JP2012082300A - 付加硬化型シリコーン組成物、及び該組成物の硬化物により半導体素子が被覆された半導体装置 - Google Patents

付加硬化型シリコーン組成物、及び該組成物の硬化物により半導体素子が被覆された半導体装置 Download PDF

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Abstract

【課題】低粘度で充填性が良く、硬化性が良好で、硬化して、屈折率が大きく、光透過率が高く、基材に対する密着性が高く、耐クラック性に優れ、ガス透過性が低い硬化物を形成する付加硬化型シリコーン組成物、及び該組成物の硬化物により半導体素子が被覆されている、信頼性が優れる半導体装置を提供する。
【解決手段】少なくとも、(A)平均単位式(1)で表される、共重合組成の異なる二種のオルガノポリシロキサン、(RSiO3/2a1(R SiO2/2b1(R SiO1/2c1(X1/2d1(1)(B)平均組成式(2)で表される、1分子中に少なくとも2個のSi−H結合を有し、ケイ素原子に結合したR’とHの合計の5モル%以上がフェニル基であるオルガノハイドロジェンポリシロキサン、R’a’b’SiO[(4−a’−b’)/2](2)及び(C)ヒドロシリル化反応用触媒を含有する付加硬化型シリコーン組成物。
【選択図】なし

Description

本発明は、付加硬化型シリコーン組成物、及びこれを用いた半導体装置に関し、詳しくは、低粘度で充填性が良く、硬化性が良好で、硬化して、屈折率が大きく、光透過率が高く、基材に対する密着性が高く、耐クラック性、ガスバリア性に優れる硬化物を形成する付加硬化型シリコーン組成物、及び該組成物の硬化物により半導体素子が被覆されている、信頼性に優れる半導体装置に関する。
ヒドロシリル化反応により硬化する付加硬化型シリコーン組成物は、フォトカプラー、発光ダイオード、固体撮像素子等の光学用半導体装置における半導体素子の保護コーティング剤として使用されている。このような半導体素子の保護コーティング剤は、前記素子が発光したり、あるいは受光したりするため、光を吸収したり、散乱したりしないことが要求されている。
ヒドロシリル化反応により硬化して、屈折率が大きく、光透過性が高い硬化物を形成する付加硬化型シリコーン組成物としては、例えば、ケイ素原子結合フェニル基とケイ素原子結合アルケニル基を含有するオルガノポリシロキサン、オルガノハイドロジェンシクロシロキサン、及びヒドロシリル化反応用触媒からなる硬化性オルガノポリシロキサン組成物(特許文献1参照);ケイ素原子結合フェニル基とケイ素原子結合アルケニル基を含有する、粘度が10,000cp(25℃)以上の液状又は固体のオルガノポリシロキサン、一分子中に少なくとも2個のケイ素原子結合水素原子を有するオルガノハイドロジェンポリシロキサン、及びヒドロシリル化反応用触媒からなる硬化性オルガノポリシロキサン組成物(特許文献2参照);ケイ素原子に結合したアルケニル基を一分子中に少なくとも2個有し、かつケイ素原子に結合したアリール基を有するオルガノポリシロキサン、ケイ素原子に結合した水素原子を一分子中に少なくとも2個有するオルガノポリシロキサン、及び白金のアリール基含有オルガノシロキサンオリゴマー錯体からなる硬化性オルガノポリシロキサン組成物(特許文献3参照);分子鎖両末端がシロキサン結合を介してケイ素原子結合水素原子で封鎖されたオルガノポリシロキサン組成物(特許文献4参照)等が挙げられる。
しかし、これらの硬化性オルガノポリシロキサン組成物は、硬化と透明性のバランスを取るのが難しかったり、微量の触媒毒で剥離が生じたりする事があった。
また、粘度が高く充填性に乏しい、硬化物の密着性が乏しく基材から剥離し易い、硬化性の制御が難しく現場製造時に不具合が起こり易い、耐クラック性に劣る、ガス透過性が高く基板を腐蝕し易いといった問題もあった。
更に、直鎖状のシリコーンオイルと分岐構造を有するシリコーン樹脂を併用した付加硬化型シリコーン組成物(特許文献5参照)も提案されているが、基材に対する密着性や耐クラック性は不十分であった。
特開平8−176447号公報 特開平11−1619号公報 特開2003−128922号公報 特開2005−105217号公報 特開2004−143361号公報
本発明は上記事情に鑑みなされたもので、低粘度で充填性が良く、硬化性が良好で、硬化して、屈折率が大きく、光透過率が高く、基材に対する密着性が高く、耐クラック性に優れ、ガス透過性が低い硬化物を形成する付加硬化型シリコーン組成物、及び該組成物の硬化物により半導体素子が被覆されている、信頼性に優れる半導体装置を提供することを目的とする。
上記課題を解決するため、本発明は、少なくとも、
(A)下記平均単位式(1)で表されるオルガノポリシロキサン:100質量部、
(RSiO3/2a1(R SiO2/2b1(R SiO1/2c1(X1/2d1 (1)
{式中、Rは同一又は異なっていても良い、置換又は非置換の一価炭化水素基(但し、Rの0.1〜50モル%はアルケニル基であり、Rの10モル%以上はアリール基である)であり、Xは水素原子又はアルキル基である。a1は0.25〜1、b1は0〜0.75、c1は0〜0.3、d1は0〜0.1であり、a1+b1+c1+d1は1である。}
(B)下記平均単位式(2)で表されるオルガノポリシロキサン:1〜99質量部、
(RSiO3/2a2(R SiO2/2b2(R SiO1/2c2(X1/2d2 (2)
{式中、Rは同一又は異なっていても良い、置換又は非置換の一価炭化水素基(但し、Rの0.001〜20モル%はアルケニル基であり、Rの10モル%以上はアリール基である)であり、Xは水素原子又はアルキル基である。a2は0.005〜0.1、b2は0.5〜0.95、c2は0.005〜0.1、d2は0〜0.1であり、a2+b2+c2+d2は1である。}
(C)下記平均組成式(3)で表される、1分子中に少なくとも2個のSi−H結合を有し、ケイ素原子に結合したR’とHの合計の5モル%以上がフェニル基であるオルガノハイドロジェンポリシロキサン:(A)+(B)成分の合計100質量部に対して1〜200質量部となる量、
