JP5719521B2 - 3軸力センサ - Google Patents
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ダイアフラムと、前記ダイアフラムの面上に設けられ当該ダイアフラムを変形させる操作部と、前記操作部の操作によって当該操作部に作用する直交座標のX軸方向とY軸方向の操作力を検出するのと同時に、直交座標のZ軸廻りのねじり力も検出する力センサを備えた3軸力センサであって、
前記ダイアフラム上の第1の直交座標のX軸とY軸上にそれぞれ原点に対して対称に配置され前記操作部のX軸方向とY軸方向への操作力を検出する力センサ素子と、前記ダイアフラム上であって前記第1の直交座標と原点及びZ軸を共通にしかつ当該第1の直交座標と異なる角度をなす第2の直交座標のX軸とY軸上にそれぞれ原点に対して対称に配置され前記操作部のZ軸廻りのねじり力を検出する力センサ素子とを有し、
前記Z軸廻りのねじり力を検出する力センサ素子の複数のパターン延在部分は、前記X軸方向、または前記Y軸方向への操作力を検出する力センサ素子の複数のパターン延在部分に対して直交するように配置され、
前記第1の直交座標と第2の直交座標との前記ダイアフラム上におけるなす角は45度であり、
前記第1の直交座標に配置される力センサ素子と第2の直交座標に配置される力センサ素子は、1枚のセンサ取付けシートにパターニングによりまとめて配置されたひずみゲージ素子からなり、前記各力センサ素子は、当該1枚のセンサ取付けシートを介して前記ダイアフラムに固着されていることを特徴としている。
10 基台プレート
10a 凹み部
11 ダイアフラム
11a ダイアフラム面
12 ネジ孔
13 ケーブル挿通孔
20 操作部
21 縦方向延在部
22 横方向延在部
300 力センサ
310 力センサ素子
310a ボンディングパッド
311,312 (Fx検出用の)力センサ素子(ひずみゲージ)
315,316 (Fy検出用の)力センサ素子(ひずみゲージ)
320 力センサ素子
320a ボンディングパッド
321,322,325,326 (Mz検出用の)力センサ素子(ひずみゲージ)
331 位置決めマーク
350 センサ取付けシート
411,412 (Fx検出用の)力センサ素子(ひずみゲージ)
415,416 (Fy検出用の)力センサ素子(ひずみゲージ)
421,422,425,426 (Mz検出用の)力センサ素子(ひずみゲージ)
A グリッド長
Claims (1)
- ダイアフラムと、前記ダイアフラムの面上に設けられ当該ダイアフラムを変形させる操作部と、前記操作部の操作によって当該操作部に作用する直交座標のX軸方向とY軸方向の操作力を検出するのと同時に、直交座標のZ軸廻りのねじり力も検出する力センサを備えた3軸力センサであって、
前記ダイアフラム上の第1の直交座標のX軸とY軸上にそれぞれ原点に対して対称に配置され前記操作部のX軸方向とY軸方向への操作力を検出する力センサ素子と、前記ダイアフラム上であって前記第1の直交座標と原点及びZ軸を共通にしかつ当該第1の直交座標と異なる角度をなす第2の直交座標のX軸とY軸上にそれぞれ原点に対して対称に配置され前記操作部のZ軸廻りのねじり力を検出する力センサ素子とを有し、
前記Z軸廻りのねじり力を検出する力センサ素子の複数のパターン延在部分は、前記X軸方向、または前記Y軸方向への操作力を検出する力センサ素子の複数のパターン延在部分に対して直交するように配置され、
前記第1の直交座標と第2の直交座標との前記ダイアフラム上におけるなす角は45度であり、
前記第1の直交座標に配置される力センサ素子と第2の直交座標に配置される力センサ素子は、1枚のセンサ取付けシートにパターニングによりまとめて配置されたひずみゲージ素子からなり、前記各力センサ素子は、当該1枚のセンサ取付けシートを介して前記ダイアフラムに固着されていることを特徴とする3軸力センサ。
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2010078509A JP5719521B2 (ja) | 2010-03-30 | 2010-03-30 | 3軸力センサ |
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JP5719521B2 true JP5719521B2 (ja) | 2015-05-20 |
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Family Applications (1)
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JP2010078509A Active JP5719521B2 (ja) | 2010-03-30 | 2010-03-30 | 3軸力センサ |
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- 2010-03-30 JP JP2010078509A patent/JP5719521B2/ja active Active
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