JP2012089734A - 逆阻止igbtの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】n型ウエハ1の表面に、デバイス領域を取り囲む位置にp型領域20を形成する工程、前記デバイス領域内にMOSゲート構造10とAl電極18を形成する工程、レジスト22bを前記表面の保護膜として被覆する工程、前記ウエハ30の裏面にフォトレジスト22aで前記デバイス領域に対向する位置にエッチングマスクを形成する工程、裏面からアルカリエッチングにより前記p型領域20の底部に達する傾斜溝23を形成する工程、裏面のフォトレジスト22aのみを有機アルカリ系剥離液によって除去する工程、前記傾斜溝23に沿って分離層4bを、裏面にはp型コレクタ層6を、イオン注入とアニールとにより形成する工程を有する逆阻止IGBTの製造方法とする。
【選択図】 図1
Description
このpn接合の裏面側の領域がp型領域(p型コレクタ層)の場合、p型分離層ということにする。
2 熱酸化膜
3 開口部
4 p型分離層
4a p型拡散層
4b p型分離層
6 p型コレクタ層
7 コレクタ電極
8 スクライブライン
9c p型分離層
10 MOSゲート構造
15 n型エミッタ領域
16 p型ベース領域
17 ゲート電極
18 エミッタ電極
19 フィールド酸化膜
20 p型拡散層
22a 裏面側レジスト
22b 表面側レジスト
23 傾斜溝
Claims (4)
- 第1導電型半導体基板の一方の主面に、半導体素子機能領域を取り囲む位置に第2導電型領域を形成する工程、前記半導体素子機能領域内にMOSゲート構造とアルミニウム電極を形成する工程、シリコーン系樹脂を主成分とするレジストを前記一方の主面の保護膜として被覆する工程、前記半導体基板の他方の主面にエポキシ樹脂系のフォトレジストで前記半導体素子機能領域に対向する位置をマスクするエッチングマスクパターンを形成する工程、他方の主面からアルカリエッチングにより前記第2導電型領域の底部に達する傾斜溝を形成する工程、他方の主面のエポキシ系樹脂系のフォトレジストのみを有機アルカリ系剥離液への浸漬かまたはプラズマ剥離によって除去する工程、前記傾斜溝に沿って分離層を、他方の主面にはコレクタ層を、第2導電型不純物のイオン注入およびアニールすることにより形成し、コレクタ層と導電接続される第2導電型分離層を形成する工程を有することを特徴とする逆阻止IGBTの製造方法。
- 前記シリコーン系樹脂を主成分とするレジストの硬化処理温度が前記エポキシ系樹脂を主成分とするフォトレジストの硬化処理温度と同じか、より高温であることを特徴とする請求項1記載の逆阻止IGBTの製造方法。
- 前記シリコーン系樹脂を主成分とするレジストが感光性または非感光性のレジストであることを特徴とする請求項1または2記載の逆阻止IGBTの製造方法。
- 前記シリコーン系樹脂を主成分とするレジストの剥離方法が酸系の剥離液であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の逆阻止IGBTの製造方法。
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