R’a’b’SiO[(4−a’−b’)/2] (3)
(式中、R’は脂肪族不飽和炭化水素基を除く、同一又は異なっていても良い、置換又は非置換の一価炭化水素基である。a’,b’は0.7≦a’≦2.1、0.01≦b’≦1.0、かつ0.8≦a’+b’≦2.7を満たす正数である。)
及び
(D)ヒドロシリル化反応用触媒:本組成物の硬化を促進する量
を含有することを特徴とする付加硬化型シリコーン組成物を提供する。
このような本発明の付加硬化型シリコーン組成物は、低粘度で充填性が良く、硬化性も良好である。また、硬化した場合には、屈折率が大きく、光透過率が高く、基材に対する密着性が高く、耐クラック性に優れ、ガス透過性が低い硬化物となる。
また、前記(A)成分において、前記平均単位式(1)中のRのアリール基の含有率が30モル%以上であることが好ましい。
このように、(A)成分を構成する平均単位式(1)中のケイ素原子結合有機基に対する有機ケイ素結合アリール基の含有率が30モル%以上であれば、屈折率、光透過性に優れると共に、耐クラック性もより優れたものとなる。
また、前記(B)成分において、前記平均単位式(2)中のRのアリール基の含有率が30モル%以上であることが好ましい。
このように、(B)成分を構成する平均単位式(2)中のケイ素原子結合有機基に対する有機ケイ素結合アリール基の含有率が30モル%以上であれば、屈折率、光透過性に優れると共に、耐クラック性もより優れたものとなる。
また、前記(C)成分において、前記平均組成式(3)中のケイ素原子に結合したR’とHの合計の5〜50モル%がフェニル基であることが好ましい。
このように、前記平均組成式(3)中のケイ素原子に結合したR’とHの合計の5〜50モル%がフェニル基であるものが、(A)、(B)成分との相溶性、硬化物の物性等の点で好適に用いられる。
また、硬化して、可視光(589nm)における屈折率(25℃)が1.5以上の硬化物を形成することが好ましい。
このように、硬化して、可視光(589nm)における屈折率(25℃)が1.5以上の硬化物を形成することができる組成物であれば、組成物の硬化物により被覆された半導体素子を有する半導体装置に十分な信頼性を付与することができる。
また、硬化して、光透過率(25℃)が80%以上の硬化物を形成することが好ましい。
このように、硬化して、光透過率(25℃)が80%以上の硬化物を形成することができる組成物であれば、組成物の硬化物により被覆された半導体素子を有する半導体装置に十分な信頼性を付与することができる。
また本発明は、前記付加硬化型シリコーン組成物の硬化物により半導体素子が被覆されていることを特徴とする半導体装置を提供する。
このような本発明の半導体装置は、屈折率が大きく、光透過率が高く、基材に対する密着性が高く、耐クラック性に優れ、ガス透過性が低い本発明の付加硬化型シリコーン組成物の硬化物で被覆されているため、信頼性に優れるものとなる。
以上説明したように、本発明の付加硬化型シリコーン組成物は、低粘度で充填性が良く、硬化性が良好で、硬化して、屈折率が大きく、光透過率が高く、密着性が高く、耐クラック性に優れ、ガス透過性が低い硬化物を形成するという特徴があり、また、本発明の半導体装置は、半導体素子が上記組成物の硬化物により被覆されているので、信頼性に優れるという特徴がある。
本発明の付加硬化型シリコーン組成物が好適に用いられる半導体装置の一例を示す概略断面図である。
以下、本発明につき更に詳しく説明する。
上述のように、従来の付加硬化型シリコーン組成物は、硬化と透明性のバランスを取るのが難しかったり、微量の触媒毒で剥離が生じたりする事があったり、粘度が高く充填性に乏しい、硬化物の密着性が乏しく基材から剥離し易い、硬化性の制御が難しく現場製造時に不具合が起こり易い、耐クラック性に劣るといった問題を有していた。
そこで、本発明者が上記問題点を解決すべく鋭意研究を行った結果、成分中に分岐した長鎖のアリール基含有オルガノポリシロキサンを用いれば、長鎖のオイル中に分子内に分岐した部分を有する事で、特に、ガス透過性を低くすることや、熱衝撃試験時の耐久性等を向上させることが可能となり、また、組成物を形成する各成分の構成等により、屈折率や光透過性を良好に保ったまま、硬化性、耐クラック性、密着性等の諸特性も向上させることが可能となり、問題点を解決できることを見出し、本発明を完成させるに至った。
即ち、本発明の付加硬化型シリコーン組成物は、少なくとも、
(A)下記平均単位式(1)で表されるオルガノポリシロキサン:100質量部、
(RSiO3/2a1(R SiO2/2b1(R SiO1/2c1(X1/2d1 (1)
{式中、Rは同一又は異なっていても良い、置換又は非置換の一価炭化水素基(但し、Rの0.1〜50モル%はアルケニル基であり、Rの10モル%以上はアリール基である)であり、Xは水素原子又はアルキル基である。a1は0.25〜1、b1は0〜0.75、c1は0〜0.3、d1は0〜0.1であり、a1+b1+c1+d1は1である。}
(B)下記平均単位式(2)で表されるオルガノポリシロキサン:1〜99質量部、
(RSiO3/2a2(R SiO2/2b2(R SiO1/2c2(X1/2d2 (2)
{式中、Rは同一又は異なっていても良い、置換又は非置換の一価炭化水素基(但し、Rの0.001〜20モル%はアルケニル基であり、Rの10モル%以上はアリール基である)であり、Xは水素原子又はアルキル基である。a2は0.005〜0.1、b2は0.5〜0.95、c2は0.005〜0.1、d2は0〜0.1であり、a2+b2+c2+d2は1である。}
(C)下記平均組成式(3)で表される、1分子中に少なくとも2個のSi−H結合を有し、ケイ素原子に結合したR’とHの合計の5モル%以上がフェニル基であるオルガノハイドロジェンポリシロキサン:(A)+(B)成分の合計100質量部に対して1〜200質量部となる量、
R’a’b’SiO[(4−a’−b’)/2] (3)
