JP2012077321A - 成膜基板の製造方法、成膜基板、および成膜装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】所定量の酸素を含有する第1の雰囲気中で、ガラス基板2の表面に第1のモリブデン層3aを成膜し、第1の雰囲気よりも酸素の含有率が低い第2の雰囲気中で、第1のモリブデン層3aの表面に第2のモリブデン層3bを成膜する。これにより、酸化モリブデンを含む密着層3aをガラス基板2上に成膜し、この密着層3aの上にモリブデン層3bを成膜することができる。
【選択図】図1
Description
図1に示す太陽電池セル1は、CIGS系の太陽電池であり、ガラス基板2上に、裏面電極層3、CIGS層4、バッファ層5、透明電極層6が順に積層されている。
次に、図2を参照して、ガラス基板2にモリブデン層3a,3bを成膜する成膜装置10について説明する。図2に示す成膜装置10は、スパッタリング法による成膜を行う装置であり、真空中の希薄アルゴン雰囲気下でプラズマを発生させて、プラズマ中のプラスイオンを成膜材料(Moターゲット)21に衝突させることで金属原子をはじき出し、基板上に付着させて成膜を行うものである。
次に、成膜装置10の動作、及び成膜基板の製造方法について説明する。本実施形態に係る成膜基板の製造方法は、ガラス基板2上にモリブデンが成膜された成膜基板を製造する方法であって、所定量の酸素を含有する第1の雰囲気中で、ガラス基板2の表面に第1のモリブデン層3aを成膜する第1成膜工程と、第1の雰囲気よりも酸素の含有率が低い第2の雰囲気中で、第1のモリブデン層3aの表面に第2のモリブデン層3bを成膜する第2の成膜工程と、を備えている。第1成膜工程は、成膜装置10の第1成膜室11Aで実施され、第2成膜工程は、成膜装置10の第2成膜室11Bで実施される。
Claims (8)
- ガラス基板上にモリブデンが成膜された成膜基板を製造する方法であって、
酸素を含有する第1の雰囲気中で、前記ガラス基板の表面に第1のモリブデン層を成膜する第1成膜工程と、
前記第1の雰囲気よりも酸素の含有率が低い第2の雰囲気中で、前記第1のモリブデン層の表面に第2のモリブデン層を成膜する第2成膜工程と、
を備えていることを特徴とする成膜基板の製造方法。 - 前記第1成膜工程では、酸素の含有率が0.3%〜5.0%である前記第1の雰囲気中で、前記第1のモリブデン層を成膜することを特徴とする請求項1記載の成膜基板の製造方法。
- 前記第2の成膜工程では、前記第1のモリブデン層よりも厚く、前記第2のモリブデン層を成膜することを特徴とする請求項1又は2記載の成膜基板の製造方法。
- ガラス基板と、
前記ガラス基板の表面に成膜され、酸素を含有する第1のモリブデン層と、
前記第1のモリブデン層の表面に成膜され、前記第1のモリブデン層よりも酸素の含有量が少ない第2のモリブデン層と、
を備えていることを特徴とする成膜基板。 - 前記第2のモリブデン層のシート抵抗値は、前記第1のモリブデン層のシート抵抗値よりも低いことを特徴とする請求項4記載の成膜基板。
- 前記第2のモリブデン層は、前記第1のモリブデン層よりも厚いことを特徴とする請求項5記載の成膜基板。
- ガラス基板にモリブデンを成膜する成膜装置であって、
前記ガラス基板の表面に第1のモリブデン層を成膜する第1成膜室と、
前記第1のモリブデン層の表面に第2のモリブデン層を成膜する第2成膜室と、
前記第1成膜室内を、酸素を含有する第1の雰囲気とし、前記第2成膜室内を、前記第1の雰囲気よりも酸素の含有率が低い第2の雰囲気とする酸素濃度制御部と、を備え、
前記第1成膜室は、前記第1の雰囲気で前記第1のモリブデン層を成膜し、
前記第2成膜室は、前記第2の雰囲気で前記第2のモリブデン層を成膜することを特徴とする成膜装置。 - 前記第1成膜室が、前記第2成膜室を兼ねることを特徴とする請求項7記載の成膜装置。
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