JP2012083295A - 擬似接触の電気検査方法及び電気検査装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】素子の端子等と半田との擬似接触状態を確実に検査する。
【解決手段】擬似接触の電気検査装置1は、回路基板2に半田12により接合された半導体素子11の擬似接触状態を電気検査する。この装置1は、回路基板2に半田12により接合された半導体素子11に正圧と負圧を選択的に供給するための加圧治具26及び正圧/負圧発生装置32と、半導体素子11に正圧と負圧が交互に供給されるときに、半導体素子11の電気的特性を連続的に測定するためのプローブピン4及び計測装置31と、その測定された電気的特性に基づいて擬似接触の有無を判断するための制御装置33とを備える。
【選択図】 図1
【解決手段】擬似接触の電気検査装置1は、回路基板2に半田12により接合された半導体素子11の擬似接触状態を電気検査する。この装置1は、回路基板2に半田12により接合された半導体素子11に正圧と負圧を選択的に供給するための加圧治具26及び正圧/負圧発生装置32と、半導体素子11に正圧と負圧が交互に供給されるときに、半導体素子11の電気的特性を連続的に測定するためのプローブピン4及び計測装置31と、その測定された電気的特性に基づいて擬似接触の有無を判断するための制御装置33とを備える。
【選択図】 図1
Description
この発明は、電子部品の端子等が半田に正常に接触しているか否かを検査する擬似接触の電気検査方法及び電気検査装置に関する。
従来、電子部品の端子等が、プリント基板に対し半田により接合された場合、端子等が半田に正常に接触しているか否かは、外観からは判断できない。一見して正常に接触している状態であっても、振動や衝撃が加わることにより端子等が半田から離れてしまう不安定な接触状態もあり得る。このような不安定な接触状態を「擬似接触状態」と言う。電気的な検査では、端子等と半田との接触状態が正常でなくても、擬似接触状態のように電気的に接触していれば、電気的な導通は可能であるので、異常を検出することができない場合がある。このような擬似接触状態では、製品出荷後に市場で端子等と半田との接触状態が変化すると、不良品となるおそれがある。
ここで、端子等と半田の接触状態を検査する技術として、例えば、下記の特許文献1〜3に記載される技術が知られている。特許文献1には、加重装置により半田ボールに加重を加えながら半田ボールとBGAパッケージとを電気的に接続させて電気検査を行うことが記載されている。また、特許文献2には、回路基板に半田により接合された電子部品に負圧(引き離す力)を作用させながら回路基板と電子部品との間の半田接続状態を検査する技術が記載されている。
ところが、特許文献1及び2に記載された技術では、加重を加えた状態又は負圧を加えた状態でしか検査することができず、擬似接触状態を適正に検査することができなかった。すなわち、加重を加えた状態だけでは、実際には端子等と半田が接合していなくても、加重を加えることで、電気的な導通状態が得られてしまうことがある。一方、負圧を加えた状態だけでは、実際には端子等と半田が接合していなくても、負圧を加えることで、電気的な導通状態が得られてしまうこともある。
この発明は上記事情に鑑みてなされたものであって、その目的は、素子の端子等と半田との擬似接触状態を確実に検査することを可能とした擬似接触の電気検査方法及び電気検査装置を提供することにある。
上記目的を達成するために、請求項1に記載の発明は、基板に半田により接合された素子の擬似接触状態を電気検査する擬似接触の電気検査方法において、基板に半田により接合された素子に押す力と引く力を交互に供給しながら、素子の電気的特性を連続的に検査することにより、擬似接触の有無を判断することを趣旨とする。
上記発明の構成によれば、素子に押す力と引く力を交互に供給しながら、素子の電気的特性が連続的に検査されることから、素子が半田に押し付けられようとする状態と、素子が半田から引き離されようとする状態が交互に形成され、それら状態の少なくとも一方で非接触状態となるときに、擬似接触であると判断される。
上記目的を達成するために、請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、押す力は正圧であり、引く力は負圧であることが好ましい。
上記目的を達成するために、請求項3に記載の発明は、基板に半田により接合された素子の擬似接触状態を電気検査する擬似接触の電気検査装置において、基板に半田により接合された素子に押す力と引く力を選択的に供給するための力供給手段と、力供給手段により素子に押す力と引く力が交互に供給されるときに、素子の電気的特性を連続的に測定するための電気的特性測定手段と、電気的特性測定手段により測定された電気的特性に基づいて擬似接触の有無を判断するための擬似接触判断手段とを備えたことを趣旨とする。