(式中、R’は脂肪族不飽和炭化水素基を除く、同一又は異なっていても良い、置換又は非置換の一価炭化水素基である。a’,b’は0.7≦a’≦2.1、0.01≦b’≦1.0、かつ0.8≦a’+b’≦2.7を満たす正数である。)
及び
(D)ヒドロシリル化反応用触媒:本組成物の硬化を促進する量
を含有することを特徴とする。
以下、本発明の組成物の各成分について、詳しく説明する。
<(A)成分>
(A)成分は、下記平均単位式(1)で表されるオルガノポリシロキサンである。
(RSiO3/2a1(R SiO2/2b1(R SiO1/2c1(X1/2d1 (1)
{式中、Rは同一又は異なっていても良い、置換又は非置換の一価炭化水素基(但し、Rの0.1〜50モル%はアルケニル基であり、Rの10モル%以上はアリール基である)であり、Xは水素原子又はアルキル基である。a1は0.25〜1、b1は0〜0.75、c1は0〜0.3、d1は0〜0.1であり、a1+b1+c1+d1は1である。}
中のアルケニル基としては、ビニル基、アリル基、ブテニル基、ペンテニル基、ヘキセニル基が例示され、特に、ビニル基であることが好ましい。R中のアルケニル基の含有率は、0.1〜50モル%、好ましくは1〜40モル%、特に好ましくは5〜30モル%である。0.1モル%未満では、組成物の硬化性が不十分となり、50モル%を超えると硬化物が脆くなり、耐クラック性が低下する。
また、R中のアリール基としては、フェニル基、トリル基、キシリル基、ナフチル基が例示され、特に、フェニル基であることが好ましい。R中のアリール基の含有率は、10モル%以上、好ましくは30モル%以上、より好ましくは40〜99.9モル%、特に好ましくは45〜95モル%である。10モル%未満であると、硬化物の光透過性が低下する。また、30モル%以上であれば、屈折率、光透過性に優れると共に、耐クラック性もより優れたものとなる。
また、R中のアルケニル基及びアリール基以外のケイ素原子結合有機基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基等のアルキル基;ベンジル基、フェネチル基等のアラルキル基;クロロメチル基、3−クロロプロピル基、3,3,3−トリフルオロプロピル基等のハロゲン化アルキル基等の置換又は非置換の一価炭化水素基等が例示され、特に、メチル基であることが好ましい。
また、上記平均単位式(1)中、Xは水素原子又はアルキル基であり、このアルキル基としては、Rとして例示したものと同様の基が例示され、特に、メチル基、エチル基であることが好ましい。
また、a1は0.25〜1、好ましくは0.5〜1、特に好ましくは0.6〜1であり、b1は0〜0.75、好ましくは0〜0.5、特に好ましくは0〜0.4であり、c1は0〜0.3、好ましくは0〜0.2であり、d1は0〜0.1、好ましくは0〜0.05であり、a1+b1+c1+d1は1である。
a1が0.25未満((RSiO3/2)単位の含有率が25モル%未満)であると耐クラック性等が不十分となる。
このような(A)成分の分子量は限定されないが、THF溶媒を用いたGPC測定(標準ポリスチレン換算)による重量平均分子量(Mw)が500〜10,000であることが好ましく、より好ましくは700〜5,000、特に好ましくは、1,000〜3,000である。
<(B)成分>
(B)成分は、本組成物を硬化して得られる硬化物に可とう性と補強性を付与するための成分であり、下記平均単位式(2)で表されるオルガノポリシロキサンである。
(RSiO3/2a2(R SiO2/2b2(R SiO1/2c2(X1/2d2 (2)
{式中、Rは同一又は異なっていても良い、置換又は非置換の一価炭化水素基(但し、Rの0.001〜20モル%はアルケニル基であり、Rの10モル%以上はアリール基である)であり、Xは水素原子又はアルキル基である。a2は0.005〜0.1、b2は0.5〜0.95、c2は0.005〜0.1、d2は0〜0.1であり、a2+b2+c2+d2は1である。}
中のアルケニル基としては、ビニル基、アリル基、ブテニル基、ペンテニル基、ヘキセニル基が例示され、特に、ビニル基であることが好ましい。R中のアルケニル基の含有率は、0.001〜20モル%、好ましくは0.003〜10モル%、特に好ましくは0.01〜5モル%である。0.001モル%未満では、組成物の硬化性が不十分となり、20モル%を超えると硬化物が脆くなり、耐クラック性が低下する。
また、R中のアリール基としては、フェニル基、トリル基、キシリル基、ナフチル基が例示され、特に、フェニル基であることが好ましい。R中のアリール基の含有率は、10モル%以上、好ましくは15〜80モル%、特に好ましくは30〜70モル%である。10モル%未満であると、硬化物の光透過性が低下する。また、30モル%以上であれば、屈折率、光透過性に優れると共に、耐クラック性もより優れたものとなる。
また、R中のアルケニル基及びアリール基以外のケイ素原子結合有機基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基等のアルキル基;ベンジル基、フェネチル基等のアラルキル基;クロロメチル基、3−クロロプロピル基、3,3,3−トリフルオロプロピル基等のハロゲン化アルキル基等の置換又は非置換の一価炭化水素基等が例示され、特に、メチル基であることが好ましい。
また、上記平均単位式(2)中、Xは水素原子又はアルキル基であり、このアルキル基としては、Rとして例示したものと同様の基が例示され、特に、メチル基、エチル基であることが好ましい。
また、a2は0.005〜0.1、好ましくは0.01〜0.05、特に好ましくは0.015以上0.05未満であり、b2は0.5〜0.95、好ましくは0.6〜0.9であり、c2は0.005〜0.1、好ましくは0.01〜0.1であり、d2は0〜0.1、好ましくは0〜0.05であり、a1+b1+c1+d1は1である。
a2が0.005未満((RSiO3/2)単位の含有率が0.5モル%未満)であると基材との密着性、耐クラック性が不十分となり、0.1を超えると可とう性が不十分となる。
また、本発明の組成物は、特に(B)成分が、
