’r q4 =q6 +r (1
−cosθ′)となる。よって、それぞれのホール電圧
はfs7図のよプ忙変化した場合は vI=<β十αδsinθ)δcosθVt=<β−α
δcoto)δsinθVs”(β−αδsinθ)δ
CQ8θV4””(β+αδcosθ)δsinσとな
り、第8図のように変化した場合はv+’=(β−αr
(1−cosθ’))rsinθ畢rβθ′” VS
=(β−αr(lcosθ’))rsinθ′キrβθ
′Vs=(β−αr(1−cos19’))rsinθ
′中rβθ′V7”lβ−αr (1−cosθ’)
) r sinθ′中rβθ′となる。
両者が混在する場合は和となり、それぞれのホール電圧
は、 E1= v1+vH g、=v、+v7 E3= V、 + V石 ’E4 = V4 +V4 で表1される。
は、 E1= v1+vH g、=v、+v7 E3= V、 + V石 ’E4 = V4 +V4 で表1される。
さて、これ等の出力を用い、適宜の周知演算手段により
次の演算を行えは、それぞれの方向の変位を検出できる
ことKなる。
次の演算を行えは、それぞれの方向の変位を検出できる
ことKなる。
回転方向 E、 = E、 +E、 十E3+B。
=4rβr
y:軸方向 EF”B4 Et
=2βδsinθ
X軸方向 Ex=E、−E。
=2βδcosθ
すなわち、
θ’ = E、 / 4 rβ
によりそれぞれの変位を検出できる。また、変位はその
方向に作用する力に比例するので、結局力の大きさ、方
向を検出できることKなる。
方向に作用する力に比例するので、結局力の大きさ、方
向を検出できることKなる。
第9図はこの発明のさらに他の実施例を示すもので、永
久磁石5とホール素子10とがずれて対向している場合
である。この実施例でも円盤4の外周とりング9の内周
との間に永久磁石5とホール素子10が対向して配置さ
れていることに変りはない。
久磁石5とホール素子10とがずれて対向している場合
である。この実施例でも円盤4の外周とりング9の内周
との間に永久磁石5とホール素子10が対向して配置さ
れていることに変りはない。
なお、以上の説明ではリング9に永久磁石5を、円盤4
にホール素子10を配置した場合で説明したが、逆の配
置でもよいことはその原理よりみて明らかである。また
、上記実施例では円盤4とリング9を用いたが、円盤4
に限らず他の形状のものでもよく、一般的には盤体であ
れはよい。また、同様にリング9も他の形状のもので上
<、環状体であれはよい。さらに、永久磁石5とホール
素子10との組は必ずしも等間隔である必要はなく、不
等間隔でも補正を加えれはよい。
にホール素子10を配置した場合で説明したが、逆の配
置でもよいことはその原理よりみて明らかである。また
、上記実施例では円盤4とリング9を用いたが、円盤4
に限らず他の形状のものでもよく、一般的には盤体であ
れはよい。また、同様にリング9も他の形状のもので上
<、環状体であれはよい。さらに、永久磁石5とホール
素子10との組は必ずしも等間隔である必要はなく、不
等間隔でも補正を加えれはよい。
以上説明したように、この発明は盤体を環状体の中に同
心となるようにカに比例した変位を生ずる弾性体で支持
り、盤体の外周と環状体の内周との間にホール素子と永
久磁石を組合せたものを複数組設け、両者の相対位置の
変化がら多方向に作」する力を同時に検出できるように
したので、女声で、しかも小形な多分力検出器が実現で
きるオU点がある。
心となるようにカに比例した変位を生ずる弾性体で支持
り、盤体の外周と環状体の内周との間にホール素子と永
久磁石を組合せたものを複数組設け、両者の相対位置の
変化がら多方向に作」する力を同時に検出できるように
したので、女声で、しかも小形な多分力検出器が実現で
きるオU点がある。
第1図はこの発明の一笑施例の外観斜視図、第2図はそ
の内部の構成を示す分解状態の斜視図、#l!3図は第
1図の断面図、萬4図はこの発明の他の実施例を示す断
面図、第5図はホール素子と永久磁石の位置関係を示す
図、第6図(a)、(b)はホール電圧の出力特性をそ
れぞれ示す図、鶏7図。 第8図はリング状態と円盤の相対変位を示す図、第9図
はこの発明のさらに他の実施例を示す断面図である。 図中、1は筐体、2は軸、3は信号線、4は円盤、5は
永久磁石、6は板はね、7は弗素樹脂板、8は上部板、
Sはリング、10はホール素子、11は下部板、12は
弗素樹脂板、13は弾性体、14゜15はホール電圧の
特性を示′j実線、16.17はホール電圧の特性を近
似する点線である。 「デ憤 第2図 第3図 第4図 第5図 ■ 第6図 (a) ’ (b) 第7図 第8図 第9図
の内部の構成を示す分解状態の斜視図、#l!3図は第
1図の断面図、萬4図はこの発明の他の実施例を示す断
面図、第5図はホール素子と永久磁石の位置関係を示す
図、第6図(a)、(b)はホール電圧の出力特性をそ
れぞれ示す図、鶏7図。 第8図はリング状態と円盤の相対変位を示す図、第9図
はこの発明のさらに他の実施例を示す断面図である。 図中、1は筐体、2は軸、3は信号線、4は円盤、5は
永久磁石、6は板はね、7は弗素樹脂板、8は上部板、
Sはリング、10はホール素子、11は下部板、12は
弗素樹脂板、13は弾性体、14゜15はホール電圧の
特性を示′j実線、16.17はホール電圧の特性を近