上記発明の構成によれば、力供給手段により、素子に押す力と引く力を交互に供給しながら、素子の電気的特性が電気的特性測定手段により連続的に測定される。これにより、素子が半田に押し付けられようとする状態と、素子が半田から引き離されようとする状態が交互に形成され、それら状態の少なくとも一方で非接触状態となるときに、擬似接触判断手段により擬似接触であると判断される。
上記目的を達成するために、請求項4に記載の発明は、請求項3に記載の発明において、力供給手段は、押す力としての正圧と、引く力としての負圧とを供給する圧力供給装置であることが好ましい。
請求項1又は2に記載の発明によれば、素子の端子と半田との擬似接触状態を確実に検査することができる。
請求項3又は4に記載の発明によれば、素子の端子と半田との擬似接触状態を確実に検査することができる。
<第1実施形態>
以下、本発明における擬似接触の電気検査方法及び電気検査装置を具体化した第1実施形態につき図面を参照して詳細に説明する。
以下、本発明における擬似接触の電気検査方法及び電気検査装置を具体化した第1実施形態につき図面を参照して詳細に説明する。
図1に、この実施形態の電気検査装置1の概略構成を断面図により示す。この電気検査装置1は、回路基板2を水平に支持する支持台3と、複数のプローブピン4を一体的に支持するピンボード5と、ピンボード5を水平に支持する支持枠6と、支持枠6を上下動させる昇降機構7とを備える。
回路基板2上には、複数の半導体素子11が半田12により電極等に接合される。図2に、回路基板2を概念的に平面図により示す。回路基板2上には、複数の半導体素子11が接合されると共に、複数のプローブピン4と接触する複数の検査用電極13が、回路基板2の両側縁に沿って配列される。各検査用電極13は、半導体素子11に接合される回路基板2上の電極14(図3参照)に電気的に接続される。
図1に示すように、支持台3は、その上面に複数の押し上げピン16と、基準ピン17とを備える。支持台3の上面にも、回路基板2の裏面の電極(図示略)に接触する複数のプローブピン4が設けられる。押し上げピン16は、そのヘッドがバネ18により上方へ付勢される。基準ピン17は、回路基板2の基準孔(図示略)に係合するように設けられる。基準ピン17と基準孔との係合により、回路基板2が各プローブピン4に対して位置決めされるようになっている。
図1に示すように、支持枠6は、水平に配置された基枠21と、基枠21の下側に設けられた複数の支持棒22とを備える。複数の支持棒22の下端には、ピンボード5が水平に支持される。支持枠6には、昇降機構7が機械的に連結される。
複数のプローブピン4は、ピンボード5の両側縁に沿って配列される。すなわち、プローブピン4は、図2に示す複数の検査用電極13の配列に整合するように配置される。ピンボード5の下面側には、一つの加圧治具26が取り付けられる。この加圧治具26の下面には、複数の空気孔27aを有する吸着パッド27が取り付けられる。吸着パッド27は、弾力性を有する材料から形成される。この吸着パッド27が、各半導体素子11の上面に当接したとき、各空気孔27aが各半導体素子11の上面に整合するようになっている。また、ピンボード5の下面側には、複数の押さえ棒23が設けられる。これら押さえ棒23は、支持台3の各押し上げピン16との間で、回路基板2をクランプするようになっている。
図1に示すように、各プローブピン4は、計測装置31に接続され、計測装置31から通電信号が供給されるようになっている。加圧治具26は、配管28を介して正圧/負圧発生装置32に接続され、同装置32から正圧と負圧が選択的に供給されるようになっている。この実施形態で、加圧治具26及び正圧/負圧発生装置32は、本発明の圧力供給装置、延いては力供給手段に相当する。昇降機構7、計測装置31及び正圧/負圧発生装置32はそれぞれ制御装置33に接続される。制御装置33は、昇降機構7、計測装置31と正圧/負圧発生装置32をそれぞれ制御するようになっている。制御装置33は、計測装置31から出力される計測結果に基づいて回路基板2における半導体素子11の端子等が半田4に非正常に接触しているか否か、すなわち「擬似接触状態」にあるか否かを判断するようになっている。この実施形態で、複数のプローブピン4と計測装置31は、本発明の電気的特性測定手段に相当する。この実施形態で、制御装置33は、本発明の擬似接触判断手段に相当する。