Figure 2012082300
で表される単位構造を含むことが好ましく、(R SiO2/2b2単位の10モル%以上、特に50モル%以上が上記単位構造であることが好ましい。
上記単位構造を含有すると、より耐クラック性や透明性に優れた硬化物を得ることができる。
このような(B)成分の分子量は限定されないが、THF溶媒を用いたGPC測定(標準ポリスチレン換算)による重量平均分子量(Mw)が1,000〜30,000であることが好ましく、より好ましくは2,000〜20,000、特に好ましくは、4,000〜15,000である。
また、(B)成分のオルガノポリシロキサンの粘度は25℃において0.5〜10,000mPa・sが好ましく、より好ましくは10〜6,000mPa・sが好ましい。
好ましくは下記式で表されるオルガノポリシロキサンである。
Figure 2012082300
(式中、Aはメチル基又はフェニル基である。b2’,b2’’は0以上の正数で、b2’+b2’’=b2である。c2’は0を超える正数、c2’’は0以上の正数で、c2’+c2’’=c2である。)
以下に具体的な構造を示す。
Figure 2012082300
Figure 2012082300
Figure 2012082300
Figure 2012082300
Figure 2012082300
Figure 2012082300
<(C)成分>
(C)成分は、下記平均組成式(3)
R’a’b’SiO[(4−a’−b’)/2] (3)
(式中、R’は脂肪族不飽和炭化水素基を除く、同一又は異なっていても良い、置換又は非置換の一価炭化水素基である。a’,b’は0.7≦a’≦2.1、0.01≦b’≦1.0、かつ0.8≦a’+b’≦2.7を満たす正数である。)
で表される、1分子中に少なくとも2個、好ましくは3個以上のSi−H結合(即ち、ケイ素原子に結合した水素原子)を有し、ケイ素原子に結合したR’とHの合計の5モル%以上がフェニル基であり、好ましくは25℃での粘度が1,000mPa・s以下、通常0.5〜1,000mPa・s、より好ましくは1〜500mPa・sである直鎖状のオルガノハイドロジェンポリシロキサンである。
ここで、R’は好ましくは炭素数1〜20、特に好ましくは1〜10の、脂肪族不飽和炭化水素基を除く、同一又は異なっていても良い、置換又は非置換の一価炭化水素基であり、このような炭化水素基として具体的には、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、tert−ブチル基、ヘキシル基等のアルキル基、シクロヘキシル基等のシクロアルキル基等の飽和炭化水素基、フェニル基、トリル基等のアリール基、ベンジル基、フェニルエチル基等のアラルキル基、3,3,3−トリフルオロプロピル基等のハロゲン置換炭化水素基、シアノ置換炭化水素基等が挙げられる。
また、a’,b’は0.7≦a’≦2.1、好ましくは1.0≦a’≦1.8、0.01≦b’≦1.0、好ましくは0.02≦b’≦1.0、より好ましくは0.10≦b’≦1.0、かつ0.8≦a’+b’≦2.7、好ましくは1.01≦a’+b’≦2.4、より好ましくは1.6≦a’+b’≦2.2を満たす正数であり、b’が0.01未満ではシリコーン樹脂として十分な硬度が得られなくなってしまう。
この場合、この(C)成分のオルガノハイドロジェンポリシロキサンは、(A)、(B)成分との相溶性、硬化物の物性等の点から、ケイ素原子に結合した全R’とH(水素原子)のうち5モル%以上がフェニル基であるものが用いられ、特に10〜50モル%がフェニル基であるものが好適に用いられる。或いは、ケイ素原子に結合した全R’とH(水素原子)のうち15モル%以上、通常15〜70モル%、好ましくは20〜50モル%がフェニル基であるオルガノハイドロジェンポリシロキサンと、ケイ素原子に結合した全R’とH(水素原子)のうち15モル%未満、通常0〜14モル%、特に1〜10モル%がフェニル基であるオルガノハイドロジェンポリシロキサンとを重量比1:9〜9:1、特に2:8〜8:2の割合で混合したオルガノハイドロジェンポリシロキサン混合物も好適に使用することができる。
尚、R’においてフェニル基以外の場合には、メチル基であることが好ましい。
上記(C)成分のオルガノハイドロジェンポリシロキサンの配合量は、(A)+(B)成分100質量部に対して好ましくは1〜200質量部、好ましくは5〜80質量部であり、配合量が1質量部未満では、硬化性が不十分となり、200質量部を超えると十分な硬度・強度が得られない。
また、この(C)成分のオルガノハイドロジェンポリシロキサンは、(A)+(B)成分中のアルケニル基に対する(C)成分中のケイ素原子結合水素原子(即ち、SiH基)のモル比が0.5〜5モル/モル、特には1〜3モル/モルとなる量で配合することがより好ましい。
<(D)成分>
(D)成分のヒドロシリル化反応用触媒は、(A)成分及び(B)成分中のアルケニル基と、(C)成分中のケイ素原子結合水素原子とのヒドロシリル化反応を促進するための触媒である。このような(D)成分としては、白金系触媒、ロジウム系触媒、パラジウム系触媒が例示され、本組成物の硬化を著しく促進できることから白金系触媒であることが好ましい。この白金系触媒としては、白金微粉末、塩化白金酸、塩化白金酸のアルコール溶液、白金−アルケニルシロキサン錯体、白金−オレフィン錯体、白金−カルボニル錯体が例示され、特に、白金−アルケニルシロキサン錯体であることが好ましい。このアルケニルシロキサンとしては、1,3−ジビニル−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン、1,3,5,7−テトラメチル−1,3,5,7−テトラビニルシクロテトラシロキサン、これらのアルケニルシロキサンのメチル基の一部をエチル基、フェニル基等の基で置換したアルケニルシロキサン、これらのアルケニルシロキサンのビニル基をアリル基、ヘキセニル基等の基で置換したアルケニルシロキサンが例示される。特に、この白金−アルケニルシロキサン錯体の安定性が良好であることから、1,3−ジビニル−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサンであることが好ましい。