似する点線である。 「デ憤 第2図 第3図 第4図 第5図 ■ 第6図 (a) ’ (b) 第7図 第8図 第9図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 盤体を環状体の中に同心となるように力に比例した変位
を生する弾性体で2軸のまわりとX軸。 y軸方向に変位用能に支持するとともに、前記盤体の外
周と前記環状体の内周との間に永久磁石およびホール素
子をそれぞれ対向するように複数組配置したことを特徴
とする多分力検出器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59032496A JPS60177232A (ja) | 1984-02-24 | 1984-02-24 | 多分力検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59032496A JPS60177232A (ja) | 1984-02-24 | 1984-02-24 | 多分力検出器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60177232A true JPS60177232A (ja) | 1985-09-11 |
JPH0565808B2 JPH0565808B2 (ja) | 1993-09-20 |
Family
ID=12360602
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59032496A Granted JPS60177232A (ja) | 1984-02-24 | 1984-02-24 | 多分力検出器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60177232A (ja) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102007009389A1 (de) * | 2007-02-20 | 2008-08-21 | Bizerba Gmbh & Co. Kg | Kraftmessvorrichtung und Verfahren zur Signalauswertung |
JP2011145286A (ja) * | 2009-12-15 | 2011-07-28 | Canon Inc | 磁気式力覚センサ |
WO2012070285A1 (ja) * | 2010-11-25 | 2012-05-31 | 株式会社トライフォース・マネジメント | トルクセンサ |
JP4963138B1 (ja) * | 2011-07-27 | 2012-06-27 | 株式会社トライフォース・マネジメント | 力覚センサ |
WO2013018715A1 (ja) * | 2011-08-02 | 2013-02-07 | Ntn株式会社 | 磁気式荷重センサ |
WO2020009961A1 (en) | 2018-07-02 | 2020-01-09 | Flexiv Ltd. | Multi-axis force and torque sensor and robot having the same |
JP2020034578A (ja) * | 2019-11-28 | 2020-03-05 | ファナック株式会社 | 変位検出方式の力検出構造及び力センサ |
CN110987244A (zh) * | 2019-10-08 | 2020-04-10 | 珠海格力电器股份有限公司 | 一种基于电涡流效应的扁平盘式六维力传感器、检测方法及智能设备 |
WO2021005755A1 (ja) * | 2019-07-10 | 2021-01-14 | 三菱電機株式会社 | センシングデバイスおよびセンシングデバイスシステム |
-
1984
- 1984-02-24 JP JP59032496A patent/JPS60177232A/ja active Granted
Cited By (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102007009389A1 (de) * | 2007-02-20 | 2008-08-21 | Bizerba Gmbh & Co. Kg | Kraftmessvorrichtung und Verfahren zur Signalauswertung |
EP2126524B1 (de) * | 2007-02-20 | 2018-06-20 | BAG Bizerba Automotive GmbH | Kraftmessvorrichtung und verfahren zur signalauswertung |
JP2011145286A (ja) * | 2009-12-15 | 2011-07-28 | Canon Inc | 磁気式力覚センサ |
WO2012070285A1 (ja) * | 2010-11-25 | 2012-05-31 | 株式会社トライフォース・マネジメント | トルクセンサ |
US8966996B2 (en) | 2011-07-27 | 2015-03-03 | Tri-Force Management Corporation | Force sensor |
WO2013014803A1 (ja) * | 2011-07-27 | 2013-01-31 | 株式会社トライフォース・マネジメント | 力覚センサ |