図3に、ピンボード5の加圧治具26及びプローブピン4と、回路基板2上の半導体素子11等との関係を概念的に断面図により示す。図3に示すように、回路基板2上には、複数の電極14が設けられ、それら電極14の上に半田12を介して半導体素子11が接合される。ピンボード5に支持された各プローブピン4が、回路基板2上の検査用電極13に接触した状態で、加圧治具26は吸着パッド27を介して半導体素子11の上面に当接している。そして、正圧/負圧発生装置32を動作させて加圧治具26から半導体素子11に押す力である正圧と引く力である負圧を交互に供給しながら、計測装置31を動作させて各プローブピン4に通電信号を供給することにより、計測装置31により半導体素子11の電気的特性を連続的に検査するようになっている。計測装置31により検査された電気的特性データは、制御装置33へ出力され、これに基づいて制御装置33が擬似接触の有無を判断するようになっている。
即ち、この実施形態では、回路基板2に半田12により接合された半導体素子11の擬似接触状態を電気検査する擬似接触の電気検査方法において、回路基板2に半田12により接合された半導体素子11に押す力である正圧と引く力である負圧を交互に供給しながら、半導体素子11の電気的特性を連続的に検査することにより、擬似接触の有無を判断するようにしている。
図4〜図6に、半導体素子11と半田12との異なる接触状態を断面図により示す。図4は、「良品状態」を示し、回路基板2上の電極14に接合した半田12と、半導体素子11の両端子11a,11bとが良好に接触した状態を示す。図5は、「不良状態」を示し、回路基板2上の電極14に接合した半田12と、半導体素子11の一方の端子11bとが接触していない状態を示す。図6は、「擬似接触状態」を示し、回路基板2上の電極14に接合した半田12と、半導体素子11の両端子11a,11bが接触はしているが、両端子11a,11bとも一部のみが半田12に接触し、他の部分は半田12から離れた状態を示す。このため、回路基板2に衝撃や振動が加わると、一方の端子11bが半田12から離れて接触状態を保てなくなる。この実施形態のこの電気検査装置1は、図4〜図6に示す各種接触状態を検査するようになっている。
次に、制御装置33が実行する電気検査の制御内容について説明する。図7に、この制御プログラムをフローチャートにより示す。このフローチャートを参照して以下に説明する。
先ず、ステップ100で、制御装置33は、治具位置決めクランプを行う。すなわち、制御装置33は、昇降機構7を動作させて支持枠6を降下させ、図1に示すように、支持台3と支持枠6の加圧治具26との間で回路基板2をクランプさせる。
ステップ110で、制御装置33は、電気検査を開始する。すなわち、制御装置33は、計測装置31を動作させて各プローブピン4に通電信号を供給させ、その通電信号に基づいて電気的特性を測定する。
ステップ120で、制御装置33は、正圧と負圧を交互に供給する。すなわち、制御装置33は、正圧/負圧発生装置32を動作させ、加圧治具26により各半導体素子11に正圧と負圧を交互に供給する。制御装置33は、この圧力供給を所定時間だけ継続させる。
その後、ステップ130で、制御装置33は、正圧と負圧の供給を停止する。すなわち、制御装置33は、所定時間経過後に正圧/負圧発生装置32を停止させる。
次に、ステップ140で、制御装置33は、電気検査を終了する。すなわち、制御装置33は、計測装置31による通電信号の出力と電気的特性の計測を停止させる。
その後、ステップ150で、制御装置33は、接触状態を判定する。すなわち、制御装置33は、計測装置31からの電気的特性データに基づき、各半導体素子11の両端子11a,11bの半田12との接触状態を判定する。
ここで、検査中は、各計測項目の測定値の変動が、計測系(プローブピン4及び計測装置31)が有する計測バラツキ範囲内で安定していることを確認する。この確認のために、加圧前の初期計測値を使用する。半導体素子11の端子11a,11bと半田12とが接触不良であれば、計測値が変動し、計測バラツキ範囲(計測バラツキ上限値と計測バラツキ下限値との間の範囲)を逸脱する。制御装置33は、計測値が計測バラツキ範囲を規定回数以上外れたことを判断した場合に、接触不良と判定するようになっている。
その後、ステップ160で、制御装置33は、治具位置決めアンクランプを行う。すなわち、制御装置33は、昇降機構7を動作させて支持枠6を上昇させ、加圧治具26と支持台3との間での回路基板2のクランプを解除する。
上記のような電気検査により、回路基板2に半田12により接合された半導体素子11に正圧と負圧を交互に供給しながら、半導体素子2の電気的特性を連続的に検査することにより、半導体素子11の端子11a,11bと半田12との間の擬似接触の有無を判断することとなる。