また、この白金−アルケニルシロキサン錯体の安定性を向上させることができることから、この錯体に1,3−ジビニル−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン、1,3−ジアリル−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン、1,3−ジビニル−1,3−ジメチル−1,3−ジフェニルジシロキサン、1,3−ジビニル−1,1,3,3−テトラフェニルジシロキサン、1,3,5,7−テトラメチル−1,3,5,7−テトラビニルシクロテトラシロキサン等のアルケニルシロキサンやジメチルシロキサンオリゴマー等のオルガノシロキサンオリゴマーを添加することが好ましく、特に、アルケニルシロキサンを添加することが好ましい。
(D)成分の含有量は、本組成物の硬化(ヒドロシリル化反応)を促進する量(触媒量)であれば限定されず、具体的には、本組成物の(A)成分と(B)成分の合計に対して、本成分中の金属原子が質量単位で0.01〜500ppmの範囲内となる量であることが好ましく、さらには、0.05〜100ppmの範囲内となる量であることが好ましく、特には、0.01〜50ppmの範囲内となる量であることが好ましい。これは、(D)成分の含有量が上記範囲であると、本組成物が十分に硬化するからであり、得られる硬化物に着色等の問題を生じる恐れがなくなると共に経済的であるからである。
<任意成分>
本組成物には、その他任意の成分として、2−メチル−3−ブチン−2−オール、3,5−ジメチル−1−ヘキシン−3−オール、2−フェニル−3−ブチン−2−オール等のアルキンアルコール;3−メチル−3−ペンテン−1−イン、3,5−ジメチル−3−ヘキセン−1−イン等のエンイン化合物;1,3,5,7−テトラメチル−1,3,5,7−テトラビニルシクロテトラシロキサン、1,3,5,7−テトラメチル−1,3,5,7−テトラヘキセニルシクロテトラシロキサン、ベンゾトリアゾール等の反応抑制剤を含有しても良い。この反応抑制剤の含有量は限定されないが、(A)成分と(B)成分の合計100質量部に対して0.0001〜5質量部の範囲内であることが好ましい。
また、本組成物には、その接着性を向上させるための接着付与剤を含有していても良い。この接着付与剤としては、ケイ素原子に結合したアルコキシ基を一分子中に少なくとも1個、好ましくは2個以上有する有機ケイ素化合物であることが好ましい。このアルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、メトキシエトキシ基が例示され、特に、メトキシ基であることが好ましい。また、この有機ケイ素化合物のケイ素原子に結合するアルコキシ基以外の基としては、R等として例示した、前記アルキル基、前記アルケニル基、前記アリール基、前記アラルキル基、前記ハロゲン化アルキル基等の置換もしくは非置換の一価炭化水素基;3−グリシドキシプロピル基、4−グリシドキシブチル基等のグリシドキシアルキル基;2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチル基、3−(3,4−エポキシシクロヘキシル)プロピル基等のエポキシシクロヘキシルアルキル基;4−オキシラニルブチル基、8−オキシラニルオクチル基等のオキシラニルアルキル基等のエポキシ基含有一価有機基;3−メタクリロキシプロピル基等のアクリル基含有一価有機基;水素原子が例示される。具体的にはエポキシ基含有シランカップリング剤、(メタ)アクリル基含有シランカップリング剤等のシランカップリング剤やその部分加水分解縮合物(シランカップリング剤のオリゴマー)等が例示される。
より具体的には、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン等のシラン化合物;一分子中にケイ素原子結合アルケニル基もしくはケイ素原子結合水素原子、及びケイ素原子結合アルコキシ基をそれぞれ少なくとも1個ずつ有するシロキサン化合物、ケイ素原子結合アルコキシ基を少なくとも1個有するシラン化合物又はシロキサン化合物と一分子中にケイ素原子結合ヒドロキシ基とケイ素原子結合アルケニル基をそれぞれ少なくとも1個ずつ有するシロキサン化合物との混合物、メチルポリシリケート、エチルポリシリケート、エポキシ基含有エチルポリシリケートが例示される。
この接着付与剤は低粘度液状であることが好ましく、その粘度は限定されないが、25℃において1〜500mPa・sの範囲内であることが好ましい。下式に示すような接着付与剤を添加しても良い。
Figure 2012082300
また、上記組成物において、この接着付与剤の含有量は限定されないが、(A)成分と(B)成分の合計100質量部に対して0.01〜10質量部であることが好ましい。
また、本組成物には、本発明の目的を損なわない限り、その他任意の成分として、シリカ、ガラス、アルミナ、酸化亜鉛等の無機質充填剤;ポリメタクリレート樹脂等の有機樹脂微粉末;耐熱剤、染料、顔料、難燃性付与剤、溶剤等を含有しても良い。
また、本組成物は、硬化して、JISに規定の硬さがショアーDで30以上、特に30〜90である硬化物を形成するものが好ましい。
このように、硬化した際に、例えばショアーDで30以上の硬化物を形成するものとすれば、半導体装置等に用いた場合にも、外部応力の影響を受け難く、ゴミ等が極力付着し難くなる。
また、本組成物は、組成物の硬化物により被覆された半導体素子を有する半導体装置に十分な信頼性を付与するため、硬化して得られる硬化物の可視光(589nm)における屈折率(25℃)が1.5以上であり、硬化物の光透過率(25℃)が80%以上であることが好ましい。
尚、この屈折率は、例えば、アッベ式屈折率計により測定することができる。この際、アッベ式屈折率計における光源の波長を変えることにより任意の波長における屈折率を測定することができる。また、この光透過率は、例えば、光路長2.0mmの硬化物を分光光度計により測定することにより求めることができる。