JP4963138B1 (ja) * | 2011-07-27 | 2012-06-27 | 株式会社トライフォース・マネジメント | 力覚センサ |
WO2013018715A1 (ja) * | 2011-08-02 | 2013-02-07 | Ntn株式会社 | 磁気式荷重センサ |
JP2013032970A (ja) * | 2011-08-02 | 2013-02-14 | Ntn Corp | 磁気式荷重センサ |
CN103765178A (zh) * | 2011-08-02 | 2014-04-30 | Ntn株式会社 | 磁式负载传感器 |
US9482587B2 (en) | 2011-08-02 | 2016-11-01 | Ntn Corporation | Magnetic load sensor unit |
WO2020009961A1 (en) | 2018-07-02 | 2020-01-09 | Flexiv Ltd. | Multi-axis force and torque sensor and robot having the same |
EP3814076A4 (en) * | 2018-07-02 | 2021-07-07 | Flexiv Ltd. | MULTI-AXIS FORCE AND TORQUE SENSOR AND ROBOTS WITH IT |
JP2021534426A (ja) * | 2018-07-02 | 2021-12-09 | フレキシブ リミテッドFlexiv Ltd. | 多軸力及びモーメントセンサ、該センサを備えるロボット |
WO2021005755A1 (ja) * | 2019-07-10 | 2021-01-14 | 三菱電機株式会社 | センシングデバイスおよびセンシングデバイスシステム |
DE112019007453T5 (de) | 2019-07-10 | 2022-02-24 | Mitsubishi Electric Corporation | Sensorvorrichtung und Sensorvorrichtungssystem |
CN110987244A (zh) * | 2019-10-08 | 2020-04-10 | 珠海格力电器股份有限公司 | 一种基于电涡流效应的扁平盘式六维力传感器、检测方法及智能设备 |
WO2021068663A1 (zh) * | 2019-10-08 | 2021-04-15 | 珠海格力电器股份有限公司 | 一种基于电涡流效应的扁平盘式六维力传感器、检测方法及智能设备 |
JP2020034578A (ja) * | 2019-11-28 | 2020-03-05 | ファナック株式会社 | 変位検出方式の力検出構造及び力センサ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0565808B2 (ja) | 1993-09-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5687384B1 (ja) | 力覚センサ | |
US6746172B2 (en) | Apparatus and method for accurate, precise, and adjustable kinematic coupling | |
US7472622B2 (en) | Linkage system | |
US3595074A (en) | Torque transducer | |
US5313182A (en) | Magnet structure for a displacement sensor | |
US6257062B1 (en) | Angular Accelerometer | |
JPS60177232A (ja) | 多分力検出器 | |
CN109564105B (zh) | 磁位置传感器 | |
JPH06160210A (ja) | ねじりモーメント測定装置 | |
JPH0511255B2 (ja) | ||
WO2001027638A1 (en) | Accelerometer | |
US11619522B2 (en) | Calibrating position sensor readings | |
JPH0626805A (ja) | 運動トランスジューサ | |
US5295399A (en) | Force moment sensor | |
JPH0565809B2 (ja) | ||
US11099243B2 (en) | Differential magnetic load cells for compact low-hysteresis force and torque measurements | |
JPH05299240A (ja) | 磁気回路 | |
JPS6128835A (ja) | 多分力検出器 | |
JPH0243293B2 (ja) | ||
JPS58167934A (ja) | トルク検出装置 | |
JPH10148641A (ja) | 角加速度センサ | |
JPS63153402A (ja) | 回転角度センサ | |
JP3458938B2 (ja) | トルクテスター | |
JPH0527034Y2 (ja) | ||
US3779087A (en) | Gyroscope pickoff means |