ここで、図6に示す「擬似接触状態」の半導体素子11につき、上記電気検査を行った場合の、接触状態の変化について説明する。図8〜図10に、半導体素子11と半田12との異なる接触状態を断面図により示す。先ず、加圧無しのときは、図8に示すように、両端子11a,11bとも一部が半田12に接触しているだけの状態となっている。この状態では、半導体素子11の両端子11a,11bは、電極14に対し導通状態となっている。この状態から、正圧を印加したときは、図9に示すように、半導体素子11が半田12に押さえ付けられ、両端子11a,11bとも半田12に密着した状態となる。この状態では、半導体素子11の両端子11a,11bは、電極14に対し導通状態となっている。この状態から、負圧を印加したときは、図10に示すように、半導体素子11が半田12から引き離されようとし、両端子11a,11b又は一方の端子11a,11bが半田12から離れた状態となる。この状態では、半導体素子11の一方の端子11bは、電極14に対し非導通状態となっている。
図11に、図4に示す「良品状態」に係る電気検査結果の一例をグラフにより示す。このグラフから分かるように、初期計測値の通電信号を半導体素子11に供給した場合、「圧力印加無し」、「正圧/負圧印加中」及び「圧力印加無し」の違いにかかわらず、通電信号は、初期計測値を維持したままとなる。
図12に、図6,8に示す「擬似接触状態」に係る電気検査結果の一例をグラフにより示す。このグラフから分かるように、初期計測値の通電信号を半導体素子11に供給した場合、「圧力印加無し」、「正圧/負圧印加中」及び「圧力印加無し」の違い応じて通電信号が変化する。すなわち、「圧力印加無し」の場合は、通電信号は、初期計測値を維持したままとなるが、「正圧/負圧印加中」の場合は、通電信号は、初期計測値から計測バラツキ上限値と計測バラツキ下限値との範囲を周期的に逸脱するように変化する。この信号変化は、正圧と負圧を交互に印加したことを反映したものである。従って、このような周期的な信号変化を得た場合に、半導体素子11の端子11a,11bが半田12に対し擬似接触状態にあることを判断することができる。
以上説明したように、この実施形態の電気検査装置1及び電気検査方法によれば、正圧/負圧発生装置32及び加圧治具26により、半導体素子11に押す力である正圧と引く力である負圧を交互に供給しながら、半導体素子11の電気的特性がプローブピン4及び計測装置31により連続的に計測される。これにより、半導体素子11が半田12に押し付けられようとする状態と、半導体素子11が半田12から引き離されようとする状態が交互に形成され、それら状態の少なくとも一方で半導体素子11の端子11a,11bが半田12に対して非接触状態となるときに、制御装置33により擬似接触であると判断される。このため、半導体素子11の端子11a,11bと半田12との擬似接触状態を確実に検査することができる。
この実施形態では、加圧治具26が弾力性を有する吸着パッド27を含み、その吸着パッド27を介して半導体素子11に接触するようになっている。従って、半導体素子11に多少の高さの違いがあっても、その高さのバラツキを吸着パッド27により吸収することができる。
この実施形態では、ピンボード5の両側縁に沿って複数のプローブピン4が一列に配置され、加圧治具26がそれらプローブピン4の配列の間に配置される。このため、加圧治具26及び各半導体素子11とプローブピン4との間の干渉を回避することができる。
<第2実施形態>
次に、本発明における擬似接触の電気検査方法及び電気検査装置を具体化した第2実施形態につき図面を参照して詳細に説明する。
次に、本発明における擬似接触の電気検査方法及び電気検査装置を具体化した第2実施形態につき図面を参照して詳細に説明する。
なお、以下の説明において、第1実施形態と同等の構成については同一の符号を付して説明を省略し、異なった点を中心に説明する。
図13に、この実施形態の電気検査装置1の機械的概略構成を断面図により示す。この電気検査装置1は、ピンボード5におけるプローブピン4の配置と、加圧治具26A,26Bの点で、第1実施形態と構成が異なる。
この実施形態では、回路基板2上に、複数の半導体素子11が半田12により電極等に接合される。図14に、回路基板2を概念的に平面図により示す。回路基板2上には、半導体素子11が接合されると共に、プローブピン4と接触する検査用電極13が、各半導体素子11と隣接して配置される。各検査用電極13は、半導体素子11に半田12を介して接続される回路基板2上の電極14(図3等参照)に接続される。