また、本組成物を硬化して得られる硬化物の200nm〜250nmの波長における紫外線透過率(25℃)が10%以下であることが好ましい。これは、本組成物の硬化物により半導体素子を被覆してなる半導体装置が、200nm〜250nmの短波長の紫外線を受けた場合に、その半導体装置を構成する材料の劣化を防止するためである。この紫外線透過率は、例えば、光路長2.0mmの硬化物を分光光度計により測定することにより求めることができる。
本組成物は、室温又は加熱により硬化が進行するが、迅速に硬化させるためには加熱することが好ましい。この加熱温度としては、50〜200℃の範囲内であることが好ましい。
本組成物を硬化して得られる硬化物はエラストマー状、例えばゲル状、あるいは柔軟なゴム状から弾性を有する樹脂状まで得られる。このような本組成物は、電気・電子用の接着剤、ポッティング剤、保護コーティング剤、アンダーフィル剤として使用することができ、特に、光透過率が高いことから、光学用途の半導体素子の接着剤、ポッティング剤、保護コーティング剤、アンダーフィル剤として好適である。
本発明では更に、このような本発明の付加硬化型シリコーン組成物を用いた半導体装置を提供する。
以下、図面を参照に、本発明の半導体装置について説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
図1は、本発明の半導体装置の一例(この場合LED)を示す概略断面図である。
本発明の半導体装置1は、銀メッキ基板2が形成されたパッケージ3上に、半導体チップ4がダイボンドされており、この半導体チップ4は、ボンディングワイヤ5によりワイヤボンディングされている。
そして、上述した本発明の付加硬化型シリコーン組成物の硬化物6により、半導体チップ4が被覆されている。
半導体チップ4の被覆は、上述した本発明の付加硬化型シリコーン組成物6を塗布し、加熱により付加硬化型シリコーン組成物6を硬化させることにより行われる。またその他公知の硬化条件下で公知の硬化方法により硬化させてももちろん良い。
尚、この場合、外部応力の影響を受け難くし、又ゴミ等の付着を極力抑えるという観点から、付加硬化型シリコーン組成物6は、硬化により、JISに規定の硬さがショアーDで30以上の硬化物を形成するものであることが好ましい。
本発明の付加硬化型シリコーン組成物は、屈折率が大きく、光透過率が高く、基材に対する密着性が高く、耐クラック性に優れ、ガス透過性が低い硬化物を形成するので、このような本発明の組成物を用いた本発明の半導体装置は、信頼性に優れたものとなり、ダイオード、発光ダイオード(LED)等として特に好適である。
以下、実施例と比較例を示し、本発明を具体的に説明するが、本発明は下記の実施例等に制限されるものではない。
尚、実施例中の粘度は25℃において回転粘度計を用いて測定した値である。また、付加硬化型シリコーン組成物、及びその硬化物の特性は次のようにして測定した。
硬化物の硬さ
付加硬化型シリコーン組成物を150℃の熱風循環式オーブンで3時間加熱することにより硬化物を作製した。この硬化物の硬さを、ショアーD硬度計を使用して測定した。
硬化物の屈折率
付加硬化型シリコーン組成物を150℃の熱風循環式オーブンで3時間加熱することにより硬化して作製した硬化物の25℃における屈折率を、アッベ式屈折率計を用いて測定した。尚、測定に用いた光源として、可視光(589nm)を用いた。
硬化物の光透過率
付加硬化型シリコーン組成物を150℃の熱風循環式オーブンで3時間加熱することにより硬化して作製した硬化物(光路長2.0mm)の25℃における400nmの波長の光透過率を測定した。
硬化物の耐熱性
上記[硬化物の光透過率]で得られた結果を100とし、この硬化物を150℃の熱風循環式オーブンで500時間加熱後、硬化物を取り出し光透過率が100と比較してどの程度落ちるか測定した。
硬化物の耐久後のクラック
図1のように作製して150℃×4時間の加熱で硬化したパッケージを、{−40℃(30分)、100℃(30分)}を1サイクルとする熱衝撃試験機の中に入れ、100サイクル経過後、パッケージを拡大顕微鏡で観察し、硬化物のクラックがある場合を×、クラックがない場合を○、クラックがあるかどうかが明瞭でない場合を△とした。
硬化物の酸素ガス透過性
付加硬化型シリコーン組成物を150℃の熱風循環式オーブンで3時間加熱することにより硬化して作製した厚み1mmの硬化物を、酸素ガス透過装置を用いて測定した。
[実施例1]
平均単位式:
(CSiO3/20.75[(CH=CH)(CH)SiO]0.25
で表される分岐鎖状のオルガノポリシロキサン{性状=固体状(25℃)、ケイ素原子結合全有機基中のケイ素原子結合ビニル基の含有率=20モル%、ケイ素原子結合全有機基中のケイ素原子結合フェニル基の含有率=60モル%、標準ポリスチレン換算の重量平均分子量=2400}50質量部、粘度6,000mPa・sであり、分岐状の分子鎖末端ジメチルビニルシロキシ基封鎖フェニルメチルポリシロキサン(下式)
Figure 2012082300
(ケイ素原子結合ビニル基の含有率=4.3モル%、ケイ素原子結合全有機基中のケイ素原子結合フェニル基の含有率=43モル%)25質量部、式:
H(CHSiO(CSiOSi(CH
で表される有機ケイ素化合物21質量部、白金の1,3−ジビニル−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン錯体(本組成物において、本錯体中の白金金属が質量単位で30ppmとなる量)、接着付与剤として下記構造式
Figure 2012082300
で表されるSiH含有化合物1.0質量部を均一に混合して、粘度4,700mPa・sである付加硬化型シリコーン組成物を調製した。
この付加硬化型シリコーン組成物及びその硬化物の特性を測定した。これらの結果を表1に示した。また、この付加硬化型シリコーン組成物を用いてLEDを作製した。これらの半導体装置の信頼性の評価結果を表1に示した。
[実施例2]
平均単位式:
(CSiO3/20.8[(CH=CH)(CHSiO1/20.2
で表される分岐鎖状のオルガノポリシロキサン{性状=固体状(25℃)、ケイ素原子結合全有機基中のケイ素原子結合ビニル基の含有率=14モル%、ケイ素原子結合全有機基中のケイ素原子結合フェニル基の含有率=57モル%、標準ポリスチレン換算の重量平均分子量=1,600}55質量部、粘度10,000mPa・sであり、分岐状の分子鎖末端ジメチルビニルシロキシ基封鎖ジフェニルジメチルポリシロキサン(下式)
Figure 2012082300
(ケイ素原子結合ビニル基の含有率=3.3モル%、ケイ素原子結合全有機基中のケイ素原子結合フェニル基の含有率=56モル%)25質量部、式:
H(CHSiO(CSiOSi(CH
で表される分子鎖両末端ジメチルハイドロジェンシルエチニル基封鎖有機ケイ素化合物15質量部、接着付与剤として下記構造式
Figure 2012082300
で表されるシラン化合物2.0質量部、白金の1,3−ジビニル−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン錯体(本組成物において、本錯体中の白金金属が質量単位で2.5ppmとなる量)を均一に混合して、粘度6,500mPa・sである付加硬化型シリコーン組成物を調製した。
この付加硬化型シリコーン組成物及びその硬化物の特性を測定した。これらの結果を表1に示した。また、この付加硬化型シリコーン組成物を用いてLEDを作製した。これらの半導体装置の信頼性の評価結果を表1に示した。
[比較例1]
粘度3,500mPa・sであり、直鎖状の分子鎖両末端ジメチルビニルシロキシ基封鎖メチルフェニルポリシロキサン(ケイ素原子結合ビニル基の含有率=0.20モル%、ケイ素原子結合全有機基中のケイ素原子結合フェニル基の含有率=49モル%)60質量部、平均単位式:
(CSiO3/20.75[(CH=CH)(CHSiO1/20.25
で表される分岐鎖状のオルガノポリシロキサン{性状=固体状(25℃)、ケイ素原子結合全有機基中のケイ素原子結合ビニル基の含有率=20モル%、ケイ素原子結合全有機基中のケイ素原子結合フェニル基の含有率=60モル%、標準ポリスチレン換算の重量平均分子量=1,600}40質量部、式:
H(CHSiO[(CHSiO]Si(CH
で表されるジメチルポリシロキサン24質量部、白金の1,3−ジビニル−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン錯体(本組成物において、本錯体中の白金金属が質量単位で30ppmとなる量)を均一に混合して、粘度2,460mPa・sである付加硬化型シリコーン組成物を調製した。
この付加硬化型シリコーン組成物及びその硬化物の特性を測定した。これらの結果を表1に示した。また、この付加硬化型シリコーン組成物を用いてLEDを作製した。これらの半導体装置の信頼性の評価結果を表1に示した。
[比較例2]
平均単位式:
(CSiO3/20.75[(CH=CH)(CHSiO1/20.25
で表される分岐鎖状のオルガノポリシロキサン{性状=固体状(25℃)、ケイ素原子結合全有機基中のケイ素原子結合ビニル基の含有率=20モル%、ケイ素原子結合全有機基中のケイ素原子結合フェニル基の含有率=60モル%、標準ポリスチレン換算の重量平均分子量=1,600}55質量部、粘度950mPa・sであり、平均単位式:
(CSiO3/20.60[(CHHSiO1/20.40
で表される分岐鎖状のオルガノポリシロキサン(ケイ素原子結合全基中のケイ素原子結合水素原子の含有率=22モル%、ケイ素原子結合全基中のケイ素原子結合フェニル基の含有率=33モル%、標準ポリスチレン換算の重量平均分子量=1,100)12質量部、粘度3,500mPa・sであり、直鎖状の分子鎖両末端ジメチルビニルシロキシ基封鎖メチルフェニルポリシロキサン(ケイ素原子結合ビニル基の含有率=0.20モル%、ケイ素原子結合全有機基中のケイ素原子結合フェニル基の含有率=49モル%)50質量部、白金の1,3−ジビニル−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン錯体(本組成物において、本錯体中の白金金属が質量単位で2.5ppmとなる量)を均一に混合して、粘度3,500mPa・sである付加硬化型シリコーン組成物を調製した。
この付加硬化型シリコーン組成物及びその硬化物の特性を測定した。これらの結果を表1に示した。また、この付加硬化型シリコーン組成物を用いてLEDを作製した。これらの半導体装置の信頼性の評価結果を表1に示した。
[比較例3]
平均単位式:
(CSiO3/20.75[(CH=CH)(CHSiO1/20.25
で表される分岐鎖状のオルガノポリシロキサン{性状=固体状(25℃)、ケイ素原子結合全有機基中のケイ素原子結合ビニル基の含有率=20モル%、ケイ素原子結合全有機基中のケイ素原子結合フェニル基の含有率=60モル%、標準ポリスチレン換算の重量平均分子量=1,600}45質量部、粘度3,500mPa・sであり、直鎖状の分子鎖両末端ジメチルビニルシロキシ基封鎖メチルフェニルポリシロキサン(ケイ素原子結合ビニル基の含有率=0.20モル%、ケイ素原子結合全有機基中のケイ素原子結合フェニル基の含有率=49モル%)55質量部、式:
H(CHSiO[CH(C)SiO]Si(CH
で表される分子鎖両末端ジメチルハイドロジェンシロキシ基封鎖メチルフェニルポリシロキサン24質量部、白金の1,3−ジビニル−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン錯体(本組成物において、本錯体中の白金金属が質量単位で2.5ppmとなる量)を均一に混合して、粘度1,700mPa・sである付加硬化型シリコーン組成物を調製した。
この付加硬化型シリコーン組成物及びその硬化物の特性を測定した。これらの結果を表1に示した。また、この付加硬化型シリコーン組成物を用いてLEDを作製した。これらの半導体装置の信頼性の評価結果を表1に示した。