複数のプローブピン4は、ピンボード5の全面に分散して配置される。すなわち、図14に示す複数の検査用電極13の配置に整合するようにプローブピン4がピンボード5に配置される。ピンボード5の下面側には、半導体素子11の配置と整合するように複数の加圧治具26A,26Bが取り付けられる。これら加圧治具26A,26Bの下面には、空気孔27aを有する吸着パッド27が取り付けられる。各加圧治具26A,26Bの吸着パッド27が、各半導体素子11の上面に接触したとき、各空気孔27aが各半導体素子11の上面に整合するようになっている。各加圧治具26A,26Bは、それぞれ正圧/負圧発生装置32に接続される。その他の構成は、基本的に第1実施形態のそれと同じである。
従って、この実施形態の電気検査方法及び電気検査装置でも、第1実施形態と基本的に同等の作用効果を得ることができる。加えて、この実施形態では、各半導体素子11に対応して加圧治具26A,26Bを設けているので、各半導体素子11に対して個別に正圧及び負圧を供給することができる。
なお、この発明は前記各実施形態に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱することのない範囲で構成の一部を適宜変更して実施することもできる。
例えば、前記実施形態では、回路基板2に半田12により接合された半導体素子11に押す力と引く力を選択的に供給するための力供給手段として、押す力としての正圧と、引く力としての負圧とを供給する圧力供給装置を設けた。また、圧力供給装置を、加圧治具26,26A,26Bと正圧/負圧発生装置32により構成した。これに対し、力供給手段を、図15に示すように、ピンボード5に取り付けられた振動発生器41と、その振動発生器41に設けられ、半導体素子11に吸着する吸着器42とにより構成することもできる。この場合、振動発生器41を動作させることにより、吸着器42を介して半導体素子11に、押す力と引く力を選択的に供給することができる。
この発明は、基板に半田により接合された素子の擬似接触状態を電気検査する電気検査方法及び電気検査装置であれば、あらゆる電気的特性を計測する技術に適用することができる。例えば、インサーキットテスト、ファンクション検査装置、電圧計、電流計及び静電容量計に利用可能である。
1 電気検査装置
2 回路基板
4 プローブピン(電気的特性測定手段)
11 半導体素子
11a 端子
11b 端子
12 半田
26 加圧治具(力供給手段、圧力供給装置)
26A 加圧治具(力供給手段、圧力供給装置)
26B 加圧治具(力供給手段、圧力供給装置)
27 吸着パッド
31 計測装置(電気的特性測定手段)
32 正圧/負圧発生装置(力供給手段、圧力供給装置)
33 制御装置(擬似接触判断手段)
41 振動発生器(力供給手段)
42 吸着器
2 回路基板
4 プローブピン(電気的特性測定手段)
11 半導体素子
11a 端子
11b 端子
12 半田
26 加圧治具(力供給手段、圧力供給装置)
26A 加圧治具(力供給手段、圧力供給装置)
26B 加圧治具(力供給手段、圧力供給装置)
27 吸着パッド
31 計測装置(電気的特性測定手段)
32 正圧/負圧発生装置(力供給手段、圧力供給装置)
33 制御装置(擬似接触判断手段)
41 振動発生器(力供給手段)
42 吸着器
Claims (4)
- 基板に半田により接合された素子の擬似接触状態を電気検査する擬似接触の電気検査方法において、
前記基板に半田により接合された素子に押す力と引く力を交互に供給しながら、前記素子の電気的特性を連続的に検査することにより、擬似接触の有無を判断することを特徴とする擬似接触の電気検査方法。 - 前記押す力は正圧であり、前記引く力は負圧であることを特徴とする請求項1に記載の擬似接触の電気検査方法。
- 基板に半田により接合された素子の擬似接触状態を電気検査する擬似接触の電気検査装置において、
前記基板に半田により接合された素子に押す力と引く力を選択的に供給するための力供給手段と、
前記力供給手段により前記素子に前記押す力と前記引く力が交互に供給されるときに、前記素子の電気的特性を連続的に測定するための電気的特性測定手段と、
前記電気的特性測定手段により測定された電気的特性に基づいて擬似接触の有無を判断するための擬似接触判断手段と
を備えたことを特徴とする擬似接触の電気検査装置。 - 前記力供給手段は、前記押す力としての正圧と、前記引く力としての負圧とを供給する圧力供給装置であることを特徴とする請求項3に記載の擬似接触の電気検査装置。
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CN105984723A (zh) * | 2014-11-27 | 2016-10-05 | 鸿劲科技股份有限公司 | 电子元件作业装置的气压式检知机构、方法及其应用设备 |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20140107 |