[比較例4]
実施例1の分岐鎖状のオルガノポリシロキサンを平均単位式:
(CSiO3/20.05(CHSiO3/20.70[(CH=CH)(CHSiO1/20.25{性状=固体状(25℃)、ケイ素原子結合全有機基中のケイ素原子結合ビニル基の含有率=16.7モル%、ケイ素原子結合全有機基中のケイ素原子結合フェニル基の含有率=3.3モル%、標準ポリスチレン換算の重量平均分子量2,100}とした以外は実施例1と同様にして、粘度2,300mPa・sである付加硬化型シリコーン組成物を調製した。
この付加硬化型シリコーン組成物及びその硬化物の特性を測定した。これらの結果を表1に示した。また、この付加硬化型シリコーン組成物を用いてLEDを作製した。これらの半導体装置の信頼性の評価結果を表1に示した。
Figure 2012082300
表1に示すように、実施例1及び2は、硬化物の硬さも十分であり、硬化物の屈折率、光透過率及び耐熱性も良好で、硬化物にクラックの発生も見られなかった。また、ガスバリア性にも優れるものであった。更に、触媒毒による剥離も発生せず、密着性の高いものであった。
一方、比較例2〜4においては、硬さは充分であったもののクラックの発生が見られ、クラックの有無が不明瞭であった比較例1も、耐熱性に劣るものであった。また、比較例1〜4のいずれもガス透過性が高く、基板を腐蝕し易いものであった。更に、触媒毒による剥離が発生してしまった。
以上のことから、本発明の付加硬化型シリコーン組成物であれば、屈折率が大きく、光透過率が高く、基材に対する密着性が高く、耐クラック性に優れ、ガス透過性が低い硬化物を形成するため、各種光学用途等に好適なものであることが実証された。
尚、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
上記実施例では、半導体素子のポッティング剤として本発明の付加硬化型シリコーン組成物を用いたが、本発明の付加硬化型シリコーン組成物は、特に、光透過率が高いことから、その他にも光学用途の半導体素子の接着剤、保護コーティング剤、アンダーフィル剤等として好適であり、また、電気・電子用の接着剤、ポッティング剤、保護コーティング剤、アンダーフィル剤等としても、もちろん使用することができる。
1…半導体装置、 2…銀メッキ基板、 3…パッケージ、 4…半導体チップ、
5…ボンディングワイヤ、 6…付加硬化型シリコーン組成物(の硬化物)。

Claims (7)

  1. 少なくとも、
    (A)下記平均単位式(1)で表されるオルガノポリシロキサン:100質量部、
    (RSiO3/2a1(R SiO2/2b1(R SiO1/2c1(X1/2d1 (1)
    {式中、Rは同一又は異なっていても良い、置換又は非置換の一価炭化水素基(但し、Rの0.1〜50モル%はアルケニル基であり、Rの10モル%以上はアリール基である)であり、Xは水素原子又はアルキル基である。a1は0.25〜1、b1は0〜0.75、c1は0〜0.3、d1は0〜0.1であり、a1+b1+c1+d1は1である。}
    (B)下記平均単位式(2)で表されるオルガノポリシロキサン:1〜99質量部、
    (RSiO3/2a2(R SiO2/2b2(R SiO1/2c2(X1/2d2 (2)
    {式中、Rは同一又は異なっていても良い、置換又は非置換の一価炭化水素基(但し、Rの0.001〜20モル%はアルケニル基であり、Rの10モル%以上はアリール基である)であり、Xは水素原子又はアルキル基である。a2は0.005〜0.1、b2は0.5〜0.95、c2は0.005〜0.1、d2は0〜0.1であり、a2+b2+c2+d2は1である。}
    (C)下記平均組成式(3)で表される、1分子中に少なくとも2個のSi−H結合を有し、ケイ素原子に結合したR’とHの合計の5モル%以上がフェニル基であるオルガノハイドロジェンポリシロキサン:(A)+(B)成分の合計100質量部に対して1〜200質量部となる量、
    R’a’b’SiO[(4−a’−b’)/2] (3)
    (式中、R’は脂肪族不飽和炭化水素基を除く、同一又は異なっていても良い、置換又は非置換の一価炭化水素基である。a’,b’は0.7≦a’≦2.1、0.01≦b’≦1.0、かつ0.8≦a’+b’≦2.7を満たす正数である。)
    及び
    (D)ヒドロシリル化反応用触媒:本組成物の硬化を促進する量
    を含有することを特徴とする付加硬化型シリコーン組成物。
  2. 前記(A)成分において、前記平均単位式(1)中のRのアリール基の含有率が30モル%以上であることを特徴とする請求項1に記載の付加硬化型シリコーン組成物。
  3. 前記(B)成分において、前記平均単位式(2)中のRのアリール基の含有率が30モル%以上であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の付加硬化型シリコーン組成物。
  4. 前記(C)成分において、前記平均組成式(3)中のケイ素原子に結合したR’とHの合計の5〜50モル%がフェニル基であることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の付加硬化型シリコーン組成物。
  5. 硬化して、可視光(589nm)における屈折率(25℃)が1.5以上の硬化物を形成することを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の付加硬化型シリコーン組成物。
  6. 硬化して、光透過率(25℃)が80%以上の硬化物を形成することを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載の付加硬化型シリコーン組成物。
  7. 請求項1乃至請求項6のいずれか1項に記載の付加硬化型シリコーン組成物の硬化物により半導体素子が被覆されていることを特徴とする半導体装置。
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